JP5089906B2 - 縦型化学気相成長装置 - Google Patents
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Description
基板は、基板ホルダーに保持され、この基板ホルダーを2つ以上、装置底面に対して垂直となるように基板トレイに並べて設置する。この基板トレイを2枚、互いに基板の表面が対向するように並べて、ロードロックチャンバーから順に搬送し、以下の工程で基板の両面に成膜を行なう。
10 基板トレイ
51 反転空間
52 成膜空間
53 ラック
54 触媒線
101 基板ホルダー
104 回転軸
105 ギア
S 基板
Claims (10)
- ガス導入手段及び排気手段を有する成膜チャンバーと、基板を保持する基板ホルダーと、基板ホルダーを搬送する搬送手段と、前記基板ホルダーを反転させる反転手段とを備え、
前記反転手段が、前記基板ホルダーの搬送中に回転軸を中心に前記基板ホルダーを搬送方向に対して180°回転させる回転手段を含み、
前記回転手段が、前記基板ホルダーに設けられた1以上の第1の突起物と、前記成膜チャンバーの内部に設けられた1以上の第2の突起物とで構成され、前記基板ホルダーの搬送中にこれら第1及び第2の突起物が相互に接触することにより、前記基板ホルダーを回転させるようにしたことを特徴とする縦型化学気相成長装置。 - 前記反転手段が、回転を180°で停止させる停止手段を含むことを特徴とする請求項1記載の縦型化学気相成長装置。
- 前記停止手段が、基板ホルダーの側面に設けられた磁性体からなることを特徴とする請求項2記載の縦型化学気相成長装置。
- 前記停止手段が、基板ホルダーの側面に設けられたオーバーラップフィンであることを特徴とする請求項2または3記載の縦型化学気相成長装置。
- 前記成膜チャンバー内の所定の位置に、触媒線を配置したことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の縦型化学気相成長装置。
- 前記成膜チャンバー内の所定の位置に、プラズマ発生手段を配置したことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の縦型化学気相成長装置。
- ロードロックチャンバー、加熱チャンバー及び冷却チャンバーを備えたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の縦型化学気相成長装置。
- ロードロックチャンバーと、加熱チャンバーと、冷却チャンバーと、反転手段を有する基板反転チャンバーとを少なくとも備えたことを特徴とする請求項1、3〜7のいずれか1項記載の縦型化学気相成長装置。
- ロードロックチャンバーと、加熱チャンバーと、冷却チャンバーと、ガス導入手段及び排気手段を有し、所定の位置に触媒線を配置する成膜チャンバーと、基板を保持する基板ホルダーと、基板ホルダーを搬送する搬送手段と、基板ホルダーを反転させる反転手段とを備え、
前記反転手段が、成膜チャンバー内に設けられ、基板ホルダーの搬送中に回転軸を中心に基板ホルダーを搬送方向に対して180°回転させる回転手段と、回転を180°で停止させる停止手段とを含み、
前記回転手段が、前記基板ホルダーに設けられた1以上の第1の突起物と、前記成膜チャンバーの内部に設けられた1以上の第2の突起物とで構成され、これらの第1の突起物と第2の突起物とが相互に接触することにより、前記基板ホルダーを回転させるようにしたことを特徴とする縦型化学気相成長装置。 - ロードロックチャンバーと、加熱チャンバーと、冷却チャンバーと、ガス導入手段及び排気手段を有し、所定の位置にプラズマ発生手段を配置する成膜チャンバーと、基板を保持する基板ホルダーと、基板ホルダーを搬送する搬送手段と、前記基板ホルダーを反転させる反転手段を備えた基板反転チャンバーとを備え、
前記反転手段は、基板ホルダーの搬送中に回転軸を中心に基板ホルダーを搬送方向に対して180°回転させる回転手段と、回転を180°で停止させる停止手段とを含み、
前記回転手段が、前記基板ホルダーに設けられた1以上の第1の突起物と、前記成膜チャンバーの内部に設けられた1以上の第2の突起物とで構成され、これらの第1の突起物と第2の突起物とが相互に接触することにより、前記基板ホルダーを回転させるようにしたことを特徴とする縦型化学気相成長装置。
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