JP5081124B2 - 半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態における半導体発光素子は、発光ダイオードであり、図1(d)に示すように、サファイア基板からなる透明結晶基板1の一表面側にバッファ層2を介して形成されたn形半導体層3と、n形半導体層3の表面側に形成された発光層4と、発光層4の表面側に形成されたp形半導体層5と、n形半導体層3における透明結晶基板1側とは反対の表面上に形成されたカソード電極6と、p形半導体層5における発光層4側とは反対側の表面上に形成されたアノード電極7とを備えている。なお、本実施形態では、バッファ層2とn形半導体層3と発光層4とp形半導体層5とで、透明結晶基板1の上記一表面側に積層された多層半導体層(LED薄膜部)10を構成しているが、バッファ層2および発光層4それぞれは、必要に応じて適宜設ければよい。なお、カソード電極6は、n形半導体層3における発光層4側の露出した表面上に形成されている。
E=(h・c/e)/λ≒1240/λ
で決定される。
2 バッファ層
3 n形半導体層
4 発光層
5 p形半導体層
6 カソード電極
7 アノード電極
10 多層半導体層
LB レーザ光(単色光)
Claims (2)
- n形半導体層およびp形半導体層を有する多層半導体層と、多層半導体層の厚み方向の一面側においてn形半導体層上に形成されたカソード電極と、多層半導体層の前記一面側においてp形半導体層上に形成されたアノード電極とを備えた半導体発光素子の製造方法であって、カソード電極およびアノード電極を形成するにあたっては、透明結晶基板の一表面側に積層された多層半導体層にカソード電極およびアノード電極を形成する電極形成工程と、電極形成工程の後で透明結晶基板の他表面側から多層半導体層のバンドギャップエネルギよりも小さなエネルギの単色光を多層半導体層を通してカソード電極およびアノード電極それぞれに照射することでカソード電極およびアノード電極をアニールするアニール工程とを備えることを特徴とする半導体発光素子の製造方法。
- 前記単色光は、パルス幅が100ns以下のパルスレーザ光であることを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子の製造方法。
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