JP5091252B2 - ハニカム構造体端面のマスク不良検出方法 - Google Patents

Description

本発明は、ハニカム構造体端面のマスク不良検出方法に関し、さらに詳しくは、ハニカム構造体の端面へのマスクテープ貼りの不良を効率的に検出することができるハニカム構造体端面のマスク不良検出方法に関する。

化学、電力、鉄鋼等の様々な分野において、環境対策や特定物資の回収等のために使用される触媒装置用の担体、又はフィルタとして、耐熱性、耐食性に優れるセラミック製の目封止ハニカム構造体が採用されている。特に、近時では、目封止ハニカム構造体は、ディーゼル機関から排出されるパティキュレートマター（ＰＭ）を捕集するディーゼルパティキュレートフィルタ（ＤＰＦ）としての需要が盛んである。そして、高温、腐食性ガス雰囲気下で使用されるハニカム構造体の材料として、耐熱性、化学的安定性に優れた、炭化珪素（ＳｉＣ）が好適に用いられている。

炭化珪素を骨材として形成される目封止ハニカム構造体については、所定の大きさ以上のものを製造する場合、複数の目封止ハニカム構造体のセグメントを作製し、それらを接合して一つの大きい目封止ハニカム構造体とする方法がある。目封止ハニカム構造体セグメント（セグメント）の接合は接合材を用いて行い、所定のセグメントの側面に接合材を塗布して、複数のセグメントを接合している（特許文献１参照）。そして、セグメントの側面に接合材を塗布するとき、及びセグメントを接合するときに、セグメントの端面に開口するセルの開口部が端面側にはみ出た接合材によって塞がれるという問題があった。そのため、ハニカム構造体セグメントの端面にマスクテープを貼り付けて、接合材によるセル開口部の閉塞を防止する方法がある。
国際公開第２００２／０３１３７１号パンフレット

ハニカム構造体セグメントの端面にマスクテープを貼り付ける場合、特に、効率的にマスクテープを貼り付けるために貼付装置を用いて貼り付ける場合、マスクテープが端面に貼り付かないことや、マスクテープが端面の一部にしか貼りつかないことがあった。このような場合、端面におけるマスクテープが貼り付いていない部分に接合材が浸入し、セル開口部を閉塞させ、セルが目詰まりするという問題があった。従来、このような、セル開口部の閉塞問題を生じさせないため、目視にてマスクテープのセグメント端面への貼りつき状態を確認していたが、目視であるため、見落としの可能性もあり、また製造コストとしても不利であった。

本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、ハニカム構造体の端面へのマスクテープ貼りの不良を効率的に検出することができるハニカム構造体端面のマスク不良検出方法を提供することを特徴とする。

上述の目的を達成するため、本発明は、以下のハニカム構造体端面のマスク不良検出方法を提供するものである。

［１］ 端面に透明なマスクテープを貼り付ける工程を経たハニカム構造体の前記端面に、ハニカム構造体の中心軸との間に形成される角度が４５°以上となる光（第１照射光）を照射しながら、前記端面全体を前記端面の正面から撮像して第１の処理用画像を得て、前記第１の処理用画像を得た後、前記端面に、ハニカム構造体の中心軸との間に形成される角度が５°以下となる光（第２照射光）を照射しながら、前記端面全体を前記端面の正面から撮像して第２の処理用画像を得て、前記第１の処理用画像と前記第２の処理用画像とを用い、前記端面全体の面積に対する、マスクテープが貼り付いていない部分における目封止されていないセルの面積の比率を算出してハニカム構造体の端面のマスク不良を検出するハニカム構造体端面のマスク不良検出方法。

［２］ 前記第１の処理用画像及び前記第２の処理用画像を、前記ハニカム構造体の中心軸の延長上に配置した撮像装置により撮像し、前記第２照射光を、前記ハニカム構造体の端面の正面に、中心軸がハニカム構造体の中心軸に対して５°以下となるように配置されたリング状照明又はドーム状照明により照射する［１］に記載のハニカム構造体端面のマスク不良検出方法。

本発明のハニカム構造体端面のマスク不良検出方法によれば、第２の処理用画像において、マスクテープがハニカム構造体端面に貼り付いている部分は、第２照射光の正反射光により白く写り、マスクテープが貼り付いていない部分は、ハニカム構造体の端面のセルの画像がそのまま写されるため、第２の処理用画像において白く写っている部分を確認すれば、マスクテープの貼りつき状態を検出することができる。第２処理用画像において、端面の少なくとも中央部分以外が白く写っていれば、マスクテープはハニカム構造体端面に良好に張り付いていることを示し、部分的又は全体にハニカム構造体端面のセルの画像が写されていればマスクテープが張り付いていない部分があるか、全く張り付いていない状態を示す。これにより、ハニカム構造体端面のマスク不良を効率的に検出することが可能となる。尚、第２処理用画像において、端面の中央部分は、撮像装置の配置により正反射光による像を受像できないことがあるため、端面の中央部分はマスクテープが貼り付いていても白く写らないことがあり、マスクテープの貼りつきの有無の判断に用いないことが好ましい。

本発明のハニカム構造体端面のマスク不良検出方法の一実施形態において、ハニカム構造体及び各装置の配置を模式的に示す断面図である。

符号の説明

１：ハニカム構造体、２：マスクテープ、３：照明、４：リング状照明、５：撮像装置、６：端面、１１：第１照射光、１２：第２照射光、１３：正反射光、ａ：中心軸。

次に本発明の実施形態を図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、適宜設計の変更、改良等が加えられることが理解されるべきである。

本発明のハニカム構造体端面のマスク不良検出方法の一実施形態は、まず、端面に透明なマスクテープを貼り付ける工程を経たハニカム構造体の当該端面に、ハニカム構造体の中心軸との間に形成される角度が４５°以上となる光（第１照射光）を照射しながら、端面全体を端面の正面から撮像して第１の処理用画像を得る。

ハニカム構造体の端面に透明なマスクテープを貼り付ける工程は、特に限定されず、機械により所定の大きさに切断されたマスクテープをハニカム構造体端面に貼り付ける方法等の、公知の方法を用いることができる。この工程において、通常、ハニカム構造体の端面にマスクテープが貼り付けられるが、貼り付けに失敗することもあるため、「端面に透明なマスクテープを貼り付ける工程を経たハニカム構造体の当該端面」には、マスクテープが良好に貼り付けられた端面だけでなく、マスクテープがその一部に貼り付けられた端面や、マスクテープが貼り付いていない端面も含まれる。

マスクテープは、特に限定されず、合成樹脂製のテープに粘着剤が塗工された粘着テープを好適に用いることができる。合成樹脂製のテープの材質としては、特に限定されず、ポリエステル（熱収縮）等を挙げることができる。合成樹脂製のテープの厚さは、特に限定されないが、３０〜５０μｍ程度が好ましい。粘着剤としては、特に限定されないが、アクリル系接着剤等を用いることができる。

本実施形態に用いるハニカム構造体は、複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有する筒状の構造体であり、ハニカム構造体の端面（ハニカム構造体端面）は、上記セルの延びる方向（中心軸方向）における端面である。ハニカム構造体としては、特に限定されず、どのような材質、大きさ及び形状であってもよいが、炭化珪素質のハニカム構造体について好適に本発明を適用することができる。特に、炭化珪素質ハニカム構造体からなる複数のセグメントの外周面同士を接合材により接合するときに、各セグメントの端面のセル開口部の目詰まりを防止するために好適に本発明を用いることができる。マスクテープは、ハニカム構造体（セグメント）の両端部に貼り付けることが好ましい。また、ハニカム構造体（セグメント）は、一方の端部の所定のセルの端部に目封止を施し、他方の端部の残余のセルの端部に目封止を施したもの（ＤＰＦ）であってもよい。この場合、各端面において、市松模様状に目封止が形成されていることが好ましい。

本実施形態においては、図１に示すように、ハニカム構造体１の中心軸ａとの間に形成される角度が４５°以上となる光（第１照射光）１１を照射しながら、端面６全体を端面６の正面から撮像して第１の処理用画像を得る。図１は、本発明のハニカム構造体端面のマスク不良検出方法の一実施形態において、ハニカム構造体及び各装置の配置を模式的に示す断面図である。

第１照射光１１は、照明３からハニカム構造体１の端面６に向かって照射され、第１照射光１１と、ハニカム構造体１の中心軸ａとの間の角度が、４５°以上であり、４５〜８５°が好ましく、６０〜８５°が更に好ましく、７０〜７５°が特に好ましい。上記角度をこのような範囲とすることにより、端面６を、端面６の正面から撮像したときに、第１照射光のマスクテープ２による正反射光を撮像することなく、ハニカム構造体の端面のセルの画像を良好に撮像することができる。マスクテープ２が透明であるため、図１に示すように、マスクテープ２が端面６に貼ってあっても、ハニカム構造体の端面のセルの画像を撮像することができる。第１照射光１１と、ハニカム構造体１の中心軸ａとの間の角度が、４５°より小さいと、マスクテープ２による正反射光が撮像されるため好ましくない。また、８５°より大きいと、端面６の明るさが足りなくなることがある。

照明３としては、特に限定されず、バー照明、バックライト照明等を用いることができる。光源としてＬＥＤを使用する場合は、拡散版を使用し、照明ムラをキャンセルすることが好ましい。ハニカム構造体１の端面６と照明３との間の距離は特に限定されず、良好な第１の処理用画像を得ることができる位置であればよい。

ハニカム構造体端面６の撮像は、端面６の正面から行い、図１に示すように、ハニカム構造体１の中心軸ａの延長上に配置した撮像装置５により撮像することが好ましい。「端面の正面から撮像する」とは、ハニカム構造体の中心軸の延長上から端面を撮像することであり、例えば、図１に示すように、ハニカム構造体の中心軸の延長上に撮像装置を配置して端面を撮像することである。撮像装置５により撮像した第１の処理用画像は、コンピュータにより画像処理され、第２の処理用画像との対比に用いられる。画像処理の方法は、特に限定されるものではなく、公知のコンピュータ画像処理方法を用いることができる。例えば、２値化等の方法を挙げることができる。

撮像装置５としては、特に限定されず、ＣＣＤカメラ等を用いることができる。

ハニカム構造体１の端面６と撮像装置５との間の距離は特に限定されず、良好な第１の処理用画像及び第２の処理用画像を得ることができる位置であればよい。

次に、第１の処理用画像を得た後、ハニカム構造体１の端面６に、ハニカム構造体１の中心軸ａとの間に形成される角度が５°以下となる光（第２照射光）１２を照射しながら、端面６全体を端面６の正面から撮像して第２の処理用画像を得る。

本実施形態においては、図１に示すように、ハニカム構造体１の端面６に、ハニカム構造体１の中心軸ａとの間の角度が５°以下となる第２照射光１２を照射する。第２照射光１２とハニカム構造体１の中心軸ａとの間の角度は、５°以下であり、３°以下が好ましく、１°以下が更に好ましく、０°が特に好ましい。第２照射光１２とハニカム構造体１の中心軸ａとの間の角度をこのような範囲とすることにより、ハニカム構造体１の端面６にマスクテープ２が貼りついている部分については、第２照射光１２がマスクテープ２の表面で正反射し、ハニカム構造体１の端面６の正面で、正反射光１３による像として撮像される。正反射光１３による像として撮像されるのは白い像である。そして、ハニカム構造体１の端面６にマスクテープ２が貼りついていない部分については、第２照射光１２がハニカム構造体の端面のセルにより反射された反射光による像が、撮像装置５により撮像され、ハニカム構造体の端面の構造が撮像される。これにより、端面６のなかで、マスクテープ２の表面で正反射している部分と、それ以外のセル構造が撮像されている部分とを区別することが可能になる。第２照射光１２とハニカム構造体１の中心軸ａとの間の角度が５°より大きいと、第２照射光１２が、ハニカム構造体１の端面６で正反射した正反射光１３による像を、端面６の正面で良好に撮像することができないため好ましくない。

ここで、ハニカム構造体１の端面６の中心軸ａ付近（中心付近）については、中心軸ａの延長上に撮像装置を配置して撮像するため、第２照射光１２を上記所定の角度で照射させることが難しく、正反射光による像を撮像することが難しい。従って、第２の処理用画像においては、端面６にマスクテープ２が良好に貼り付いていても、端面６の中心付近は正反射光による白い像は形成され難い。そのため、端面６の中心付近については、マスクテープ２が貼り付いているか否かの判断を行わないことが好ましい。マスクテープ２をハニカム構造体１の端面６に貼り付けるのは、接合材等により端面６のセル開口部が閉塞されることを防止するためであり、端面６の中央部分にマスクテープ２が良好に貼り付いていなくても、その外周（外縁）部分に貼りついていれば、接合材のセル開口部への侵入を防ぐことができる。そのため、端面６の中心付近については、マスクテープ２が貼り付いているか否かの判断を行わなくても、端面６の中心付近以外の部分についてのマスクテープ２の貼り付き状況を確認できればよい。

図１に示すように、第２照射光１２は、ハニカム構造体１の端面６の正面に、中心軸がハニカム構造体１の中心軸ａに対して５°以下となるように配置されたリング状照明４により照射することが好ましい。リング状照明を用いることにより、リング形状の中央部分の孔を通じて、ハニカム構造体１の中心軸の延長上に配置した撮像装置５により、ハニカム構造体１の端面６を撮像することが可能となるため好ましい。また、同様の理由により、第２照射光１２は、ハニカム構造体１の端面６の正面に、中心軸がハニカム構造体１の中心軸ａに対して５°以下となるように配置されたドーム状（ドーム型）照明（図示せず）により照射することが好ましい。

リング状照明を用いた場合、リング状照明４の中心軸と、ハニカム構造体１の中心軸ａとの間の角度は、５°以下であることが好ましく、３°以下であることが更に好ましく、１°以下であることが特に好ましく、０°であることが最も好ましい。リング状照明４の中心軸と、ハニカム構造体１の中心軸ａとの間の角度をこのような範囲とすることにより、ハニカム構造体１の端面６を均一に照射し、端面６全体からの正反射光を撮像装置に入射させることが可能となる。リング状照明４の中心軸と、ハニカム構造体１の中心軸ａとの間の角度が５°より大きいと、ハニカム構造体１の端面６を均一に照射できないことがあり、良好な第２の処理用画像を得られないことがある。また、ドーム状照明を用いた場合も、ドーム状照明の中心軸と、ハニカム構造体１の中心軸ａとの関係は、上記リング状照明を用いた場合と同様であることが好ましい。

「リング状照明４をハニカム構造体１の端面６の正面に配置する」とは、リング状照明４を、ハニカム構造体１の中心軸の延長上に位置するように配置することである。そして、ハニカム構造体１の端面６とリング状照明４とを、ハニカム構造体１の端面６に平行な平面に投影したときに、ハニカム構造体１の端面６の影像が、リング状照明４の影像の範囲内に含まれることが好ましい。そして、ハニカム構造体１の端面６の影像の中心点とリング状照明４の影像の中心点とが重なることが更に好ましい。リング状照明４をこのような位置に配置することにより、端面６全体からの正反射光を撮像装置に入射させることが可能となる。

ハニカム構造体１の端面６とリング状照明４との間の距離は、特に限定されず、良好な第２の処理用画像を得ることができる位置であればよい。

第２照射光を照射する照明としては、リング状照明及びドーム状照明以外に、同軸落射照明等をあげることができる。

次に、上記第１の処理用画像と上記第２の処理用画像とを、画像処理により対比して、第２の処理用画像のなかの、マスクテープにより正反射された光（正反射光）による画像と、それ以外の画像とを特定してハニカム構造体の端面のマスク不良を検出する。

第１の処理用画像と第２の処理用画像とを用い、端面全体の面積に対するマスクテープが貼り付いていない部分における目封止されていないセルの面積の比率を算出してハニカム構造体の端面のマスク不良を検出する方法は以下の通りである。第１の処理用画像は、ハニカム構造体１の端面６が撮像された画像であり、第２の処理用画像は、マスクテープ２からの正反射光による白色画像及びその他の画像である。第２の処理用画像における白色画像は、マスクテープ２が良好に端面６に貼り付いている部分であり、その他の画像は、マスクテープ２が端面６に貼り付いていない部分の画像である。まず、第１の処理用画像を画像処理することにより、端面の外周を認識し、端面全体の面積を算出する。そして、第２の処理用画像を画像処理することにより、マスクテープが貼り付いていない領域（部分）の目封止されていないセルを認識し、認識された目封止されていないセルの個数からその面積を算出する。そして、端面全体の面積に対する、マスクテープが貼り付いていない部分における目封止されていないセルの面積の比率を算出することにより、ハニカム構造体の端面のマスク不良を検出する。第２の処理用画像において、目封止されていないセルの認識は、予め一つのセルの面積を設定しておき、第２の処理用画像において認識された「目封止されていないセルかどうかの判断対象とする部分」の面積が、当該設定されたセルの面積の範囲内であるときに、目封止されていないセルとして認識することにより行うことが好ましい。上記、計算処理は、コンピュータを用いて行うことが好ましい。端面全体の面積に対する、マスクテープが貼り付いていない部分における目封止されていないセルの面積の比率が、０．３５％以下であることが好ましく、上記面積の比率がこのような範囲である場合、マスク不良がないといえる。ここで、第２の処理用画像の中で、マスクテープ２が貼り付かなかった部分の画像（その他の画像）は、ハニカム構造体１の端面６が直接撮像された画像と同じ画像（端面のセルと、目封止が施されている場合は目封止が映し出された画像）となるため、第２の処理用画像の中で、第１の処理用画像と同じ画像となっている部分（端面のセルと、目封止が施されている場合は目封止が映し出された部分）が、マスクテープ２が貼り付いていない部分となる。尚、第２の処理用画像において、端面６の中央部分に、白色の画像ではなく端面６のセル形状が撮像されている場合は、そのセル形状の部分については、マスク不良か否かの判断を行わないことが好ましい。

このように、第１の処理用画像及び第２の処理用画像を撮像してコンピュータにより画像処理して対比することによりハニカム構造体の端面のマスク不良を検出するため、人手を要さずに効率的にマスク不良の検出を行うことができる。

以下、本発明を実施例によって更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。

（ハニカム構造体の作製）
ＳｉＣ粉末８０質量部と、金属Ｓｉ粉末２０質量部とを混合し、これに造孔剤として、澱粉と、発泡樹脂とを加え、更にメチルセルロース、ヒドロキシプロポキシルメチルセルロース、界面活性剤、及び水を添加して、可塑性の坏土（成形用坏土）を作製した。この坏土をハニカム構造体成形用口金を用いて押出成形し、マイクロ波及び熱風で乾燥してセル密度が約４６．５セル／ｃｍ^２（３００セル／平方インチ）、断面が一辺３５ｍｍの正四角形、長さが１５２ｍｍのハニカム成形体を得た。このハニカム成形体を、端面が市松模様状を呈するように、セルの両端面を目封止して目封止ハニカム成形体を得た。すなわち、隣接するセルが、互いに反対側の端部で封じられるように目封止を行った。目封止材としては、ハニカム成形体の原料と同様のものを用いた。次に、大気雰囲気にて約４００℃で脱脂し、その後、Ａｒ不活性雰囲気にて約１４５０℃で焼成して、ＳｉＣ結晶粒子をＳｉで結合させた、多孔質構造を有するハニカムセグメント（ハニカム構造体）を得た。

（マスクテープの貼り付け工程）
ハニカム構造体（セグメント）の端面に、材質熱収縮ポリエステルの透明テープ（基材）に、粘着剤としてアクリル系接着剤を塗工して形成された透明な粘着テープを貼り付ける操作を行った。マスクテープとしては、基材厚さ４０μｍ、接着剤厚さ５０μｍ（合計厚さ９０μｍ）のものを用いた。

（実施例１）
上記マスクテープを貼り付ける工程を経たハニカム構造体（セグメント）の端面に、図１に示すように、第１照射光１１を照射しながら、端面６全体を撮像装置５により正面から撮像して第１の処理用画像を得た。第１照射光１１とハニカム構造体１の中心軸ａとの間の角度は７３°とした。撮像装置５は、ハニカム構造体の中心軸の延長上に配置した。第１照射光１１を照射する照明としては、バー照明を使用し、撮像装置５としては、ＶＧＡカメラを使用した。

次に、ハニカム構造体１の端面６に、第２照射光１２を照射しながら、端面６全体を撮像装置５により正面から撮像して第２の処理用画像を得た。第２照射光１２とハニカム構造体１の中心軸ａとの間の角度は１°以下とした。第２照射光１２を照射する照明としては、ドーム状照明を使用した。図１に示すように、ドーム状照明は、その中心軸が、ハニカム構造体１の中心軸の延長上に重なるように配置した。

第１の処理用画像で得られたハニカム構造体の端面外形範囲に対し、第２の処理用画像をコンピュータ画像処理（２値化）により得られたマスクテープが貼り付いていない部分における目封止されていないセルの面積の大きさを下記の通り規定することで、ハニカム構造体の端面のマスク不良を検出した。尚、第２の処理用画像においては、マスクテープが貼りついた部分の画像は白色の画像となり、マスクテープが貼りつかなかった部分の画像は、ハニカム構造体の端面が直接撮像された場合の画像（端面のセル及び目封止が映し出された画像）と同じ画像となる。第１の処理用画像において、画像処理によりハニカム構造体の端面外形範囲（端面の外周）の面積を算出し、第２の処理用画像において、画像処理により上記マスクテープが貼り付いていない部分における目封止されていないセルの面積を算出し、当該マスクテープが貼り付いていない部分における目封止されていないセルの面積の、ハニカム構造体の端面外形範囲の面積に対する比率を算出した。ハニカム構造体の端面のマスクテープが貼り付いていない部分における目封止されていないセルの面積が、端面全体の面積の０．３５％以下の場合を「合格」とし、０．３５％を超える場合を「不合格」とした。尚、第２の処理用画像において、目封止されていないセルの認識は、予め一つのセルの面積を設定しておき、第２の処理用画像において認識された「目封止されていないセルかどうかの判断対象とする部分（セル）」の面積が、当該設定されたセルの面積の範囲内であるときに、目封止されていないセルとして認識することにより行った。

尚、第２の処理用画像において、ハニカム構造体の端面の中央部分に「セル及び目封止」が撮像されたが、この「セル及び目封止」が撮像されたハニカム構造体の端面の中央部分については、マスクテープが貼りついていない部分には含めなかった。この端面の中央部分は、撮像装置がドーム状照明の中央部分に配置されたために、正反射光が撮像装置に入射してこない領域であり、そのために、この端面の中央部分の画像は、白色画像とならずに「セル及び目封止」が映し出された画像となっている。つまり、白色画像とならなかったことが、マスクテープが貼り付いているか否かには関係ないため、この端面の中央部分については、マスクテープが貼りついていない部分には含めなかったのである。尚、仮に、中央部分にマスクテープが貼り付いていない部分があっても、ハニカム構造体（セグメント）を接合する際に側面に塗布する接合材が、端面のセルを塞ぐ等の問題を生じさせることはないため、マスク不良には該当しない。ここで、「端面の中央部」とは、半径１０ｍｍの円の範囲である。

（評価）
上記方法により、ハニカム構造体（セグメント）を５９８６８本作製し、それぞれのハニカム構造体について、マスクテープの貼り付け工程における操作を行い、実施例１のハニカム構造体端面のマスク不良検出を行った。結果として、５９８６８本のハニカム構造体中、１８本（０．０３％）にマスク不良が確認された。実施例１のハニカム構造体端面のマスク不良検出は、目視で観察しながらハニカム構造体端面のマスク不良検出を行う場合より、早く、正確にマスク不良検出を行うことができた。

本発明のハニカム構造体端面のマスク不良検出方法は、複数のハニカム構造体セグメントを接合して大型のハニカム構造体を作製する工程において好適に利用される。

Claims (2)

1. 端面に透明なマスクテープを貼り付ける工程を経たハニカム構造体の前記端面に、ハニカム構造体の中心軸との間に形成される角度が４５°以上となる光（第１照射光）を照射しながら、前記端面全体を前記端面の正面から撮像して第１の処理用画像を得て、
   前記第１の処理用画像を得た後、前記端面に、ハニカム構造体の中心軸との間に形成される角度が５°以下となる光（第２照射光）を照射しながら、前記端面全体を前記端面の正面から撮像して第２の処理用画像を得て、
   前記第１の処理用画像と前記第２の処理用画像とを用い、前記端面全体の面積に対する、マスクテープが貼り付いていない部分における目封止されていないセルの面積の比率を算出してハニカム構造体の端面のマスク不良を検出するハニカム構造体端面のマスク不良検出方法。
2. 前記第１の処理用画像及び前記第２の処理用画像を、前記ハニカム構造体の中心軸の延長上に配置した撮像装置により撮像し、
   前記第２照射光を、前記ハニカム構造体の端面の正面に、中心軸がハニカム構造体の中心軸に対して５°以下となるように配置されたリング状照明又はドーム状照明により照射する請求項１に記載のハニカム構造体端面のマスク不良検出方法。

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