JP5087235B2 - 窒化物半導体装置の製造方法 - Google Patents
窒化物半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5087235B2 JP5087235B2 JP2006157062A JP2006157062A JP5087235B2 JP 5087235 B2 JP5087235 B2 JP 5087235B2 JP 2006157062 A JP2006157062 A JP 2006157062A JP 2006157062 A JP2006157062 A JP 2006157062A JP 5087235 B2 JP5087235 B2 JP 5087235B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitride semiconductor
- layer
- recess
- semiconductor layer
- oxide layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Description
としたリセス構造を制御性良く形成することができる窒化物半導体装置の製造方法に関する。
N)および窒化インジウム(InN)などの一般式がAlxGa1-x-yInyN(0≦x≦
1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)で表される混晶物は、広いバンドギャップと直接遷移型のバンド構造とを有し、その特長を活かして、短波長光学素子への応用が実用化されている。一方、III−V族窒化物半導体の有する高い破壊電界強度、飽和電子速度という特
長を活かして、高速高出力電子デバイスへの応用も精力的に検討されている。
、高出力デバイスや高周波デバイスとして開発が進められている。このHFETは、キャリア供給層(N型AlGaN障壁層)からの電子の供給に加え、III−V族窒化物半導体
の結晶構造(ウルツ構造)に起因する大きな自発分極およびピエゾ分極により、1013cm-2を超える2DEG密度が実現されている。これは、従来のAlGaAs/GaAs系FETと比べて1桁程度大きい。このため、III−V族窒化物半導体HFETは、GaA
s系HFETに比べて高いドレイン電流密度が期待され、実際に最大ドレイン電流が1A/mmを超える素子が報告されている(非特許文献1参照)。このように、高耐圧、かつ、高電流密度を示す電気的特性を期待できることから、HFETを中心とするIII−V族
窒化物半導体からなる電子デバイスは、高周波素子として、また、従来よりも小さい設計寸法で大電力を扱える素子として応用が検討されている。
は大電力素子として有望ではあるが、さらなる高機能化が望まれている。具体的には、相互コンダクタンス増大化、低オン抵抗化、高耐圧化、電界集中緩和、高周波化などが挙げられる。これらの高機能化を実現するためには、多くの場合それら特性間にトレードオフ関係が存在し、あらゆる特性の高機能化を同時に実現することは困難である。このような状況を解決するために単純な素子の基本構造を発展させる工夫が行われている。それら工夫の有力な手段としてリセス構造が知られている。従来のGaAs系素子においても採用されてきたリセス構造であるが、III−V族窒化物半導体においても有用性は同様である
。
安藤祐二、岡本康宏、宮本広信、中山達峰、井上隆、葛原正明著「高耐圧AlGaN/GaNヘテロ接合FETの評価」、信学技法ED2002−214、CPM2002−105(2002−10)、pp.29−34
加工精度が要求される。ドライエッチングおよびウェットエッチングのいずれのエッチング方法においても、エッチングストップ層を用いることのできない単一材料をこのような加工精度で、精度よく加工することは困難である。そのため、基板面内、半導体層間、製造ロット間でこの加工精度を維持することは不可能に近いというのが現状である。
ウェットエッチングにより、シリコン窒化膜5aをエッチングすることにより、窒化物半導体層(GaNキャップ層4)に対して高いエッチング選択性を保持したままGaNキャップ層4の表面を露出させることができる。窒化物半導体層、たとえばGaNキャップ層4は、シリコン窒化膜5aとのエッチング選択比を実用的には無限大とみなして良い。
性に優れた手法であり、熱酸化法により±0.5nm程度以下の膜厚分布を容易に達成す
ることができる。
、最後にフッ化水素酸系エッチング溶液にてシリコン窒化膜5aを除去する。AlGaN層およびGaN層の酸化物層7は、耐薬品性の強い物質であり、耐酸化マスク5を除去する前述のエッチング液のいずれに対しても化学的に非常に安定であり、全くエッチングされないで図5に示されるように残存する。
2 GaNバッファ層
3 AlGaN層
4 GaNキャップ層
5 耐酸化マスク
5a シリコン窒化膜
5b ポリシリコン膜
7 酸化物層
7a リセス
8 ソース電極
9 ドレイン電極
10 ゲート・ショットキー電極
Claims (3)
- 基板上にGaNまたはAlzGa1-zN(0<z≦1)からなる窒化物半導体層を成長させ、該窒化物半導体層の表面にリセスを形成する窒化物半導体装置の製造方法であって、
該窒化物半導体層の表面に耐酸化機能を有する膜を形成する工程と、
該耐酸化機能を有する膜をパターニングし、前記リセス形成予定領域の前記窒化物半導体層表面を部分的に露出させる工程と、
該露出した窒化物半導体層表面を酸化することにより酸化物層を形成する工程と、
前記酸化物層が形成された窒化物半導体層を、水素を含む雰囲気ガス中で加熱することにより、前記酸化物層を還元して除去し、リセスを形成する工程と、を有し、
前記酸化物層が形成された窒化物半導体層を、水素を含む雰囲気ガス中で加熱して前記酸化物層を除去する工程を、窒化物半導体層を堆積する成長装置内で行い、前記リセスの形成後引き続き該成長装置内で単層または多層の窒化物半導体層を堆積することを特徴とする窒化物半導体装置の製造方法。 - 前記基板上に成長する窒化物半導体層が、GaN層と、AlzGa1-zN層と、組成比zの異なるAlzGa1-zN層の少なくとも2層以上が所望の組合せで積層される半導体積層部を有し、該半導体積層部の表面側の1層または2層以上に前記酸化物層を形成し、該酸化物層を還元して除去し、前記リセスを形成することを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体装置の製造方法。
- 前記酸化物層を除去して形成されるリセス上に積層された窒化物半導体層の表面にショットキー接触する電極を形成することを特徴とする請求項1または2のいずれか1項に記載の窒化物半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006157062A JP5087235B2 (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | 窒化物半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006157062A JP5087235B2 (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | 窒化物半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007329154A JP2007329154A (ja) | 2007-12-20 |
JP5087235B2 true JP5087235B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=38929446
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006157062A Expired - Fee Related JP5087235B2 (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | 窒化物半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5087235B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011142200A (ja) * | 2010-01-07 | 2011-07-21 | Toyota Central R&D Labs Inc | 電界効果トランジスタ |
US9412830B2 (en) | 2014-04-17 | 2016-08-09 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device |
JP6237433B2 (ja) * | 2014-04-17 | 2017-11-29 | 富士通株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000232094A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Hitachi Ltd | 化合物半導体のドライエッチング方法および化合物半導体素子 |
JP4037154B2 (ja) * | 2002-04-15 | 2008-01-23 | 松下電器産業株式会社 | プラズマ処理方法 |
JP4776162B2 (ja) * | 2003-12-19 | 2011-09-21 | 古河電気工業株式会社 | 高電子移動度トランジスタ及び高電子移動度トランジスタの製造方法 |
-
2006
- 2006-06-06 JP JP2006157062A patent/JP5087235B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007329154A (ja) | 2007-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101108344B1 (ko) | 캡층 및 리세스된 게이트를 가지는 질화물계트랜지스터들의 제조방법들 | |
JP5200936B2 (ja) | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 | |
KR101890749B1 (ko) | 전극구조체, 이를 포함하는 질화갈륨계 반도체소자 및 이들의 제조방법 | |
KR101202497B1 (ko) | 보호층 및 저손상 리세스를 갖는 질화물계 트랜지스터 및 그의 제조 방법 | |
KR101092467B1 (ko) | 인헨스먼트 노말리 오프 질화물 반도체 소자 및 그 제조방법 | |
JP7317936B2 (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP7175727B2 (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP2005086171A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2010192633A (ja) | GaN系電界効果トランジスタの製造方法 | |
JP2011029247A (ja) | 窒化物半導体装置及びその製造方法 | |
JP4474292B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2010166027A (ja) | GaN系電界効果トランジスタおよびその製造方法 | |
JP5520432B2 (ja) | 半導体トランジスタの製造方法 | |
JP5144326B2 (ja) | 電界効果トランジスタ | |
JP4906023B2 (ja) | GaN系半導体装置 | |
JPH09307097A (ja) | 半導体装置 | |
TW201545315A (zh) | 半導體裝置與其之製造方法 | |
JP5673501B2 (ja) | 化合物半導体装置 | |
JP5087235B2 (ja) | 窒化物半導体装置の製造方法 | |
JP5487590B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2008243927A (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
JP2003051508A (ja) | GaN系半導体装置 | |
KR101668445B1 (ko) | 반도체 소자 및 그의 제조방법 | |
JP2005203544A (ja) | 窒化物半導体装置とその製造方法 | |
JP2010287594A (ja) | 電界効果トランジスタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090318 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120806 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120828 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120910 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5087235 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150914 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |