JP5097331B2 - 表面処理方法 - Google Patents

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本発明は、真空処理装置を構成する金属製部品の表面を清浄化するための表面処理方法に関するものである。
従来、真空処理装置に使用される金属製容器等の金属製部品は、前記真空処理装置に組み込む前に、表面を洗浄するようにしている。
その目的は、金属製部品を加工する際に付着した潤滑油、研磨剤や切削屑等を除去し、金属製部品の表面酸化層を緻密なものとするためである。後者の金属製部品の表面酸化層を緻密なものとする理由は、研磨や切削等の処理がされた際に金属製部品の表面酸化層が緻密でなくなり真空雰囲気でガスが発生したり、或いは、溶接により生じた溶接焼け部分から真空雰囲気でガスが発生したりするからである。
上記理由から、電解研磨、化学研磨又は酸性溶液による洗浄等の処理、ガラス、SiC又はアルミナ等によるブラスト処理、或いは、ステンレス鋼を使用した部品の場合には、フッ硝酸のペーストを使用した処理等が行われていた。
しかしながら、電解研磨等の処理の場合、被処理物を処理溶液で満たされた容器に浸漬する必要があるために、被処理物が大きくなると処理できないという問題があった。また、被処理物の重量が大きくなりすぎると、クレーン等の許容荷重を超えて搬送できないという問題があった。また、ブラスト処理は、ガス放出量が多いため好ましくなく、また、フッ硝酸ペーストを使用した処理は危険を伴うため好ましくないという問題があった。
一方、化学塔槽内面のステンレスを鏡面仕上げするニーズに対して、電解複合鏡面研磨法が非特許文献1において提案されている。
この文献には、被処理物の表面をRmax0.05〜0.01μm程度に加工して、表面の欠陥層を除去して均一に鏡面仕上げすることについて開示されている。
しかしながら、鏡面加工をする際に、研磨剤等が被処理物の表面に混入して緻密な酸化層を形成することができず、結果として、真空雰囲気で被処理物から放出するガスを低減させることは難しかった。
前畑 英彦、大工 博之、馬場 吉康,「電解複合鏡面研磨技術による金属表面のクリーン化」,表面技術,1989,Vol.40,No.3,p.40-45
そこで、本発明は、上記従来の問題を解決するもので、真空容器等の被処理物の内壁又は外壁を清浄化するとともに、緻密な酸化層を形成することが可能な表面処理方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明者等は鋭意検討の結果、表面粗度(Rmax)が0.1μm以上となるようにして、被処理物を電解液に浸漬しないで電解研磨をすることにより、被処理物の表面に緻密な表面酸化層を形成することができるという知見に基づき、下記の通り解決手段を見出した。
即ち、本発明の表面処理方法は、請求項1に記載の通り、真空処理装置を構成するためのステンレス鋼製部品を被処理物とする表面処理方法であって、前記被処理物の表面をバフ研磨して表面粗度(R max )0.2μm以上とし、前記被処理物を電源の陽極側に接続するとともに、前記被処理物の表面に無機酸、有機酸、無機酸塩及び有機酸塩のうちの少なくともいずれかを含む電解液を接触させるための処理媒体を前記電源の陰極側に接続し、前記電極間に、前記電解液を介して直流電流で、電流密度を0.1A/cm とすることにより、前記被処理物の表面を、表面粗度(Rmax)が0.10〜0.25μmとなるように電解研磨するものとし、前記電解液の濃度は3%〜15%であり、上記表面処理された前記被処理物の昇温脱離法によるガス放出量は0.20Pa・m以下であることを特徴とする。
また、請求項2に記載の表面処理方法は、請求項1に記載の表面処理方法において、前記電解研磨による処理に加えて、酸洗処理を行うことを特徴とする。
また、請求項3に記載の表面処理方法は、請求項1に記載の表面処理方法において、前記電解研磨による処理に加えて、研磨剤による機械的研磨を行うことを特徴とする。
本発明の表面処理方法によれば、大型化された真空処理装置用の金属製容器等の部品であっても、電解液に浸漬するという大がかりな装置を必要とせず、比較的簡素な構成で被処理物の表面を洗浄することができる。また、本発明の表面処理方法により処理された被処理物には、電解液に被処理物を浸漬する電解研磨と同等の緻密な表面酸化層を形成されるため、真空雰囲気下においても、被処理物表面から放出されるガス放出が少なくすることができる。
本発明は、前記被処理物を電源の陽極側に接続するとともに、前記被処理物の表面に電解液を接触させるための処理媒体を前記電源の陰極側に接続し、前記電極間に、前記電解液を介して直流電流を流すことにより、前記被処理物の表面を、表面粗度(Rmax)が0.1μm以上となるように電解研磨するものである。
本発明は、被処理物の表面を鏡面にすることを目的とするものではなく、汚染された粗な表面酸化層を除去し、新たに清浄な表面酸化層を形成して、真空処理中に被処理物からガスが放出することを低減させることを目的とするため、被処理物の表面粗度(Rmax)が0.1μm以上となるようにしている。表面粗度(Rmax)が0.1μm未満となる鏡面研磨をしてしまうと、砥粒の研磨剤や不純物等が被処理物の表面酸化層に埋設されるか、或いは、巻き込まれ、緻密な表面酸化層を形成することができないからである。
前記真空処理装置を構成する金属製部品は、真空処理環境下におかれる部品であればよく、特に制限するものではない。一例を挙げると、金属製容器等が挙げられる。尚、前記金属としては、ステンレス鋼、アルミニウム合金、チタン合金等が挙げられる。
前記処理媒体としては、前記電極間に直流電流を流すことができれば、材料や形状は限定されるものではなく、不織布等が挙げられる。
また、電解液としては、通常の電解研磨と同じものを使用することができ、無機酸、有機酸、無機酸塩及び有機酸塩のうちの少なくともいずれかを含むもの等が挙げられる。
尚、本発明の電解研磨における電解電流密度は、0.1以上0.2A/cm 2 未満である。
前記表面処理方法に加えて、電解液として酸性溶液を使用することで、電解酸洗を行うことが好ましい。更なる清浄化ができるからである。この場合には、無機酸や有機酸等の電解液を使用することができる。
更に、前記表面処理方法に加えて、研磨剤による機械研磨を行うことが好ましい。これにより、更に清浄化が図られるからである。尚、この場合の研磨剤は、電解研磨後の表面粗度(Rmax)が0.1μm以上となるものを適宜選択する必要がある。
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
(実施例1)
図1は、本発明の表面処理方法の一実施例の説明図である。
図中1は、圧延上がりのステンレス鋼板(SUS304)からなる500mm×1000mm×5mmの被処理物であり、この被処理物1は図示されるように、接合部が溶接2されている。
図中3で示されるものは、本発明の処理媒体であり、ナイロン製不織布により構成されている。処理媒体3には、5%の硫酸ナトリウム溶液を染み込ませてあり、電源5の陰極側に、端子4を介して接続されている。電源5の陽極側は、被処理物1に接続されている。
そして、処理媒体3を、溶接部2に接触させた状態で、電極間に10V−10A(電解電流密度0.1A/cm2)を加え、10分間処理を行い、被処理物1を純水により洗浄した。
前記処理された被処理物1について、昇温速度0.5℃/sで450℃まで温度を上昇させた時の単位面積当たりのガス放出量を測定した(以下、昇温脱離法という)。処理前後の結果を比較して表1に示す。
上記表1から、実施例1の表面処理方法によれば、ガス放出量を低減できることがわかった。
次に、実施例1の電解液及び処理条件を、表2に示すように変更して表面処理を行った。処理された被処理物について、前記昇温脱離法によりガス放出量を測定した結果を同表に示す。
上記表2より、無機酸、有機酸、無機酸塩及び有機酸塩のいずれの電解液で表面処理をした場合も、ガス放出量は低かった。
尚、電解液に無機酸塩、有機酸塩を用いた場合の研磨量は、0.05〜0.4μm、無機酸を用いた場合の研磨量は、2〜10μmであった。
(実施例2)
図2は、本発明の表面処理方法の他の実施例の説明図である。
図中11は、被処理物であり、図中20で示されるものは、実施例2の表面処理方法に使用される装置であり、この装置20は、処理媒体13としてナイロン製不織布からなるバフを備えている。前記処理媒体13は、エア回転式の工具12に回転自在に取り付けられている。処理媒体13の上方にはカバー17が設けられ、このカバー17に電解液を投入するための投入口16が設けられており、この投入口16から投入された電解液は、処理媒体13に染み込むようになっている。
また、電源15の陰極側は、端子14を介して処理媒体13に導通可能に接続され、陽極側は被処理物11に接続されている。尚、本実施例では、電解液として、5%の硫酸ナトリウム溶液を使用した。
次に、被処理物11として、次のサンプル1及び2を用意した。サンプル1は、500mm×1000mm×5mmのステンレス鋼板(SUS304)を、ガラスビーズによりブラスト処理したものであり、サンプル2は、同形状のステンレス鋼板(SUS304)を#400バフ研磨により処理したものである。尚、使用した被処理物1には、溶接部分は存在していない。
上記装置20により、処理媒体13と、被処理物11との間に10V−10Aの電解電流(電解電流密度0.1A/cm2)を流すとともに、処理媒体13を回転(60回転/分)させ、純水により被処理物1を洗浄した。
(比較例1)
サンプル2を10%のリン酸系溶液に浸漬して電解研磨を行った。
上記実施例2により処理されたサンプル1及び2と、比較例1により処理されたサンプル2について、昇温脱離法によるガス放出量を測定した結果を表3に示す。
表3から、実施例2により処理されたサンプル1及び2のガス放出量は低減したことがわかる。
また、サンプル1の表面のSEM画像を、図3((a)処理前、(b)実施例2による処理後)に示す。図3から、実施例2により処理された被処理物の表面は、溶解され、エッジ部の角が丸くなっていることがわかる。
尚、比較例1により処理されたサンプル2のガス放出量が、実施例2により処理されたサンプル2のガス放出量よりも若干少ない理由は、研磨量の差によるものと考えられる。即ち、実施例2では研磨量を約0.2μmで留めたのに対して、比較例1では研磨量を約4μmとした。その結果として、実施例2により処理されたサンプル2の表面(凹凸も含めた真の表面積)が大きくなったためと考えられる。
尚、上記実施例2の表面処理方法では、エア式の回転工具12を使用したが、モータ式のものを使用してもよい。
<比較試験例1>
内寸法、ステンレス鋼板を有底の円筒状に成形し、接合部を溶接することにより作製した内寸1m×1m×0.8mの真空容器に対して、下記3種類の処理を行った。
(比較例2)
前記容器の溶接焼けした部分を含む内壁を、純水のみにより洗浄したものをサンプル1とした。
(実施例3)
前記容器の溶接焼けした部分を含む内壁を、電解液として10%リン酸アンモニウム溶液を使用して、実施例2と同様の処理を行い、純水により清浄したものをサンプル2とした。
(比較例3)
70%リン酸−硫酸系溶液に前記容器を浸漬して電解研磨を行い、純水により洗浄したものをサンプル3とした。
上記3つのサンプルを、室温下で300リットル/sのターボ分子ポンプで排気したときの圧力の時間変化を図4に示す。排気開始10時間後の圧力は、サンプル1では4.2×10-5Pa、サンプル2では6.4×10-6Pa、サンプル3では4.3×10-6Paであった。
サンプル2の圧力は、サンプル1と比べて低く、サンプル3とほぼ同等であり、実施例3の表面処理方法が有効であることがわかる。
(実施例4)
500mm×1000mm×5mmのアルミニウム合金板を被処理物として、電解液と処理条件を下記表4の条件とした以外は、上記実施例2と同様に表面処理を行った。各処理を行った後の被処理物について、昇温脱離法によるガス放出量を測定した結果を同表に示す。
(実施例5)
500mm×1000mm×5mmのチタン合金板を被処理物として、電解液と処理条件を下記表5の条件とした以外は、上記実施例2と同様に表面処理を行った。各処理を行った後の被処理物について、昇温脱離法によるガス放出量を測定した結果を同表に示す。
表4及び表5から、各条件の処理を行うことでガス放出量を少なくすることができることがわかる。
<比較試験例2>
(実施例6)
#400バフ研磨により前処理された500mm×1000mm×5mmのステンレス鋼を被処理物として、10%リン酸アンモニウム溶液を使用した以外は実施例2と同様にして表面処理を行った。
(比較例4)
実施例6と同じ被処理物を使用して、非特許文献1に開示される方法で電解複合鏡面研磨処理を行った。
尚、#400バフ研磨をした処理前の被処理物の表面粗度(Rmax)は0.2μm、実施例6により処理された被処理物の表面粗度(Rmax)は0.25μm、比較例4により処理された被処理物の表面粗度(Rmax)は0.02μmであった。
表6に、各処理後の被処理物について、昇温脱離法によるガス放出量を測定した結果を示す。
表6から、比較例4により処理された被処理物の方が、実施例6により処理された被処理物よりもガス放出量が多いことがわかる。
比較例4により処理された被処理物のガス放出量が多くなった理由は、被処理物の表面に緻密な表面酸化層が形成されなかったことによるものと推定される。このことを検証するために、実施例6により処理された被処理物及び比較例4により処理された被処理物を、真空中において450℃で2時間加熱し、オージェ電子分光法により表面酸化層の厚さの変化を調べた。その結果、比較例4により処理された被処理物では、真空中で加熱すると表面酸化層が厚くなったのに対して、実施例6により処理された被処理物では表面酸化層の厚さが変化しなかった。従って、実施例6により処理された被処理物の表面酸化層は、比較例4により処理された被処理物の表面酸化層よりも緻密なものであるといえる。
本発明の一実施例の説明図 本発明の他の実施例の説明図 ステンレス鋼板の表面処理前後のSEM画像((a)処理前、(b)処理後) 比較試験例1の排気特性を示すグラフ
符号の説明
1 被処理物
2 溶接部
3 処理媒体
4 端子
5 電源
11 被処理物
12 エア回転式の工具
13 処理媒体
14 端子
15 電源
16 投入口
17 カバー
20 装置

Claims (3)

  1. 真空処理装置を構成するためのステンレス鋼製部品を被処理物とする表面処理方法であって、前記被処理物の表面をバフ研磨して表面粗度(R max )を0.2μm以上とし、前記被処理物を電源の陽極側に接続するとともに、前記被処理物の表面に無機酸、有機酸、無機酸塩及び有機酸塩のうちの少なくともいずれかを含む電解液を接触させるための処理媒体を前記電源の陰極側に接続し、前記電極間に、前記電解液を介して直流電流で、電流密度を0.1A/cm とすることにより、前記被処理物の表面を、表面粗度(Rmax)が0.10〜0.25μmとなるように電解研磨するものとし、前記電解液の濃度は3%〜15%であり、上記表面処理された前記被処理物の昇温脱離法によるガス放出量は0.20Pa・m以下であることを特徴とする表面処理方法。
  2. 前記電解研磨による処理に加えて、酸洗処理を行うことを特徴とする請求項1に記載の表面処理方法。
  3. 前記電解研磨による処理に加えて、研磨剤による機械的研磨を行うことを特徴とする請求項1に記載の表面処理方法。
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JP3044249B2 (ja) * 1992-09-02 2000-05-22 西山ステンレスケミカル株式会社 複合電解研磨方法
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