JP5078267B2 - Light emitting device - Google Patents

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Description

本発明は、発光の電流効率が高い発光素子よりなり且つ表示品質の高い発光装置に関する。   The present invention relates to a light emitting device including a light emitting element with high current efficiency of light emission and high display quality.

近年、有機材料や無機材料を含む発光素子を用いた発光装置やディスプレイの開発が盛んに行われている。発光素子は、一対の電極間に有機化合物や無機化合物を挟み込むことで作製されるが、液晶表示装置と異なりそれ自体が発光するのでバックライトなどの光源がいらない上、素子自体が非常に薄いため薄型軽量ディスプレイを作製するにあたり非常に有利である。   In recent years, light emitting devices and displays using light emitting elements including organic materials and inorganic materials have been actively developed. A light-emitting element is manufactured by sandwiching an organic compound or an inorganic compound between a pair of electrodes. Unlike a liquid crystal display device, the light-emitting element itself emits light, so a light source such as a backlight is not required and the element itself is very thin. This is very advantageous in producing a thin and light display.

発光素子は、一対の電極間に有機材料や無機材料を有しており、これらに電流を与え、発光材料を励起させること等により、所定の発光色を得ることができる。このような発光素子の発光輝度は電流に比例して大きくなることが知られている。しかし、同時に大きな電流を流すことは発光素子の劣化を促進してしまうことも知られている。つまり電極に高い電圧を印加し、多くの電流を流すことにより発光輝度を大きくすることが可能であるが、発光素子の劣化を早めてしまうことにもなる。より少ない電流で大きな輝度を得ることができれば、それは発光素子の寿命を延ばすことにも繋がる。   A light-emitting element has an organic material or an inorganic material between a pair of electrodes, and a predetermined emission color can be obtained by applying an electric current to the material to excite the light-emitting material. It is known that the light emission luminance of such a light emitting element increases in proportion to the current. However, it is also known that simultaneously flowing a large current promotes deterioration of the light emitting element. In other words, it is possible to increase the light emission luminance by applying a high voltage to the electrode and flowing a large amount of current, but it also accelerates the deterioration of the light emitting element. If a large luminance can be obtained with a smaller current, it also extends the life of the light emitting element.

そこで、複数の発光素子を積層し、発光素子が一つの場合と同じ電流密度の電流を流すことによって、高い発光輝度を得ることが可能な発光素子が提案されている(特許文献1参照)。これを利用すれば、積層構造を有する発光素子では、単層の場合の半分の電流密度としても、所定の輝度を得ることができる。例えばn倍の輝度を所望の電流密度において得たい場合は、電極間に存在する同一の構成の発光ユニットをn個とすれば、電流密度を上昇させることなくn倍の輝度を実現できるとされている。このとき、駆動電圧もn倍、もしくはそれ以上になってしまうが、n倍の輝度が寿命を犠牲にせずに実現できることの利点は大きい、と記載されている。   In view of this, a light-emitting element that can obtain high emission luminance by stacking a plurality of light-emitting elements and flowing a current having the same current density as that of a single light-emitting element has been proposed (see Patent Document 1). By utilizing this, in a light emitting element having a laminated structure, a predetermined luminance can be obtained even with a current density half that of a single layer. For example, when it is desired to obtain n times the luminance at a desired current density, if the number of light emitting units having the same configuration existing between the electrodes is n, it is said that n times the luminance can be realized without increasing the current density. ing. At this time, although the drive voltage is increased by n times or more, it is described that the advantage that n times the luminance can be realized without sacrificing the lifetime is great.

しかし、特許文献1に記載したような構成の場合、発光ユニットと発光ユニットとの間にインジウム錫酸化物(ITO:Indium Tin Oxide)などによる等電位面が設けられている。これが複数画素にまたがって形成されてしまうと、隣接する画素の電圧に影響を受けていわゆるクロストークが発生してしまう。   However, in the case of the configuration described in Patent Document 1, an equipotential surface made of indium tin oxide (ITO) or the like is provided between the light emitting unit and the light emitting unit. If this is formed across a plurality of pixels, so-called crosstalk occurs due to the influence of the voltage of adjacent pixels.

また、この等電位面は導電性を有するため、もし発光ユニットから等電位面が露出している場合、電極に触れるとショートによる初期不良を起こしてしまう。   In addition, since the equipotential surface has conductivity, if the equipotential surface is exposed from the light emitting unit, an initial failure due to a short circuit occurs when the electrode is touched.

また、この等電位面を発光領域と一致させるように形成しようとすると、等電位面と発光領域の形成位置に僅かでもズレが生じ、発光領域内において明暗の差が現れたり当電位面とずれてしまった位置が非発光領域になったりすることが考えられ、僅かなズレが表示品質に大きな影響を及ぼしてしまう。
特開2003−45676号公報
In addition, if the equipotential surface is formed so as to coincide with the light emitting region, even a slight deviation occurs between the formation positions of the equipotential surface and the light emitting region, and a difference in brightness appears in the light emitting region or shifts from the potential surface. It is conceivable that the position where it has become a non-light-emitting area, and a slight shift greatly affects the display quality.
JP 2003-45676 A

そこで本発明では隣接する発光素子同士のクロストークの発生を抑制した発光装置を提供することを課題とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a light emitting device in which occurrence of crosstalk between adjacent light emitting elements is suppressed.

また、本発明は初期不良の発生を抑制することができる発光装置を提供することを課題とする。   It is another object of the present invention to provide a light emitting device that can suppress the occurrence of initial failure.

また、本発明では、電流効率の高い発光素子を用いた発光装置であって表示品質の高い発光装置を提供することを課題とする。   It is another object of the present invention to provide a light-emitting device using a light-emitting element with high current efficiency and having high display quality.

上記課題を解決する為の本発明の発光装置は、複数の発光素子よりなる画素部を有し、発光素子は第1の電極と第2の電極との間に設けられた複数の発光体及び発光体同士の間に形成された導電層よりなり、導電層は発光素子毎に設けられており、導電層の端部は発光体で覆われている。   In order to solve the above problems, a light-emitting device of the present invention includes a pixel portion including a plurality of light-emitting elements, and the light-emitting element includes a plurality of light-emitting bodies provided between a first electrode and a second electrode; The conductive layer is formed between the light emitters. The conductive layer is provided for each light emitting element, and the end of the conductive layer is covered with the light emitter.

上記課題を解決する為の本発明の発光装置は、複数の発光素子よりなる画素部を有し、発光素子は第1の電極と第2の電極との間に設けられた複数の発光体及び発光体同士の間に形成された導電層よりなり、導電層は発光素子毎に、互いに独立して設けられている。   In order to solve the above problems, a light-emitting device of the present invention includes a pixel portion including a plurality of light-emitting elements, and the light-emitting element includes a plurality of light-emitting bodies provided between a first electrode and a second electrode; It consists of a conductive layer formed between the light emitters, and the conductive layer is provided independently for each light emitting element.

上記構成において、互いに独立して設けられた隣接する導電層の間には、発光体を構成する化合物の一部又は全部からなる層が設けられている。   In the above structure, a layer made of a part or all of the compound constituting the light emitter is provided between adjacent conductive layers provided independently of each other.

上記構成において、発光素子における発光領域の端部より導電層の端部が外側に形成されている。   In the above structure, the end portion of the conductive layer is formed outside the end portion of the light emitting region in the light emitting element.

上記構成において、第1の電極に接して第2の導電層が形成されている。   In the above structure, the second conductive layer is formed in contact with the first electrode.

上記構成において、発光素子における発光領域の端部より第2の導電層の端部が外側に形成されている。   In the above structure, the end portion of the second conductive layer is formed outside the end portion of the light emitting region in the light emitting element.

上記構成において、第2の電極に接して第3の導電層が形成されている。   In the above structure, the third conductive layer is formed in contact with the second electrode.

上記構成において、発光素子における発光領域の端部より第3の導電層の端部が外側に形成されている。   In the above structure, the end portion of the third conductive layer is formed outside the end portion of the light emitting region in the light emitting element.

本発明の発光装置は隣接する発光素子同士のクロストークの発生を抑制した発光装置である。   The light emitting device of the present invention is a light emitting device in which occurrence of crosstalk between adjacent light emitting elements is suppressed.

また、本発明の発光装置は初期不良の発生が抑制された発光装置である。   In addition, the light emitting device of the present invention is a light emitting device in which the occurrence of initial failure is suppressed.

また、本発明の発光装置は、電流効率の高い発光素子を用いた発光装置であって表示品質の高い発光装置である。   The light-emitting device of the present invention is a light-emitting device using a light-emitting element with high current efficiency and having high display quality.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention can be implemented in many different modes, and those skilled in the art can easily understand that the modes and details can be variously changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Is done. Therefore, the present invention is not construed as being limited to the description of this embodiment mode.

(実施の形態1)
図1は本発明の発光装置の模式図である。図1(A)は発光装置内の1発光素子を表しており、第1の電極100、第1の発光体101、第2の発光体102、第2の電極103及び導電層110を含む。導電層110は第1の発光体101と第2の発光体102との間に設けられており、その端部は第1の発光体101及び第2の発光体102に覆われて画素毎に分離されている。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic view of a light emitting device of the present invention. FIG. 1A illustrates one light-emitting element in a light-emitting device, which includes a first electrode 100, a first light-emitting body 101, a second light-emitting body 102, a second electrode 103, and a conductive layer 110. The conductive layer 110 is provided between the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, and an end portion thereof is covered with the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102 and is covered for each pixel. It is separated.

第1の電極100及び第2の電極103は金属、合金、電気伝導性化合物等を用いることができる。例えば、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、リチウム(Li)、セシウム(Cs)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)、チタン(Ti)などの導電性を有する金属、又はアルミニウムとシリコンの合金(Al−Si)、アルミニウムとチタンの合金(Al−Ti)、アルミニウムとシリコンと銅の合金(Al−Si−Cu)等それらの合金、または窒化チタン(TiN)等の金属材料の窒化物、インジウム錫酸化物(ITO:Indium Tin Oxide)、ケイ素を含有するITO(ITSO)、酸化インジウムに酸化亜鉛(ZnO)を混合したIZO(Indium Zinc Oxide)等の金属化合物などを用いることができるが、第1の電極100を発光素子が発光する際に高い電圧がかかる方の電極(陽極として機能する電極)とする場合には、その中でも、仕事関数の大きい(仕事関数4.0eV以上)材料で形成されていることが好ましい。また、第1の電極100を発光素子が発光する際に低い電圧がかかる方の電極(陰極として機能する電極)とする場合にはその中でも、仕事関数の小さい(仕事関数3.8eV以下)材料で形成されていることが好ましい。なお、第1の電極100と第2の電極103は一方が陽極として機能する電極、他方が陰極として機能する電極に相当する。   For the first electrode 100 and the second electrode 103, a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or the like can be used. For example, aluminum (Al), silver (Ag), gold (Au), platinum (Pt), nickel (Ni), tungsten (W), chromium (Cr), molybdenum (Mo), iron (Fe), cobalt (Co ), Copper (Cu), palladium (Pd), lithium (Li), cesium (Cs), magnesium (Mg), calcium (Ca), strontium (Sr), titanium (Ti), or other conductive metals, or Alloys of aluminum and silicon (Al-Si), alloys of aluminum and titanium (Al-Ti), alloys of aluminum, silicon and copper (Al-Si-Cu), or metals such as titanium nitride (TiN) Materials nitride, indium tin oxide (ITO), silicon-containing ITO (ITSO), indium oxide A metal compound such as IZO (Indium Zinc Oxide) mixed with zinc oxide (ZnO) can be used, but the electrode to which the high voltage is applied when the light-emitting element emits light from the first electrode 100 (functions as an anode) Among them, it is preferable that the electrode is made of a material having a high work function (work function of 4.0 eV or more). In addition, when the first electrode 100 is an electrode to which a low voltage is applied when the light emitting element emits light (an electrode functioning as a cathode), a material having a small work function (work function of 3.8 eV or less). It is preferable that it is formed. Note that one of the first electrode 100 and the second electrode 103 corresponds to an electrode that functions as an anode and the other that functions as a cathode.

なお、発光を取り出す側の電極はITOやITSO、IZOなどの透光性を有する材料で形成することが望ましい。なお、アルミニウムや銀などは厚膜で形成すると非透光性であるが、薄膜化すると透光性を有するようになるため、アルミニウムや銀の薄膜を透光性を有する電極として用いることもできる。   Note that the electrode on the side from which light is extracted is preferably formed using a light-transmitting material such as ITO, ITSO, or IZO. Note that aluminum or silver is non-light-transmitting when formed as a thick film. However, since it becomes light-transmitting when the film is thinned, an aluminum or silver thin film can also be used as a light-transmitting electrode. .

第1の発光体101及び第2の発光体102は少なくとも発光物質を含む単層もしくは積層からなる層である。   The first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102 are a single layer or a stacked layer including at least a light-emitting substance.

第1の発光体101及び第2の発光体102の積層構造は機能分離型の積層構造が代表的である。正孔と電子が再結合する発光層を挟んで正孔の輸送性が高い材料による層を陽極として機能する電極側に、電子の輸送性が高い材料による層を陰極側に配置することによって効率良く正孔及び電子の輸送を行うことができる。また、各々の電極に接して、当該電極から注入されるキャリアの注入性に優れた材料を配置することによって、発光体へのキャリアの注入をスムーズに行うことができるようになる。   The stacked structure of the first light emitter 101 and the second light emitter 102 is typically a function-separated stacked structure. Efficiency is achieved by placing a layer made of a material with a high hole-transport property on the electrode side that functions as an anode and a layer made of a material with a high electron-transport property on the cathode side across a light-emitting layer where holes and electrons recombine The hole and electron can be transported well. In addition, by arranging a material having excellent injectability of carriers injected from each electrode in contact with each electrode, carriers can be smoothly injected into the light emitter.

これら積層構造は、陽極として機能する電極に近い方から正孔を注入する機能に優れた層(正孔注入層)、正孔を輸送する機能に優れた層(正孔輸送層)、発光物質が含まれている層(発光層)、電子を輸送する機能に優れた層(電子輸送層)、電子を注入する機能に優れた層(電子注入層)などの各機能層よりなる。なお、これらの層の他に電子と正孔が発光層において効率よく再結合することが出来るようにする為のブロッキング層等、他の機能を有する層が形成されていても良く、また、上記した機能を複数有する層を有していても良い。これら機能層は必ずしも全ての層が発光体中に含まれている必要は無く、また、発光層単層により発光体が形成されていても良い。   These laminated structures have a layer with a function of injecting holes from the side close to the electrode functioning as an anode (hole injection layer), a layer with a function of transporting holes (hole transport layer), and a light emitting material. Are contained in each functional layer, such as a layer containing light (emission layer), a layer excellent in the function of transporting electrons (electron transport layer), and a layer excellent in the function of injecting electrons (electron injection layer). In addition to these layers, layers having other functions such as a blocking layer for allowing electrons and holes to be efficiently recombined in the light emitting layer may be formed. A layer having a plurality of functions may be included. All of these functional layers are not necessarily contained in the light emitter, and the light emitter may be formed of a single light emitting layer.

本発明の発光装置では、発光素子内に第1の発光体101と第2の発光体102の複数の発光体を有する構成となっている。そのため、第1の発光体101と第2の発光体102に含まれる発光物質を発光色の異なった異なる発光物質とすることで、当該発光素子から各々の発光物質の発光色が混合した色の発光を得ることが可能となる。なお、発光体の数は2個に限らず、それ以上であっても良い。その場合、発光体と発光体との間には導電層110を設ける。   In the light-emitting device of the present invention, the light-emitting element has a plurality of light-emitting bodies including the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102. Therefore, the light emitting materials included in the first light emitting body 101 and the second light emitting body 102 are different light emitting materials having different light emission colors, so that the light emission colors of the respective light emitting materials are mixed from the light emitting element. Light emission can be obtained. The number of light emitters is not limited to two and may be more than that. In that case, the conductive layer 110 is provided between the light emitters.

また、第1の発光体101及び第2の発光体102に含まれる発光物質を同じ物質とすることで、当該発光物質を含み発光体が単数でなる他の発光装置と比較して少ない電流密度で同じ輝度を得ることが可能となる。また、同じ電流密度なら約2倍の輝度を得ることができる。   In addition, by using the same light-emitting substance in the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, the current density is lower than that of other light-emitting devices that include the light-emitting substance and have a single light-emitting body. It is possible to obtain the same brightness. In addition, about twice the luminance can be obtained with the same current density.

正孔注入層を形成するのに用いることのできる物質の具体例として、フタロシアニン(略称:HPc)や銅フタロシアニン(CuPc)等のフタロシアニン系の化合物、或いはポリ(エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスルホン酸)水溶液(PEDOT/PSS)等の高分子等が挙げられる。正孔注入層として用いる材料のイオン化ポテンシャルが、正孔注入層に陽極として機能する電極の反対側に接して形成されている機能層のイオン化ポテンシャルよりも相対的に小さくなるような物質を正孔輸送性を有する物質の中から選択することによって、正孔注入層を形成することができる。 Specific examples of substances that can be used to form the hole injection layer include phthalocyanine compounds such as phthalocyanine (abbreviation: H 2 Pc) and copper phthalocyanine (CuPc), or poly (ethylenedioxythiophene) / poly Examples thereof include polymers such as (styrene sulfonic acid) aqueous solution (PEDOT / PSS). A material whose ionization potential of the material used for the hole injection layer is relatively smaller than the ionization potential of the functional layer formed on the hole injection layer in contact with the opposite side of the electrode functioning as an anode. A hole injection layer can be formed by selecting a substance having a transporting property.

正孔輸送層を形成するのに用いることができる物質の具体例としては、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:NPB)、4,4’−ビス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:TPD)、4,4’,4’’−トリス(N,N−ジフェニルアミノ)トリフェニルアミン(略称:TDATA)、4,4’,4’’−トリス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ]トリフェニルアミン(略称:MTDATA)、4,4’−ビス{N−[4−(N,N−ジ−m−トリルアミノ)フェニル]−N−フェニルアミノ}ビフェニル(略称:DNTPD)、1,3,5−トリス[N,N−ジ(m−トリル)アミノ]ベンゼン(略称:m−MTDAB)、4,4’,4’’−トリス(N−カルバゾリル)トリフェニルアミン(略称:TCTA)、フタロシアニン(略称:HPc)、銅フタロシアニン(略称:CuPc)、バナジルフタロシアニン(略称:VOPc)等が挙げられる。また、正孔輸送層は、以上に述べた物質から成る層を二以上組み合わせて形成した多層構造の層であってもよい。 Specific examples of a substance that can be used for forming the hole-transporting layer include 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: NPB), 4,4. '-Bis [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: TPD), 4,4', 4 ''-tris (N, N-diphenylamino) triphenylamine (abbreviation: TDATA) ), 4,4 ′, 4 ″ -tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] triphenylamine (abbreviation: MTDATA), 4,4′-bis {N- [4- (N , N-di-m-tolylamino) phenyl] -N-phenylamino} biphenyl (abbreviation: DNTPD), 1,3,5-tris [N, N-di (m-tolyl) amino] benzene (abbreviation: m- MTDAB), 4,4 ', 4 "-Tris N- carbazolyl) triphenylamine (abbreviation: TCTA), phthalocyanine (abbreviation: H 2 Pc), copper phthalocyanine (abbreviation: CuPc), or vanadyl phthalocyanine (abbreviation: VOPc), and the like. The hole transport layer may be a layer having a multilayer structure formed by combining two or more layers made of the substances described above.

また、正孔輸送層を設けることによって、第1の電極100と発光層との距離を離すことができ、第1の電極100等に含まれている金属に起因して発光が消光することを防ぐこともできる。正孔輸送層は、正孔輸送性の高い物質を用いて形成することが好ましく、特に1×10−6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質を用いて形成することが好ましい。 In addition, by providing the hole transport layer, the distance between the first electrode 100 and the light-emitting layer can be increased, and light emission is quenched due to the metal contained in the first electrode 100 and the like. It can also be prevented. The hole transport layer is preferably formed using a substance having a high hole transport property, and particularly preferably formed using a substance having a hole mobility of 1 × 10 −6 cm 2 / Vs or higher.

発光層として機能する層には大きく分けて2つの態様等がある。一つは発光中心となる発光物質の有するエネルギーギャップよりも大きいエネルギーギャップを有する材料(ホスト材料)からなる層に発光材料を分散して含むホスト−ゲスト型の層と、もう一つは発光材料のみで発光層を構成する層である。前者は濃度消光が起こりにくく、好ましい構成である。発光材料としては、9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(略称:DNA)、2−tert−ブチル−9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(略称:t−BuDNA)、4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル(略称:DPVBi)、クマリン30、クマリン6、クマリン545、クマリン545T、ペリレン、ルブレン、ペリフランテン、2,5,8,11−テトラ(tert−ブチル)ペリレン(略称:TBP)、9,10−ジフェニルアントラセン(略称:DPA)、5,12−ジフェニルテトラセン、4−(ジシアノメチレン)−2−メチル−6−[p−(ジメチルアミノ)スチリル]−4H−ピラン(略称:DCM1)、4−(ジシアノメチレン)−2−メチル−6−[2−(ジュロリジン−9−イル)エテニル]−4H−ピラン(略称:DCM2)、4−(ジシアノメチレン)−2,6−ビス[p−(ジメチルアミノ)スチリル]−4H−ピラン(略称:BisDCM)等が挙げられる。また、ビス[2−(4’,6’−ジフルオロフェニル)ピリジナト−N,C2’)](ピコリナト)イリジウム(略称:FIrpic)、ビス{2−[3’,5’−ビス(トリフルオロメチル)フェニル]ピリジナト−N,C2’)}(ピコリナト)イリジウム(略称:Ir(CFppy)(pic))、トリス(2−フェニルピリジナト−N,C2’)イリジウム(略称:Ir(ppy))、(アセチルアセトナト)ビス(2−フェニルピリジナト−N,C2’)イリジウム(略称:Ir(ppy)(acac))、(アセチルアセトナト)ビス[2−(2’−チエニル)ピリジナト−N,C3’]イリジウム(略称:Ir(thp)(acac))、(アセチルアセトナト)ビス(2−フェニルキノリナト−N,C2’)イリジウム(略称:Ir(pq)(acac))、(アセチルアセトナト)ビス[2−(2’−ベンゾチエニル)ピリジナト−N,C3’]イリジウム(略称:Ir(btp)(acac))などの燐光を放出できる化合物も用いることもできる。また、上記発光材料を分散してなる層を形成する場合に母体となるホスト材料としては、9,10−ジ(2−ナフチル)−2−tert−ブチルアントラセン(略称:t−BuDNA)等のアントラセン誘導体、4,4’−ビス(N−カルバゾリル)ビフェニル(略称:CBP)等のカルバゾール誘導体、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Alq)、トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Almq)、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]−キノリナト)ベリリウム(略称:BeBq)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−4−フェニルフェノラト−アルミニウム(略称:BAlq)、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ピリジナト]亜鉛(略称:Znpp)、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾオキサゾラト]亜鉛(略称:ZnBOX)などの金属錯体等を用いることができる。また、発光物質のみで発光層を構成することのできる材料としては、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Alq3)、9,10−ビス(2−ナフチル)アントラセン(略称:DNA)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−4−フェニルフェノラト−アルミニウム(略称:BAlq)などがある。 The layer functioning as the light emitting layer is roughly divided into two modes. One is a host-guest type layer in which a light-emitting material is dispersed in a layer made of a material (host material) having an energy gap larger than that of the light-emitting substance serving as a light emission center, and the other is a light-emitting material. It is a layer which comprises a light emitting layer only. The former is a preferable structure because concentration quenching hardly occurs. As the light-emitting material, 9,10-di (2-naphthyl) anthracene (abbreviation: DNA), 2-tert-butyl-9,10-di (2-naphthyl) anthracene (abbreviation: t-BuDNA), 4,4 '-Bis (2,2-diphenylvinyl) biphenyl (abbreviation: DPVBi), coumarin 30, coumarin 6, coumarin 545, coumarin 545T, perylene, rubrene, periflanthene, 2,5,8,11-tetra (tert-butyl) Perylene (abbreviation: TBP), 9,10-diphenylanthracene (abbreviation: DPA), 5,12-diphenyltetracene, 4- (dicyanomethylene) -2-methyl-6- [p- (dimethylamino) styryl] -4H -Pyran (abbreviation: DCM1), 4- (dicyanomethylene) -2-methyl-6- [2- (julolidin-9-yl) ) Ethenyl] -4H-pyran (abbreviation: DCM2), 4- (dicyanomethylene) -2,6-bis [p- (dimethylamino) styryl] -4H-pyran (abbreviation: BisDCM), and the like. In addition, bis [2- (4 ′, 6′-difluorophenyl) pyridinato-N, C 2 ′ )] (picolinato) iridium (abbreviation: FIrpic), bis {2- [3 ′, 5′-bis (trifluoro) Methyl) phenyl] pyridinato-N, C2 )} (picolinato) iridium (abbreviation: Ir (CF 3 ppy) 2 (pic)), tris (2-phenylpyridinato-N, C 2 ′ ) iridium (abbreviation) : Ir (ppy) 3 ), (acetylacetonato) bis (2-phenylpyridinato-N, C2 ' ) iridium (abbreviation: Ir (ppy) 2 (acac)), (acetylacetonato) bis [2 - (2'-thienyl) pyridinato -N, C 3 '] iridium (abbreviation: Ir (thp) 2 (acac )), ( acetylacetonato) bis (2-phenylquinolinato--N, C 2') Ili Um (abbreviation: Ir (pq) 2 (acac )), ( acetylacetonato) bis [2- (2'-benzothienyl) pyridinato -N, C 3 '] iridium (abbreviation: Ir (btp) 2 (acac) A compound capable of emitting phosphorescence such as) can also be used. In addition, as a host material for forming a layer in which the light-emitting material is dispersed, 9,10-di (2-naphthyl) -2-tert-butylanthracene (abbreviation: t-BuDNA) or the like is used as a base material. Anthracene derivatives, carbazole derivatives such as 4,4′-bis (N-carbazolyl) biphenyl (abbreviation: CBP), tris (8-quinolinolato) aluminum (abbreviation: Alq 3 ), tris (4-methyl-8-quinolinolato) aluminum (Abbreviation: Almq 3 ), bis (10-hydroxybenzo [h] -quinolinato) beryllium (abbreviation: BeBq 2 ), bis (2-methyl-8-quinolinolato) -4-phenylphenolato-aluminum (abbreviation: BAlq) , bis [2- (2-hydroxyphenyl) pyridinato] zinc (abbreviation: Znpp 2), bis [2- 2-hydroxyphenyl) benzoxazolato] zinc (abbreviation: ZnBOX) can be used and metal complexes such as. In addition, as a material whose light-emitting layer can be formed using only a light-emitting substance, tris (8-quinolinolato) aluminum (abbreviation: Alq3), 9,10-bis (2-naphthyl) anthracene (abbreviation: DNA), bis ( 2-methyl-8-quinolinolato) -4-phenylphenolato-aluminum (abbreviation: BAlq).

電子輸送層を形成するのに用いることができる物質の具体例としては、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Alq)、トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Almq)、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]−キノリナト)ベリリウム(略称:BeBq)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−4−フェニルフェノラト−アルミニウム(略称:BAlq)、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾオキサゾラト]亜鉛(略称:Zn(BOX))、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾチアゾラト]亜鉛(略称:Zn(BTZ))等の他、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール(略称:PBD)、1,3−ビス[5−(p−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール−2−イル]ベンゼン(略称:OXD−7)、3−(4−ビフェニリル)−4−フェニル−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,2,4−トリアゾール(略称:TAZ)、3−(4−ビフェニリル)−4−(4−エチルフェニル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,2,4−トリアゾール(略称:p−EtTAZ))、バソフェナントロリン(略称:BPhen)、バソキュプロイン(略称:BCP)、2,2’,2’’−(1,3,5−ベンゼントリイル)−トリス(1−フェニル−1H−ベンゾイミダゾール)(略称:TPBI)、4,4−ビス(5−メチルベンズオキサゾル−2−イル)スチルベン(略称:BzOs)等が挙げられる。また、電子輸送層は、以上に述べた物質から成る層を二以上組み合わせて形成した多層構造の層であってもよい。 Specific examples of a substance that can be used for forming the electron-transporting layer include tris (8-quinolinolato) aluminum (abbreviation: Alq 3 ), tris (4-methyl-8-quinolinolato) aluminum (abbreviation: Almq 3 ). Bis (10-hydroxybenzo [h] -quinolinato) beryllium (abbreviation: BeBq 2 ), bis (2-methyl-8-quinolinolato) -4-phenylphenolato-aluminum (abbreviation: BAlq), bis [2- ( 2- (hydroxyphenyl) benzoxazolate] zinc (abbreviation: Zn (BOX) 2 ), bis [2- (2-hydroxyphenyl) benzothiazolate] zinc (abbreviation: Zn (BTZ) 2 ), etc. 4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole (abbreviation: PBD), 1 , 3-bis [5- (p-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazol-2-yl] benzene (abbreviation: OXD-7), 3- (4-biphenylyl) -4-phenyl -5- (4-tert-butylphenyl) -1,2,4-triazole (abbreviation: TAZ), 3- (4-biphenylyl) -4- (4-ethylphenyl) -5- (4-tert-butyl) Phenyl) -1,2,4-triazole (abbreviation: p-EtTAZ)), bathophenanthroline (abbreviation: BPhen), bathocuproin (abbreviation: BCP), 2,2 ′, 2 ″-(1,3,5- Benzenetriyl) -tris (1-phenyl-1H-benzimidazole) (abbreviation: TPBI), 4,4-bis (5-methylbenzoxazol-2-yl) stilbene (abbreviation: BzOs), and the like. That. The electron transport layer may be a layer having a multilayer structure formed by combining two or more layers made of the substances described above.

また、電子輸送層を設けることによって、第2の電極103と発光層との距離を離すことができ、第2の電極103に含まれている金属に起因して発光が消光することを防ぐことができる。電子輸送層は、電子輸送性の高い物質を用いて形成することが好ましく、特に1×10−6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質を用いて形成することが好ましい。 In addition, by providing the electron transport layer, the distance between the second electrode 103 and the light emitting layer can be increased, and light emission can be prevented from being quenched due to the metal contained in the second electrode 103. Can do. The electron transport layer is preferably formed using a substance having a high electron transport property, and particularly preferably formed using a substance having an electron mobility of 1 × 10 −6 cm 2 / Vs or higher.

電子注入層を形成するのに用いることができる物質の具体例としては、アルカリ金属またはアルカリ土類金属、アルカリ金属のフッ化物、アルカリ土類金属のフッ化物、アルカリ金属の酸化物、アルカリ土類金属の酸化物等の無機物が挙げられる。また、無機物の他、BPhen、BCP、p−EtTAZ、TAZ、BzOs等の電子輸送層を形成するのに用いることのできる物質も、これらの物質の中から、電子輸送層の形成に用いる物質よりも電子親和力が大きい物質を選択することによって、電子注入層を形成する物質として用いることができる。つまり、電子注入層における電子親和力が電子輸送層における電子親和力よりも相対的に大きくなるような物質を電子輸送性を有する物質の中から選択することによって、電子注入層を形成することもできる。   Specific examples of materials that can be used to form the electron injection layer include alkali metal or alkaline earth metal, alkali metal fluoride, alkaline earth metal fluoride, alkali metal oxide, alkaline earth Examples thereof include inorganic substances such as metal oxides. In addition to inorganic substances, substances that can be used to form an electron transport layer such as BPhen, BCP, p-EtTAZ, TAZ, and BzOs are also more preferable than those used to form an electron transport layer. In addition, by selecting a substance having a high electron affinity, it can be used as a substance for forming an electron injection layer. In other words, the electron injection layer can be formed by selecting a substance having an electron transport property such that the electron affinity in the electron injection layer is relatively larger than the electron affinity in the electron transport layer.

導電層110を形成するのに用いることの出来るのは透光性を有する透明導電膜であり、具体例としては、ITO、ITSO、IZO等の無機導電膜、MoOx、VOx、ZnO等の無機化合物半導体、透光性を有する程度に薄膜化した金属膜、C60等の導電性有機化合物などが挙げられる。 A transparent conductive film having translucency can be used to form the conductive layer 110. Specific examples include inorganic conductive films such as ITO, ITSO, and IZO, and inorganic compounds such as MoOx, VOx, and ZnO. semiconductor, a metal film is thinned so as to be able to transmit light, and a conductive organic compounds such as C 60.

また、導電層110は、正孔を発生する層と電子を発生する層との積層体であっても良い。この積層体は、陰極として機能する層側から正孔を発生する層、電子を発生する層の順に設ける。正孔を発生する層は無機化合物と有機化合物との複合材料でなり、この層において無機化合物は有機化合物に対して電子受容性を示す物質であり、有機化合物は正孔輸送性に優れた物質である。無機化合物としては特に限定されないが、遷移金属酸化物が好ましく、具体的には酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化クロム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化マンガン、酸化レニウムが好適である。有機化合物としては先に正孔輸送層の材料として挙げた材料を用いることができるが、特にその中でも、TDATA、MTDATA、m−MTDAB、TPD、NPB、DNTPD、BBPB、TCTAなどに代表される芳香族アミン化合物は、ホールを発生しやすく、有機化合物として好適な化合物群である。電子を発生する層は電子を発生できる層であれば特に限定はされないが、具体的には、電子輸送性の有機化合物と、その有機化合物に対して電子供与性を示す物質とを有する層を含んでいればよい。電子輸送性の有機化合物としては、先に述べたAlq、Almq、BeBq、BAlq、Zn(BOX)、Zn(BTZ)、BPhen、BCP、PBD、OXD−7、TPBI、TAZ、p−EtTAZなどを用いることができる。また、電子供与性を示す物質としては、リチウム、マグネシウム、カルシウム、バリウム等のアルカリ金属またはアルカリ土類金属、あるいはそれらの合金が挙げられる。また、酸化リチウム、酸化バリウム、窒化リチウム、窒化マグネシウム、窒化カルシウム等のアルカリ金属化合物またはアルカリ土類金属化合物を用いることもできる。また、正孔を発生する層と電子を発生する層との間には、透光性を有する透明導電膜が設けられていても良い。具体例としては、ITO、ITSO、IZO等の無機導電膜、MoOx、VOx、ZnO等の無機化合物半導体、透光性を有する程度に薄膜化した金属膜、C60等の導電性有機化合物などが挙げられる。 The conductive layer 110 may be a stacked body of a layer that generates holes and a layer that generates electrons. This laminated body is provided in the order of a layer generating holes and a layer generating electrons from the layer functioning as a cathode. The layer that generates holes is a composite material of an inorganic compound and an organic compound. In this layer, the inorganic compound is a substance that exhibits an electron accepting property with respect to the organic compound, and the organic compound is a substance that has an excellent hole transporting property. It is. Although it is not particularly limited as an inorganic compound, transition metal oxides are preferable, specifically titanium oxide, zirconium oxide, hafnium oxide, vanadium oxide, niobium oxide, tantalum oxide, chromium oxide, molybdenum oxide, tungsten oxide, manganese oxide, Rhenium oxide is preferred. As the organic compound, the materials mentioned above as the material for the hole transport layer can be used, and among them, fragrances represented by TDATA, MTDATA, m-MTDAB, TPD, NPB, DNTPD, BBPB, TCTA, etc. Group amine compounds are a group of compounds that easily generate holes and are suitable as organic compounds. The layer that generates electrons is not particularly limited as long as it is a layer that can generate electrons. Specifically, a layer having an electron-transporting organic compound and a substance that exhibits an electron-donating property with respect to the organic compound. It only has to be included. Examples of the electron transporting organic compound include Alq 3 , Almq 3 , BeBq 2 , BAlq, Zn (BOX) 2 , Zn (BTZ) 2 , BPhen, BCP, PBD, OXD-7, TPBI, TAZ, p-EtTAZ etc. can be used. In addition, examples of the substance exhibiting an electron donating property include alkali metals or alkaline earth metals such as lithium, magnesium, calcium, and barium, and alloys thereof. Alternatively, an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound such as lithium oxide, barium oxide, lithium nitride, magnesium nitride, or calcium nitride can be used. Further, a light-transmitting transparent conductive film may be provided between the hole generating layer and the electron generating layer. Examples, ITO, ITSO, inorganic conductive film IZO, etc., MoOx, VOx, inorganic compound semiconductor such as ZnO, a metal film is thinned so as to be able to transmit light, conductive organic compounds such as C 60 and Can be mentioned.

なお、導電層110は可視光領域の吸収ができるだけ小さいことが望ましい。ここで、正孔を発生する層において、有機化合物に下記一般式に示したような構造を有する有機材料を用いることによって、光射出側の可視光領域における吸収を低減させることができる。   Note that the conductive layer 110 desirably has as little absorption as possible in the visible light region. Here, in the layer that generates holes, by using an organic material having a structure represented by the following general formula for the organic compound, absorption in the visible light region on the light emission side can be reduced.

Figure 0005078267
ただし、式中R〜R24は、それぞれ同一でも異なっていても良く、水素、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アリールアルキル基のいずれかを表す。
Figure 0005078267
However, in the formula, R 1 to R 24 may be the same or different and each represents hydrogen, an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group, or an arylalkyl group.

Figure 0005078267
ただし、式中Xは、構造式(2−1)〜(2−6)に示す芳香族炭化水素基のいずれかを表し、R〜R20はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、水素、アルキル基、アルコキシ基、アリール基のいずれかを表す。
Figure 0005078267
In the formula, X represents any of the aromatic hydrocarbon groups represented by the structural formulas (2-1) to (2-6), and R 1 to R 20 may be the same or different from each other, hydrogen, It represents any of an alkyl group, an alkoxy group, and an aryl group.

Figure 0005078267
ただし、式中R〜Rはそれぞれ同一でも異なっていても良く、水素、アルキル基、アルコキシ基、アリール基のいずれかを表す。
Figure 0005078267
However, in the formula, R 1 to R 9 may be the same or different and each represents hydrogen, an alkyl group, an alkoxy group, or an aryl group.

また、導電層110は、陰極として機能する層側から順に、正孔を発生する層、透明導電膜、電子を発生する層が積層された積層体であっても良い。   The conductive layer 110 may be a stacked body in which a hole generating layer, a transparent conductive film, and an electron generating layer are stacked in this order from the layer functioning as a cathode.

なお、導電層110は50nm以下の膜厚であると、たとえ可視光領域に吸収を有していたとしてもその影響を小さくすることが出来る為好ましい。   Note that it is preferable that the conductive layer 110 have a thickness of 50 nm or less because the influence can be reduced even if the conductive layer 110 has absorption in the visible light region.

導電層110は画素毎に設けられており、その端部が第1の発光体101及び第2の発光体102に覆われていることから、画素間でのクロストークの発生が抑制され発光装置の表示品質が向上する。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層110が第1の発光体101及び第2の発光体102に覆われていることから、第2の電極103と導電層110が短絡する恐れも無く、第2の電極103と導電層110が導電層110の端部においてショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   Since the conductive layer 110 is provided for each pixel and its end is covered with the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, the occurrence of crosstalk between the pixels is suppressed and the light-emitting device. Display quality is improved. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 110 is covered with the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, there is no possibility that the second electrode 103 and the conductive layer 110 are short-circuited. The initial failure due to the short of the layer 110 at the end of the conductive layer 110 can be eliminated.

図1(B)はアクティブマトリクス型の本発明の発光装置の例を示した模式図である。基板200上に、半導体層201、ゲート絶縁膜、ゲート電極202よりなる薄膜トランジスタが形成され、薄膜トランジスタ上には層間絶縁膜203介し第1の電極205、第1の発光体207、導電層250、第2の発光体208及び第2の電極209よりなる発光素子が形成されている。発光素子の第1の電極205の端部は隔壁206により覆われており、発光素子は第1の電極205が隔壁206から露出した部分に形成される。発光素子は電極204を介して薄膜トランジスタと電気的に接続されており、発光の制御がなされる。   FIG. 1B is a schematic view illustrating an example of an active matrix light-emitting device of the present invention. A thin film transistor including a semiconductor layer 201, a gate insulating film, and a gate electrode 202 is formed over the substrate 200. The first electrode 205, the first light emitter 207, the conductive layer 250, and the first thin film are formed over the thin film transistor through the interlayer insulating film 203. A light emitting element including the second light emitter 208 and the second electrode 209 is formed. An end portion of the first electrode 205 of the light emitting element is covered with a partition wall 206, and the light emitting element is formed in a portion where the first electrode 205 is exposed from the partition wall 206. The light emitting element is electrically connected to the thin film transistor through the electrode 204, and light emission is controlled.

基板200は薄膜トランジスタや発光素子の支持体として用いられ、その材料としてはガラス、石英やプラスチック(ポリイミド、アクリル、ポリエチレンテレフタラート、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ポリエーテルスルホンなど)等を用いることができるが、その他薄膜トランジスタや発光素子の支持体として用いることが出来るものであればこれら以外の材料で形成されていても良い。また、基板は必要に応じてCMP(Chemical Mechanical Polishing)等により研磨されていても良い。   The substrate 200 is used as a support for a thin film transistor or a light emitting element, and as its material, glass, quartz, plastic (polyimide, acrylic, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyacrylate, polyethersulfone, etc.) can be used. In addition, as long as it can be used as a support of a thin film transistor or a light emitting element, it may be formed of a material other than these. Further, the substrate may be polished by CMP (Chemical Mechanical Polishing) or the like as necessary.

基板200と半導体層201との間には下地絶縁膜が単層もしくは多層で設けられていても良い。下地絶縁膜は、基板200中のアルカリ金属やアルカリ土類金属など、半導体膜の特性に悪影響を及ぼすような元素が半導体層中に拡散するのを防ぐ為に設ける。材料としては酸化珪素、窒化珪素、窒素を含む酸化珪素、酸素を含む窒化珪素などを用いることができる。なお、基板からの不純物の拡散が気にならないようであれば下地絶縁層は設ける必要がない。   A base insulating film may be provided as a single layer or a multilayer between the substrate 200 and the semiconductor layer 201. The base insulating film is provided in order to prevent an element such as an alkali metal or an alkaline earth metal in the substrate 200 that adversely affects the characteristics of the semiconductor film from diffusing into the semiconductor layer. As a material, silicon oxide, silicon nitride, silicon oxide containing nitrogen, silicon nitride containing oxygen, or the like can be used. Note that the base insulating layer does not need to be provided if diffusion of impurities from the substrate is not a concern.

薄膜トランジスタは本発明ではトップゲート型(順スタガ型)の薄膜トランジスタの例を示したが、ボトムゲート型(逆スタガ型)など他の形状の薄膜トランジスタでも良く、本発明は発光素子を駆動するトランジスタの種類及び駆動方法によって限定されることはない。   In the present invention, an example of a top gate type (forward stagger type) thin film transistor is shown in the present invention, but a thin film transistor of another shape such as a bottom gate type (reverse stagger type) may be used, and the present invention is a type of transistor for driving a light emitting element. The driving method is not limited.

層間絶縁膜203は、不要な部分において薄膜トランジスタと発光素子が電気的に接触することを防ぐ為に設けられ、単層であっても多層であっても良い。層間絶縁膜203は少なくとも一層が下部の薄膜トランジスタなどにより発生した凹凸を緩和できるような自己平坦性を有する材料で形成することが好ましい。例えば、アクリル、ポリイミド、もしくは珪素と酸素との結合で骨格構造が構成され、置換基として少なくとも水素を含む有機基(例えばアルキル基、アリール基)、フルオロ基、又は少なくとも水素を含む有機基及びフロオロ基を有する材料、いわゆるシロキサンなどの材料を用いることが望ましい。また、その他の材料としては酸化ケイ素、窒化ケイ素、窒化ケイ素を含む酸化ケイ素、酸化ケイ素を含む窒化ケイ素、低誘電率材料等を用いて形成することができる。   The interlayer insulating film 203 is provided to prevent electrical contact between the thin film transistor and the light emitting element in unnecessary portions, and may be a single layer or a multilayer. The interlayer insulating film 203 is preferably formed of a material having self-planarity so that at least one layer can relieve unevenness generated by a lower thin film transistor or the like. For example, acrylic, polyimide, or a skeleton structure composed of a bond of silicon and oxygen, an organic group containing at least hydrogen as a substituent (for example, an alkyl group or an aryl group), a fluoro group, or an organic group containing at least hydrogen and fluoro It is desirable to use a material having a group, such as a so-called siloxane material. As other materials, silicon oxide, silicon nitride, silicon oxide containing silicon nitride, silicon nitride containing silicon oxide, a low dielectric constant material, or the like can be used.

第1の電極205、第1の発光体207、導電層250、第2の発光体208、第2の電極209よりなる発光素子は図1(A)で説明した発光素子と同じ構成を有している。発光素子の第1の電極205は隔壁206によってその端部が覆われており、隔壁206より第1の電極205が露出している部分が当該発光素子の発光領域となる。隔壁206は層間絶縁膜203の材料として挙げた材料と同様の材料を使用することができる。   A light-emitting element including the first electrode 205, the first light-emitting body 207, the conductive layer 250, the second light-emitting body 208, and the second electrode 209 has the same structure as the light-emitting element described in FIG. ing. The edge of the first electrode 205 of the light-emitting element is covered with a partition 206, and a portion where the first electrode 205 is exposed from the partition 206 is a light-emitting region of the light-emitting element. The partition wall 206 can be formed using the same material as the material described for the interlayer insulating film 203.

発光素子の第1の電極205と薄膜トランジスタとを電気的に接続する電極204はアルミニウム、銅、アルミニウムと炭素とニッケルの合金、アルミニウムと炭素とモリブデンの合金等の単層や多層で形成する。多層構造の場合例えば、薄膜トランジスタ側からモリブデン、アルミニウム、モリブデンやチタン、アルミニウム、チタンもしくはチタン、窒化チタン、アルミニウム、チタンといった積層構造等が考えられる。   The electrode 204 that electrically connects the first electrode 205 of the light-emitting element and the thin film transistor is formed of a single layer or a multilayer of aluminum, copper, an alloy of aluminum, carbon, nickel, an alloy of aluminum, carbon, and molybdenum. In the case of a multilayer structure, for example, a laminated structure such as molybdenum, aluminum, molybdenum, titanium, aluminum, titanium or titanium, titanium nitride, aluminum, and titanium from the thin film transistor side can be considered.

図1(B)に示したような本発明の発光装置は発光素子における導電層250が画素毎に設けられており、その端部が第1の発光体207及び第2の発光体208に覆われていることから、画素間でのクロストークの発生が抑制され発光装置の表示品質が向上した発光装置とすることができる。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層250が第1の発光体207及び第2の発光体208に覆われていることから、第2の電極209と導電層250が導電層250の端部において短絡する恐れも無く、第2の電極209と導電層250がショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   In the light-emitting device of the present invention as shown in FIG. 1B, a conductive layer 250 in the light-emitting element is provided for each pixel, and an end portion of the light-emitting device covers the first light-emitting body 207 and the second light-emitting body 208. Therefore, it is possible to obtain a light emitting device in which occurrence of crosstalk between pixels is suppressed and display quality of the light emitting device is improved. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 250 is covered with the first light emitter 207 and the second light emitter 208, there is no possibility that the second electrode 209 and the conductive layer 250 are short-circuited at the end portion of the conductive layer 250. An initial failure due to a short circuit between the second electrode 209 and the conductive layer 250 can be eliminated.

また、導電層250の端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成するとなお良い。本発明の発光装置に用いられるような発光素子は基板面方向から見て導電層250と第1の発光体が接して形成された領域のみから所望の発光が得られ、それ以外の領域は発光自体が得られないか、その輝度が著しく低い発光しか得られない。または所望の色彩の発光を得ることが出来ない。そのため導電層250を発光領域と一致するように形成しようとすると導電層250を形成する際、形成領域が僅かにズレただけで発光領域が減少したり表示品質が悪化したりなどの不都合を引き起こしてしまう。しかし、導電層250の端部を発光領域の端部よりも外側に形成することによってたとえ導電層250が多少ズレて形成されてしまったとしても、表示品質の劣化を招くことを低減することができる。これはマスクアラインメントを非常にシビアに行わなければいけないアクティブマトリクス型発光装置に適用すると特に好適であり、マスクアラインメントのズレなどによる表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   Further, it is more preferable that the end portion of the conductive layer 250 be formed outside the end portion of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. A light-emitting element used in the light-emitting device of the present invention can obtain desired light emission only from a region where the conductive layer 250 and the first light-emitting body are in contact with each other when viewed from the substrate surface direction, and the other regions emit light. The light itself cannot be obtained, or only light emission whose luminance is extremely low can be obtained. Alternatively, it is not possible to obtain light emission of a desired color. Therefore, if the conductive layer 250 is formed so as to coincide with the light emitting region, when the conductive layer 250 is formed, the light emitting region is reduced or the display quality is deteriorated when the forming region is slightly shifted. End up. However, by forming the end portion of the conductive layer 250 outside the end portion of the light emitting region, even if the conductive layer 250 is formed slightly deviated, the deterioration of display quality can be reduced. it can. This is particularly suitable when applied to an active matrix light-emitting device in which mask alignment must be performed very severely, and it is possible to suppress deterioration in display quality and throughput due to misalignment of mask alignment.

図1(C)はパッシブマトリクス型の本発明の発光装置の例を示した模式図であり、基板300上に、第1の電極301、第1の発光体303、導電層350、第2の発光体304及び第2の電極305よりなる発光素子が形成されている。発光素子は第1の電極301を同じとする他の発光素子と隔壁302によって分離されている。基板300、第1の電極301、第1の発光体303、導電層350、第2の発光体304、第2の電極305及び隔壁302はそれぞれ図1(B)における基板200、第1の電極205、第1の発光体207、導電層250、第2の発光体208、第2の電極209及び隔壁206に相当し、同様の材料を用いることができる。   FIG. 1C is a schematic diagram illustrating an example of a passive matrix light-emitting device of the present invention. A first electrode 301, a first light-emitting body 303, a conductive layer 350, and a second layer are formed over a substrate 300. A light emitting element including the light emitter 304 and the second electrode 305 is formed. The light-emitting element is separated from other light-emitting elements having the same first electrode 301 by a partition wall 302. The substrate 300, the first electrode 301, the first light emitter 303, the conductive layer 350, the second light emitter 304, the second electrode 305, and the partition wall 302 are the substrate 200, the first electrode in FIG. 205, the first light-emitting body 207, the conductive layer 250, the second light-emitting body 208, the second electrode 209, and the partition wall 206, and similar materials can be used.

図1(C)に示したような本発明の発光装置は、発光素子における導電層350が画素毎に設けられており、当該導電層350の端部が第1の発光体303及び第2の発光体304に覆われていることから、画素間でのクロストークを抑制することができる。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層350が第1の発光体303及び第2の発光体304に覆われていることから、第2の電極305と導電層350が導電層350の端部において短絡する恐れも無く、第2の電極305と導電層350がショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   In the light-emitting device of the present invention as illustrated in FIG. 1C, the conductive layer 350 in the light-emitting element is provided for each pixel, and the end portions of the conductive layer 350 are the first light-emitting body 303 and the second light-emitting element. Since it is covered with the light emitter 304, crosstalk between pixels can be suppressed. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 350 is covered with the first light-emitting body 303 and the second light-emitting body 304, there is no possibility that the second electrode 305 and the conductive layer 350 are short-circuited at the end portion of the conductive layer 350. An initial failure due to a short circuit between the second electrode 305 and the conductive layer 350 can be eliminated.

また、導電層350の端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成するとなお良い。本発明の発光装置に用いられるような発光素子は基板面方向から見て導電層350と第1の発光体303が接して形成された領域のみから所望の発光が得られ、それ以外の領域は発光自体が得られないか、その輝度が著しく低い発光しか得られない。または所望の色彩の発光を得ることが出来ない。そのため導電層350を発光領域と一致するように形成しようとすると導電層350を形成する際、形成領域が僅かにズレただけで発光領域が減少したり表示品質が悪化したりなどの不都合を引き起こしてしまう。しかし、導電層350の端部を発光領域の端部よりも外側に形成することによって、たとえ導電層350が多少ズレて形成されてしまったとしても、表示品質の劣化を招くことを低減することができる。これはマスクアラインメントを非常にシビアに行わなければいけない高精細なパッシブマトリクス型の発光装置に適用すると特に好適であり、マスクアラインメントのズレなどによる表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   Further, it is more preferable that the end portion of the conductive layer 350 be formed outside the end portion of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. A light-emitting element used in the light-emitting device of the present invention can obtain desired light emission only from a region where the conductive layer 350 and the first light-emitting body 303 are formed in contact with each other when viewed from the substrate surface direction. Light emission itself cannot be obtained, or only light emission with extremely low luminance can be obtained. Alternatively, it is not possible to obtain light emission of a desired color. Therefore, if the conductive layer 350 is formed so as to coincide with the light emitting region, when the conductive layer 350 is formed, the light emitting region is reduced or the display quality is deteriorated when the forming region is slightly shifted. End up. However, by forming the end portion of the conductive layer 350 outside the end portion of the light emitting region, even if the conductive layer 350 is formed slightly deviated, the deterioration of display quality is reduced. Can do. This is particularly suitable when applied to a high-definition passive matrix light-emitting device in which mask alignment must be performed very severely, and it is possible to suppress degradation in display quality and throughput due to misalignment of mask alignment. .

(実施の形態2)
図2は本発明の発光装置の模式図である。図2(A)は発光装置内の1発光素子を表しており、第1の電極100、第1の発光体101、第2の発光体102、第2の電極103、導電層110及び導電層111を含む。図2(A)において、第1の電極100、第1の発光体101、第2の発光体102、第2の電極103及び導電層110は図1(A)と全く同じ構成であるので図1(A)の説明に準ずる。導電層111は画素毎に分離されており、その構成、材料は導電層110と同じ材料を用いることができる。また、導電層111は実施の形態1における導電層110の構成の説明において説明した正孔を発生する層、電子を発生する層のみで形成しても良い。
(Embodiment 2)
FIG. 2 is a schematic view of the light emitting device of the present invention. FIG. 2A illustrates one light-emitting element in the light-emitting device, which includes a first electrode 100, a first light-emitting body 101, a second light-emitting body 102, a second electrode 103, a conductive layer 110, and a conductive layer. 111 is included. 2A, the first electrode 100, the first light-emitting body 101, the second light-emitting body 102, the second electrode 103, and the conductive layer 110 are exactly the same as those in FIG. 1A. 1 (A) is applied. The conductive layer 111 is separated for each pixel, and the same material as that of the conductive layer 110 can be used for the configuration and material thereof. Alternatively, the conductive layer 111 may be formed using only a layer that generates holes and a layer that generates electrons, which are described in the description of the structure of the conductive layer 110 in Embodiment 1.

本発明の発光装置では、発光素子内に第1の発光体101と第2の発光体102の複数の発光体を有する構成となっている。そのため、第1の発光体101と第2の発光体102に含まれる発光物質を発光色の異なった異なる発光物質とすることで、当該発光素子から各々の発光物質の発光色が混合した色の発光を得ることが可能となる。なお、発光体の数は2個に限らず、それ以上であっても良い。その場合、発光体と発光体との間には導電層110を設ける。   In the light-emitting device of the present invention, the light-emitting element has a plurality of light-emitting bodies including the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102. Therefore, the light emitting materials included in the first light emitting body 101 and the second light emitting body 102 are different light emitting materials having different light emission colors, so that the light emission colors of the respective light emitting materials are mixed from the light emitting element. Light emission can be obtained. The number of light emitters is not limited to two and may be more than that. In that case, the conductive layer 110 is provided between the light emitters.

また、第1の発光体101及び第2の発光体102に含まれる発光物質を同じ物質とすることで、当該発光物質を含み発光体が単数でなる他の発光装置と比較して少ない電流密度で同じ輝度を得ることが可能となる。また、電流密度を同じとすれば約2倍の輝度を得ることが可能となる。   In addition, by using the same light-emitting substance in the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, the current density is lower than that of other light-emitting devices that include the light-emitting substance and have a single light-emitting body. It is possible to obtain the same brightness. If the current density is the same, it is possible to obtain about twice the luminance.

また、導電層111はその膜厚が大きくなっても、発光体と比較して抵抗が小さいことから発光素子の駆動電圧の上昇が小さい。そのため導電層111を適当な膜厚で設けることによって、発光体から発した発光が第1の電極100に達するまでの光路長を調整することが可能となる。第1の電極100までの光路長を調整することができることから、第1の電極100の界面で起こった反射光を利用して、マイクロキャビティー効果により発光の色純度や視野角依存性を制御するなどの光学設計が出来るようになり、より表示品質を向上させることができるようになる。さらに導電層111は厚膜化が可能であることから、第1の電極100表面に何らかの原因で凹凸が発生していたり、第1の電極上に異物が存在していたりしても、凹凸を緩和したり異物を覆ったりすることができる。これにより、第1の電極100上の凹凸や異物が原因で引き起こされる不良(ショートなど)を低減させることができるようになる。   In addition, even when the conductive layer 111 has a large thickness, the resistance of the conductive layer 111 is smaller than that of the light emitter, and thus the drive voltage of the light emitting element is not increased. Therefore, by providing the conductive layer 111 with an appropriate film thickness, it is possible to adjust the optical path length until light emitted from the light emitter reaches the first electrode 100. Since the optical path length to the first electrode 100 can be adjusted, the color purity and viewing angle dependency of light emission are controlled by the microcavity effect using the reflected light generated at the interface of the first electrode 100. It becomes possible to perform optical design such as, and display quality can be further improved. Further, since the conductive layer 111 can be made thicker, even if irregularities are generated on the surface of the first electrode 100 for some reason or foreign matters are present on the first electrode, the irregularities are not generated. Can ease or cover foreign objects. As a result, defects (such as a short circuit) caused by unevenness or foreign matter on the first electrode 100 can be reduced.

導電層110が画素毎に設けられており、その端部が第1の発光体101と第2の発光体102に覆われていることから、画素間でのクロストークの発生が抑制され発光装置の表示品質が向上する。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層110が第1の発光体101及び第2の発光体102に覆われていることから、第2の電極103と導電層110が導電層110の端部において短絡する恐れも無く、第2の電極103と導電層110がショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   Since the conductive layer 110 is provided for each pixel and the end thereof is covered with the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, occurrence of crosstalk between the pixels is suppressed and the light-emitting device. Display quality is improved. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 110 is covered with the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, there is no possibility that the second electrode 103 and the conductive layer 110 are short-circuited at the end portion of the conductive layer 110. Initial defects due to short-circuiting between the second electrode 103 and the conductive layer 110 can be eliminated.

図2(B)はアクティブマトリクス型の本発明の発光装置の例を示した模式図である。基板200上に、半導体層201、ゲート絶縁膜、ゲート電極202よりなる薄膜トランジスタが形成され、薄膜トランジスタ上には層間絶縁膜203介し第1の電極205、導電層251、第1の発光体207、導電層250、第2の発光体208及び第2の電極209よりなる発光素子が形成されている。発光素子の第1の電極205の端部は隔壁206により覆われており、発光素子は第1の電極205が隔壁206から露出した部分に形成される。発光素子は電極204を介して薄膜トランジスタと電気的に接続されており、発光の制御がなされる。図2(B)に示した発光装置において導電層251以外の構成は図1(B)と同じ構成であるので図1(B)の説明に準ずる。導電層251は画素毎に分離されており、導電層251の構成、材料は導電層250と同じ材料を用いることができる。また、導電層251は実施の形態1における導電層110の構成の説明において説明した、正孔を発生する層、電子を発生する層のみで形成しても良い。   FIG. 2B is a schematic view illustrating an example of an active matrix light-emitting device of the present invention. A thin film transistor including a semiconductor layer 201, a gate insulating film, and a gate electrode 202 is formed over a substrate 200. A first electrode 205, a conductive layer 251, a first light emitter 207, and a conductive film are formed over the thin film transistor through an interlayer insulating film 203. A light-emitting element including the layer 250, the second light emitter 208, and the second electrode 209 is formed. An end portion of the first electrode 205 of the light emitting element is covered with a partition wall 206, and the light emitting element is formed in a portion where the first electrode 205 is exposed from the partition wall 206. The light emitting element is electrically connected to the thin film transistor through the electrode 204, and light emission is controlled. In the light-emitting device illustrated in FIG. 2B, the structure other than the conductive layer 251 is the same as that in FIG. 1B and thus follows the description of FIG. The conductive layer 251 is separated for each pixel, and the structure and material of the conductive layer 251 can be the same material as that of the conductive layer 250. Alternatively, the conductive layer 251 may be formed using only a layer that generates holes and a layer that generates electrons, which are described in the description of the structure of the conductive layer 110 in Embodiment 1.

また、導電層251はその膜厚が大きくなっても、発光体と比較して抵抗が小さいことから発光素子の駆動電圧の上昇が小さい。そのため導電層251を適当な膜厚で設けることによって、発光体から発した発光が第1の電極205に達するまでの光路長を調整することが可能となる。第1の電極205までの光路長を調整することができることから、第1の電極205の界面で起こった反射光を利用して、干渉効果により発光の色純度や視野角依存性を制御するなどの光学設計が出来るようになり、より表示品質を向上させることができるようになる。さらに導電層251は厚膜化が可能であることから、第1の電極205表面に何らかの原因で凹凸が発生していたり、第1の電極205上に異物が存在していたりしても、凹凸を緩和したり異物を覆ったりすることができる。これにより、第1の電極205上の凹凸や異物が原因で引き起こされる不良(ショートなど)を低減させることができるようになる。   Further, even when the conductive layer 251 has a large film thickness, the resistance of the conductive layer 251 is smaller than that of the light emitter, and thus the drive voltage of the light emitting element is not increased. Therefore, by providing the conductive layer 251 with an appropriate thickness, it is possible to adjust the optical path length until light emitted from the light emitter reaches the first electrode 205. Since the optical path length to the first electrode 205 can be adjusted, the reflected light generated at the interface of the first electrode 205 is used to control the color purity and viewing angle dependency of light emission by the interference effect. The optical design can be performed, and the display quality can be further improved. Further, since the conductive layer 251 can be thickened, unevenness is generated on the surface of the first electrode 205 for some reason or foreign matter is present on the first electrode 205. Can be eased and foreign substances can be covered. As a result, defects (such as a short circuit) caused by unevenness or foreign matter on the first electrode 205 can be reduced.

図2(B)に示したような本発明の発光装置は発光素子における導電層250が画素毎に設けられており、その端部が第1の発光体207と第2の発光体208に覆われていることから、画素間でのクロストークの発生が抑制され発光装置の表示品質が向上する。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層250が第1の発光体207及び第2の発光体208に覆われていることから、第2の電極209と導電層250が導電層250の端部において短絡する恐れも無く、第2の電極209と導電層250がショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   In the light-emitting device of the present invention as illustrated in FIG. 2B, the conductive layer 250 in the light-emitting element is provided for each pixel, and the end portion covers the first light-emitting body 207 and the second light-emitting body 208. Therefore, the occurrence of crosstalk between pixels is suppressed, and the display quality of the light emitting device is improved. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 250 is covered with the first light emitter 207 and the second light emitter 208, there is no possibility that the second electrode 209 and the conductive layer 250 are short-circuited at the end portion of the conductive layer 250. An initial failure due to a short circuit between the second electrode 209 and the conductive layer 250 can be eliminated.

また、導電層250の端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成するとなお良い。本発明の発光装置に用いられるような発光素子は基板面方向から見て第1の電極205と導電層251が接して形成された領域のみから所望の発光が得られ、それ以外の領域は発光自体が得られないか、その輝度が著しく低い発光しか得られない。または所望の色彩の発光を得ることが出来ない。そのため導電層250を発光領域と一致するように形成しようとすると導電層250を形成する際、形成領域が僅かにズレただけで発光領域が減少したり表示品質が悪化したりなどの不都合を引き起こしてしまう。しかし、導電層250の端部を発光領域の端部よりも外側に形成することによってたとえ導電層250が多少ズレて形成されてしまったとしても、表示品質の劣化を招くことを低減することができる。これはマスクアラインメントを非常にシビアに行わなければいけないアクティブマトリクス型発光装置や高精細なパッシブマトリクス型の発光装置に適用すると特に好適であり、マスクアラインメントのズレなどによる表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   Further, it is more preferable that the end portion of the conductive layer 250 be formed outside the end portion of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. A light-emitting element used in the light-emitting device of the present invention can obtain desired light emission only from a region where the first electrode 205 and the conductive layer 251 are in contact with each other when viewed from the substrate surface direction, and other regions emit light. The light itself cannot be obtained, or only light emission whose luminance is extremely low can be obtained. Alternatively, it is not possible to obtain light emission of a desired color. Therefore, if the conductive layer 250 is formed so as to coincide with the light emitting region, when the conductive layer 250 is formed, the light emitting region is reduced or the display quality is deteriorated when the forming region is slightly shifted. End up. However, by forming the end portion of the conductive layer 250 outside the end portion of the light emitting region, even if the conductive layer 250 is formed slightly deviated, the deterioration of display quality can be reduced. it can. This is particularly suitable for application to active matrix light-emitting devices and high-definition passive matrix light-emitting devices that require very severe mask alignment, resulting in poor display quality and low throughput due to misalignment of the mask alignment. Can be suppressed.

また、導電層251もその端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成すると良い。これにより、導電層251が多少ズレて形成されてしまったとしても導電層251が発光領域を覆ったままでいられるため、表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   The conductive layer 251 is also preferably formed so that the end thereof is positioned outside the end of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. As a result, even if the conductive layer 251 is formed slightly deviated, the conductive layer 251 can remain covering the light emitting region, so that display quality and throughput can be prevented from being lowered.

図2(C)はパッシブマトリクス型の本発明の発光装置の例を示した模式図であり、基板300上に、第1の電極301、導電層351、第1の発光体303、導電層350、第2の発光体304及び第2の電極305よりなる発光素子が形成されている。発光素子は他の第1の電極301を同じとする他の発光素子と隔壁302によって分離されている。図2(C)に示した発光装置において導電層351以外の構成は図1(C)と同じ構成であるので図1(C)の説明に準ずる。導電層351は画素毎に分離されており導電層351の構成、材料は導電層350と同じ材料を用いることができる。また、導電層351は実施の形態1における導電層110の構成の説明において説明した、正孔を発生する層、電子を発生する層のみで形成しても良い。   FIG. 2C is a schematic diagram illustrating an example of a passive matrix light-emitting device of the present invention. A first electrode 301, a conductive layer 351, a first light-emitting body 303, and a conductive layer 350 are formed over a substrate 300. A light emitting element including the second light emitter 304 and the second electrode 305 is formed. The light-emitting element is separated from another light-emitting element having the same first electrode 301 by a partition wall 302. In the light-emitting device illustrated in FIG. 2C, the structure other than the conductive layer 351 is the same as that in FIG. 1C and thus follows the description of FIG. The conductive layer 351 is separated for each pixel, and the structure and material of the conductive layer 351 can be the same material as that of the conductive layer 350. Alternatively, the conductive layer 351 may be formed using only a layer that generates holes and a layer that generates electrons, which are described in the description of the structure of the conductive layer 110 in Embodiment 1.

図2(C)に示したような本発明の発光装置は発光素子における導電層350が画素毎に設けられており、その端部が第1の発光体303と第2の発光体304に覆われていることから、画素間でのクロストークの発生が抑制され発光装置の表示品質が向上する。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層350が第1の発光体303及び第2の発光体304に覆われていることから、第2の電極305と導電層350が導電層350の端部において短絡する恐れも無く、第2の電極305と導電層350がショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   In the light-emitting device of the present invention as illustrated in FIG. 2C, the conductive layer 350 in the light-emitting element is provided for each pixel, and an end portion of the light-emitting device covers the first light-emitting body 303 and the second light-emitting body 304. Therefore, the occurrence of crosstalk between pixels is suppressed, and the display quality of the light emitting device is improved. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 350 is covered with the first light-emitting body 303 and the second light-emitting body 304, there is no possibility that the second electrode 305 and the conductive layer 350 are short-circuited at the end portion of the conductive layer 350. An initial failure due to a short circuit between the second electrode 305 and the conductive layer 350 can be eliminated.

また、導電層350の端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成するとなお良い。本発明の発光装置に用いられるような発光素子は基板面方向から見て導電層351が第1の電極301と接して形成された領域のみから所望の発光が得られ、それ以外の領域は発光自体が得られないか、その輝度が著しく低い発光しか得られない。または所望の色彩の発光を得ることが出来ない。そのため導電層350を発光領域と一致するように形成しようとすると導電層350を形成する際、形成領域が僅かにズレただけで発光領域が減少したり表示品質が悪化したりなどの不都合を引き起こしてしまう。しかし、導電層350の端部を発光領域の端部よりも外側に形成することによってたとえ導電層350が多少ズレて形成されてしまったとしても、表示品質の劣化を招くことを低減することができる。これはマスクアラインメントを非常にシビアに行わなければいけないアクティブマトリクス型発光装置や高精細なパッシブマトリクス型の発光装置に適用すると特に好適であり、マスクアラインメントのズレなどによる表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   Further, it is more preferable that the end portion of the conductive layer 350 be formed outside the end portion of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. In a light-emitting element used in the light-emitting device of the present invention, desired light emission can be obtained only from a region where the conductive layer 351 is in contact with the first electrode 301 when viewed from the substrate surface direction, and other regions emit light. The light itself cannot be obtained, or only light emission whose luminance is extremely low can be obtained. Alternatively, it is not possible to obtain light emission of a desired color. Therefore, if the conductive layer 350 is formed so as to coincide with the light emitting region, when the conductive layer 350 is formed, the light emitting region is reduced or the display quality is deteriorated when the forming region is slightly shifted. End up. However, by forming the end portion of the conductive layer 350 outside the end portion of the light emitting region, even if the conductive layer 350 is formed slightly deviated, the deterioration of display quality can be reduced. it can. This is particularly suitable for application to active matrix light-emitting devices and high-definition passive matrix light-emitting devices that require very severe mask alignment, resulting in poor display quality and low throughput due to misalignment of the mask alignment. Can be suppressed.

また、導電層351もその端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成すると良い。これにより、導電層351が多少ズレて形成されてしまったとしても導電層251が発光領域を覆ったままでいられるため、表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   In addition, the conductive layer 351 is preferably formed so that the end portion thereof is located outside the end portion of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. As a result, even if the conductive layer 351 is formed slightly deviated, the conductive layer 251 can remain covering the light emitting region, so that display quality and throughput can be prevented from being lowered.

(実施の形態3)
図3は本発明の発光装置の模式図である。図3(A)は発光装置内の1発光素子を表しており、第1の電極100、第1の発光体101、第2の発光体102、第2の電極103、導電層110及び導電層112を含む。図3(A)において、第1の電極100、第1の発光体101、第2の発光体102、第2の電極103及び導電層110は図1(A)と全く同じ構成であるので図1(A)の説明に準ずる。導電層112は第2の発光体102と第2の電極103との間に設けられ、その端部は第2の発光体102と第2の電極103に覆われており、画素毎に分離されている。導電層112の構成、材料は導電層110と同じ材料を用いることができる。また、導電層112は実施の形態1における導電層110の構成の説明において説明した正孔を発生する層、電子を発生する層のみで形成しても良い。
(Embodiment 3)
FIG. 3 is a schematic view of the light emitting device of the present invention. FIG. 3A illustrates one light-emitting element in the light-emitting device, which includes a first electrode 100, a first light-emitting body 101, a second light-emitting body 102, a second electrode 103, a conductive layer 110, and a conductive layer. 112 is included. 3A, the first electrode 100, the first light-emitting body 101, the second light-emitting body 102, the second electrode 103, and the conductive layer 110 have the same structure as that in FIG. 1A. 1 (A) is applied. The conductive layer 112 is provided between the second light emitter 102 and the second electrode 103, and an end portion thereof is covered with the second light emitter 102 and the second electrode 103, and is separated for each pixel. ing. The structure and material of the conductive layer 112 can be the same material as that of the conductive layer 110. Alternatively, the conductive layer 112 may be formed using only the layer that generates holes and the layer that generates electrons described in the description of the structure of the conductive layer 110 in Embodiment 1.

本発明の発光装置では、発光素子内に第1の発光体101と第2の発光体102の複数の発光体を有する構成となっている。そのため、第1の発光体101と第2の発光体102に含まれる発光物質を発光色の異なった異なる発光物質とすることで、当該発光素子から各々の発光物質の発光色が混合した色の発光を得ることが可能となる。なお、発光体の数は2層に限らず、それ以上であっても良い。その場合、発光体と発光体との間には導電層110を設ける。   In the light-emitting device of the present invention, the light-emitting element has a plurality of light-emitting bodies including the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102. Therefore, the light emitting materials included in the first light emitting body 101 and the second light emitting body 102 are different light emitting materials having different light emission colors, so that the light emission colors of the respective light emitting materials are mixed from the light emitting element. Light emission can be obtained. Note that the number of light emitters is not limited to two, and may be more. In that case, the conductive layer 110 is provided between the light emitters.

また、第1の発光体101及び第2の発光体102に含まれる発光物質を同じ物質とすることで、当該発光物質を含み発光体が単数でなる他の発光装置と比較して少ない電流密度で同じ輝度を得ることが可能となる。   In addition, by using the same light-emitting substance in the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, the current density is lower than that of other light-emitting devices that include the light-emitting substance and have a single light-emitting body. It is possible to obtain the same brightness.

また、導電層112はその膜厚が大きくなっても、発光体と比較して抵抗が小さいことから発光素子の駆動電圧の上昇が小さい。そのため導電層112を適当な膜厚で設けることによって、発光体から発した発光が第2の電極103に達するまでの光路長を調整することが可能となる。第2の電極103までの光路長を調整することができることから、第2の電極103の界面で起こった反射光を利用して、干渉効果により発光の色純度や視野角依存性を制御するなどの光学設計が出来るようになり、より表示品質を向上させることができるようになる。   Further, even when the conductive layer 112 has a large thickness, the resistance of the conductive layer 112 is smaller than that of the light emitter, so that the drive voltage of the light emitting element is not increased. Therefore, by providing the conductive layer 112 with an appropriate film thickness, it is possible to adjust the optical path length until the light emitted from the light emitter reaches the second electrode 103. Since the optical path length to the second electrode 103 can be adjusted, the reflected light generated at the interface of the second electrode 103 is used to control the color purity and viewing angle dependency of light emission by the interference effect. The optical design can be performed, and the display quality can be further improved.

導電層110が画素毎に設けられており、その端部が第1の発光体101と第2の発光体102に覆われていることから、画素間でのクロストークの発生が抑制され発光装置の表示品質が向上する。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層110が第1の発光体101及び第2の発光体102に覆われていることから、第2の電極103と導電層110が導電層110の端部において短絡する恐れも無く、第2の電極103と導電層110がショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   Since the conductive layer 110 is provided for each pixel and the end thereof is covered with the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, occurrence of crosstalk between the pixels is suppressed and the light-emitting device. Display quality is improved. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 110 is covered with the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, there is no possibility that the second electrode 103 and the conductive layer 110 are short-circuited at the end portion of the conductive layer 110. Initial defects due to short-circuiting between the second electrode 103 and the conductive layer 110 can be eliminated.

図3(B)はアクティブマトリクス型の本発明の発光装置の例を示した模式図である。基板200上に、半導体層201、ゲート絶縁膜、ゲート電極202よりなる薄膜トランジスタが形成され、薄膜トランジスタ上には層間絶縁膜203介し第1の電極205、第1の発光体207、導電層250、第2の発光体208、導電層252及び第2の電極209よりなる発光素子が形成されている。発光素子の第1の電極205の端部は隔壁206により覆われており、発光素子は第1の電極205が隔壁206から露出した部分に形成される。発光素子は電極204を介して薄膜トランジスタと電気的に接続されており、発光の制御がなされる。図3(B)に示した発光装置において導電層252以外の構成は図1(B)と同じ構成であるので図1(B)の説明に準ずる。導電層252は第2の発光体208と第2の電極209との間に設けられ、その端部は第2の発光体208と第2の電極209に覆われており、画素毎に分離されている。導電層252の構成、材料は導電層250と同じ材料を用いることができる。また、導電層252は実施の形態1における導電層110の構成の説明において説明した、正孔を発生する層、電子を発生する層のみで形成しても良い。   FIG. 3B is a schematic view illustrating an example of an active matrix light-emitting device of the present invention. A thin film transistor including a semiconductor layer 201, a gate insulating film, and a gate electrode 202 is formed over the substrate 200. The first electrode 205, the first light emitter 207, the conductive layer 250, and the first thin film are formed over the thin film transistor through the interlayer insulating film 203. A light emitting element including the second light emitter 208, the conductive layer 252, and the second electrode 209 is formed. An end portion of the first electrode 205 of the light emitting element is covered with a partition wall 206, and the light emitting element is formed in a portion where the first electrode 205 is exposed from the partition wall 206. The light emitting element is electrically connected to the thin film transistor through the electrode 204, and light emission is controlled. In the light-emitting device illustrated in FIG. 3B, the structure other than the conductive layer 252 is the same as that in FIG. 1B and thus follows the description of FIG. The conductive layer 252 is provided between the second light emitter 208 and the second electrode 209, and an end portion of the conductive layer 252 is covered with the second light emitter 208 and the second electrode 209 and is separated for each pixel. ing. The structure and material of the conductive layer 252 can be the same material as that of the conductive layer 250. Alternatively, the conductive layer 252 may be formed using only a layer that generates holes and a layer that generates electrons, which are described in the description of the structure of the conductive layer 110 in Embodiment 1.

また、導電層252はその膜厚が大きくなっても、発光体と比較して抵抗が小さいことから発光素子の駆動電圧の上昇が小さい。そのため導電層252を適当な膜厚で設けることによって、発光体から発した発光が第2の電極209に達するまでの光路長を調整することが可能となる。第2の電極209までの光路長を調整することができることから、第2の電極209の界面で起こった反射光を利用して、干渉効果により発光の色純度や視野角依存性を制御するなどの光学設計が出来るようになり、より表示品質を向上させることができるようになる。   Further, even when the thickness of the conductive layer 252 is increased, the resistance of the conductive layer 252 is smaller than that of the light emitter, so that the drive voltage of the light emitting element is not increased. Therefore, by providing the conductive layer 252 with an appropriate thickness, the optical path length until light emitted from the light emitter reaches the second electrode 209 can be adjusted. Since the optical path length to the second electrode 209 can be adjusted, the reflected light generated at the interface of the second electrode 209 is used to control the color purity and viewing angle dependency of light emission by the interference effect. The optical design can be performed, and the display quality can be further improved.

図3(B)に示したような本発明の発光装置は発光素子における導電層250が画素毎に設けられており、その端部が第1の発光体207と第2の発光体208に覆われていることから、画素間でのクロストークの発生が抑制され発光装置の表示品質が向上する。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層250が第1の発光体207及び第2の発光体208に覆われていることから、第2の電極209と導電層250が導電層250の端部において短絡する恐れも無く、第2の電極209と導電層250がショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   In the light-emitting device of the present invention as illustrated in FIG. 3B, the conductive layer 250 in the light-emitting element is provided for each pixel, and the end portion covers the first light-emitting body 207 and the second light-emitting body 208. Therefore, the occurrence of crosstalk between pixels is suppressed, and the display quality of the light emitting device is improved. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 250 is covered with the first light emitter 207 and the second light emitter 208, there is no possibility that the second electrode 209 and the conductive layer 250 are short-circuited at the end portion of the conductive layer 250. An initial failure due to a short circuit between the second electrode 209 and the conductive layer 250 can be eliminated.

また、導電層250の端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成するとなお良い。本発明の発光装置に用いられるような発光素子は基板面方向から見て第1の電極205が第1の発光体207と接して形成された領域のみから所望の発光が得られ、それ以外の領域は発光自体が得られないか、その輝度が著しく低い発光しか得られない。または所望の色彩の発光を得ることが出来ない。そのため導電層250を発光領域と一致するように形成しようとすると導電層250を形成する際、形成領域が僅かにズレただけで発光領域が減少したり表示品質が悪化したりなどの不都合を引き起こしてしまう。しかし、導電層250の端部を発光領域の端部よりも外側に形成することによってたとえ導電層250が多少ズレて形成されてしまったとしても、表示品質の劣化を招くことを低減することができる。これはマスクアラインメントを非常にシビアに行わなければいけないアクティブマトリクス型発光装置や高精細なパッシブマトリクス型の発光装置に適用すると特に好適であり、マスクアラインメントのズレなどによる表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   Further, it is more preferable that the end portion of the conductive layer 250 be formed outside the end portion of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. A light-emitting element used in the light-emitting device of the present invention can obtain desired light emission only from a region where the first electrode 205 is formed in contact with the first light-emitting body 207 when viewed from the substrate surface direction. In the region, light emission itself cannot be obtained, or only light emission with extremely low luminance can be obtained. Alternatively, it is not possible to obtain light emission of a desired color. Therefore, if the conductive layer 250 is formed so as to coincide with the light emitting region, when the conductive layer 250 is formed, the light emitting region is reduced or the display quality is deteriorated when the forming region is slightly shifted. End up. However, by forming the end portion of the conductive layer 250 outside the end portion of the light emitting region, even if the conductive layer 250 is formed slightly deviated, the deterioration of display quality can be reduced. it can. This is particularly suitable for application to active matrix light-emitting devices and high-definition passive matrix light-emitting devices that require very severe mask alignment, resulting in poor display quality and low throughput due to misalignment of the mask alignment. Can be suppressed.

また、導電層252もその端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成すると良い。これにより、導電層252が多少ズレて形成されてしまったとしても導電層252が発光領域を覆ったままでいられるため、表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   In addition, the conductive layer 252 is preferably formed so that the end portion thereof is located outside the end portion of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. Accordingly, even if the conductive layer 252 is formed with a slight shift, the conductive layer 252 can remain covering the light emitting region, so that deterioration in display quality and throughput can be suppressed.

図3(C)はパッシブマトリクス型の本発明の発光装置の例を示した模式図であり、基板300上に、第1の電極301、第1の発光体303、導電層350、第2の発光体304、導電層352及び第2の電極305よりなる発光素子が形成されている。発光素子は他の第1の電極301を同じとする他の発光素子と隔壁302によって分離されている。図3(C)に示した発光装置において導電層352以外の構成は図1(C)と同じ構成であるので図1(C)の説明に準ずる。導電層352は第2の発光体304と第2の電極305との間に設けられ、その端部は第2の発光体304と第2の電極305に覆われており、画素毎に分離されている。導電層352の構成、材料は導電層350と同じ材料を用いることができる。また、導電層352は実施の形態1における導電層110の構成の説明において説明した、正孔を発生する層、電子を発生する層のみで形成しても良い。   FIG. 3C is a schematic view illustrating an example of a passive matrix light-emitting device of the present invention. A first electrode 301, a first light-emitting body 303, a conductive layer 350, and a second layer are formed over a substrate 300. A light-emitting element including the light-emitting body 304, the conductive layer 352, and the second electrode 305 is formed. The light-emitting element is separated from another light-emitting element having the same first electrode 301 by a partition wall 302. In the light-emitting device illustrated in FIG. 3C, the structure other than the conductive layer 352 is the same as that in FIG. 1C and thus follows the description of FIG. The conductive layer 352 is provided between the second light-emitting body 304 and the second electrode 305, and an end portion thereof is covered with the second light-emitting body 304 and the second electrode 305, and is separated for each pixel. ing. The conductive layer 352 can be formed using the same material and material as the conductive layer 350. Alternatively, the conductive layer 352 may be formed using only a layer that generates holes and a layer that generates electrons, which are described in the description of the structure of the conductive layer 110 in Embodiment 1.

図3(C)に示したような本発明の発光装置は発光素子における導電層350が画素毎に設けられており、その端部が第1の発光体303と第2の発光体304に覆われていることから、画素間でのクロストークの発生が抑制され発光装置の表示品質が向上する。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層350が第1の発光体303及び第2の発光体304に覆われていることから、第2の電極305と導電層350が導電層350の端部において短絡する恐れも無く、第2の電極305と導電層350がショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   In the light-emitting device of the present invention as illustrated in FIG. 3C, the conductive layer 350 in the light-emitting element is provided for each pixel, and an end portion of the light-emitting device covers the first light-emitting body 303 and the second light-emitting body 304. Therefore, the occurrence of crosstalk between pixels is suppressed, and the display quality of the light emitting device is improved. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 350 is covered with the first light-emitting body 303 and the second light-emitting body 304, there is no possibility that the second electrode 305 and the conductive layer 350 are short-circuited at the end portion of the conductive layer 350. An initial failure due to a short circuit between the second electrode 305 and the conductive layer 350 can be eliminated.

また、導電層350の端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成するとなお良い。本発明の発光装置に用いられるような発光素子は基板面方向から見て第1の電極301が第1の発光体303と接して形成された領域のみから所望の発光が得られ、それ以外の領域は発光自体が得られないか、その輝度が著しく低い発光しか得られない。または所望の色彩の発光を得ることが出来ない。そのため導電層350を発光領域と一致するように形成しようとすると導電層350を形成する際、形成領域が僅かにズレただけで発光領域が減少したり表示品質が悪化したりなどの不都合を引き起こしてしまう。しかし、導電層350の端部を発光領域の端部よりも外側に形成することによってたとえ導電層350が多少ズレて形成されてしまったとしても、表示品質の劣化を招くことを低減することができる。これはマスクアラインメントを非常にシビアに行わなければいけないアクティブマトリクス型発光装置や高精細なパッシブマトリクス型の発光装置に適用すると特に好適であり、マスクアラインメントのズレなどによる表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   Further, it is more preferable that the end portion of the conductive layer 350 be formed outside the end portion of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. A light-emitting element used in the light-emitting device of the present invention can obtain desired light emission only from a region where the first electrode 301 is in contact with the first light-emitting body 303 when viewed from the substrate surface direction. In the region, light emission itself cannot be obtained, or only light emission with extremely low luminance can be obtained. Alternatively, it is not possible to obtain light emission of a desired color. Therefore, if the conductive layer 350 is formed so as to coincide with the light emitting region, when the conductive layer 350 is formed, the light emitting region is reduced or the display quality is deteriorated when the forming region is slightly shifted. End up. However, by forming the end portion of the conductive layer 350 outside the end portion of the light emitting region, even if the conductive layer 350 is formed slightly deviated, the deterioration of display quality can be reduced. it can. This is particularly suitable for application to active matrix light-emitting devices and high-definition passive matrix light-emitting devices that require very severe mask alignment, resulting in poor display quality and low throughput due to misalignment of the mask alignment. Can be suppressed.

また、導電層352もその端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成すると良い。これにより、導電層352が多少ズレて形成されてしまったとしても導電層352が発光領域を覆ったままでいられるため、表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   In addition, the conductive layer 352 is preferably formed so that the end portion thereof is located outside the end portion of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. As a result, even if the conductive layer 352 is formed slightly deviated, the conductive layer 352 can remain covering the light emitting region, so that deterioration in display quality and throughput can be suppressed.

(実施の形態4)
図4は本発明の発光装置の模式図である。図4(A)は発光装置内の1発光素子を表しており、第1の電極100、第1の発光体101、第2の発光体102、第2の電極103、導電層110、導電層111及び導電層112を含む。図4(A)において、第1の電極100、第1の発光体101、第2の発光体102、第2の電極103及び導電層110は図1(A)と全く同じ構成であるので図1(A)の説明に準ずる。また、導電層111については図2(A)に、導電層112については図3(A)の説明に準ずる。本実施の形態における発光装置は、第1の電極100側と第2の電極103側の両方に導電層を有することから発光素子の両側で光学設計を行うことができるため、より綿密な光学設計を行うことができる。また、第1の電極100側に導電層111を有することから、第1の電極100上の凹凸や異物が原因で引き起こされる不良(ショートなど)を低減させることができるようになる。
(Embodiment 4)
FIG. 4 is a schematic view of the light emitting device of the present invention. FIG. 4A illustrates one light-emitting element in the light-emitting device. The first electrode 100, the first light-emitting body 101, the second light-emitting body 102, the second electrode 103, the conductive layer 110, and the conductive layer 111 and a conductive layer 112. 4A, the first electrode 100, the first light emitter 101, the second light emitter 102, the second electrode 103, and the conductive layer 110 have the same structure as that in FIG. 1A. 1 (A) is applied. The conductive layer 111 is the same as that in FIG. 2A, and the conductive layer 112 is the same as that in FIG. 3A. Since the light-emitting device in this embodiment has a conductive layer on both the first electrode 100 side and the second electrode 103 side, optical design can be performed on both sides of the light-emitting element; It can be performed. In addition, since the conductive layer 111 is provided on the first electrode 100 side, defects (such as a short circuit) caused by unevenness or foreign matter on the first electrode 100 can be reduced.

本発明の発光装置では、発光素子内に第1の発光体101と第2の発光体102の複数の発光体を有する構成となっている。そのため、第1の発光体101と第2の発光体102に含まれる発光物質を発光色の異なった異なる発光物質とすることで、当該発光素子から各々の発光物質の発光色が混合した色の発光を得ることが可能となる。なお、発光体の数は2層に限らず、それ以上であっても良い。その場合、発光体と発光体との間には導電層110を設ける。   In the light-emitting device of the present invention, the light-emitting element has a plurality of light-emitting bodies including the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102. Therefore, the light emitting materials included in the first light emitting body 101 and the second light emitting body 102 are different light emitting materials having different light emission colors, so that the light emission colors of the respective light emitting materials are mixed from the light emitting element. Light emission can be obtained. Note that the number of light emitters is not limited to two, and may be more. In that case, the conductive layer 110 is provided between the light emitters.

また、第1の発光体101及び第2の発光体102に含まれる発光物質を同じ物質とすることで、当該発光物質を含み発光体が単数でなる他の発光装置と比較して少ない電流密度で同じ輝度を得ることが可能となる。   In addition, by using the same light-emitting substance in the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, the current density is lower than that of other light-emitting devices that include the light-emitting substance and have a single light-emitting body. It is possible to obtain the same brightness.

導電層110が画素毎に設けられており、その端部が第1の発光体101と第2の発光体102に覆われていることから、画素間でのクロストークの発生が抑制され発光装置の表示品質が向上する。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層110が第1の発光体101及び第2の発光体102に覆われていることから、第2の電極103と導電層110が導電層110の端部において短絡する恐れも無く、第2の電極103と導電層110がショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   Since the conductive layer 110 is provided for each pixel and the end thereof is covered with the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, occurrence of crosstalk between the pixels is suppressed and the light-emitting device. Display quality is improved. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 110 is covered with the first light-emitting body 101 and the second light-emitting body 102, there is no possibility that the second electrode 103 and the conductive layer 110 are short-circuited at the end portion of the conductive layer 110. Initial defects due to short-circuiting between the second electrode 103 and the conductive layer 110 can be eliminated.

図4(B)はアクティブマトリクス型の本発明の発光装置の例を示した模式図である。基板200上に、半導体層201、ゲート絶縁膜、ゲート電極202よりなる薄膜トランジスタが形成され、薄膜トランジスタ上には層間絶縁膜203介し第1の電極205、導電層251、第1の発光体207、導電層250、第2の発光体208、導電層252及び第2の電極209よりなる発光素子が形成されている。発光素子の第1の電極205の端部は隔壁206により覆われており、発光素子は第1の電極205が隔壁206から露出した部分に形成される。発光素子は電極204を介して薄膜トランジスタと電気的に接続されており、発光の制御がなされる。図4(B)に示した発光装置において導電層251、導電層252以外の構成は図1(B)と同じ構成であるので図1(B)の説明に準ずる。また、導電層251については図2(B)に、導電層252については図3(B)の説明に準ずる。本実施の形態における発光装置は、第1の電極205側と第2の電極209側の両方に導電層を有することから発光素子の両側で光学設計を行うことができるため、より綿密な光学設計を行うことができる。また、第1の電極205側に導電層251を有することから、第1の電極205上の凹凸や異物が原因で引き起こされる不良(ショートなど)を低減させることができるようになる。   FIG. 4B is a schematic view illustrating an example of an active matrix light-emitting device of the present invention. A thin film transistor including a semiconductor layer 201, a gate insulating film, and a gate electrode 202 is formed over a substrate 200. A first electrode 205, a conductive layer 251, a first light emitter 207, and a conductive film are formed over the thin film transistor through an interlayer insulating film 203. A light-emitting element including the layer 250, the second light emitter 208, the conductive layer 252, and the second electrode 209 is formed. An end portion of the first electrode 205 of the light emitting element is covered with a partition wall 206, and the light emitting element is formed in a portion where the first electrode 205 is exposed from the partition wall 206. The light emitting element is electrically connected to the thin film transistor through the electrode 204, and light emission is controlled. In the light-emitting device illustrated in FIG. 4B, the structure other than the conductive layer 251 and the conductive layer 252 is the same as that in FIG. 1B and thus follows the description of FIG. The conductive layer 251 conforms to the description in FIG. 2B, and the conductive layer 252 conforms to the description in FIG. Since the light-emitting device in this embodiment includes a conductive layer on both the first electrode 205 side and the second electrode 209 side, optical design can be performed on both sides of the light-emitting element; It can be performed. In addition, since the conductive layer 251 is provided on the first electrode 205 side, defects (such as a short circuit) caused by unevenness or foreign matter on the first electrode 205 can be reduced.

図4(B)に示したような本発明の発光装置は発光素子における導電層250が画素毎に設けられており、その端部が第1の発光体207と第2の発光体208に覆われていることから、画素間でのクロストークの発生が抑制され発光装置の表示品質が向上する。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層250が第1の発光体207及び第2の発光体208に覆われていることから、第2の電極209と導電層250が導電層250の端部において短絡する恐れも無く、第2の電極209と導電層250がショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   In the light-emitting device of the present invention as illustrated in FIG. 4B, the conductive layer 250 in the light-emitting element is provided for each pixel, and an end portion of the light-emitting device covers the first light-emitting body 207 and the second light-emitting body 208. Therefore, the occurrence of crosstalk between pixels is suppressed, and the display quality of the light emitting device is improved. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 250 is covered with the first light emitter 207 and the second light emitter 208, there is no possibility that the second electrode 209 and the conductive layer 250 are short-circuited at the end portion of the conductive layer 250. An initial failure due to a short circuit between the second electrode 209 and the conductive layer 250 can be eliminated.

また、導電層250の端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成するとなお良い。本発明の発光装置に用いられるような発光素子は基板面方向から見て導電層251と第1の電極205が接して形成された領域のみから所望の発光が得られ、それ以外の領域は発光自体が得られないか、その輝度が著しく低い発光しか得られない。または所望の色彩の発光を得ることが出来ない。そのため導電層250を発光領域と一致するように形成しようとすると導電層250を形成する際、形成領域が僅かにズレただけで発光領域が減少したり表示品質が悪化したりなどの不都合を引き起こしてしまう。しかし、導電層250の端部を発光領域の端部よりも外側に形成することによってたとえ導電層250が多少ズレて形成されてしまったとしても、表示品質の劣化を招くことを低減することができる。これはマスクアラインメントを非常にシビアに行わなければいけないアクティブマトリクス型発光装置や高精細なパッシブマトリクス型の発光装置に適用すると特に好適であり、マスクアラインメントのズレなどによる表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   Further, it is more preferable that the end portion of the conductive layer 250 be formed outside the end portion of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. A light-emitting element used in the light-emitting device of the present invention can obtain desired light emission only from a region where the conductive layer 251 and the first electrode 205 are in contact with each other when viewed from the substrate surface direction, and the other regions emit light. The light itself cannot be obtained, or only light emission whose luminance is extremely low can be obtained. Alternatively, it is not possible to obtain light emission of a desired color. Therefore, if the conductive layer 250 is formed so as to coincide with the light emitting region, when the conductive layer 250 is formed, the light emitting region is reduced or the display quality is deteriorated when the forming region is slightly shifted. End up. However, by forming the end portion of the conductive layer 250 outside the end portion of the light emitting region, even if the conductive layer 250 is formed slightly deviated, the deterioration of display quality can be reduced. it can. This is particularly suitable for application to active matrix light-emitting devices and high-definition passive matrix light-emitting devices that require very severe mask alignment, resulting in poor display quality and low throughput due to misalignment of the mask alignment. Can be suppressed.

また、導電層251、導電層252もその端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成すると良い。これにより、導電層251や導電層252が多少ズレて形成されてしまったとしても導電層251や導電層252が発光領域を覆ったままでいられるため、表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   The conductive layers 251 and 252 are also preferably formed so that the end portions thereof are located outside the end portions of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. As a result, even if the conductive layer 251 and the conductive layer 252 are formed slightly deviated from each other, the conductive layer 251 and the conductive layer 252 can remain covering the light emitting region, so that deterioration in display quality and throughput are suppressed. be able to.

図4(C)はパッシブマトリクス型の本発明の発光装置の例を示した模式図であり、基板300上に、第1の電極301、導電層351、第1の発光体303、導電層350、第2の発光体304、導電層352及び第2の電極305よりなる発光素子が形成されている。発光素子は他の第1の電極301を同じとする他の発光素子と隔壁302によって分離されている。図4(C)に示した発光装置において導電層351、導電層352以外の構成は図1(C)と同じ構成であるので図1(C)の説明に準ずる。また、導電層351については図2(C)に、導電層352については図3(C)の説明に準ずる。本実施の形態における発光装置は、第1の電極301側と第2の電極305側の両方に導電層を有することから発光素子の両側で光学設計を行うことができるため、より綿密な光学設計を行うことができる。また、第1の電極301側に導電層351を有することから、第1の電極301上の凹凸や異物が原因で引き起こされる不良(ショートなど)を低減させることができるようになる。   FIG. 4C is a schematic diagram illustrating an example of a passive matrix light-emitting device of the present invention. A first electrode 301, a conductive layer 351, a first light-emitting body 303, and a conductive layer 350 are formed over a substrate 300. A light emitting element including the second light emitter 304, the conductive layer 352, and the second electrode 305 is formed. The light-emitting element is separated from another light-emitting element having the same first electrode 301 by a partition wall 302. In the light-emitting device illustrated in FIG. 4C, the structure other than the conductive layer 351 and the conductive layer 352 is the same as that in FIG. 1C and thus follows the description of FIG. The conductive layer 351 conforms to the description of FIG. 2C, and the conductive layer 352 conforms to the description of FIG. Since the light-emitting device in this embodiment includes a conductive layer on both the first electrode 301 side and the second electrode 305 side, optical design can be performed on both sides of the light-emitting element; It can be performed. In addition, since the conductive layer 351 is provided on the first electrode 301 side, defects (such as a short circuit) caused by unevenness or foreign matter on the first electrode 301 can be reduced.

図4(C)に示したような本発明の発光装置は発光素子における導電層350が画素毎に設けられており、その端部が第1の発光体303と第2の発光体304に覆われていることから、画素間でのクロストークの発生が抑制され発光装置の表示品質が向上する。このことから本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置とすることが可能となる。また、導電層350が第1の発光体303及び第2の発光体304に覆われていることから、第2の電極305と導電層350が導電層350の端部において短絡する恐れも無く、第2の電極305と導電層350がショートしてしまうことによる初期不良を無くすことができる。   In the light-emitting device of the present invention as illustrated in FIG. 4C, the conductive layer 350 in the light-emitting element is provided for each pixel, and an end portion of the light-emitting device covers the first light-emitting body 303 and the second light-emitting body 304. Therefore, the occurrence of crosstalk between pixels is suppressed, and the display quality of the light emitting device is improved. Thus, the light emitting device of the present invention can be a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality. In addition, since the conductive layer 350 is covered with the first light-emitting body 303 and the second light-emitting body 304, there is no possibility that the second electrode 305 and the conductive layer 350 are short-circuited at the end portion of the conductive layer 350. An initial failure due to a short circuit between the second electrode 305 and the conductive layer 350 can be eliminated.

また、導電層350の端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成するとなお良い。本発明の発光装置に用いられるような発光素子は基板面方向から見て導電層351が第1の電極301と接して形成された領域のみから所望の発光が得られ、それ以外の領域は発光自体が得られないか、その輝度が著しく低い発光しか得られない。または所望の色彩の発光を得ることが出来ない。そのため導電層350を発光領域と一致するように形成しようとすると導電層350を形成する際、形成領域が僅かにズレただけで発光領域が減少したり表示品質が悪化したりなどの不都合を引き起こしてしまう。しかし、導電層350の端部を発光領域の端部よりも外側に形成することによってたとえ導電層350が多少ズレて形成されてしまったとしても、表示品質の劣化を招くことを低減することができる。これはマスクアラインメントを非常にシビアに行わなければいけないアクティブマトリクス型発光装置や高精細なパッシブマトリクス型の発光装置に適用すると特に好適であり、マスクアラインメントのズレなどによる表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   Further, it is more preferable that the end portion of the conductive layer 350 be formed outside the end portion of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. In a light-emitting element used in the light-emitting device of the present invention, desired light emission can be obtained only from a region where the conductive layer 351 is in contact with the first electrode 301 when viewed from the substrate surface direction, and other regions emit light. The light itself cannot be obtained, or only light emission whose luminance is extremely low can be obtained. Alternatively, it is not possible to obtain light emission of a desired color. Therefore, if the conductive layer 350 is formed so as to coincide with the light emitting region, when the conductive layer 350 is formed, the light emitting region is reduced or the display quality is deteriorated when the forming region is slightly shifted. End up. However, by forming the end portion of the conductive layer 350 outside the end portion of the light emitting region, even if the conductive layer 350 is formed slightly deviated, the deterioration of display quality can be reduced. it can. This is particularly suitable for application to active matrix light-emitting devices and high-definition passive matrix light-emitting devices that require very severe mask alignment, resulting in poor display quality and low throughput due to misalignment of the mask alignment. Can be suppressed.

また、導電層351、導電層352もその端部を発光素子における発光領域(基板面方向から見て発光が得られる部分)の端部よりも外側に位置するように形成すると良い。これにより、導電層351や導電層352が多少ズレて形成されてしまったとしても導電層351や導電層352が発光領域を覆ったままでいられるため、表示品質の低下やスループットの低下を抑制することができる。   In addition, the conductive layer 351 and the conductive layer 352 are preferably formed so that the end portions thereof are located outside the end portions of the light emitting region (the portion where light emission is obtained when viewed from the substrate surface direction) in the light emitting element. As a result, even if the conductive layer 351 and the conductive layer 352 are formed slightly deviated from each other, the conductive layer 351 and the conductive layer 352 can remain covering the light emitting region, so that deterioration in display quality and throughput are suppressed. be able to.

(実施の形態5)
図5は発光素子からの発光の方向が異なるアクティブマトリクス型の発光装置の例を示す。なお、図5は発光装置の発光方向を説明する為に設けた図面であり、本発明の発光装置はこれに記載された構造に限定されず、薄膜トランジスタの形状などは適宜選択できることは言うまでもない。また、各々付した番号は実施の形態1乃至実施の形態4に準ずることとする。図5(A)は薄膜トランジスタが形成された方の基板側に発光素子の発光を取り出す構造である。この場合第1の電極205を透過して光を取り出すこととなる為、第1の電極205を透光性を有する材料で形成する。図5(B)は薄膜トランジスタが形成された方とは逆の方向に発光素子の発光を取り出す構造である。この場合、第2の電極209が透光性を有する材料により形成する。図5(C)は両側から発光素子の発光を取り出す構造である。この場合は第1の電極205、第2の電極209の両方を透光性を有する材料によって形成する。なお、第1の電極205と第2の電極209の材料については実施の形態1で第1の電極100及び第2の電極103の材料として述べた材料のうち、ITOに代表される透光性を有する材料を選択すればよい。
(Embodiment 5)
FIG. 5 shows an example of an active matrix light-emitting device in which the direction of light emission from the light-emitting elements is different. Note that FIG. 5 is a drawing provided for explaining the light emitting direction of the light emitting device, and the light emitting device of the present invention is not limited to the structure described therein, and it is needless to say that the shape of the thin film transistor can be selected as appropriate. Further, the numbers assigned to the respective numbers are the same as those in the first to fourth embodiments. FIG. 5A illustrates a structure in which light emission from the light-emitting element is extracted to the substrate side on which the thin film transistor is formed. In this case, since light is extracted through the first electrode 205, the first electrode 205 is formed using a light-transmitting material. FIG. 5B illustrates a structure in which light emission from the light-emitting element is extracted in a direction opposite to the direction in which the thin film transistor is formed. In this case, the second electrode 209 is formed using a light-transmitting material. FIG. 5C illustrates a structure in which light emission from the light-emitting element is extracted from both sides. In this case, both the first electrode 205 and the second electrode 209 are formed using a light-transmitting material. Note that the material of the first electrode 205 and the second electrode 209 is a light-transmitting property typified by ITO among the materials described as the materials of the first electrode 100 and the second electrode 103 in Embodiment 1. A material having the above may be selected.

本実施の形態は実施の形態1乃至実施の形態4と自由に組み合わせて用いることができる。   This embodiment mode can be freely combined with any of Embodiment Modes 1 to 4.

(実施の形態6)
図6は発光素子からの発光の方向が異なるパッシブマトリクス型の発光装置の例を示す。なお、図6は発光装置の発光方向を説明する為に設けた図面であり、本発明の発光装置はこれに記載された構造に限定されず、薄膜トランジスタの形状などは適宜選択できることは言うまでもない。また、各々付した番号は実施の形態1乃至実施の形態4に準ずることとする。図6(A)は第1の電極301が形成された方の基板側に発光素子の発光を取り出す構造である。この場合第1の電極301を透過して光を取り出すこととなる為、第1の電極301を透光性を有する材料で形成する。図6(B)は第1の電極301が形成された方とは逆の方向に発光素子の発光を取り出す構造である。この場合、第2の電極305が透光性を有する材料により形成する。図6(C)は両側から発光素子の発光を取り出す構造である。この場合は第1の電極301、第2の電極305の両方を透光性を有する材料によって形成する。なお、第1の電極301と第2の電極305の材料については実施の形態1で第1の電極301及び第2の電極305の材料として述べた材料のうち、ITOに代表される透光性を有する材料を選択すればよい。
(Embodiment 6)
FIG. 6 illustrates an example of a passive matrix light-emitting device in which the direction of light emission from the light-emitting element is different. Note that FIG. 6 is a drawing provided to explain the light emitting direction of the light emitting device, and the light emitting device of the present invention is not limited to the structure described therein, and it is needless to say that the shape of the thin film transistor can be selected as appropriate. Further, the numbers assigned to the respective numbers are the same as those in the first to fourth embodiments. FIG. 6A illustrates a structure in which light emission of the light-emitting element is extracted to the substrate side on which the first electrode 301 is formed. In this case, since light is extracted through the first electrode 301, the first electrode 301 is formed using a light-transmitting material. FIG. 6B illustrates a structure in which light emission from the light-emitting element is extracted in a direction opposite to the direction where the first electrode 301 is formed. In this case, the second electrode 305 is formed using a light-transmitting material. FIG. 6C illustrates a structure in which light emission from the light-emitting element is extracted from both sides. In this case, both the first electrode 301 and the second electrode 305 are formed using a light-transmitting material. Note that for the materials of the first electrode 301 and the second electrode 305, the light-transmitting property typified by ITO among the materials described as the materials of the first electrode 301 and the second electrode 305 in Embodiment Mode 1. A material having the above may be selected.

本実施の形態は実施の形態1乃至実施の形態4と自由に組み合わせて用いることができる。   This embodiment mode can be freely combined with any of Embodiment Modes 1 to 4.

(実施の形態7)
本実施の形態では、本発明の発光装置について図7、図8を参照し、作製方法を示しながら説明する。なお、本実施の形態ではアクティブマトリクス型の発光装置を作製する例を示した。
(Embodiment 7)
In this embodiment mode, a light-emitting device of the present invention will be described with reference to FIGS. Note that an example of manufacturing an active matrix light-emitting device is described in this embodiment mode.

まず、基板50上に第1の下地絶縁層51a、第2の下地絶縁層51bを形成した後、さらに半導体層を第2の下地絶縁層51b上に形成する。(図7(A))   First, after the first base insulating layer 51a and the second base insulating layer 51b are formed over the substrate 50, a semiconductor layer is further formed over the second base insulating layer 51b. (Fig. 7 (A))

基板50の材料としてはガラス、石英やプラスチック(ポリイミド、アクリル、ポリエチレンテレフタラート、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ポリエーテルスルホンなど)等を用いることができる。これら基板は必要に応じてCMP等により研磨してから使用しても良い。本実施の形態においてはガラス基板を用いる。   As a material of the substrate 50, glass, quartz, plastic (polyimide, acrylic, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyacrylate, polyethersulfone, or the like) can be used. These substrates may be used after being polished by CMP or the like, if necessary. In this embodiment, a glass substrate is used.

第1の下地絶縁層51a、第2の下地絶縁層51bは基板50中のアルカリ金属やアルカリ土類金属など、半導体膜の特性に悪影響を及ぼすような元素が半導体層中に拡散するのを防ぐ為に設ける。材料としては酸化ケイ素、窒化ケイ素、窒素を含む酸化ケイ素、酸素を含む窒化ケイ素などを用いることができる。本実施の形態では第1の下地絶縁層51aを窒化ケイ素で、第2の下地絶縁層51bを酸化ケイ素で形成する。本実施の形態では、下地絶縁層を第1の下地絶縁層51a、第2の下地絶縁層51bの2層で形成したが、単層で形成してもかまわないし、2層以上の多層であってもかまわない。また、基板からの不純物の拡散が気にならないようであれば下地絶縁層は設ける必要がない。   The first base insulating layer 51a and the second base insulating layer 51b prevent an element such as an alkali metal or an alkaline earth metal in the substrate 50 that adversely affects the characteristics of the semiconductor film from diffusing into the semiconductor layer. Provided for this purpose. As a material, silicon oxide, silicon nitride, silicon oxide containing nitrogen, silicon nitride containing oxygen, or the like can be used. In this embodiment mode, the first base insulating layer 51a is formed using silicon nitride, and the second base insulating layer 51b is formed using silicon oxide. In this embodiment mode, the base insulating layer is formed of the first base insulating layer 51a and the second base insulating layer 51b. However, the base insulating layer may be formed of a single layer or a multilayer of two or more layers. It doesn't matter. In addition, it is not necessary to provide a base insulating layer as long as the diffusion of impurities from the substrate does not matter.

続いて形成される半導体層は本実施の形態では非晶質ケイ素膜をレーザ結晶化して得る。第2の下地絶縁層51b上に非晶質ケイ素膜を25〜100nm(好ましくは30〜60nm)の膜厚で形成する。作製方法としては公知の方法、例えばスパッタ法、減圧CVD法またはプラズマCVD法などが使用できる。その後、500℃で1時間の加熱処理を行い、水素出しをする。   The semiconductor layer formed subsequently is obtained by laser crystallization of an amorphous silicon film in this embodiment mode. An amorphous silicon film is formed to a thickness of 25 to 100 nm (preferably 30 to 60 nm) over the second base insulating layer 51b. As a manufacturing method, a known method such as a sputtering method, a low pressure CVD method or a plasma CVD method can be used. After that, heat treatment is performed at 500 ° C. for 1 hour to dehydrogenate.

続いてレーザ照射装置を用いて非晶質ケイ素膜を結晶化して結晶質ケイ素膜を形成する。本実施の形態のレーザ結晶化ではエキシマレーザを使用し、発振されたレーザビームを光学系を用いて線状のビームスポットに加工し非晶質ケイ素膜に照射することで結晶質ケイ素膜とし、半導体層として用いる。   Subsequently, the amorphous silicon film is crystallized using a laser irradiation apparatus to form a crystalline silicon film. In the laser crystallization of this embodiment, an excimer laser is used, and a laser beam oscillated is processed into a linear beam spot using an optical system and irradiated to an amorphous silicon film to form a crystalline silicon film. Used as a semiconductor layer.

非晶質ケイ素膜の他の結晶化の方法としては、他に、熱処理のみにより結晶化を行う方法や結晶化を促進する触媒元素を用い加熱処理を行う事によって行う方法もある。結晶化を促進する元素としてはニッケル、鉄、パラジウム、スズ、鉛、コバルト、白金、銅、金などが挙げられ、このような元素を用いることによって熱処理のみで結晶化を行った場合に比べ、低温、短時間で結晶化が行われるため、ガラス基板などへのダメージが少ない。熱処理のみにより結晶化をする場合は、基板50を熱に強い石英基板などにすればよい。   Other crystallization methods for the amorphous silicon film include a method for crystallization only by heat treatment and a method for heat treatment using a catalyst element that promotes crystallization. Examples of elements that promote crystallization include nickel, iron, palladium, tin, lead, cobalt, platinum, copper, and gold. Compared to the case where crystallization is performed only by heat treatment by using such an element, Since crystallization is performed at a low temperature for a short time, there is little damage to the glass substrate. When crystallization is performed only by heat treatment, the substrate 50 may be a quartz substrate resistant to heat.

続いて、必要に応じて半導体層にしきい値をコントロールする為に微量の不純物添加、いわゆるチャネルドーピングを行う。要求されるしきい値を得る為にN型もしくはP型を呈する不純物(リン、ボロンなど)をイオンドーピング法などにより添加する。   Subsequently, in order to control the threshold value in the semiconductor layer as required, a small amount of impurity addition, so-called channel doping is performed. In order to obtain a required threshold value, N-type or P-type impurities (phosphorus, boron, etc.) are added by an ion doping method or the like.

その後、図7(A)に示すように半導体層を所定の形状に加工し、島状の半導体層52を得る。この工程は半導体層にフォトレジストを塗布し、所定のマスク形状を露光し、焼成して、半導体層上にレジストマスクを形成し、このマスクを用いてエッチングをすることにより行われる。   After that, as shown in FIG. 7A, the semiconductor layer is processed into a predetermined shape, and an island-shaped semiconductor layer 52 is obtained. This step is performed by applying a photoresist to the semiconductor layer, exposing a predetermined mask shape, baking, forming a resist mask on the semiconductor layer, and etching using the mask.

続いて半導体層52を覆うようにゲート絶縁層53を形成する。ゲート絶縁層53はプラズマCVD法またはスパッタ法を用いて膜厚を40〜150nmとしてケイ素を含む絶縁層で形成する。本実施の形態では酸化ケイ素を用いて形成する。   Subsequently, a gate insulating layer 53 is formed so as to cover the semiconductor layer 52. The gate insulating layer 53 is formed of an insulating layer containing silicon with a film thickness of 40 to 150 nm using a plasma CVD method or a sputtering method. In this embodiment mode, silicon oxide is used.

次いで、ゲート絶縁層53上にゲート電極54を形成する。ゲート電極54はタンタル、タングステン、チタン、モリブデン、アルミニウム、銅、クロム、ニオブから選ばれた元素、または元素を主成分とする合金材料若しくは化合物材料で形成してもよい。また、リン等の不純物元素をドーピングした多結晶ケイ素膜に代表される半導体膜を用いてもよい。また、AgPdCu合金を用いてもよい。   Next, the gate electrode 54 is formed over the gate insulating layer 53. The gate electrode 54 may be formed of an element selected from tantalum, tungsten, titanium, molybdenum, aluminum, copper, chromium, and niobium, or an alloy material or a compound material containing the element as a main component. Alternatively, a semiconductor film typified by a polycrystalline silicon film doped with an impurity element such as phosphorus may be used. Further, an AgPdCu alloy may be used.

また、本実施の形態ではゲート電極54は単層で形成されているが、下層にタングステン、上層にモリブデンなどの2層以上の積層構造でもかまわない。積層構造としてゲート電極を形成する場合であっても前段で述べた材料を使用するとよい。また、その組み合わせも適宜選択すればよい。ゲート電極54の加工はフォトレジストを用いたマスクを利用し、エッチングをして行う。   Further, although the gate electrode 54 is formed as a single layer in this embodiment mode, a stacked structure of two or more layers such as tungsten in the lower layer and molybdenum in the upper layer may be used. Even in the case where the gate electrode is formed as a stacked structure, the materials described in the preceding stage may be used. Moreover, the combination may be selected as appropriate. The gate electrode 54 is processed by etching using a mask using a photoresist.

続いて、ゲート電極54をマスクとして半導体層52に高濃度の不純物を添加する。これによって半導体層52、ゲート絶縁層53、及びゲート電極54を含む薄膜トランジスタ70が形成される。   Subsequently, a high concentration impurity is added to the semiconductor layer 52 using the gate electrode 54 as a mask. Thus, the thin film transistor 70 including the semiconductor layer 52, the gate insulating layer 53, and the gate electrode 54 is formed.

なお、薄膜トランジスタの作製工程については特に限定されず、所望の構造のトランジスタを作製できるように適宜変更すればよい。   Note that there is no particular limitation on the manufacturing process of the thin film transistor, and it may be changed as appropriate so that a transistor with a desired structure can be manufactured.

本実施の形態では、レーザ結晶化を使用して結晶化した結晶性シリコン膜を用いたトップゲートの薄膜トランジスタを用いたが、非晶質半導体膜を用いたボトムゲート型の薄膜トランジスタを画素部に用いることも可能である。非晶質半導体はケイ素だけではなくシリコンゲルマニウムも用いることができ、シリコンゲルマニウムを用いる場合、ゲルマニウムの濃度は0.01〜4.5atomic%程度であることが好ましい。   In this embodiment mode, a top-gate thin film transistor using a crystalline silicon film crystallized by laser crystallization is used; however, a bottom-gate thin film transistor using an amorphous semiconductor film is used for a pixel portion. It is also possible. As the amorphous semiconductor, not only silicon but also silicon germanium can be used. When silicon germanium is used, the concentration of germanium is preferably about 0.01 to 4.5 atomic%.

また非晶質半導体中に0.5nm〜20nmの結晶を観察することができる微結晶半導体膜(セミアモルファス半導体)を用いてもよい。また0.5nm〜20nmの結晶を粒観察することができる微結晶はいわゆるマイクロクリスタル(μc)とも呼ばれている。   Alternatively, a microcrystalline semiconductor film (semi-amorphous semiconductor) in which a 0.5 nm to 20 nm crystal can be observed in an amorphous semiconductor may be used. Microcrystals capable of observing 0.5 nm to 20 nm crystals are also called so-called microcrystals (μc).

セミアモルファス半導体であるセミアモルファスシリコン(SASとも表記する)は、SiH、Si、SiHCl、SiHCl、SiCl、SiFなどをグロー放電分解することにより得ることができる。これらを水素、水素とヘリウム、アルゴン、クリプトン、ネオンから選ばれた一種または複数種の希ガス元素で希釈して用いることでSASの形成を容易なものとすることができる。希釈率は10倍〜1000倍の範囲であることが好ましい。グロー放電分解による被膜の反応生成は0.1Pa〜133Paの範囲の圧力で行えば良い。グロー放電を形成するための電力は1MHz〜120MHz、好ましくは13MHz〜60MHzの高周波電力を供給すれば良い。基板加熱温度は300度以下が好ましく、100〜250度の基板加熱温度が好適である。 Semi-amorphous silicon (also referred to as SAS) which is a semi-amorphous semiconductor can be obtained by glow discharge decomposition of SiH 4 , Si 2 H 6 , SiH 2 Cl 2 , SiHCl 3 , SiCl 4 , SiF 4 or the like. The formation of SAS can be facilitated by diluting these with one or more kinds of rare gas elements selected from hydrogen, hydrogen and helium, argon, krypton, and neon. The dilution rate is preferably in the range of 10 times to 1000 times. The reaction generation of the film by glow discharge decomposition may be performed at a pressure in the range of 0.1 Pa to 133 Pa. The power for forming the glow discharge may be high frequency power of 1 MHz to 120 MHz, preferably 13 MHz to 60 MHz. The substrate heating temperature is preferably 300 ° C. or less, and a substrate heating temperature of 100 to 250 ° C. is suitable.

このようにして形成されたSASはL−Oフォノンに由来するラマンスペクトルが520cm−1よりも低波数側にシフトしており、X線回折ではSi結晶格子に由来するとされる(111)、(220)の回折ピークが観測される。未結合手(ダングリングボンド)の終端化剤として水素またはハロゲンを少なくとも1原子%またはそれ以上含ませている。膜中の不純物元素として、酸素、窒素、炭素などの大気成分の不純物は1×1020atoms/cm以下とすることが望ましく、特に、酸素濃度は5×1019atoms/cm以下、好ましくは1×1019atoms/cm以下とする。TFTにしたときの電界効果移動度μ=1〜10cm/Vsecとなる。 In the SAS formed in this way, the Raman spectrum derived from L-O phonon is shifted to a lower wavenumber side than 520 cm −1 , and X-ray diffraction is attributed to the Si crystal lattice (111), ( 220) is observed. As a terminator for dangling bonds, hydrogen or halogen is contained at least 1 atomic% or more. As an impurity element in the film, an impurity of atmospheric components such as oxygen, nitrogen, and carbon is desirably 1 × 10 20 atoms / cm 3 or less, and in particular, the oxygen concentration is preferably 5 × 10 19 atoms / cm 3 or less. Is 1 × 10 19 atoms / cm 3 or less. The field effect mobility when TFT is used is μ = 1 to 10 cm 2 / Vsec.

また、このSASをレーザでさらに結晶化して用いても良い。   Further, this SAS may be further crystallized with a laser.

続いて、ゲート電極54、ゲート絶縁層53を覆って絶縁膜(水素化膜)59を窒化ケイ素により形成する。絶縁膜(水素化膜)59を形成したら480℃で1時間程度加熱を行って、不純物元素の活性化及び半導体層52の水素化を行う。   Subsequently, an insulating film (hydrogenated film) 59 is formed of silicon nitride so as to cover the gate electrode 54 and the gate insulating layer 53. After the insulating film (hydrogenated film) 59 is formed, heating is performed at 480 ° C. for about 1 hour to activate the impurity element and hydrogenate the semiconductor layer 52.

続いて、絶縁膜(水素化膜)59を覆う第1の層間絶縁層60を形成する。第1の層間絶縁層60を形成する材料としては酸化ケイ素、アクリル、ポリイミドやシロキサン、low−k材料等をもちいるとよい。本実施の形態では酸化ケイ素膜を第1の層間絶縁層として形成した。(図7(B))   Subsequently, a first interlayer insulating layer 60 covering the insulating film (hydrogenated film) 59 is formed. As a material for forming the first interlayer insulating layer 60, silicon oxide, acrylic, polyimide, siloxane, a low-k material, or the like may be used. In this embodiment mode, the silicon oxide film is formed as the first interlayer insulating layer. (Fig. 7 (B))

次に、半導体層52に至るコンタクトホールを開口する。コンタクトホールはレジストマスクを用いて、半導体層52が露出するまでエッチングを行うことで形成することができ、ウエットエッチング、ドライエッチングどちらでも形成することができる。なお、条件によって一回でエッチングを行ってしまっても良いし、複数回に分けてエッチングを行っても良い。また、複数回でエッチングする際は、ウエットエッチングとドライエッチングの両方を用いても良い。(図7(C))   Next, a contact hole reaching the semiconductor layer 52 is opened. The contact hole can be formed by performing etching using a resist mask until the semiconductor layer 52 is exposed, and can be formed by either wet etching or dry etching. Note that etching may be performed once depending on conditions, or etching may be performed in a plurality of times. In addition, when etching is performed a plurality of times, both wet etching and dry etching may be used. (Fig. 7 (C))

そして、当該コンタクトホールや第1の層間絶縁層60を覆う導電層を形成する。当該導電層を所望の形状に加工し、接続部61a、配線61bなどが形成される。この配線はアルミニウム、銅、アルミニウムと炭素とニッケルの合金、アルミニウムと炭素とモリブデンの合金等の単層でも良いが、基板側からモリブデン、アルミニウム、モリブデンの積層構造やチタン、アルミニウム。チタンやチタン、窒化チタン、アルミニウム、チタンといった構造でも良い。(図7(D))   Then, a conductive layer covering the contact hole and the first interlayer insulating layer 60 is formed. The conductive layer is processed into a desired shape, and the connection portion 61a, the wiring 61b, and the like are formed. This wiring may be a single layer of aluminum, copper, an alloy of aluminum, carbon, and nickel, an alloy of aluminum, carbon, and molybdenum, or a laminated structure of molybdenum, aluminum, molybdenum, titanium, and aluminum from the substrate side. A structure such as titanium, titanium, titanium nitride, aluminum, or titanium may be used. (Fig. 7 (D))

その後、接続部61a、配線61b、第1の層間絶縁層60を覆って第2の層間絶縁層63を形成する。第2の層間絶縁層63の材料としては自己平坦性を有するアクリル、ポリイミド、シロキサンなどの塗布膜が好適に利用できる。本実施の形態ではシロキサンを第2の層間絶縁層63として用いる。(図7(E))   Thereafter, a second interlayer insulating layer 63 is formed so as to cover the connection portion 61a, the wiring 61b, and the first interlayer insulating layer 60. As a material for the second interlayer insulating layer 63, a coating film of acrylic, polyimide, siloxane or the like having self-flatness can be suitably used. In this embodiment mode, siloxane is used as the second interlayer insulating layer 63. (Fig. 7 (E))

続いて第2の層間絶縁層63上に窒化ケイ素などで絶縁層を形成してもよい。これは後の画素電極のエッチングにおいて、第2の層間絶縁層63が必要以上にエッチングされてしまうのを防ぐ為に形成する。そのため、画素電極と第2の層間絶縁層のエッチングレートの比が大きい場合には特に設けなくとも良い。続いて、第2の層間絶縁層63を貫通して接続部61aに至るコンタクトホールを形成する。   Subsequently, an insulating layer may be formed of silicon nitride or the like on the second interlayer insulating layer 63. This is formed to prevent the second interlayer insulating layer 63 from being etched more than necessary in the subsequent etching of the pixel electrode. Therefore, when the ratio of the etching rate between the pixel electrode and the second interlayer insulating layer is large, it may not be provided. Subsequently, a contact hole that penetrates through the second interlayer insulating layer 63 and reaches the connection portion 61a is formed.

そして当該コンタクトホールと第2の層間絶縁層63(もしくは絶縁層)を覆って、透光性を有する導電層を形成したのち、当該透光性を有する導電層を加工して薄膜発光素子の第1の電極64を形成する。ここで第1の電極64は接続部61aと電気的に接触している。   Then, after forming the light-transmitting conductive layer so as to cover the contact hole and the second interlayer insulating layer 63 (or insulating layer), the light-transmitting conductive layer is processed to form the first light-emitting element in the thin film light-emitting element. 1 electrode 64 is formed. Here, the first electrode 64 is in electrical contact with the connecting portion 61a.

第1の電極64の材料としてはアルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、リチウム(Li)、セシウム(Cs)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)、チタン(Ti)などの導電性を有する金属、又はアルミニウムとシリコンの合金(Al−Si)、アルミニウムとチタンの合金(Al−Ti)、アルミニウム、シリコン及び銅の合金(Al−Si−Cu)等の合金、または窒化チタン(TiN)等の金属材料の窒化物、インジウム錫酸化物(ITO:indium tin oxide)、ケイ素を含有するITO、酸化インジウムに酸化亜鉛(ZnO)を混合したIZO(indium zinc oxide)等の金属化合物など実施の形態1に示したような導電膜により形成することができる。 As the material of the first electrode 64, aluminum (Al), silver (Ag), gold (Au), platinum (Pt), nickel (Ni), tungsten (W), chromium (Cr), molybdenum (Mo), iron (Fe), cobalt (Co), copper (Cu), palladium (Pd), lithium (Li), cesium (Cs), magnesium (Mg), calcium (Ca), strontium (Sr), titanium (Ti), etc. Metal having conductivity, alloy of aluminum and silicon (Al-Si), alloy of aluminum and titanium (Al-Ti), alloy of aluminum, silicon and copper (Al-Si-Cu), or titanium nitride Nitride of metal materials such as (TiN), indium tin oxide (ITO), ITO containing silicon, indium oxide A metal film such as IZO (indium zinc oxide) in which zinc oxide (ZnO) is mixed in a film can be formed using the conductive film as described in Embodiment Mode 1.

また、発光を取り出す方の電極は透明性を有する導電膜により形成すれば良く、ITO、ITSO、IZOなどの金属化合物の他、Al、Ag等金属の極薄膜を用いる。また、第2の電極の方から発光を取り出す場合は第1の電極は反射率の高い材料(Al、Ag等)を用いることができる。本実施の形態ではITSOを第1の電極64として用いた(図8(A))。   Further, the electrode for extracting light may be formed of a conductive film having transparency, and an ultrathin film of metal such as Al or Ag is used in addition to a metal compound such as ITO, ITSO, or IZO. In the case where light emission is extracted from the second electrode, a material with high reflectivity (Al, Ag, or the like) can be used for the first electrode. In this embodiment mode, ITSO is used as the first electrode 64 (FIG. 8A).

次に第2の層間絶縁層63(もしくは絶縁層)及び第1の電極64を覆って有機材料もしくは無機材料からなる絶縁層を形成する。続いて当該絶縁層を第1の電極64の一部が露出するように加工し、隔壁65を形成する。隔壁65の材料としては、感光性を有する有機材料(アクリル、ポリイミドなど)が好適に用いられるが、感光性を有さない有機材料や無機材料で形成してもかまわない。また、隔壁65の材料にカーボンナイトライドなどの黒色顔料や染料を分散材などを用いて分散し、隔壁65を黒くすることでブラックマトリクス様に用いても良い。隔壁65の第1の電極に向かう端面は曲率を有し、当該曲率が連続的に変化するテーパー形状をしていることが望ましい(図8(B))。   Next, an insulating layer made of an organic material or an inorganic material is formed so as to cover the second interlayer insulating layer 63 (or the insulating layer) and the first electrode 64. Subsequently, the insulating layer is processed so that a part of the first electrode 64 is exposed, and a partition wall 65 is formed. As the material of the partition wall 65, a photosensitive organic material (acrylic, polyimide, or the like) is preferably used, but it may be formed of an organic material or an inorganic material that does not have photosensitivity. Further, a black pigment or dye such as carbon nitride may be dispersed in the material of the partition wall 65 using a dispersing material or the like, and the partition wall 65 may be blackened to be used like a black matrix. It is desirable that the end face of the partition wall 65 facing the first electrode has a curvature and has a tapered shape in which the curvature continuously changes (FIG. 8B).

続いて、実施の形態1乃至実施の形態4のいずれかに倣って複数の発光体及び少なくとも2以上存在する発光体と発光体との間に設けられた導電層を形成する。発光体と導電層の数は実施者が適宜定めれば良い。これらの層をまとめて図では発光層を含む層66とする。   Subsequently, according to any of Embodiments 1 to 4, a plurality of light emitters and a conductive layer provided between the light emitters and at least two or more light emitters are formed. The number of light emitters and conductive layers may be determined as appropriate by the practitioner. These layers are collectively referred to as a layer 66 including a light emitting layer in the drawing.

続いて第2の電極67を形成する。これによって第1の電極64と第2の電極67との間に発光層を含む層を挟んでなる発光素子93を作製することができ、第1の電極に第2の電極より高い電圧をかけることによって発光を得ることができる。第2の電極67の形成に用いられる電極材料としては第1の電極の材料と同様の材料を用いることができる。本実施の形態ではアルミニウムを第2の電極として用いた。   Subsequently, a second electrode 67 is formed. Thus, a light-emitting element 93 in which a layer including a light-emitting layer is sandwiched between the first electrode 64 and the second electrode 67 can be manufactured, and a higher voltage than that of the second electrode is applied to the first electrode. Thus, light emission can be obtained. As an electrode material used for forming the second electrode 67, the same material as that of the first electrode can be used. In this embodiment, aluminum is used as the second electrode.

その後、プラズマCVD法により窒素を含む酸化ケイ素膜をのパッシベーション膜として形成する。窒素を含む酸化ケイ素膜を用いる場合には、プラズマCVD法でSiH、NO、NHから作製される酸化窒化ケイ素膜、またはSiH、NOから作製される酸化窒化ケイ素膜、あるいはSiH、NOをArで希釈したガスから形成される酸化窒化ケイ素膜を形成すれば良い。 Thereafter, a silicon oxide film containing nitrogen is formed as a passivation film by plasma CVD. In the case of using a silicon oxide film containing nitrogen, a silicon oxynitride film manufactured from SiH 4 , N 2 O, NH 3 by a plasma CVD method, or a silicon oxynitride film manufactured from SiH 4 , N 2 O, Alternatively, a silicon oxynitride film formed from a gas obtained by diluting SiH 4 and N 2 O with Ar may be formed.

また、パッシベーション膜としてSiH、NO、Hから作製される酸化窒化水素化ケイ素膜を適用しても良い。もちろん、パッシベーション膜は単層構造に限定されるものではなく、他のケイ素を含む絶縁層を単層構造、もしくは積層構造として用いても良い。また、窒化炭素膜と窒化ケイ素膜の多層膜やスチレンポリマーの多層膜、窒化ケイ素膜やダイヤモンドライクカーボン膜を窒素を含む酸化ケイ素膜の代わりに形成してもよい。 Further, a silicon oxynitride silicon film formed from SiH 4 , N 2 O, and H 2 may be applied as the passivation film. Of course, the passivation film is not limited to a single layer structure, and another insulating layer containing silicon may be used as a single layer structure or a laminated structure. Further, a multilayer film of carbon nitride film and silicon nitride film, a multilayer film of styrene polymer, a silicon nitride film, or a diamond-like carbon film may be formed instead of the silicon oxide film containing nitrogen.

続いて発光素子を水などの劣化を促進する物質から保護するために、表示部の封止を行う。対向基板を封止に用いる場合は、絶縁性のシール材により、外部接続部が露出するように貼り合わせる。対向基板と素子基板との間の空間には乾燥した窒素などの不活性気体を充填しても良いし、シール材を画素部全面に塗布しそれにより対向基板を貼り合わせても良い。シール材には紫外線硬化樹脂などを用いると好適である。シール材には乾燥剤や基板間のギャップを一定に保つための粒子を混入しておいても良い。続いて外部接続部にフレキシブル配線基板を貼り付けることによって、発光装置が完成する。   Subsequently, the display portion is sealed in order to protect the light emitting element from a substance that promotes deterioration such as water. In the case where the counter substrate is used for sealing, bonding is performed with an insulating sealing material so that the external connection portion is exposed. A space between the counter substrate and the element substrate may be filled with an inert gas such as dry nitrogen, or a sealing material may be applied to the entire surface of the pixel portion to bond the counter substrate. It is preferable to use an ultraviolet curable resin or the like for the sealing material. The sealing material may contain a desiccant or particles for keeping the gap between the substrates constant. Subsequently, a flexible wiring substrate is attached to the external connection portion, whereby the light emitting device is completed.

以上のように作製した発光装置の構成の1例を図9参照しながら説明する。なお、形が異なっていても同様の機能を示す部分には同じ符号を付し、その説明を省略する部分もある。本実施の形態では、LDD構造を有する薄膜トランジスタが接続部を介して発光素子に接続している。   One example of the structure of the light-emitting device manufactured as described above will be described with reference to FIG. In addition, even if the shapes are different, parts showing similar functions are denoted by the same reference numerals, and explanations thereof are omitted. In this embodiment mode, a thin film transistor having an LDD structure is connected to a light emitting element through a connection portion.

図9(A)は第1の電極が透光性を有する導電膜により形成されており、基板側に発光体より発せられた光が取り出される構造である。なお94は対向基板であり、発光素子が形成された後、シール材などを用い、基板に固着される。対向基板94と素子との間に透光性を有する樹脂88等を充填し、封止することによって発光素子が水分により劣化することを防ぐ事ができる。また、樹脂88が吸湿性を有していることが望ましい。さらに樹脂88中に透光性の高い乾燥剤89を分散させるとさらに水分の影響を抑えることが可能になるためさらに望ましい形態である。   FIG. 9A illustrates a structure in which the first electrode is formed using a light-transmitting conductive film and light emitted from the light-emitting body is extracted to the substrate side. Reference numeral 94 denotes a counter substrate, which is fixed to the substrate using a sealing material or the like after the light emitting element is formed. By filling a resin 88 or the like having a light-transmitting property between the counter substrate 94 and the element and sealing it, the light-emitting element can be prevented from being deteriorated by moisture. Further, it is desirable that the resin 88 has a hygroscopic property. Further, if a desiccant 89 having high translucency is dispersed in the resin 88, the influence of moisture can be further suppressed, which is a more desirable form.

図9(B)は第1の電極と第2の電極67両方が透光性を有する導電膜により形成されており、基板及び対向基板の両方に光を取り出すことが可能な構成となっている。また、この構成では基板と対向基板の外側に偏光板90を設けることによって画面が透けてしまうことを防ぐことができ、視認性が向上する。偏光板90の外側には保護フィルム91を設けると良い。   In FIG. 9B, both the first electrode and the second electrode 67 are formed using a light-transmitting conductive film, and light can be extracted to both the substrate and the counter substrate. . Further, in this configuration, by providing the polarizing plate 90 on the outside of the substrate and the counter substrate, the screen can be prevented from being seen through, and visibility is improved. A protective film 91 may be provided outside the polarizing plate 90.

なお、表示機能を有する本発明の発光装置には、アナログのビデオ信号、デジタルのビデオ信号のどちらを用いてもよい。デジタルのビデオ信号を用いる場合はそのビデオ信号が電圧を用いているものと、電流を用いているものとに分けられる。発光素子の発光時において、画素に入力されるビデオ信号は、定電圧のものと、定電流のものがあり、ビデオ信号が定電圧のものには、発光素子に印加される電圧が一定のものと、発光素子に流れる電流が一定のものとがある。またビデオ信号が定電流のものには、発光素子に印加される電圧が一定のものと、発光素子に流れる電流が一定のものとがある。この発光素子に印加される電圧が一定のものは定電圧駆動であり、発光素子に流れる電流が一定のものは定電流駆動である。定電流駆動は、発光素子の抵抗変化によらず、一定の電流が流れる。本発明の発光装置及びその駆動方法には、上記したどの駆動方法を用いてもよい。   Note that either an analog video signal or a digital video signal may be used for the light-emitting device of the present invention having a display function. When a digital video signal is used, the video signal is classified into one using a voltage and one using a current. When the light emitting element emits light, the video signal input to the pixel has a constant voltage and a constant current. When the video signal has a constant voltage, the voltage applied to the light emitting element is constant. And the current flowing through the light emitting element is constant. In addition, a video signal having a constant current includes a constant voltage applied to the light emitting element and a constant current flowing in the light emitting element. A constant voltage applied to the light emitting element is constant voltage driving, and a constant current flowing through the light emitting element is constant current driving. In constant current driving, a constant current flows regardless of the resistance change of the light emitting element. Any of the above driving methods may be used for the light emitting device and the driving method thereof of the present invention.

このような構成を有する本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置である。   The light emitting device of the present invention having such a structure is a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality.

本実施の形態は実施の形態1乃至実施の形態7の適当な構成と組み合わせて用いることが可能である。   This embodiment mode can be combined with any suitable structure in Embodiment Modes 1 to 7.

(実施の形態8)
本実施の形態では図10乃至図12を用い、上面図を参照しながら本発明のアクティブマトリクス型発光装置の作製方法を説明する。なお、各構成の材料等については実施の形態1乃至実施の形態7に準ずることとし、説明を省略する。
(Embodiment 8)
In this embodiment mode, a method for manufacturing an active matrix light-emitting device of the present invention will be described with reference to FIGS. Note that materials and the like of each component are the same as those in Embodiments 1 to 7, and description thereof is omitted.

図10(A)は実施の形態7において隔壁65まで作製した発光装置の上面図である。基板200上に設けられた点線部は走査線駆動回路形成領域400、信号線駆動回路形成領域401、外部接続部形成領域402、画素部403をそれぞれ示し、404は隔壁65の開口部に相当し下部の第1の電極が露出した状態である。なお、404は発光領域に相当する。このように各々薄膜トランジスタと電気的に接続した第1の電極の一部が露出した発光領域404がマトリクス状に配列される。   FIG. 10A is a top view of the light-emitting device manufactured up to the partition wall 65 in Embodiment 7. FIG. A dotted line portion provided over the substrate 200 indicates a scanning line driver circuit formation region 400, a signal line driver circuit formation region 401, an external connection portion formation region 402, and a pixel portion 403. 404 corresponds to an opening of the partition wall 65. The lower first electrode is exposed. Note that 404 corresponds to a light emitting region. In this manner, the light emitting regions 404 where a part of the first electrodes electrically connected to the thin film transistors are exposed are arranged in a matrix.

図10(B)は画素部403を覆って第1の発光体207が形成された状態である。本実施の形態では全画素にわたって同一の発光体が形成されているが、異なる発光を呈する発光体を画素毎や画素の一定の領域毎に分けて形成しても良い。なお、発光体は基本的に抵抗が大きいことから隣接する画素におけるクロストークの心配は無い。   FIG. 10B illustrates a state in which the first light emitter 207 is formed so as to cover the pixel portion 403. In the present embodiment, the same light emitter is formed over all the pixels, but light emitters that emit different light may be formed separately for each pixel or for a certain region of the pixel. Since the light emitter basically has a large resistance, there is no concern about crosstalk in adjacent pixels.

図11(A)は画素毎に分離して導電層250を設けた状態である。また、導電層250の端部は発光領域404の端部より各々外側に設けられているため、多少マスクアラインメントがずれても発光領域404を導電層250が覆うことができるため表示品質の低下を招かず、当該マスクズレが原因で起こる不良も低減させることができる。   FIG. 11A shows a state in which a conductive layer 250 is provided separately for each pixel. In addition, since the end portions of the conductive layer 250 are provided outside the end portions of the light emitting region 404, the light emitting region 404 can be covered with the conductive layer 250 even if the mask alignment is slightly shifted, so that the display quality is deteriorated. Without inviting, defects caused by the mask displacement can also be reduced.

図11(B)は画素部403を覆って第2の発光体208を形成した状態である。これにより導電層250の端部を第1の発光体207と第2の発光体208によって覆うことができ、導電層250が画素毎に分離していることから隣接する画素同士でクロストークを充分に低減させることができる。このことから、第1の発光体207と第2の発光体208からの発光により発光効率の高い発光装置でありながら隣接する画素同士のクロストークを充分に低下した表示品質の高い発光装置を得ることができる。   FIG. 11B illustrates a state in which the second light-emitting body 208 is formed so as to cover the pixel portion 403. As a result, the end portion of the conductive layer 250 can be covered with the first light emitter 207 and the second light emitter 208, and since the conductive layer 250 is separated for each pixel, crosstalk between adjacent pixels is sufficient. Can be reduced. From this, a light emitting device with high display quality in which the crosstalk between adjacent pixels is sufficiently reduced while the light emitting device has high light emission efficiency by light emission from the first light emitter 207 and the second light emitter 208 is obtained. be able to.

図12は第2の電極209まで形成した状態である。第2の電極209は全画素にまたがって形成すればよい。なお実施の形態1乃至実施の形態4に記載したアクティブマトリクス型発光装置の断面図は図12におけるA−Bの断面に相当する。   FIG. 12 shows a state where up to the second electrode 209 is formed. The second electrode 209 may be formed across all pixels. Note that a cross-sectional view of the active matrix light-emitting device described in any of Embodiments 1 to 4 corresponds to a cross section taken along line AB in FIG.

本実施の形態は実施の形態1乃至実施の形態8と適宜組み合わせて用いることができる。   This embodiment can be combined with any of Embodiments 1 to 8 as appropriate.

(実施の形態9)
本実施の形態では、本発明の発光装置であるパネルの外観について図13を用いて説明する。図13は基板上に形成されたトランジスタおよび発光素子を対向基板4006との間に形成したシール材によって封止したパネルの上面図であり、図13(B)は図13(A)の断面図に相応する。また、このパネルに搭載されている発光素子の有する構造は、実施の形態4に示したような構成である。
(Embodiment 9)
In this embodiment mode, the appearance of a panel which is a light-emitting device of the present invention will be described with reference to FIGS. 13 is a top view of a panel in which a transistor and a light-emitting element formed over a substrate are sealed with a sealant formed between a counter substrate 4006 and FIG. 13B is a cross-sectional view of FIG. It corresponds to. The structure of the light-emitting element mounted on this panel is the structure shown in Embodiment Mode 4.

基板4001上に設けられた画素部4002と信号線駆動回路4003と走査線駆動回路4004とを囲むようにして、シール材4005が設けられている。また、画素部4002と信号線駆動回路4003と、走査線駆動回路4004の上に対向基板4006が設けられている。よって画素部4002と信号線駆動回路4003と、走査線駆動回路4004とは基板4001とシール材4005と対向基板4006とによって充填材4007と共に密封されている。   A sealant 4005 is provided so as to surround the pixel portion 4002, the signal line driver circuit 4003, and the scan line driver circuit 4004 which are provided over the substrate 4001. A counter substrate 4006 is provided over the pixel portion 4002, the signal line driver circuit 4003, and the scan line driver circuit 4004. Therefore, the pixel portion 4002, the signal line driver circuit 4003, and the scan line driver circuit 4004 are sealed together with the filler 4007 by the substrate 4001, the sealant 4005, and the counter substrate 4006.

また、基板4001上に設けられた画素部4002と信号線駆動回路4003と走査線駆動回路4004とは薄膜トランジスタを複数有しており、図13(B)では信号線駆動回路4003に含まれる薄膜トランジスタ4008と、画素部4002に含まれる薄膜トランジスタ4010とを示す。   The pixel portion 4002, the signal line driver circuit 4003, and the scan line driver circuit 4004 provided over the substrate 4001 include a plurality of thin film transistors. In FIG. 13B, the thin film transistor 4008 included in the signal line driver circuit 4003 is provided. And a thin film transistor 4010 included in the pixel portion 4002.

また、発光素子4011は、薄膜トランジスタ4010と電気的に接続されている。   The light emitting element 4011 is electrically connected to the thin film transistor 4010.

また、引き回し配線4014は画素部4002と信号線駆動回路4003と、走査線駆動回路4004とに、信号、または電源電圧を供給する為の配線に相当する。引き回し配線4014は、引き回し配線4015aと引き回し配線4015bを介して接続端子4016と接続されている。接続端子4016はフレキシブルプリントサーキット(FPC)4018が有する端子と異方性導電膜4019を介して電気的に接続されている。   The lead wiring 4014 corresponds to a wiring for supplying a signal or a power supply voltage to the pixel portion 4002, the signal line driver circuit 4003, and the scan line driver circuit 4004. The lead wiring 4014 is connected to the connection terminal 4016 through the lead wiring 4015a and the lead wiring 4015b. The connection terminal 4016 is electrically connected to a terminal included in a flexible printed circuit (FPC) 4018 through an anisotropic conductive film 4019.

なお、充填材4007としては窒素やアルゴンなどの不活性な気体の他に、紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂を用いることができ、ポリビニルクロライド、アクリル、ポリイミド、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ポリビニルブチラル、またはエチレンビニレンアセテートを用いる事ができる。   Note that as the filler 4007, in addition to an inert gas such as nitrogen or argon, an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin can be used, and polyvinyl chloride, acrylic, polyimide, epoxy resin, silicon resin, polyvinyl butyral, Alternatively, ethylene vinylene acetate can be used.

なお、本発明の発光装置は発光素子を有する画素部が形成されたパネルと、該パネルにICが実装されたモジュールとをその範疇に含む。   Note that the light-emitting device of the present invention includes in its category a panel in which a pixel portion having a light-emitting element is formed and a module in which an IC is mounted on the panel.

このような構成を有する本発明の発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置である。   The light emitting device of the present invention having such a structure is a light emitting device with high luminous efficiency and high display quality.

本実施の形態は実施の形態1乃至実施の形態9と適宜組み合わせて用いることができる。   This embodiment can be combined with any of Embodiments 1 to 9 as appropriate.

(実施の形態10)
本実施の形態では、実施の形態9で示したパネル、モジュールが有する画素回路、保護回路及びそれらの動作について説明する。なお、図7、図8に示してきた断面図は駆動用TFT1403と発光素子1405の断面図となっている。
(Embodiment 10)
In this embodiment mode, pixel circuits and protection circuits included in the panel and module described in Embodiment Mode 9 and operations thereof will be described. Note that the cross-sectional views shown in FIGS. 7 and 8 are cross-sectional views of the driving TFT 1403 and the light emitting element 1405.

図14(A)に示す画素は、列方向に信号線1410及び電源線1411、1412、行方向に走査線1414が配置される。また、スイッチング用TFT1401、駆動用TFT1403、電流制御用TFT1404、容量素子1402及び発光素子1405を有する。   In the pixel shown in FIG. 14A, a signal line 1410 and power supply lines 1411 and 1412 are arranged in the column direction, and a scanning line 1414 is arranged in the row direction. The pixel further includes a switching TFT 1401, a driving TFT 1403, a current control TFT 1404, a capacitor element 1402, and a light emitting element 1405.

図14(C)に示す画素は、駆動用TFT1403のゲート電極が、行方向に配置された電源線1412に接続される点が異なっており、それ以外は図14(A)に示す画素と同じ構成である。つまり、図14(A)(C)に示す両画素は、同じ等価回路図を示す。しかしながら、列方向に電源線1412が配置される場合(図14(A))と、行方向に電源線1412が配置される場合(図14(C))とでは、各電源線は異なるレイヤーの導電膜で形成される。ここでは、駆動用TFT1403のゲート電極が接続される配線に注目し、これらを作製するレイヤーが異なることを表すために、図14(A)(C)として分けて記載する。   The pixel shown in FIG. 14C is different from the pixel shown in FIG. 14A except that the gate electrode of the driving TFT 1403 is connected to the power supply line 1412 arranged in the row direction. It is a configuration. That is, both pixels shown in FIGS. 14A and 14C show the same equivalent circuit diagram. However, in the case where the power supply line 1412 is arranged in the column direction (FIG. 14A) and in the case where the power supply line 1412 is arranged in the row direction (FIG. 14C), each power supply line has a different layer. It is formed of a conductive film. Here, attention is paid to the wiring to which the gate electrode of the driving TFT 1403 is connected, and FIGS. 14A and 14C are shown separately to show that the layers for manufacturing these are different.

図14(A)(C)に示す画素の特徴として、画素内に駆動用TFT1403と電流制御用TFT1404が直列に接続されており、駆動用TFT1403のチャネル長L(1403)、チャネル幅W(1403)、電流制御用TFT1404のチャネル長L(1404)、チャネル幅W(1404)は、L(1403)/W(1403):L(1404)/W(1404)=5〜6000:1を満たすように設定するとよい。   14A and 14C, a driving TFT 1403 and a current control TFT 1404 are connected in series in the pixel, and a channel length L (1403) and a channel width W (1403) of the driving TFT 1403 are connected. ), The channel length L (1404) and the channel width W (1404) of the current control TFT 1404 satisfy L (1403) / W (1403): L (1404) / W (1404) = 5 to 6000: 1. It is good to set to.

なお、駆動用TFT1403は、飽和領域で動作し発光素子1405に流れる電流値を制御する役目を有し、電流制御用TFT1404は線形領域で動作し発光素子1405に対する電流の供給を制御する役目を有する。両TFTは同じ導電型を有していると作製工程上好ましく、本実施の形態ではnチャネル型TFTとして形成する。また駆動用TFT1403には、エンハンスメント型だけでなく、ディプリーション型のTFTを用いてもよい。上記構成を有する本発明の発光装置は、電流制御用TFT1404が線形領域で動作するために、電流制御用TFT1404のゲート電極−ソース電極間電圧Vgsの僅かな変動は、発光素子1405の電流値に影響を及ぼさない。つまり、発光素子1405の電流値は、飽和領域で動作する駆動用TFT1403により決定することができる。上記構成により、TFTの特性バラツキに起因した発光素子の輝度ムラを改善して、画質を向上させた発光装置を提供することができる。   Note that the driving TFT 1403 operates in a saturation region and has a role of controlling a current value flowing through the light emitting element 1405, and the current control TFT 1404 operates in a linear region and has a role of controlling supply of current to the light emitting element 1405. . Both TFTs preferably have the same conductivity type in terms of manufacturing process, and in this embodiment mode, they are formed as n-channel TFTs. The driving TFT 1403 may be a depletion type TFT as well as an enhancement type. In the light emitting device of the present invention having the above structure, since the current control TFT 1404 operates in a linear region, a slight change in the gate electrode-source electrode voltage Vgs of the current control TFT 1404 is caused by the current value of the light emitting element 1405. Has no effect. That is, the current value of the light emitting element 1405 can be determined by the driving TFT 1403 operating in the saturation region. With the above structure, it is possible to provide a light-emitting device in which luminance unevenness of a light-emitting element due to variation in TFT characteristics is improved and image quality is improved.

図14(A)〜(D)に示す画素において、スイッチング用TFT1401は、画素に対するビデオ信号の入力を制御するものであり、スイッチング用TFT1401がオンとなると、画素内にビデオ信号が入力される。すると、容量素子1402にそのビデオ信号の電圧が保持される。なお図14(A)(C)には、容量素子1402を設けた構成を示したが、本発明はこれに限定されず、ビデオ信号を保持する容量がゲート容量などでまかなうことが可能な場合には、容量素子1402を設けなくてもよい。   In the pixels shown in FIGS. 14A to 14D, the switching TFT 1401 controls input of a video signal to the pixel. When the switching TFT 1401 is turned on, the video signal is input into the pixel. Then, the voltage of the video signal is held in the capacitor element 1402. 14A and 14C illustrate the structure in which the capacitor 1402 is provided, the present invention is not limited to this, and the capacity for holding a video signal can be covered by a gate capacity or the like. In this case, the capacitor 1402 is not necessarily provided.

図14(B)に示す画素は、TFT1406と走査線1415を追加している以外は、図14(A)に示す画素構成と同じである。同様に、図14(D)に示す画素は、TFT1406と走査線1415を追加している以外は、図14(C)に示す画素構成と同じである。   The pixel shown in FIG. 14B has the same pixel structure as that shown in FIG. 14A except that a TFT 1406 and a scanning line 1415 are added. Similarly, the pixel illustrated in FIG. 14D has the same pixel structure as that illustrated in FIG. 14C except that a TFT 1406 and a scanning line 1415 are added.

TFT1406は、新たに配置された走査線1415によりオン又はオフが制御される。TFT1406がオンとなると、容量素子1402に保持された電荷は放電し、電流制御用TFT1404がオフとなる。つまり、TFT1406の配置により、強制的に発光素子1405に電流が流れない状態を作ることができる。そのためTFT1406を消去用TFTと呼ぶことができる。従って、図14(B)(D)の構成は、全ての画素に対する信号の書き込みを待つことなく、書き込み期間の開始と同時又は直後に点灯期間を開始することができるため、デューティ比を向上することが可能となる。   The TFT 1406 is controlled to be turned on or off by a newly arranged scanning line 1415. When the TFT 1406 is turned on, the charge held in the capacitor element 1402 is discharged, and the current control TFT 1404 is turned off. That is, the arrangement of the TFT 1406 can forcibly create a state where no current flows through the light-emitting element 1405. Therefore, the TFT 1406 can be called an erasing TFT. 14B and 14D, the lighting period can be started at the same time as or immediately after the start of the writing period without waiting for signal writing to all pixels, so that the duty ratio is improved. It becomes possible.

図14(E)に示す画素は、列方向に信号線1410、電源線1411、行方向に走査線1414が配置される。また、スイッチング用TFT1401、駆動用TFT1403、容量素子1402及び発光素子1405を有する。図14(F)に示す画素は、TFT1406と走査線1415を追加している以外は、図14(E)に示す画素構成と同じである。なお、図14(F)の構成も、TFT1406の配置により、デューティ比を向上することが可能となる。   In the pixel shown in FIG. 14E, a signal line 1410, a power supply line 1411 are arranged in the column direction, and a scanning line 1414 is arranged in the row direction. Further, the pixel includes a switching TFT 1401, a driving TFT 1403, a capacitor element 1402, and a light emitting element 1405. The pixel shown in FIG. 14F has the same pixel structure as that shown in FIG. 14E except that a TFT 1406 and a scanning line 1415 are added. Note that the duty ratio of the structure in FIG. 14F can also be improved by the arrangement of the TFT 1406.

駆動用TFT1403を強制的にオフにする場合の画素構成の例を図21に示す。選択TFT1451、駆動用TFT1453、消去ダイオード1461、発光素子1454が配置されている。選択TFT1451のソースとドレインは各々、信号線1455と駆動用TFT1453のゲートに接続されている。選択TFT1451のゲートは、第1ゲート線1457に接続されている。駆動用TFT1453のソースとドレインは各々、第1電源線1456と発光素子1454に接続されている。消去ダイオード1461は、駆動用TFT1453のゲートと第2ゲート線1467に接続されている。   FIG. 21 shows an example of a pixel configuration in the case where the driving TFT 1403 is forcibly turned off. A selection TFT 1451, a driving TFT 1453, an erasing diode 1461, and a light emitting element 1454 are arranged. The source and drain of the selection TFT 1451 are connected to the signal line 1455 and the gate of the driving TFT 1453, respectively. The gate of the selection TFT 1451 is connected to the first gate line 1457. The source and drain of the driving TFT 1453 are connected to the first power supply line 1456 and the light emitting element 1454, respectively. The erasing diode 1461 is connected to the gate of the driving TFT 1453 and the second gate line 1467.

容量素子1452は、駆動用TFT1453のゲート電位を保持する役目をしている。よって、駆動用TFT1453のゲートと電源線1456の間に接続されているが、これに限定されない。駆動用TFT1453のゲート電位を保持できるように配置されていればよい。また、駆動用TFT1453のゲート容量などを用いて、駆動用TFT1453のゲート電位を保持できる場合は、容量素子1452を省いても良い。   The capacitor element 1452 serves to hold the gate potential of the driving TFT 1453. Therefore, although connected between the gate of the driving TFT 1453 and the power supply line 1456, the present invention is not limited to this. It suffices if the gate potential of the driving TFT 1453 can be held. Further, in the case where the gate potential of the driving TFT 1453 can be held using the gate capacitance of the driving TFT 1453, the capacitor 1452 may be omitted.

動作方法としては、第1ゲート線1457を選択して、選択TFT1451をオン状態にして、信号線1455から信号を容量素子1452に入力する。すると、その信号に応じて、駆動用TFT1453の電流が制御され、第1電源線1456から、発光素子1454を通って、第2電源線1458に電流が流れる。   As an operation method, the first gate line 1457 is selected, the selection TFT 1451 is turned on, and a signal is input from the signal line 1455 to the capacitor 1452. Then, the current of the driving TFT 1453 is controlled according to the signal, and the current flows from the first power supply line 1456 to the second power supply line 1458 through the light emitting element 1454.

信号を消去したい場合は、第2ゲート線1467を選択(ここでは、高い電位にする)して、消去ダイオード1461がオンして、第2ゲート線1467から駆動用TFT1453のゲートへ電流が流れるようにする。その結果、駆動用TFT1453がオフ状態になる。すると、第1電源線1456から、発光素子1454を通って、第2電源線1458には、電流が流れないようになる。その結果、非点灯期間を作ることができ、点灯期間の長さを自由に制御できるようになる。 When the signal is to be erased, the second gate line 1467 is selected (in this case, set to a high potential), the erasing diode 1461 is turned on, and a current flows from the second gate line 1467 to the gate of the driving TFT 1453. To. As a result, the driving TFT 1453 is turned off. Then, no current flows from the first power supply line 1456 to the second power supply line 1458 through the light emitting element 1454. As a result, a non-lighting period can be created and the length of the lighting period can be freely controlled.

信号を保持しておきたい場合は、第2ゲート線1467を非選択(ここでは、低い電位にする)しておく。すると、消去ダイオード1461がオフするので、駆動用TFT1453のゲート電位は保持される。 When it is desired to hold the signal, the second gate line 1467 is not selected (here, set to a low potential). Then, since the erasing diode 1461 is turned off, the gate potential of the driving TFT 1453 is held.

なお、消去ダイオード1461は、整流性がある素子であれば、なんでもよい。PN型ダイオードでもよいし、PIN型ダイオードでもよいし、ショットキー型ダイオードでもよいし、ツェナー型ダイオードでもよい。   The erasing diode 1461 may be anything as long as it has a rectifying property. A PN-type diode, a PIN-type diode, a Schottky diode, or a Zener-type diode may be used.

以上のように、多様な画素回路を採用することができる。特に、非晶質半導体膜から薄膜トランジスタを形成する場合、駆動用TFT1403、1453の半導体膜を大きくすると好ましい。そのため、上記画素回路において、発光体からの光が封止基板側から射出する上面発光型とすると好ましい。   As described above, various pixel circuits can be employed. In particular, in the case where a thin film transistor is formed from an amorphous semiconductor film, it is preferable to increase the semiconductor film of the driving TFTs 1403 and 1453. Therefore, it is preferable that the pixel circuit be a top emission type in which light from the light emitter is emitted from the sealing substrate side.

このようなアクティブマトリクス型の発光装置は、画素密度が増えた場合、各画素にTFTが設けられているため低電圧駆動でき、有利であると考えられている。   Such an active matrix light-emitting device is considered to be advantageous because it can be driven at a low voltage because a TFT is provided in each pixel when the pixel density is increased.

本実施の形態では、一画素に各TFTが設けられるアクティブマトリクス型の発光装置について説明したが、一列毎にTFTが設けられるパッシブマトリクス型の発光装置を形成することもできる。パッシブマトリクス型の発光装置は、各画素にTFTが設けられていないため、高開口率となる。発光が発光体の両側へ射出する発光装置の場合、パッシブマトリクス型の発光装置を用いる透過率が高まる。   In this embodiment mode, an active matrix light-emitting device in which each pixel is provided with each TFT has been described; however, a passive matrix light-emitting device in which a TFT is provided for each column can also be formed. A passive matrix light-emitting device has a high aperture ratio because a TFT is not provided for each pixel. In the case of a light-emitting device that emits light to both sides of a light-emitting body, transmittance using a passive matrix light-emitting device is increased.

続いて、図14(E)に示す等価回路を用い、走査線及び信号線に保護回路としてダイオードを設ける場合について説明する。   Next, the case where a diode is provided as a protective circuit in the scan line and the signal line will be described using the equivalent circuit illustrated in FIG.

図15には、画素部1500にスイッチング用TFT1401、駆動用TFT1403、容量素子1402、発光素子1405が設けられている。信号線1410には、ダイオード1561と1562が設けられている。ダイオード1561と1562は、スイッチング用TFT1401又は駆動用TFT1403と同様に、上記実施の形態に基づき作製され、ゲート電極、半導体層、ソース電極及びドレイン電極等を有する。ダイオード1561と1562は、ゲート電極と、ドレイン電極又はソース電極とを接続することによりダイオードとして動作させている。   In FIG. 15, a switching TFT 1401, a driving TFT 1403, a capacitor element 1402, and a light emitting element 1405 are provided in the pixel portion 1500. The signal line 1410 is provided with diodes 1561 and 1562. Like the switching TFT 1401 or the driving TFT 1403, the diodes 1561 and 1562 are manufactured based on the above embodiment mode and include a gate electrode, a semiconductor layer, a source electrode, a drain electrode, and the like. The diodes 1561 and 1562 operate as diodes by connecting a gate electrode and a drain electrode or a source electrode.

ダイオードと接続する共通電位線1554、1555はゲート電極と同じレイヤーで形成している。従って、ダイオードのソース電極又はドレイン電極と接続するには、ゲート絶縁層にコンタクトホールを形成する必要がある。   Common potential lines 1554 and 1555 connected to the diode are formed in the same layer as the gate electrode. Therefore, in order to connect to the source electrode or the drain electrode of the diode, it is necessary to form a contact hole in the gate insulating layer.

走査線1414に設けられるダイオードも同様な構成である。   A diode provided in the scan line 1414 has a similar structure.

このように、本発明によれば、入力段に設けられる保護ダイオードを同時に形成することができる。なお、保護ダイオードを形成する位置は、図15に限定されず、駆動回路と画素との間に設けることもできる。   Thus, according to the present invention, the protection diode provided in the input stage can be formed simultaneously. Note that the position where the protective diode is formed is not limited to that in FIG. 15, and the protective diode can be provided between the driver circuit and the pixel.

このような保護回路を有する本発明の発光装置は、当該発光装置は発光効率が高く且つ表示品質も高い発光装置でありまた、上記構成を有することで、発光装置としての信頼性をさらに高めることが可能となる。 The light-emitting device of the present invention having such a protective circuit is a light-emitting device that has high luminous efficiency and high display quality, and has the above structure, thereby further improving the reliability as the light-emitting device. Is possible.

(実施の形態11)
本実施の形態では図16乃至図18を用い、上面図を参照しながら本発明のパッシブマトリクス型発光装置の作製方法を説明する。なお、各構成の材料等については実施の形態1乃至実施の形態4に準ずることとし、説明を省略する部分もある。
(Embodiment 11)
In this embodiment mode, a method for manufacturing a passive matrix light-emitting device of the present invention will be described with reference to FIGS. Note that the materials and the like of each component are the same as those in Embodiments 1 to 4, and a description thereof is omitted.

まず、基板300の主表面上に、一方向に延びる第1の電極301及び入力端子部を形成するための端子500を同じ材料で形成する。第1の電極301の組成及び作製方法については、上述したとおりである。基板300は、例えばバリウムホウケイ酸ガラスや、アルミノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板、石英基板等を用いることができる。なお図16(A)では、第1の電極301から光を取り出す発光素子を用いているので、基板300は透光性を有する材料で形成するが、第2の電極305から光を取り出す場合、上記基板に加えて、例えばステンレス基板を含む金属基板またはシリコン基板の表面に絶縁膜を形成したものや、セラミック基板なども用いても良い。プラスチック等の可撓性を有する合成樹脂からなる基板は、一般的に上記基板と比較して耐熱温度が低い傾向にあるが、作製工程における処理温度に耐え得るのであれば用いることが可能である。   First, a first electrode 301 extending in one direction and a terminal 500 for forming an input terminal portion are formed using the same material on the main surface of the substrate 300. The composition and manufacturing method of the first electrode 301 are as described above. As the substrate 300, for example, a glass substrate such as barium borosilicate glass or alumino borosilicate glass, a quartz substrate, or the like can be used. Note that in FIG. 16A, since the light-emitting element that extracts light from the first electrode 301 is used, the substrate 300 is formed using a light-transmitting material; however, when light is extracted from the second electrode 305, In addition to the above substrate, for example, a metal substrate including a stainless steel substrate or a silicon substrate with an insulating film formed on the surface thereof, a ceramic substrate, or the like may be used. A substrate made of a synthetic resin having flexibility such as plastic generally tends to have a lower heat resistant temperature than the above substrate, but can be used as long as it can withstand the processing temperature in the manufacturing process. .

次に、図16(B)に示すように、第1の電極301の入力端子部形成領域と、第2の電極の接続部兼入力端子部形成領域に、補助電極501a、501bを形成する。補助電極は、外部回路と接続する際に、ヒートシール性の良い導電性材料で形成することが好ましく、クロム、ニッケルなどを含む金属材料で形成すれば良い。次に、隔壁302を形成する。隔壁302は、第1の電極301と直交するように設け、隔壁302は、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化窒化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸窒化アミニウム、その他の絶縁性を有する無機材料、又はアクリル酸、メタクリル酸及びこれらの誘導体、ポリイミド、芳香族ポリアミド、ポリベンゾイミダゾールなどの耐熱性を有する高分子材料、シロキサンで形成することができる。   Next, as shown in FIG. 16B, auxiliary electrodes 501a and 501b are formed in the input terminal portion formation region of the first electrode 301 and the connection / input terminal portion formation region of the second electrode. The auxiliary electrode is preferably formed of a conductive material having good heat sealability when connected to an external circuit, and may be formed of a metal material containing chromium, nickel, or the like. Next, the partition 302 is formed. The partition wall 302 is provided to be orthogonal to the first electrode 301. The partition wall 302 is formed using silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, aluminum oxide, aluminum nitride, aminium oxynitride, an inorganic material having insulating properties, or It can be formed of acrylic acid, methacrylic acid and derivatives thereof, a polymer material having heat resistance such as polyimide, aromatic polyamide, polybenzimidazole, or siloxane.

その後、図17(A)に示すように、隔壁302から露出している第1の電極301上に第1の発光体303形成する。本実施の形態において第1の発光体303はことなる発光色を示す発光材料を有する3種類を列毎に塗り分けして形成する。もちろん、全ての画素に同じ発光体を形成しても良い。なお、本実施の形態における発光領域は隔壁302から第1の電極301が露出している部分となる。   After that, as shown in FIG. 17A, a first light emitter 303 is formed over the first electrode 301 exposed from the partition wall 302. In this embodiment mode, the first light-emitting body 303 is formed by coating three types each having a light-emitting material exhibiting a different light emission color for each column. Of course, the same light emitter may be formed in all pixels. Note that the light-emitting region in this embodiment is a portion where the first electrode 301 is exposed from the partition wall 302.

続いて図17(B)に示すように画素毎に分離して導電層350を設ける。また、導電層350の端部は発光領域端部より各々外側に設ける。これより、マスクのアラインメントが多少ずれてしまっても発光領域を導電層350が覆うことができるため表示品質の低下を招かず、当該マスクのアラインメントのズレが原因で起こる不良も低減させることができる。   Subsequently, as shown in FIG. 17B, a conductive layer 350 is provided separately for each pixel. In addition, the end portions of the conductive layer 350 are provided outside the light emitting region end portions. Accordingly, even if the mask alignment is slightly shifted, the light emitting region can be covered with the conductive layer 350, so that the display quality is not deteriorated, and defects caused by the misalignment of the mask can be reduced. .

次に、図18(A)に示すように、導電層350上に第2の発光体304を形成する。第2の発光体304は第1の発光体303と同様に異なる発光色を示す発光材料を有する3種類を列毎に塗り分けして形成する。これにより導電層350の端部を第1の発光体303と第2の発光体304によって覆うことができ、導電層350が画素毎に分離していることから隣接する画素同士でクロストークを充分に低減させることができる。このことから、第1の発光体303と第2の発光体304からの発光により発光効率の高い発光装置でありながら隣接する画素同士のクロストークを充分に低下した表示品質の高い発光装置を得ることができる。   Next, as illustrated in FIG. 18A, the second light-emitting body 304 is formed over the conductive layer 350. Similarly to the first light emitter 303, the second light emitter 304 is formed by coating three kinds of light emitting materials having different emission colors for each column. As a result, the end portion of the conductive layer 350 can be covered with the first light emitter 303 and the second light emitter 304, and since the conductive layer 350 is separated for each pixel, crosstalk between adjacent pixels is sufficient. Can be reduced. Accordingly, a light emitting device with high display quality in which the crosstalk between adjacent pixels is sufficiently reduced while the light emitting device has high light emission efficiency by light emission from the first light emitter 303 and the second light emitter 304 is obtained. be able to.

続いて、図18(B)に示すように、第1の電極301上に第1の発光体303、導電層350及び第2の発光体304が形成された領域に、第1の電極301と交差する方向延びる第2の電極305を形成する。   Subsequently, as illustrated in FIG. 18B, the first electrode 301 and the first electrode 301 are formed in a region where the first light-emitting body 303, the conductive layer 350, and the second light-emitting body 304 are formed over the first electrode 301. A second electrode 305 extending in the intersecting direction is formed.

以上の様にして、発光素子が形成された画素部を有するパネルが形成される。なお実施の形態1乃至実施の形態4に示したパッシブマトリクス型の発光装置の断面図は図18(B)におけるC−Dの断面図に相当する。   As described above, a panel having a pixel portion in which a light emitting element is formed is formed. Note that the cross-sectional view of the passive matrix light-emitting device described in any of Embodiments 1 to 4 corresponds to a cross-sectional view taken along line CD in FIG.

その後、図19(A)に示すように、水分などの侵入を防ぐ保護膜306を形成し、ガラス、石英、アルミナなどのセラミック材料又は合成材料などの封止基板308をシール用の接着剤307で固着する。また外部入力端子部には外部回路と接続する際に、異方性導電膜309を介してフレキシブルプリント配線基板310を用い接続をとる。保護膜306は、窒化ケイ素で形成するものの他、応力を低減しつつガスバリア性を高める構成として、窒化炭素と窒化ケイ素の積層体で形成しても良い。   After that, as shown in FIG. 19A, a protective film 306 that prevents intrusion of moisture and the like is formed, and a sealing substrate 308 made of a ceramic material such as glass, quartz, or alumina or a synthetic material is used as a sealing adhesive 307. Secure with. Further, when connecting to the external input terminal portion with an external circuit, the flexible printed wiring board 310 is used for connection through the anisotropic conductive film 309. In addition to the protective film 306 formed of silicon nitride, the protective film 306 may be formed of a laminate of carbon nitride and silicon nitride as a structure that increases the gas barrier property while reducing stress.

図19(B)に、図19(A)に示すパネルに外部回路を接続して形成された、モジュールの様子を示す。モジュールは外部入力端子部18、19にフレキシブルプリント配線基板25を固着して、電源回路や信号処理回路が形成された外部回路基板と電気的に接続する。また、外部回路の一つであるドライバIC28の実装方法は、COG法、TAB法のどちらでも良く、図19(B)に、外部回路の一つであるドライバIC28を、COG法を用いて実装している様子を示す。   FIG. 19B shows a module formed by connecting an external circuit to the panel shown in FIG. In the module, a flexible printed wiring board 25 is fixed to the external input terminal portions 18 and 19 and electrically connected to an external circuit board on which a power supply circuit and a signal processing circuit are formed. Also, the mounting method of the driver IC 28 which is one of the external circuits may be either the COG method or the TAB method. In FIG. 19B, the driver IC 28 which is one of the external circuits is mounted using the COG method. It shows how it is doing.

なおパネルとモジュールは、本発明の発光装置の一形態に相当し、共に本発明の範疇に含まれる。   Note that the panel and the module correspond to one mode of the light-emitting device of the present invention, and both are included in the category of the present invention.

(実施の形態12)
本発明のモジュールを搭載した本発明の電子機器として、ビデオカメラ、デジタルカメラ等のカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオコンポ等)、コンピュータ、ゲーム機器、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲーム機または電子書籍等)、記録媒体を備えた画像再生装置(具体的にはDigital Versatile Disc(DVD)等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを備えた装置)などが挙げられる。それらの電子機器の具体例を図20に示す。
(Embodiment 12)
As an electronic device of the present invention equipped with the module of the present invention, a camera such as a video camera or a digital camera, a goggle type display (head mounted display), a navigation system, a sound reproduction device (car audio component, etc.), a computer, a game device, Play back a recording medium such as a portable information terminal (mobile computer, mobile phone, portable game machine or electronic book), an image playback device (specifically, Digital Versatile Disc (DVD)) equipped with a recording medium, A device having a display capable of displaying). Specific examples of these electronic devices are shown in FIGS.

図20(A)は発光装置でありテレビ受像器やパーソナルコンピュータのモニターなどがこれに当たる。筐体2001、表示部2003、スピーカー部2004等を含む。本発明の発光装置は表示部2003の表示品質が高い発光装置である。表示部にはコントラストを高めるため、偏光板、又は円偏光板を備えるとよい。例えば、封止基板へ1/4λ板、1/2λ板、偏光板の順にフィルムを設けるとよい。さらに偏光板上に反射防止膜を設けてもよい。   FIG. 20A shows a light-emitting device, such as a television receiver or a personal computer monitor. A housing 2001, a display portion 2003, a speaker portion 2004, and the like are included. The light emitting device of the present invention is a light emitting device with high display quality of the display portion 2003. In order to increase the contrast, the display portion may include a polarizing plate or a circularly polarizing plate. For example, a film may be provided on the sealing substrate in the order of a 1 / 4λ plate, a 1 / 2λ plate, and a polarizing plate. Further, an antireflection film may be provided on the polarizing plate.

図20(B)は携帯電話であり、本体2101、筐体2102、表示部2103、音声入力部2104、音声出力部2105、操作キー2106、アンテナ2108等を含む。本発明の携帯電話は表示部2103の表示品質が高い携帯電話である。   FIG. 20B illustrates a mobile phone, which includes a main body 2101, a housing 2102, a display portion 2103, an audio input portion 2104, an audio output portion 2105, operation keys 2106, an antenna 2108, and the like. The mobile phone of the present invention is a mobile phone with high display quality of the display portion 2103.

図20(C)はコンピュータであり、本体2201、筐体2202、表示部2203、キーボード2204、外部接続ポート2205、ポインティングマウス2206等を含む。本発明のコンピュータは表示部2203の表示品質が高いコンピュータである。図20(C)ではノート型のコンピュータを例示したが、デスクトップ型のコンピュータなどにも適用することが可能である。   FIG. 20C illustrates a computer, which includes a main body 2201, a housing 2202, a display portion 2203, a keyboard 2204, an external connection port 2205, a pointing mouse 2206, and the like. The computer of the present invention is a computer with high display quality of the display portion 2203. Although FIG. 20C illustrates a laptop computer, the present invention can also be applied to a desktop computer or the like.

図20(D)はモバイルコンピュータであり、本体2301、表示部2302、スイッチ2303、操作キー2304、赤外線ポート2305等を含む。本発明のモバイルコンピュータは表示部2302の表示品質が高いモバイルコンピュータである。   FIG. 20D illustrates a mobile computer, which includes a main body 2301, a display portion 2302, a switch 2303, operation keys 2304, an infrared port 2305, and the like. The mobile computer of the present invention is a mobile computer with high display quality of the display unit 2302.

図20(E)は携帯型のゲーム機であり、筐体2401、表示部2402、スピーカー部2403、操作キー2404、記録媒体挿入部2405等を含む。本発明の携帯型ゲーム機は表示部2402の表示品質が高い携帯型ゲーム機である。   FIG. 20E illustrates a portable game machine including a housing 2401, a display portion 2402, speaker portions 2403, operation keys 2404, a recording medium insertion portion 2405, and the like. The portable game machine of the present invention is a portable game machine with high display quality of the display portion 2402.

以上の様に、本発明の適用範囲は極めて広く、あらゆる分野の電子機器に用いることが可能である。   As described above, the applicable range of the present invention is so wide that it can be used for electronic devices in various fields.

本発明の発光装置の断面図。Sectional drawing of the light-emitting device of this invention. 本発明の発光装置の断面図。Sectional drawing of the light-emitting device of this invention. 本発明の発光装置の断面図。Sectional drawing of the light-emitting device of this invention. 本発明の発光装置の断面図。Sectional drawing of the light-emitting device of this invention. 本発明の発光装置の断面図。Sectional drawing of the light-emitting device of this invention. 本発明の発光装置の断面図。Sectional drawing of the light-emitting device of this invention. 本発明のアクティブマトリクス型発光装置の作製方法を説明する断面図。9A to 9D are cross-sectional views illustrating a method for manufacturing an active matrix light-emitting device of the present invention. 本発明のアクティブマトリクス型発光装置の作製方法を説明する断面図。9A to 9D are cross-sectional views illustrating a method for manufacturing an active matrix light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置の断面図。Sectional drawing of the light-emitting device of this invention. 本発明のアクティブマトリクス型発光装置の作製方法を説明する上面図。FIG. 6 is a top view illustrating a method for manufacturing an active matrix light-emitting device of the present invention. 本発明のアクティブマトリクス型発光装置の作製方法を説明する上面図。FIG. 6 is a top view illustrating a method for manufacturing an active matrix light-emitting device of the present invention. 本発明のアクティブマトリクス型発光装置の作製方法を説明する上面図。FIG. 6 is a top view illustrating a method for manufacturing an active matrix light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置の上面図及び断面図。2A and 2B are a top view and a cross-sectional view of a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置の画素回路一例を示す図。FIG. 6 illustrates an example of a pixel circuit of a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置の保護回路の一例を示す図。FIG. 9 illustrates an example of a protection circuit of a light-emitting device of the present invention. 本発明のパッシブマトリクス型発光装置の作製方法を説明する上面図。4A and 4B are top views illustrating a method for manufacturing a passive matrix light-emitting device of the present invention. 本発明のパッシブマトリクス型発光装置の作製方法を説明する上面図。4A and 4B are top views illustrating a method for manufacturing a passive matrix light-emitting device of the present invention. 本発明のパッシブマトリクス型発光装置の作製方法を説明する上面図。4A and 4B are top views illustrating a method for manufacturing a passive matrix light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置の断面図及び上面図。2A and 2B are a cross-sectional view and a top view of a light-emitting device of the present invention. 本発明が適用可能な電子機器の例示した図。FIG. 10 illustrates an electronic device to which the present invention is applicable. 本発明の発光装置の画素回路一例を示す図。FIG. 6 illustrates an example of a pixel circuit of a light-emitting device of the present invention.

Claims (5)

第1の発光素子及び第2の発光素子を含む画素部を有し、
前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とは隔壁で分離されており、
前記第1の発光素子及び前記第2の発光素子はそれぞれ、第1の電極、第2の電極、第1の発光体、第2の発光体、及び導電層を有し、
前記第1の電極は、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とで独立しており、
前記隔壁は、前記第1の電極の端部を覆うように設けられており、
前記第1の発光体は、前記第1の電極及び前記隔壁上に設けられ、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とで共通しており、
前記導電層は、前記第1の発光体上に設けられ、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とで独立しており、
前記第2の発光体は、前記導電層及び前記第1の発光体上に設けられ、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とで共通しており、
前記第2の電極は、前記第2の発光体上に設けられ、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とで共通しており、
前記導電層の端部は、前記第1の発光体及び前記第2の発光体で覆われており、
前記隔壁上の前記導電層が設けられていない領域において、前記第1の発光体と前記第2の発光体とが接して設けられていることを特徴とする発光装置。
A pixel portion including a first light emitting element and a second light emitting element;
The first light emitting element and the second light emitting element are separated by a partition,
Each of the first light emitting element and the second light emitting element includes a first electrode, a second electrode, a first light emitter, a second light emitter, and a conductive layer.
The first electrode is independent between the first light emitting element and the second light emitting element,
The partition is provided so as to cover the end of the first electrode,
The first light emitter is provided on the first electrode and the partition, and is common to the first light emitting element and the second light emitting element,
The conductive layer is provided on the first light emitter, and is independent between the first light emitting element and the second light emitting element,
The second light emitter is provided on the conductive layer and the first light emitter, and is common to the first light emitter and the second light emitter,
The second electrode is provided on the second light emitter, and is common to the first light emitting element and the second light emitting element,
An end of the conductive layer is covered with the first light emitter and the second light emitter,
The light-emitting device, wherein the first light-emitting body and the second light-emitting body are provided in contact with each other in a region where the conductive layer is not provided over the partition wall.
第1の発光素子及び第2の発光素子を含む画素部を有し、
前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とは隔壁で分離されており、
前記第1の発光素子及び前記第2の発光素子はそれぞれ、第1の電極、第2の電極、第1の発光体、第2の発光体、及び導電層を有し、
前記第1の電極は、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とで共通しており、
前記隔壁は、前記第1の電極上に設けられており、
前記第1の発光体は、前記第1の電極及び前記隔壁上に設けられ、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とで共通しており、
前記導電層は、前記第1の発光体上に設けられ、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とで独立しており、
前記第2の発光体は、前記導電層及び前記第1の発光体上に設けられ、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とで共通しており、
前記第2の電極は、前記第2の発光体上に設けられ、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子とで独立しており、
前記導電層の端部は、前記第1の発光体及び前記第2の発光体で覆われており、
前記隔壁上の前記導電層が設けられていない領域において、前記第1の発光体と前記第2の発光体とが接して設けられていることを特徴とする発光装置。
A pixel portion including a first light emitting element and a second light emitting element;
The first light emitting element and the second light emitting element are separated by a partition,
Each of the first light emitting element and the second light emitting element includes a first electrode, a second electrode, a first light emitter, a second light emitter, and a conductive layer.
The first electrode is common to the first light emitting element and the second light emitting element,
The partition is provided on the first electrode;
The first light emitter is provided on the first electrode and the partition, and is common to the first light emitting element and the second light emitting element,
The conductive layer is provided on the first light emitter, and is independent between the first light emitting element and the second light emitting element,
The second light emitter is provided on the conductive layer and the first light emitter, and is common to the first light emitter and the second light emitter,
The second electrode is provided on the second light emitter, and is independent of the first light emitting element and the second light emitting element,
An end of the conductive layer is covered with the first light emitter and the second light emitter,
The light-emitting device, wherein the first light-emitting body and the second light-emitting body are provided in contact with each other in a region where the conductive layer is not provided over the partition wall.
請求項1または2において、
前記導電層は、透明導電膜からなることを特徴とする発光装置。
In claim 1 or 2 ,
The light emitting device, wherein the conductive layer is made of a transparent conductive film.
請求項1乃至のいずれか一において、
前記第1の電極は、透光性を有する材料からなることを特徴とする発光装置。
In any one of Claims 1 thru | or 3 ,
The light emitting device is characterized in that the first electrode is made of a light-transmitting material.
請求項1乃至のいずれか一において、
前記第2の電極は、透光性を有する材料からなることを特徴とする発光装置。
In any one of Claims 1 thru | or 4 ,
The light emitting device, wherein the second electrode is made of a light-transmitting material.
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