JP6076683B2 - Light emitting device - Google Patents

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Description

本発明は、タンデム素子を有する発光装置に関する。   The present invention relates to a light emitting device having a tandem element.

有機ELディスプレイの商品化が加速している。屋外での使用にも耐えられるよう、ディスプレイに求められる輝度は年々増加している。
一方、有機EL素子の発光輝度は電流に比例して大きくなることが知られており、高い輝度で発光させることが可能である。
Commercialization of organic EL displays is accelerating. In order to withstand outdoor use, the brightness required for displays is increasing year by year.
On the other hand, it is known that the light emission luminance of the organic EL element increases in proportion to the current, and it is possible to emit light with high luminance.

しかし、大きな電流を流すと有機EL素子の劣化を早めてしまう。このため、少ない電流で高い輝度を得ることができれば、発光素子の寿命を延ばすことが可能である。そこで、少ない電流で高い輝度が得られる発光素子として、複数の発光ユニットが積層されたタンデム素子が提案されている(例えば特許文献1参照)。   However, when a large current is passed, the deterioration of the organic EL element is accelerated. Therefore, if high luminance can be obtained with a small current, the lifetime of the light-emitting element can be extended. Therefore, a tandem element in which a plurality of light emitting units are stacked has been proposed as a light emitting element that can obtain high luminance with a small current (see, for example, Patent Document 1).

なお、本明細書において、発光ユニットとは、両端から注入された電子と正孔が再結合する領域を1つ有する層または積層体をいう。   Note that in this specification, a light-emitting unit refers to a layer or a stacked body having one region where electrons and holes injected from both ends are recombined.

電極間に一の構成の発光ユニットがn個積層されたタンデム素子は、発光ユニットに一つの発光素子(シングル素子)の1/nの密度の電流を流すことによって、同等の発光を得ることができる。また、該タンデム素子は、同じ電流密度で、該シングル素子のn倍の輝度を実現できる。   A tandem element in which n light emitting units having one configuration are stacked between electrodes can obtain equivalent light emission by passing a current having a density 1 / n of one light emitting element (single element) through the light emitting unit. it can. Further, the tandem element can realize n times the luminance of the single element at the same current density.

隣接してタンデム素子が設けられた発光パネルにおいては、クロストーク現象の発生という課題がある。クロストーク現象とは、隣接するタンデム素子に一の導電性の高い層が設けられている場合、当該導電性の高い層を介して隣接するタンデム素子に電流がリークして発光してしまう現象である。   In a light emitting panel in which a tandem element is provided adjacently, there is a problem of occurrence of a crosstalk phenomenon. The crosstalk phenomenon is a phenomenon in which when an adjacent tandem element is provided with a single highly conductive layer, current leaks to the adjacent tandem element through the highly conductive layer and emits light. is there.

タンデム素子では、導電性の高い中間層を介して複数の層を積層しており、構造上導電性の高い層と導電性の低い層とを有する。また、タンデム素子では、駆動電圧を低下させるために、有機化合物と金属酸化物との混合材料や導電性高分子等を含む導電性の高いキャリア注入層を用いることが多い。また、タンデム素子はシングル素子と比較して陽極と陰極間の電気抵抗が高く、導電性の高い層を経由して隣接画素へ電流が広がりやすい。   In a tandem element, a plurality of layers are stacked via an intermediate layer having high conductivity, and has a layer having high conductivity and a layer having low conductivity in terms of structure. In tandem elements, a highly conductive carrier injection layer containing a mixed material of an organic compound and a metal oxide, a conductive polymer, or the like is often used in order to reduce the driving voltage. In addition, the tandem element has a higher electrical resistance between the anode and the cathode than the single element, and current easily spreads to adjacent pixels via a highly conductive layer.

図12は、導電性の高い中間層86によってクロストーク現象が発生することを説明するための模式図である。白色を呈する光を発するタンデム素子が3本のストライプ状に設けられた発光パネル(白色パネル)において、第2のタンデム素子(Bライン、青ライン)のみ駆動させた様子を示す断面図である。   FIG. 12 is a schematic diagram for explaining that the crosstalk phenomenon occurs due to the intermediate layer 86 having high conductivity. It is sectional drawing which shows a mode that only the 2nd tandem element (B line, blue line) was driven in the light emission panel (white panel) in which the tandem element which emits the light which exhibits white was provided in the shape of three stripes.

発光パネルは、互いに隣接して配置された第1〜第3のタンデム素子を有している。第1のタンデム素子(Rライン、赤ライン)は、上部電極81と第1の下部電極82との間に配置されている。第2のタンデム素子は、上部電極81と第2の下部電極83との間に配置されている。第3のタンデム素子(Gライン、緑ライン)は、上部電極81と第3の下部電極84との間に配置されている。   The light emitting panel has first to third tandem elements arranged adjacent to each other. The first tandem element (R line, red line) is disposed between the upper electrode 81 and the first lower electrode 82. The second tandem element is disposed between the upper electrode 81 and the second lower electrode 83. The third tandem element (G line, green line) is disposed between the upper electrode 81 and the third lower electrode 84.

第1〜第3のタンデム素子それぞれは、第1の発光ユニット85、中間層86及び第2の発光ユニット87が順に積層されている。例えば、第1の発光ユニット85は青色を呈する光を発する発光層を有し、第2の発光ユニット87は緑色を呈する光を発する発光層及び赤色を呈する光を発する発光層を有する構成とし、各タンデム素子から白色を呈する発光を得ることができる。   In each of the first to third tandem elements, a first light emitting unit 85, an intermediate layer 86, and a second light emitting unit 87 are sequentially stacked. For example, the first light emitting unit 85 has a light emitting layer that emits blue light, and the second light emitting unit 87 has a light emitting layer that emits green light and a light emitting layer that emits red light. Light emission exhibiting white color can be obtained from each tandem element.

図12では、透光性を有する上部電極を用い、上部電極上に対向ガラス基板88が配置されている。対向ガラス基板88は図示されていない青色カラーフィルタ、赤色カラーフィルタ及び緑色カラーフィルタを有している。赤色カラーフィルタは第1の下部電極82に重ねられ、青色カラーフィルタは第2の下部電極83に重ねられ、緑色カラーフィルタは第3の下部電極84に重ねられている。   In FIG. 12, the upper electrode which has translucency is used, and the opposing glass substrate 88 is arrange | positioned on the upper electrode. The counter glass substrate 88 has a blue color filter, a red color filter and a green color filter which are not shown. The red color filter is overlaid on the first lower electrode 82, the blue color filter is overlaid on the second lower electrode 83, and the green color filter is overlaid on the third lower electrode 84.

上記の発光パネルにおいて第2の下部電極83と上部電極81に電圧を印加して青ラインのみを駆動する際に、導電性の高い中間層86を介して隣接する第1のタンデム素子または第3のタンデム素子に電流がリークし、赤ラインまたは緑ラインが発光してクロストーク現象が発生することがある。   In the above light emitting panel, when the voltage is applied to the second lower electrode 83 and the upper electrode 81 to drive only the blue line, the first tandem element or the third adjacent to each other through the intermediate layer 86 having high conductivity. A current leaks to the tandem element, and a red line or a green line emits light and a crosstalk phenomenon may occur.

図13は、導電性の高いキャリア注入層(正孔注入層または電子注入層)89によってクロストーク現象が発生することを説明するための模式図であり、発光パネル(白色パネル)において青ラインのみ駆動させた様子を示す断面図である。   FIG. 13 is a schematic diagram for explaining that a crosstalk phenomenon occurs due to a highly conductive carrier injection layer (hole injection layer or electron injection layer) 89. Only a blue line in a light-emitting panel (white panel) is shown. It is sectional drawing which shows a mode that it was driven.

第1〜第3のタンデム素子それぞれは、導電性の高いキャリア注入層89を含む第1の発光ユニット85と、中間層86と、第2の発光ユニット87と、が順に積層されている。キャリア注入層89としては例えば有機化合物と金属酸化物との混合材料や導電性高分子等を用いた導電性の高い層が挙げられる。   In each of the first to third tandem elements, a first light emitting unit 85 including a highly conductive carrier injection layer 89, an intermediate layer 86, and a second light emitting unit 87 are sequentially stacked. Examples of the carrier injection layer 89 include a highly conductive layer using a mixed material of an organic compound and a metal oxide, a conductive polymer, or the like.

特開2008−234885号公報JP 2008-234485 A

本発明の一態様は、タンデム素子を有する発光装置のクロストーク現象の発生を抑制することを課題とする。   An object of one embodiment of the present invention is to suppress the occurrence of a crosstalk phenomenon in a light-emitting device including a tandem element.

本発明の一態様は、絶縁層上に形成された第1の電極及び第2の電極と、前記絶縁層上に形成され、前記第1の電極と前記第2の電極との間に位置する隔壁と、前記隔壁上に形成された凸部と、前記第1の電極、前記隔壁、前記凸部及び前記第2の電極それぞれの上に形成された第1の発光ユニットと、前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、前記第2の発光ユニット上に形成された第3の電極と、を具備し、前記凸部の側面及び前記隔壁の側面によってくびれが形成されていることを特徴とする発光装置である。   According to one embodiment of the present invention, a first electrode and a second electrode formed over an insulating layer, and the insulating layer is formed between the first electrode and the second electrode. A partition, a protrusion formed on the partition, the first electrode, the first light emitting unit formed on each of the partition, the protrusion, and the second electrode, and the first An intermediate layer formed on the light emitting unit; a second light emitting unit formed on the intermediate layer; and a third electrode formed on the second light emitting unit; The light emitting device is characterized in that a constriction is formed by the side surface of the partition wall and the side surface of the partition wall.

また、上記の本発明の一態様において、前記凸部の側面と前記隔壁との間に空間を有するとよい。   In the above embodiment of the present invention, a space may be provided between a side surface of the convex portion and the partition wall.

また、本発明の一態様において、前記凸部において、前記第1の発光ユニット及び前記中間層が切れているとよい。   In the embodiment of the present invention, it is preferable that the first light emitting unit and the intermediate layer are cut in the convex portion.

また、本発明の一態様において、前記凸部の端部は、前記隔壁上における前記隔壁の被形成面に対して傾斜した面に形成されているとよい。   Moreover, 1 aspect of this invention WHEREIN: The edge part of the said convex part is good to be formed in the surface inclined with respect to the formation surface of the said partition on the said partition.

また、本発明の一態様において、前記くびれの変曲点が前記隔壁に形成されているとよい。   In one embodiment of the present invention, the inflection point of the constriction may be formed in the partition wall.

また、本発明の一態様において、前記凸部が前記隔壁の被形成面と平行方向に最も迫り出した第1の点から前記被形成面に対して引いた垂線と前記隔壁の表面との交点を第2の点とした場合の前記第1の点と前記第2の点の距離は、前記第1の電極上に位置する前記第1の発光ユニット及び前記中間層の合計厚さより大きく、前記第1の電極上に位置する前記第1の発光ユニット、前記中間層、前記第2の発光ユニット及び前記第3の電極の合計厚さ以下であるとよい。   In one embodiment of the present invention, an intersection of a perpendicular drawn to the formation surface from a first point at which the convex portion protrudes most in a direction parallel to the formation surface of the partition wall and the surface of the partition wall Is a second point, the distance between the first point and the second point is greater than the total thickness of the first light emitting unit and the intermediate layer located on the first electrode, The total thickness of the first light emitting unit, the intermediate layer, the second light emitting unit, and the third electrode positioned on the first electrode may be less than or equal to the total thickness.

また、本発明の一態様において、前記凸部が前記隔壁の被形成面と平行方向に最も迫り出した第1の点から前記被形成面に対して引いた垂線と前記第2の発光ユニットの表面との交点を第3の点とした場合の前記第1の点と前記第3の点の距離は、前記第3の電極の厚さより小さいとよい。   In one embodiment of the present invention, a vertical line drawn from the first point at which the convex portion protrudes most in a direction parallel to the surface on which the partition wall is formed and the surface of the second light emitting unit is drawn. The distance between the first point and the third point when the intersection point with the surface is the third point is preferably smaller than the thickness of the third electrode.

また、本発明の一態様において、前記第1の発光ユニットはキャリア注入層を有すると駆動電圧を低下させることができるためよい。本発明の一態様の発光装置では、凸部(以下、「スペーサ」ともいう。)においてキャリア注入層を段切れさせることができる。従って、駆動電圧低下のためにキャリア注入層を設ける場合でも、クロストーク現象の発生を抑制することができる。   In one embodiment of the present invention, the first light-emitting unit preferably has a carrier injection layer, so that driving voltage can be reduced. In the light-emitting device of one embodiment of the present invention, the carrier injection layer can be cut off at a convex portion (hereinafter also referred to as a “spacer”). Therefore, even when the carrier injection layer is provided to reduce the driving voltage, the occurrence of the crosstalk phenomenon can be suppressed.

また、本発明の一態様において、前記第1の電極及び前記第2の電極の上に配置されたカラーフィルタを有し、前記カラーフィルタは、前記第1の電極と重なる第1の色と、前記第2の電極と重なる第2の色を有するとよい。   In one embodiment of the present invention, a color filter is provided over the first electrode and the second electrode, and the color filter includes a first color that overlaps the first electrode; The second color may overlap with the second electrode.

なお、本明細書中における発光装置は、発光素子を画素(または副画素)に備える表示装置を含むものとする。また、発光パネルは、発光素子を備える画素が隣接して設けられる表示パネルを含むものとする。なお、発光モジュールは発光素子を含んで構成され、発光素子は発光層を含む発光ユニットを備える。   Note that the light-emitting device in this specification includes a display device including a light-emitting element in a pixel (or a subpixel). The light-emitting panel includes a display panel in which pixels each including a light-emitting element are provided adjacent to each other. Note that the light emitting module includes a light emitting element, and the light emitting element includes a light emitting unit including a light emitting layer.

本発明の一態様を適用することで、タンデム素子を有する発光装置のクロストーク現象の発生を抑制することができる。   By applying one embodiment of the present invention, occurrence of a crosstalk phenomenon in a light-emitting device having a tandem element can be suppressed.

(A)は本発明の一態様の表示装置に用いることができる表示パネルの構造の上面図、(B)は(A)の切断線A−BおよびC−Dにおける断面を含む構造の側面図。(A) is a top view of a structure of a display panel that can be used for the display device of one embodiment of the present invention, and (B) is a side view of a structure including a cross section taken along cutting lines AB and CD in (A). . (A)は画素の上面図、(B)は(A)の破線M−N間の断面図、(C)は、(A)の変形例を示す画素の上面図、(D)は(A)の変形例を示す画素の上面図。(A) is a top view of a pixel, (B) is a cross-sectional view between broken lines MN in (A), (C) is a top view of a pixel showing a modification of (A), and (D) is (A) FIG. (A),(B)は図2(B)に示す隔壁、スペーサ、発光素子を拡大した断面図。FIGS. 3A and 3B are enlarged cross-sectional views of a partition, a spacer, and a light-emitting element shown in FIG. (A),(B)は図2(B)の変形例を示す断面図。(A), (B) is sectional drawing which shows the modification of FIG. 2 (B). (A)は発光ユニットが2つ積層されたタンデム型の発光素子の構成を説明するための図、(B)は発光ユニットの具体的な構成の一例を示す図、(C)は発光ユニットが複数積層されたタンデム型の発光素子の構成を示す図。(A) is a figure for demonstrating the structure of the tandem type light emitting element by which two light emitting units were laminated | stacked, (B) is a figure which shows an example of a specific structure of a light emitting unit, (C) is a light emitting unit. FIG. 6 illustrates a structure of a plurality of stacked tandem light-emitting elements. 図3(A)の変形例を示す断面図。Sectional drawing which shows the modification of FIG. 3 (A). (A)は実施例の発光素子の隔壁とスペーサの断面構造を示す写真、(B)は(A)に示すくびれ153を拡大した写真、(C)は(A)に示す領域154を拡大した写真。(A) is a photograph showing the cross-sectional structure of the barrier ribs and spacers of the light emitting device of the example, (B) is a photograph showing an enlarged constriction 153 shown in (A), and (C) is an enlarged view of a region 154 shown in (A). Photo. (A)〜(C)は図7(B)と同様の断面を示す写真であってくびれの高さ等を詳細に説明する図。(A)-(C) are the pictures which show the cross section similar to FIG.7 (B), and are the figures explaining the height of a constriction etc. in detail. 図7(B)と同様の断面を示す写真であってくびれの高さ等を詳細に説明する図。FIG. 8 is a photograph showing a cross section similar to that in FIG. 7B and explaining details of the height of the constriction and the like. 実施例の発光素子を備えた発光パネルを青単色で表示させた写真。The photograph which displayed the light emission panel provided with the light emitting element of an Example by blue single color. (A)は比較例の発光素子の隔壁の断面構造を示す写真、(B)は比較例の発光素子を備えた発光パネルを青単色で表示させた写真。(A) is a photograph showing a cross-sectional structure of a partition wall of a light emitting element of a comparative example, and (B) is a photograph showing a light emitting panel provided with the light emitting element of a comparative example in blue. 導電性の高い中間層によってクロストーク現象が発生することを説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating that a crosstalk phenomenon generate | occur | produces with an intermediate | middle layer with high electroconductivity. 導電性の高いキャリア注入層によってクロストーク現象が発生することを説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating that a crosstalk phenomenon generate | occur | produces with a carrier injection layer with high electroconductivity.

以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following description, and it will be easily understood by those skilled in the art that modes and details can be variously changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the present invention should not be construed as being limited to the description of the embodiments below.

(実施の形態1)
<表示パネルの構成>
本発明の一態様の表示装置に用いることができる表示パネルの構成を図1に示す。図1(A)は本発明の一態様の表示装置に用いることができる表示パネルの構造の上面図であり、図1(B)は図1(A)の切断線A−BおよびC−Dにおける断面を含む構造の側面図である。
(Embodiment 1)
<Configuration of display panel>
A structure of a display panel that can be used for the display device of one embodiment of the present invention is illustrated in FIG. 1A is a top view of a structure of a display panel that can be used for the display device of one embodiment of the present invention. FIG. 1B is a cross-sectional view taken along lines AB and CD in FIG. It is a side view of the structure containing the cross section in.

本実施の形態で例示して説明する表示パネル400は、第1の基板410上に表示部401を有し、表示部401には画素402が複数設けられている。また、画素402には複数(例えば3つ)の副画素が設けられている(図1(A)参照)。また、第1の基板410上には表示部401と共に当該表示部401を駆動するソース側の駆動回路部403s、ゲート側の駆動回路部403gが設けられている。なお、駆動回路部を第1の基板410上ではなく外部に形成することもできる。   A display panel 400 described as an example in this embodiment includes a display portion 401 over a first substrate 410, and the display portion 401 includes a plurality of pixels 402. The pixel 402 is provided with a plurality of (for example, three) sub-pixels (see FIG. 1A). A source side driver circuit portion 403 s and a gate side driver circuit portion 403 g which drive the display portion 401 are provided over the first substrate 410. Note that the driver circuit portion can be formed not on the first substrate 410 but outside.

表示パネル400は外部入力端子を備え、FPC(フレキシブルプリントサーキット)409を介して、ビデオ信号、クロック信号、スタート信号、リセット信号等を受け取る。   The display panel 400 includes an external input terminal and receives a video signal, a clock signal, a start signal, a reset signal, and the like via an FPC (flexible printed circuit) 409.

シール材405は、第1の基板410と第2の基板(以下、「対向基板」ともいう。)170を貼り合わせ、その間に形成された空間431に表示部401が封止されている(図1(B)参照)。   The sealant 405 bonds the first substrate 410 and the second substrate (hereinafter also referred to as “counter substrate”) 170, and the display portion 401 is sealed in a space 431 formed therebetween (see FIG. 1 (B)).

表示パネル400の断面を含む構造について、図1(B)を参照して説明する。表示パネル400は、ソース側の駆動回路部403sと、画素402に含まれる副画素402G及び副画素402Bと、引き回し配線408を備える。なお、本実施の形態で例示する表示パネル400の表示部401は、図中に示す矢印の方向に光を射出して、画像を表示する。   A structure including a cross section of the display panel 400 will be described with reference to FIG. The display panel 400 includes a source-side driver circuit portion 403 s, subpixels 402 G and 402 B included in the pixels 402, and lead wirings 408. Note that the display portion 401 of the display panel 400 exemplified in this embodiment emits light in a direction of an arrow illustrated in the drawing to display an image.

ソース側の駆動回路部403sはnチャネル型トランジスタ413と、pチャネル型トランジスタ414とを組み合わせたCMOS回路を含む。なお、駆動回路はこの構成に限定されず、種々のCMOS回路、PMOS回路またはNMOS回路で構成しても良い。   The source side driver circuit portion 403s includes a CMOS circuit in which an n-channel transistor 413 and a p-channel transistor 414 are combined. Note that the drive circuit is not limited to this configuration, and may be configured by various CMOS circuits, PMOS circuits, or NMOS circuits.

引き回し配線408は外部入力端子から入力される信号をソース側の駆動回路部403sおよびゲート側の駆動回路部403gに伝送する。   The lead wiring 408 transmits a signal input from the external input terminal to the driver circuit portion 403s on the source side and the driver circuit portion 403g on the gate side.

副画素402Gは、スイッチング用のトランジスタ411と電流制御用のトランジスタ412と発光モジュール450Gとを有する。なお、トランジスタ411等の上には、絶縁層416と隔壁150とが形成されている。発光モジュール450Gは、第1の電極(以下、「第1の下部電極」ともいう。)118aと、第3の電極(以下、「上部電極」ともいう。)122と、第1の下部電極118a及び上部電極122の間に有機層120とを備える発光素子130aを有する。同様に、副画素402Bが有する発光モジュール450Bは、第2の電極(以下、「第2の下部電極」ともいう。)118bと、上部電極122と、第2の下部電極118b及び上部電極122の間に有機層120とを備える発光素子130bを有する。発光素子130a,130bが発する光を射出する上部電極122側にカラーフィルタ171が設けられている。なお、表示部401が画像を表示する方向は、発光素子130a,130bが発する光が取り出される方向により決定される。   The sub-pixel 402G includes a switching transistor 411, a current control transistor 412 and a light emitting module 450G. Note that an insulating layer 416 and a partition wall 150 are formed over the transistor 411 and the like. The light-emitting module 450G includes a first electrode (hereinafter also referred to as “first lower electrode”) 118a, a third electrode (hereinafter also referred to as “upper electrode”) 122, and a first lower electrode 118a. And a light emitting element 130 a including the organic layer 120 between the upper electrode 122. Similarly, the light-emitting module 450B included in the sub-pixel 402B includes a second electrode (hereinafter also referred to as “second lower electrode”) 118b, an upper electrode 122, a second lower electrode 118b, and an upper electrode 122. A light-emitting element 130b including the organic layer 120 is provided therebetween. A color filter 171 is provided on the upper electrode 122 side that emits light emitted from the light emitting elements 130a and 130b. Note that the direction in which the display unit 401 displays an image is determined by the direction in which light emitted from the light emitting elements 130a and 130b is extracted.

なお、発光素子において、下部電極又は上部電極の少なくとも一方が有機層120の発光を透過すれば良い。例えば、図1(B)では、上部電極122が有機層120の発光を透過する構成を示す。   Note that in the light-emitting element, at least one of the lower electrode and the upper electrode may transmit light emitted from the organic layer 120. For example, FIG. 1B illustrates a structure in which the upper electrode 122 transmits light emitted from the organic layer 120.

また、カラーフィルタ171を囲むように遮光性の膜(以下、「ブラックマトリクス」ともいう。)172が形成されている。ブラックマトリクス172は表示パネル400が外光を反射する現象を防ぐ膜であり、表示部401が表示する画像のコントラストを高める効果を奏する。なお、カラーフィルタ171とブラックマトリクス172は、対向基板170に形成されている。   A light-blocking film (hereinafter also referred to as “black matrix”) 172 is formed so as to surround the color filter 171. The black matrix 172 is a film that prevents the display panel 400 from reflecting external light, and has an effect of increasing the contrast of an image displayed on the display unit 401. Note that the color filter 171 and the black matrix 172 are formed on the counter substrate 170.

絶縁層416は、トランジスタ411等の構造に由来して生じる段差を平坦化、または、トランジスタ411等への不純物の拡散を抑制するための、絶縁性の層であり、単一の層であっても複数の層の積層体であってもよい。隔壁150は開口部を有する絶縁性の層であり、発光素子130a,130bは隔壁150の開口部に形成される。   The insulating layer 416 is an insulating layer for planarizing a step generated due to the structure of the transistor 411 or the like or suppressing diffusion of impurities into the transistor 411 or the like, and is a single layer. Alternatively, a laminate of a plurality of layers may be used. The partition 150 is an insulating layer having an opening, and the light emitting elements 130 a and 130 b are formed in the opening of the partition 150.

<トランジスタの構成>
図1(A)に例示する表示パネル400には、トップゲート型のトランジスタが適用されているがこれに限られず、ボトムゲート型のトランジスタも適用することができる。ソース側の駆動回路部403s、ゲート側の駆動回路部403g並びに副画素にはさまざまな構造のトランジスタを適用できる。また、これらのトランジスタのチャネルが形成される領域には、さまざまな半導体を用いることができる。具体的には、アモルファスシリコン、ポリシリコン、単結晶シリコンの他、酸化物半導体などを用いることができる。酸化物半導体の一例としては、少なくともインジウム(In)あるいは亜鉛(Zn)を含む酸化物半導体を挙げることができ、InとZnを含む酸化物半導体が好ましい。また、ガリウム(Ga)またはスズ(Sn)から選ばれた一種または複数を含む酸化物半導体が特に好ましい。
<Structure of transistor>
In the display panel 400 illustrated in FIG. 1A, a top-gate transistor is used; however, the present invention is not limited to this, and a bottom-gate transistor can also be used. Various structures of transistors can be applied to the driver circuit portion 403s on the source side, the driver circuit portion 403g on the gate side, and the subpixel. Various semiconductors can be used for a region where a channel of these transistors is formed. Specifically, an amorphous semiconductor, polysilicon, single crystal silicon, an oxide semiconductor, or the like can be used. As an example of an oxide semiconductor, an oxide semiconductor containing at least indium (In) or zinc (Zn) can be given, and an oxide semiconductor containing In and Zn is preferable. An oxide semiconductor including one or more selected from gallium (Ga) or tin (Sn) is particularly preferable.

トランジスタのチャネルが形成される領域に単結晶半導体を用いると、トランジスタサイズを微細化することが可能となるため、表示部において画素をさらに高精細化することができる。   When a single crystal semiconductor is used for a region where a channel of the transistor is formed, the size of the transistor can be reduced, so that the pixel can be further refined in the display portion.

半導体層を構成する単結晶半導体としては、単結晶シリコン基板などの半導体基板の他、絶縁表面上に単結晶半導体層が設けられたSOI(Silicon On Insulator)基板を用いることができる。   As a single crystal semiconductor included in the semiconductor layer, an SOI (Silicon On Insulator) substrate in which a single crystal semiconductor layer is provided over an insulating surface can be used in addition to a semiconductor substrate such as a single crystal silicon substrate.

<画素の構成>
表示部401に設けられた画素402の構成について、図2(A),(B)及び図3を参照して説明する。
<Pixel configuration>
A structure of the pixel 402 provided in the display portion 401 is described with reference to FIGS.

図2は、隔壁150、スペーサ155(凸部とも記す)、発光部160R,160G,160Bの位置関係の一例について示している。図2(A)は画素402の上面図であり、図2(B)は図2(A)の破線M−N間の断面図の一例である。図3(A),(B)は図2(B)に示す隔壁、スペーサ、発光素子130bを拡大した断面図の一例である。なお、図2(A)では、有機層120、上部電極122、オーバーコート層173、カラーフィルタ171、ブラックマトリクス172、及び対向基板170の図示を省略している。   FIG. 2 shows an example of the positional relationship between the partition wall 150, the spacer 155 (also referred to as a convex portion), and the light emitting portions 160R, 160G, and 160B. 2A is a top view of the pixel 402, and FIG. 2B is an example of a cross-sectional view taken along dashed line MN in FIG. 2A. 3A and 3B are examples of cross-sectional views in which the partition, the spacer, and the light-emitting element 130b illustrated in FIG. 2B are enlarged. In FIG. 2A, the organic layer 120, the upper electrode 122, the overcoat layer 173, the color filter 171, the black matrix 172, and the counter substrate 170 are not shown.

本実施の形態で例示する画素402は、赤色を呈する光Rを射出する副画素402R、緑色を呈する光Gを射出する副画素402G、青色を呈する光Bを射出する副画素402Bを有する。副画素402Rは赤色発光部160Rを有し、副画素402Gは緑色発光部160Gを有し、副画素402Bは青色発光部160Bを有する。赤色発光部160R、緑色発光部160G、及び青色発光部160Bそれぞれは隔壁150の開口部に位置している(図2(A)参照)。   The pixel 402 exemplified in this embodiment includes a sub-pixel 402R that emits light R that exhibits red, a sub-pixel 402G that emits light G that exhibits green, and a sub-pixel 402B that emits light B that exhibits blue. The sub-pixel 402R has a red light-emitting portion 160R, the sub-pixel 402G has a green light-emitting portion 160G, and the sub-pixel 402B has a blue light-emitting portion 160B. Each of the red light emitting unit 160R, the green light emitting unit 160G, and the blue light emitting unit 160B is located in the opening of the partition wall 150 (see FIG. 2A).

各色の発光部160R,160G,160Bは、下部電極、有機層、上部電極122からなる発光素子を含む。例えば、緑色発光部160Gは、第1の下部電極118a、有機層120、上部電極122からなる発光素子130aを含み、青色発光部160Bは、第2の下部電極118b、有機層120、上部電極122からなる発光素子130bを含む(図2(B)参照)。有機層120は第1の発光ユニット141、中間層142、及び第2の発光ユニット143を含む(図3(A)参照)。また、対向基板170上には、発光部と重なる位置に設けられたカラーフィルタ171と、隔壁150と重なる位置に設けられたブラックマトリクス172と、カラーフィルタ171及びブラックマトリクス172を覆うオーバーコート層173が形成されている(図2(B)参照)。オーバーコート層173は必要で無ければ設けなくても良い。   Each color light emitting unit 160R, 160G, 160B includes a light emitting element including a lower electrode, an organic layer, and an upper electrode 122. For example, the green light emitting unit 160G includes a light emitting element 130a including a first lower electrode 118a, an organic layer 120, and an upper electrode 122, and the blue light emitting unit 160B includes a second lower electrode 118b, the organic layer 120, and the upper electrode 122. A light-emitting element 130b made of (see FIG. 2B). The organic layer 120 includes a first light-emitting unit 141, an intermediate layer 142, and a second light-emitting unit 143 (see FIG. 3A). Further, on the counter substrate 170, a color filter 171 provided at a position overlapping with the light emitting portion, a black matrix 172 provided at a position overlapping with the partition wall 150, and an overcoat layer 173 covering the color filter 171 and the black matrix 172. Is formed (see FIG. 2B). The overcoat layer 173 may be omitted if not necessary.

各色の発光部160R,160G,160Bは、下部電極と、上部電極122と、第1の発光ユニット141、中間層142、及び第2の発光ユニット143を含む有機層120と、を有する発光素子を備える。中間層142の導電性は第1の発光ユニット141より高い。   Each color light-emitting portion 160R, 160G, 160B is a light-emitting element having a lower electrode, an upper electrode 122, and an organic layer 120 including a first light-emitting unit 141, an intermediate layer 142, and a second light-emitting unit 143. Prepare. The conductivity of the intermediate layer 142 is higher than that of the first light emitting unit 141.

また、副画素402Gは、駆動用トランジスタと発光モジュール450Gとを備える。他の副画素402R,402Bも副画素402Gと同様の構成である。発光モジュールは、それぞれ下部電極と、上部電極122と、下部電極及び上部電極122の間に位置する有機層120と、を備える発光素子を有する(図1(B)参照)。   The sub-pixel 402G includes a driving transistor and a light emitting module 450G. The other subpixels 402R and 402B have the same configuration as the subpixel 402G. Each light-emitting module includes a light-emitting element including a lower electrode, an upper electrode 122, and an organic layer 120 positioned between the lower electrode and the upper electrode 122 (see FIG. 1B).

発光素子の構成としては、下部電極及び上部電極の間に、第1の発光ユニット141と中間層142と第2の発光ユニット143を含む有機層120を備える。   As a structure of the light emitting element, an organic layer 120 including a first light emitting unit 141, an intermediate layer 142, and a second light emitting unit 143 is provided between the lower electrode and the upper electrode.

なお、発光素子において、下部電極又は上部電極の少なくとも一方が有機層の発光を透過すれば良い。例えば、第1及び第2の下部電極118a,118bに反射膜を用い、上部電極122に半透過・半反射膜を用いても良い。反射膜と半透過・半反射膜を重ねて微小共振器を構成し、その間に有機層120を設けると、半透過・半反射膜(上部電極122)側から特定の波長の光を効率良く取り出せる。取り出す光の波長は、反射膜と半透過・半反射膜の間の距離に依存し、その距離は、反射膜と半透過・半反射膜の間に光学調整層を形成して調整できる。   Note that in the light-emitting element, at least one of the lower electrode and the upper electrode only needs to transmit light emitted from the organic layer. For example, a reflective film may be used for the first and second lower electrodes 118 a and 118 b and a semi-transmissive and semi-reflective film may be used for the upper electrode 122. When a microresonator is formed by overlapping a reflective film and a semi-transmissive / semi-reflective film and an organic layer 120 is provided between them, light of a specific wavelength can be efficiently extracted from the semi-transmissive / semi-reflective film (upper electrode 122) side. . The wavelength of the extracted light depends on the distance between the reflective film and the semi-transmissive / semi-reflective film, and the distance can be adjusted by forming an optical adjustment layer between the reflective film and the semi-transmissive / semi-reflective film.

光学調整層に用いることができる材料としては、可視光に対して透光性を有する導電膜の他、発光性の有機化合物を含む層を適用できる。例えば、電荷発生領域の厚さを調整することにより、電荷発生領域が光学調整層を兼ねる構成としてもよい。または、正孔輸送性の高い物質と、該正孔輸送性の高い物質に対してアクセプター性の物質と、を含む領域(混合材料層)の厚さを調整することにより、当該混合材料層が光学調整層を兼ねる構成としても良く、この構成を用いると、光学調整層が厚い構成であっても駆動電圧の上昇を抑制できるため好ましい。   As a material that can be used for the optical adjustment layer, a layer containing a light-emitting organic compound can be used in addition to a conductive film that transmits visible light. For example, the charge generation region may serve as the optical adjustment layer by adjusting the thickness of the charge generation region. Alternatively, by adjusting the thickness of a region (mixed material layer) that includes a substance having a high hole-transport property and a substance having an acceptor property with respect to the substance having a high hole-transport property, A configuration that also serves as an optical adjustment layer may be used, and this configuration is preferable because an increase in driving voltage can be suppressed even when the optical adjustment layer is thick.

なお、発光素子の構成例については、実施の形態2で詳細に説明する。   Note that a structural example of the light-emitting element will be described in detail in Embodiment 2.

本実施の形態で例示する発光モジュール450Gは、それぞれの発光モジュールに設けられた発光素子の上部電極122が、半透過・半反射膜を兼ねる構成となっている。詳細には、それぞれの発光素子に共通して設けられた上部電極122が、それぞれの発光モジュールの半透過・半反射膜を兼ねる。   In the light-emitting module 450G exemplified in this embodiment, the upper electrode 122 of the light-emitting element provided in each light-emitting module serves as a semi-transmissive / semi-reflective film. Specifically, the upper electrode 122 provided in common for each light emitting element also serves as a semi-transmissive / semi-reflective film of each light-emitting module.

また、それぞれの発光モジュールには、発光素子の下部電極が電気的に独立して設けられており、下部電極は、発光モジュールの反射膜を兼ねる構成となっている。   Each light emitting module is provided with the lower electrode of the light emitting element electrically independently, and the lower electrode also serves as a reflection film of the light emitting module.

発光モジュールそれぞれの反射膜を兼ねる下部電極は、反射膜上に光学調整層が積層された構成を有する。光学調整層は可視光に対する透光性を有する導電膜で形成され、反射膜は可視光に対する反射率が高く、導電性を有する金属膜が好ましい。   The lower electrode that also serves as the reflective film of each light emitting module has a configuration in which an optical adjustment layer is laminated on the reflective film. The optical adjustment layer is formed of a conductive film having a property of transmitting visible light, and the reflective film is preferably a metal film having high reflectivity for visible light and having conductivity.

光学調整層の厚さは、発光モジュールから取り出す光の波長の長さに応じて調整する。以下に詳細に説明する。   The thickness of the optical adjustment layer is adjusted according to the wavelength length of light extracted from the light emitting module. This will be described in detail below.

例えば、発光モジュール(青色)を、青色を呈する光を透過するカラーフィルタと、400nm以上500nm未満の波長の光を強め合うように光学距離を調整された反射膜を兼ねる下部電極と半透過・半反射膜を兼ねる上部電極を備える構成とする。   For example, a light emitting module (blue) includes a color filter that transmits blue light and a lower electrode that also functions as a reflective film whose optical distance is adjusted so as to intensify light having a wavelength of 400 nm to less than 500 nm. The upper electrode that also serves as a reflective film is provided.

また、発光モジュール450Gを、緑色を呈する光を透過するカラーフィルタと、500nm以上600nm未満の波長の光を強め合うように光学距離を調整された反射膜と半透過・半反射膜を備える構成とする。   In addition, the light emitting module 450G includes a color filter that transmits green light, a reflective film whose optical distance is adjusted to intensify light having a wavelength of 500 nm to less than 600 nm, and a semi-transmissive / semi-reflective film. To do.

また、発光モジュール(赤色)を、赤色を呈する光を透過するカラーフィルタと、600nm以上800nm未満の波長の光を強め合うように光学距離を調整された反射膜と半透過・半反射膜を備える構成とする。   The light emitting module (red) includes a color filter that transmits red light, a reflective film whose optical distance is adjusted to intensify light having a wavelength of 600 nm to less than 800 nm, and a semi-transmissive / semi-reflective film. The configuration.

このような構成の発光モジュールは、反射膜と半透過・半反射膜の間で発光素子が発する光が干渉し合い、400nm以上800nm未満の波長を有する光のうち特定の光が強め合い、さらにカラーフィルタが不要な光を吸収する。   In the light emitting module having such a configuration, light emitted from the light emitting element interferes between the reflective film and the semi-transmissive / semi-reflective film, and specific light among light having a wavelength of 400 nm or more and less than 800 nm is strengthened, Color filters absorb unwanted light.

なお、それぞれの発光モジュールは、いずれも第1の発光ユニット141と中間層142と第2の発光ユニット143を有する有機層120を含む。また、発光素子それぞれの一対の電極(下部電極と上部電極)の一方が反射膜を兼ね、他方が半透過・半反射膜を兼ねている。   Each light emitting module includes the organic layer 120 including the first light emitting unit 141, the intermediate layer 142, and the second light emitting unit 143. In addition, one of a pair of electrodes (lower electrode and upper electrode) of each light emitting element also serves as a reflective film, and the other serves as a semi-transmissive / semi-reflective film.

このような構成の発光モジュールは、発光ユニットを同一の工程で形成できる。   In the light emitting module having such a configuration, the light emitting unit can be formed in the same process.

<隔壁とスペーサ(凸部)の構成>
隔壁150は、画素402の周囲、副画素402B,402G,402Rの周囲及び発光部160R,160G,160Bの周囲に形成されている(図2(A)参照)。
<Configuration of partition and spacer (convex portion)>
The partition 150 is formed around the pixel 402, around the sub-pixels 402B, 402G, and 402R and around the light-emitting portions 160R, 160G, and 160B (see FIG. 2A).

隔壁150は、第1及び第2の下部電極118a,118bの相互間に形成され、且つ第1及び第2の下部電極118a,118bそれぞれの端部を覆うように形成されている。隔壁150上にはスペーサ155が形成されており、スペーサ155は隔壁150の被形成面と平行方向に迫り出した形状であるとよく、スペーサ155の側面及び隔壁150の側面によってくびれが形成されているとよい。つまり、スペーサ155は、隔壁150の外表面に凸形状で形成され、スペーサ155の側面と隔壁150の側面でくびれが形成されているとよい。それにより、スペーサ155の側面と隔壁150との間に空間(空隙)156を有することが好ましい。隔壁150及びスペーサ155の材料としては、それぞれポジ型やネガ型の感光性樹脂を用いることができる(図2(B)参照)。   The partition wall 150 is formed between the first and second lower electrodes 118a and 118b, and is formed so as to cover the end portions of the first and second lower electrodes 118a and 118b. A spacer 155 is formed over the partition wall 150, and the spacer 155 may have a shape protruding in a direction parallel to the formation surface of the partition wall 150, and a constriction is formed by the side surface of the spacer 155 and the side surface of the partition wall 150. It is good to be. That is, the spacer 155 is preferably formed in a convex shape on the outer surface of the partition wall 150, and a constriction is formed between the side surface of the spacer 155 and the side surface of the partition wall 150. Accordingly, it is preferable to have a space (gap) 156 between the side surface of the spacer 155 and the partition wall 150. As a material for the partition wall 150 and the spacer 155, a positive photosensitive resin or a negative photosensitive resin can be used, respectively (see FIG. 2B).

図3(A)に示すように、スペーサ155が隔壁150の被形成面と平行方向に最も迫り出した点を第1の点Xとし、その第1の点Xから隔壁150の被形成面又は基板の表面に対して引いた垂線と隔壁150の表面との交点を第2の点Y1とし、第1の点Xと第2の点Y1の距離をくびれの高さL1とする。この場合、くびれの高さL1は、第2の下部電極118b上に位置する第1の発光ユニット141及び中間層142の合計厚さA1より大きく、第2の下部電極118b上に位置する第1の発光ユニット141、中間層142、第2の発光ユニット143及び上部電極122の合計厚さA2以下であるとよい。これにより、スペーサ155の側面において第1の発光ユニット141及び導電性の高い中間層142を段切れさせ、且つ上部電極122を段切れさせないようにすることができる。なお、第1の点Xと第2の点Y1を結ぶ線の内側は空間(空隙)156が存在する。   As shown in FIG. 3A, the point at which the spacer 155 protrudes most in the direction parallel to the surface on which the partition 150 is formed is defined as a first point X, and the surface on which the partition 150 is formed from the first point X or The intersection of the perpendicular drawn to the surface of the substrate and the surface of the partition wall 150 is defined as a second point Y1, and the distance between the first point X and the second point Y1 is defined as a constriction height L1. In this case, the constriction height L1 is larger than the total thickness A1 of the first light-emitting unit 141 and the intermediate layer 142 located on the second lower electrode 118b, and the first height located on the second lower electrode 118b. The total thickness A <b> 2 of the light emitting unit 141, the intermediate layer 142, the second light emitting unit 143, and the upper electrode 122 is preferably equal to or less. Accordingly, the first light emitting unit 141 and the highly conductive intermediate layer 142 can be disconnected on the side surface of the spacer 155, and the upper electrode 122 can be prevented from being disconnected. A space (gap) 156 exists inside the line connecting the first point X and the second point Y1.

ここで、スペーサ155を設けることで、上部電極122の膜厚が薄い領域が生じると、上部電極122の抵抗に起因した電位降下による発光不良から、表示の輝度ムラ等の不具合が生じる場合がある。したがって、図6に示すように、第2の発光ユニット143を段切れさせないことで、上部電極122が段切れしないだけでなく、上部電極122の薄膜化を抑制することが好ましい。   Here, when the region where the thickness of the upper electrode 122 is thin due to the provision of the spacer 155, a defect such as uneven luminance of display may occur due to a light emission failure due to a potential drop due to the resistance of the upper electrode 122. . Therefore, as shown in FIG. 6, it is preferable that the second light emitting unit 143 is not cut off, so that the upper electrode 122 is not cut off and the upper electrode 122 is prevented from being thinned.

図3(B)に示すように、スペーサ155が隔壁150の被形成面と平行方向に最も迫り出した点を第1の点Xとし、その第1の点Xから隔壁150の被形成面又は基板の表面に対して引いた垂線と第2の発光ユニット143の表面との交点を第3の点Y2とし、第1の点Xと第3の点Y2の距離をL2とする。この場合、距離L2は、上部電極122の厚さA3より小さいとよい。これにより、有機層120を構成する全ての層が段切れしても、上部電極122を段切れしないようにすることができる。なお、厚さA1,A2,A3は、各層の表面から、第2の下部電極118bの被形成面又は基板の表面に対して引いた垂線上の値である。   As shown in FIG. 3B, a point at which the spacer 155 protrudes most in a direction parallel to the surface on which the partition 150 is formed is defined as a first point X, and the surface on which the partition 150 is formed from the first point X or The intersection of the perpendicular drawn with respect to the surface of the substrate and the surface of the second light emitting unit 143 is defined as a third point Y2, and the distance between the first point X and the third point Y2 is defined as L2. In this case, the distance L2 is preferably smaller than the thickness A3 of the upper electrode 122. Thereby, even if all the layers constituting the organic layer 120 are disconnected, the upper electrode 122 can be prevented from being disconnected. The thicknesses A1, A2, and A3 are values on a perpendicular drawn from the surface of each layer to the surface on which the second lower electrode 118b is formed or the surface of the substrate.

また、本発明の一態様に係る有機EL素子の例は、下記のとおりである。
第1の発光ユニット141の膜厚: 約75nm(30nm〜200nm)
中間層142の厚さ: 約30nm(1nm〜100nm)
第2の発光ユニット143の膜厚: 約90nm(30nm〜200nm)
上部電極122(透明電極又は反射電極): 厚さ15nmのMgAgと厚さ70nmのITO(酸化インジウムスズ;Indium Tin Oxide)の積層 (合計厚さ5nm〜200nm)
Examples of the organic EL element according to one embodiment of the present invention are as follows.
Film thickness of the first light emitting unit 141: about 75 nm (30 nm to 200 nm)
The thickness of the intermediate layer 142: about 30 nm (1 nm to 100 nm)
Film thickness of second light emitting unit 143: about 90 nm (30 nm to 200 nm)
Upper electrode 122 (transparent electrode or reflective electrode): Stack of 15 nm thick MgAg and 70 nm thick ITO (Indium Tin Oxide) (total thickness 5 nm to 200 nm)

スペーサ155の配置は、図2(A)に示す配置に限定されるものではなく、図2(C)又は図2(D)に示す配置にしてもよい。図2(A)に示すスペーサ155では、隣接する全ての発光部間に設けられている。図2(C),(D)に示すスペーサ155では、隣接し異なる色を呈する発光部間に設けられ、隣接し同じ色を呈する発光部間には設けられていない。つまり、スペーサ155は、少なくとも隣接し異なる色を呈する発光部間に設けられていれば良い。これにより、隣接し異なる色を呈する発光部間に位置するスペーサ155において第1の発光ユニット141及び中間層142を段切れさせることができる。   The arrangement of the spacers 155 is not limited to the arrangement shown in FIG. 2A, and may be the arrangement shown in FIG. 2C or FIG. The spacer 155 illustrated in FIG. 2A is provided between all adjacent light emitting portions. In the spacers 155 shown in FIGS. 2C and 2D, the spacers 155 are provided between adjacent light emitting portions that exhibit different colors, and are not provided between adjacent light emitting portions that exhibit the same color. That is, the spacer 155 only needs to be provided at least between the light emitting units that are adjacent and exhibit different colors. Thereby, the 1st light emission unit 141 and the intermediate | middle layer 142 can be disconnected in the spacer 155 located between the light emission parts which adjoin and exhibit a different color.

スペーサ155と隔壁150によって作られるくびれの形状は、図2(B)に示す形状に限定されるものではなく、図4(A)に示す形状にすると好ましい。図2(B)では、くびれの変曲点が隔壁150とスペーサ155の接触面に形成されるが、図4(A)では、くびれの変曲点が隔壁150に形成される。つまり、スペーサ155は、隔壁150の外表面に凸形状で形成され、隔壁150の側面に、くびれの変曲点が形成されるとよい。スペーサ155を形成する際に、スペーサ155をマスクとして隔壁150をエッチングすることにより、くびれの変曲点を隔壁150に形成することができる。これにより、上記のくびれの高さL1をより高くすることができる。   The shape of the constriction made by the spacer 155 and the partition wall 150 is not limited to the shape shown in FIG. 2B, but is preferably the shape shown in FIG. 2B, the inflection point of the constriction is formed on the contact surface between the partition wall 150 and the spacer 155, but the inflection point of the constriction is formed in the partition wall 150 in FIG. That is, the spacer 155 is preferably formed in a convex shape on the outer surface of the partition wall 150, and a constriction inflection point is formed on the side surface of the partition wall 150. When the spacer 155 is formed, the inflection point of the constriction can be formed in the partition wall 150 by etching the partition wall 150 using the spacer 155 as a mask. Thereby, the above-mentioned constriction height L1 can be further increased.

スペーサ155の配置は、図2(B)に示す配置に限定されるものではなく、図4(B)に示す配置にすると好ましい。つまり、図2(B)に示すように、スペーサ155の端部は、隔壁150の表面の平坦部(即ち、隔壁150の被形成面に概略平行な面を有する領域)に設けられているが、図4(B)に示すように、スペーサ155の端部は、隔壁150の表面の傾斜部(即ち、隔壁150の被形成面に対して傾斜した面又は平行でない面を有する領域)に設けられていると好ましい。このように隔壁150の表面の傾斜部にスペーサ155の端部を配置することで、上記のくびれの高さL1をより高くすることができる。   The arrangement of the spacers 155 is not limited to the arrangement shown in FIG. 2B, and the arrangement shown in FIG. 4B is preferable. That is, as shown in FIG. 2B, the end portion of the spacer 155 is provided in a flat portion on the surface of the partition wall 150 (that is, a region having a surface substantially parallel to the surface on which the partition wall 150 is formed). As shown in FIG. 4B, the end portion of the spacer 155 is provided in the inclined portion of the surface of the partition wall 150 (that is, a region having a surface inclined or not parallel to the formation surface of the partition wall 150). Preferably. Thus, by arranging the end portion of the spacer 155 on the inclined portion of the surface of the partition wall 150, the above-described constriction height L1 can be further increased.

なお、図2(B)及び図4(A),(B)では、隣接する発光部間の有機層120は切れており、上部電極122は切れていない場合の例を示している。
また、図2(C),(D)では、有機層120、上部電極122、オーバーコート層173、カラーフィルタ171、ブラックマトリクス172、及び対向基板170の図示を省略しており、隔壁150の開口部が、発光部(赤色発光部160R、緑色発光部160G、又は青色発光部160B)に相当する。
2B and 4A and 4B show an example in which the organic layer 120 between adjacent light emitting portions is cut off and the upper electrode 122 is not cut off.
2C and 2D, the organic layer 120, the upper electrode 122, the overcoat layer 173, the color filter 171, the black matrix 172, and the counter substrate 170 are not illustrated, and the opening of the partition wall 150 is not illustrated. Part corresponds to a light emitting part (red light emitting part 160R, green light emitting part 160G, or blue light emitting part 160B).

本実施の形態によれば、スペーサ155と隔壁150によって作られるくびれにおいて第1の発光ユニット141を段切れさせることにより、第1の発光ユニット141に含まれる導電性の高い層(例えばキャリア注入層等)についても段切れさせることができる。このため、その導電性の高い層は導電性が損なわれて流れる電流が抑制され、隣の発光色が異なる画素間、または副画素間でのクロストーク現象を抑制することができる。   According to the present embodiment, the first light emitting unit 141 is disconnected at the constriction formed by the spacer 155 and the partition wall 150, whereby a highly conductive layer (for example, a carrier injection layer) included in the first light emitting unit 141 is obtained. Etc.) can also be cut off. For this reason, the highly conductive layer has a reduced conductivity, so that a flowing current is suppressed, and a crosstalk phenomenon between adjacent pixels having different emission colors or sub-pixels can be suppressed.

また、スペーサ155と隔壁150によって作られるくびれにおいて中間層142を段切れさせることにより、中間層142は導電性が損なわれて流れる電流が抑制され、隣の発光色が異なる画素間、または副画素間でのクロストーク現象を抑制することができる。   In addition, by cutting the intermediate layer 142 in the constriction formed by the spacer 155 and the partition wall 150, the intermediate layer 142 is impeded by conductivity and current flowing is suppressed, and adjacent pixels having different emission colors or sub-pixels. Crosstalk phenomenon can be suppressed.

また、上部電極122を段切れさせないようにすることにより、隣接する画素において、上部電極122の電位が等しくなり、上部電極122が面状に等電位、好ましくは上部電極122の全体が等電位となり、電圧降下を抑制できる等の効果がある。   Further, by preventing the upper electrode 122 from being disconnected, the potential of the upper electrode 122 becomes equal in adjacent pixels, and the upper electrode 122 is equipotential in a planar shape, preferably the entire upper electrode 122 is equipotential. There are effects such as suppression of voltage drop.

また、半透過・半反射膜を第1の基板410側に設けて、発光モジュールが発する光を第1の基板410側に取り出して、画像を表示する構成においては、隔壁150に可視光を吸収する材料を適用すると、当該隔壁が、第1の基板410に設けた半透過・半反射膜が反射する外光を吸収し、その反射を抑制できる。   Further, in the configuration in which a semi-transmissive / semi-reflective film is provided on the first substrate 410 side and light emitted from the light emitting module is extracted to the first substrate 410 side to display an image, the partition 150 absorbs visible light. When the material to be applied is applied, the partition can absorb the external light reflected by the semi-transmissive / semi-reflective film provided on the first substrate 410 and suppress the reflection.

<封止構造>
本実施の形態で例示する表示パネル400は、第1の基板410、第2の基板170、およびシール材405で囲まれた空間431に、発光素子を封止する構造を備える(図1参照)。
<Sealing structure>
A display panel 400 exemplified in this embodiment includes a structure in which a light-emitting element is sealed in a space 431 surrounded by a first substrate 410, a second substrate 170, and a sealant 405 (see FIG. 1). .

空間431は、不活性気体(窒素やアルゴン等)で充填される場合の他、樹脂で充填される場合もある。また、不純物(代表的には水および/または酸素)の吸着材(例えば、乾燥剤など)を空間431に導入しても良い。   The space 431 may be filled with resin in addition to filling with an inert gas (such as nitrogen or argon). Further, an adsorbent (eg, a desiccant) of impurities (typically water and / or oxygen) may be introduced into the space 431.

シール材405および第2の基板170は、大気中の不純物(代表的には水および/または酸素)をできるだけ透過しない材料であることが望ましい。シール材405にはエポキシ系樹脂や、ガラスフリット等を用いることができる。   The sealant 405 and the second substrate 170 are preferably made of a material that does not transmit impurities (typically water and / or oxygen) in the atmosphere as much as possible. As the sealant 405, an epoxy resin, glass frit, or the like can be used.

第2の基板170に用いることができる材料としては、ガラス基板や石英基板の他、PVF(ポリビニルフロライド)、ポリエステルまたはアクリル等からなるプラスチック基板や、FRP(Fiberglass−Reinforced Plastics)等をその例に挙げることができる。   Examples of materials that can be used for the second substrate 170 include glass substrates, quartz substrates, plastic substrates made of PVF (polyvinyl fluoride), polyester, acrylic, and the like, FRP (Fiberglass-Reinforced Plastics), and the like. Can be listed.

<発光装置の製造方法>
本発明の一態様に係る発光装置の製造方法について図2(B)及び図3を参照しつつ説明する。
<Method for manufacturing light emitting device>
A method for manufacturing a light-emitting device according to one embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

絶縁層416上に電極層を形成し、この電極層上にフォトレジスト膜(図示せず)を形成し、このフォトレジスト膜を露光及び現像することにより、電極層上にはレジストマスクが形成される。次いで、このレジストマスクをマスクとして電極層をエッチング加工することにより、絶縁層416上に第1及び第2の下部電極118a,118bを形成する(図2(B)参照)。   An electrode layer is formed on the insulating layer 416, a photoresist film (not shown) is formed on the electrode layer, and the photoresist film is exposed and developed to form a resist mask on the electrode layer. The Next, the first and second lower electrodes 118a and 118b are formed over the insulating layer 416 by etching the electrode layer using the resist mask as a mask (see FIG. 2B).

次に、第1及び第2の下部電極118a,118bそれぞれの端部上及び絶縁層416上に隔壁150を形成する。次いで、隔壁150、第1及び第2の下部電極118a,118bの上に感光性ポジ型材料膜を塗布し、この感光性ポジ型材料膜を露光及び現像することにより、隔壁150上にスペーサ155を形成する。スペーサ155は隔壁150の被形成面と平行方向に迫り出した形状とされ、スペーサ155の側面及び隔壁150の側面によってくびれが形成される。   Next, the partition wall 150 is formed on the end portions of the first and second lower electrodes 118 a and 118 b and on the insulating layer 416. Next, a photosensitive positive material film is applied on the partition wall 150 and the first and second lower electrodes 118a and 118b, and the photosensitive positive material film is exposed and developed, whereby the spacer 155 is formed on the partition wall 150. Form. The spacer 155 has a shape protruding in a direction parallel to the surface on which the partition wall 150 is formed, and a constriction is formed by the side surface of the spacer 155 and the side surface of the partition wall 150.

次に、第1及び第2の下部電極118a,118b、隔壁150及びスペーサ155の上に蒸着法により第1の発光ユニット141を形成し、第1の発光ユニット141上に蒸着法により中間層142を形成する。中間層142の導電性は、第2の発光ユニット143よりも高い。次に、中間層142上に蒸着法により第2の発光ユニット143を形成し、第2の発光ユニット143上に上部電極122を形成する。   Next, a first light-emitting unit 141 is formed on the first and second lower electrodes 118a and 118b, the partition wall 150, and the spacer 155 by an evaporation method, and the intermediate layer 142 is formed on the first light-emitting unit 141 by an evaporation method. Form. The conductivity of the intermediate layer 142 is higher than that of the second light emitting unit 143. Next, the second light emitting unit 143 is formed on the intermediate layer 142 by vapor deposition, and the upper electrode 122 is formed on the second light emitting unit 143.

スペーサ155の側面及び隔壁150の側面によって形成されたくびれの高さL1は、第2の下部電極118b上に位置する第1の発光ユニット141及び中間層142の合計厚さA1より大きく、第2の下部電極118b上に位置する第1の発光ユニット141、中間層142、第2の発光ユニット143及び上部電極122の合計厚さA2以下である。このため、くびれにおいて第1の発光ユニット141、導電性の高い中間層142及び第2の発光ユニット143は段切れし、上部電極122は段切れしない(図3(A)参照)。   The constriction height L1 formed by the side surface of the spacer 155 and the side surface of the partition wall 150 is larger than the total thickness A1 of the first light emitting unit 141 and the intermediate layer 142 located on the second lower electrode 118b, The total thickness A <b> 2 of the first light emitting unit 141, the intermediate layer 142, the second light emitting unit 143, and the upper electrode 122 positioned on the lower electrode 118 b is less than or equal to A <b> 2. Therefore, in the constriction, the first light-emitting unit 141, the highly conductive intermediate layer 142, and the second light-emitting unit 143 are disconnected, and the upper electrode 122 is not disconnected (see FIG. 3A).

次に、隔壁上に位置する上部電極122と近接または接するカラーフィルタ171を配置し、シール材によって発光素子を不活性気体または樹脂によって封止する。カラーフィルタ171は、例えば、第1の下部電極118aと重なる緑色のカラーフィルタと、第2の下部電極118bと重なる青色のカラーフィルタを有し、青色のカラーフィルタと緑色のカラーフィルタの間には遮光性の膜172が形成されている(図2(B)参照)。   Next, a color filter 171 that is close to or in contact with the upper electrode 122 located on the partition wall is disposed, and the light-emitting element is sealed with an inert gas or a resin with a sealant. The color filter 171 includes, for example, a green color filter that overlaps with the first lower electrode 118a and a blue color filter that overlaps with the second lower electrode 118b, and a gap between the blue color filter and the green color filter. A light-blocking film 172 is formed (see FIG. 2B).

(実施の形態2)
本発明の一態様の発光モジュールに用いることができる発光素子の構成について図5を参照しつつ説明する。
(Embodiment 2)
A structure of a light-emitting element that can be used for the light-emitting module of one embodiment of the present invention is described with reference to FIGS.

本実施の形態で例示する発光素子は、下部電極、上部電極、及び下部電極と上部電極の間に有機層を備える。下部電極または上部電極のいずれか一方は陽極、他方は陰極として機能する。有機層は下部電極と上部電極の間に設けられ、該有機層の構成は下部電極と上部電極の材質に合わせて適宜選択すればよい。   The light-emitting element exemplified in this embodiment includes a lower electrode, an upper electrode, and an organic layer between the lower electrode and the upper electrode. Either the lower electrode or the upper electrode functions as an anode, and the other functions as a cathode. The organic layer is provided between the lower electrode and the upper electrode, and the configuration of the organic layer may be appropriately selected according to the material of the lower electrode and the upper electrode.

<発光素子の構成例>
発光素子の構成の一例を図5(A)に示す。図5(A)に例示する発光素子は、陽極1101と陰極1102の間に発光ユニット1103aと発光ユニット1103bを含む有機層が設けられている。さらに、発光ユニット1103aと、発光ユニット1103bとの間には中間層1104が設けられている。
<Configuration example of light emitting element>
An example of a structure of the light-emitting element is illustrated in FIG. In the light-emitting element illustrated in FIG. 5A, an organic layer including a light-emitting unit 1103a and a light-emitting unit 1103b is provided between an anode 1101 and a cathode 1102. Further, an intermediate layer 1104 is provided between the light emitting unit 1103a and the light emitting unit 1103b.

陽極1101と陰極1102の間に、発光素子の閾値電圧より高い電圧を印加すると、有機層に陽極1101の側から正孔が注入され、陰極1102の側から電子が注入される。注入された電子と正孔は有機層において再結合し、有機層に含まれる発光物質が発光する。   When a voltage higher than the threshold voltage of the light emitting element is applied between the anode 1101 and the cathode 1102, holes are injected into the organic layer from the anode 1101 side and electrons are injected from the cathode 1102 side. The injected electrons and holes are recombined in the organic layer, and the light emitting substance contained in the organic layer emits light.

陽極1101と陰極1102の間に設ける発光ユニットの数は2つに限定されない。図5(C)に例示する発光素子は、発光ユニット1103が複数積層された構造、所謂、タンデム型の発光素子の構成を備える。但し、例えば陽極と陰極の間にn(nは2以上の自然数)層の発光ユニット1103を設ける場合には、m番目の発光ユニットと、(m+1)番目の発光ユニットとの間に、それぞれ中間層1104を設ける構成とする。   The number of light emitting units provided between the anode 1101 and the cathode 1102 is not limited to two. The light-emitting element illustrated in FIG. 5C has a structure in which a plurality of light-emitting units 1103 are stacked, that is, a so-called tandem light-emitting element. However, in the case where, for example, n (n is a natural number of 2 or more) layers of light emitting units 1103 are provided between the anode and the cathode, an intermediate between the mth light emitting unit and the (m + 1) th light emitting unit, respectively. The layer 1104 is provided.

発光ユニット1103は、少なくとも発光物質を含む発光層を1つ以上備えていればよく、発光層以外の層と積層された構造であっても良い。発光層以外の層としては、例えば正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔輸送性に乏しい(ブロッキングする)物質、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、並びにバイポーラ性(電子及び正孔の輸送性の高い)の物質等を含む層が挙げられる。特に、陽極に接して設けられる正孔注入性の高い物質を含む層および陰極に接して設けられる電子注入性の高い物質を含む層は、電極から発光ユニットへのキャリアの注入に係る障壁を低減する。これらの層はキャリア注入層ということができる。   The light-emitting unit 1103 only needs to include one or more light-emitting layers containing at least a light-emitting substance, and may have a structure in which layers other than the light-emitting layer are stacked. Examples of the layer other than the light emitting layer include, for example, a material having a high hole-injecting property, a material having a high hole-transporting property, a material having a poor hole-transporting property (blocking), a material having a high electron-transporting property, and a material having a high electron-injecting property And a layer containing a substance having a bipolar property (a high electron and hole transport property) and the like. In particular, a layer containing a material having a high hole-injecting property provided in contact with the anode and a layer containing a material having a high electron-injecting property provided in contact with the cathode reduce a barrier related to carrier injection from the electrode to the light-emitting unit. To do. These layers can be referred to as carrier injection layers.

発光ユニット1103の具体的な構成の一例を図5(B)に示す。図5(B)に示す発光ユニット1103は、正孔注入層1113、正孔輸送層1114、発光層1115、電子輸送層1116、並びに電子注入層1117が陽極1101側からこの順に積層されている。   An example of a specific structure of the light-emitting unit 1103 is illustrated in FIG. In the light-emitting unit 1103 illustrated in FIG. 5B, a hole injection layer 1113, a hole transport layer 1114, a light-emitting layer 1115, an electron transport layer 1116, and an electron injection layer 1117 are stacked in this order from the anode 1101 side.

中間層1104の具体的な構成の一例を図5(A)に示す。中間層1104は少なくとも電荷発生領域を含んで形成されていればよく、電荷発生領域以外の層と積層された構成であってもよい。例えば、第1の電荷発生領域1104c、電子リレー層1104b、及び電子注入バッファ層1104aが陰極1102側から順次積層された構造を適用することができる。   An example of a specific structure of the intermediate layer 1104 is shown in FIG. The intermediate layer 1104 may be formed so as to include at least the charge generation region, and may have a structure in which layers other than the charge generation region are stacked. For example, a structure in which the first charge generation region 1104c, the electron relay layer 1104b, and the electron injection buffer layer 1104a are sequentially stacked from the cathode 1102 side can be used.

中間層1104における電子と正孔の挙動について説明する。陽極1101と陰極1102の間に、発光素子の閾値電圧より高い電圧を印加すると、第1の電荷発生領域1104cにおいて、正孔と電子が発生し、正孔は陰極1102側に設けられた発光ユニット1103bへ移動し、電子は電子リレー層1104bへ移動する。   The behavior of electrons and holes in the intermediate layer 1104 will be described. When a voltage higher than the threshold voltage of the light-emitting element is applied between the anode 1101 and the cathode 1102, holes and electrons are generated in the first charge generation region 1104c, and the light-emitting unit is provided on the cathode 1102 side. 1103b and electrons move to the electron relay layer 1104b.

電子リレー層1104bは電子輸送性が高く、第1の電荷発生領域1104cで生じた電子を電子注入バッファ層1104aに速やかに受け渡す。電子注入バッファ層1104aは発光ユニット1103aに電子を注入する障壁を緩和し、発光ユニット1103aへの電子注入効率を高める。従って、第1の電荷発生領域1104cで発生した電子は、電子リレー層1104bと電子注入バッファ層1104aを経て、発光ユニット1103aの最低空軌道準位(以下、「LUMO準位」という。)に注入される。   The electron-relay layer 1104b has a high electron-transport property and quickly transfers electrons generated in the first charge generation region 1104c to the electron-injection buffer layer 1104a. The electron injection buffer layer 1104a relaxes the barrier for injecting electrons into the light emitting unit 1103a, and increases the efficiency of electron injection into the light emitting unit 1103a. Therefore, electrons generated in the first charge generation region 1104c are injected into the lowest vacant orbit level (hereinafter referred to as “LUMO level”) of the light emitting unit 1103a through the electron relay layer 1104b and the electron injection buffer layer 1104a. Is done.

また、電子リレー層1104bは、第1の電荷発生領域1104cを構成する物質と電子注入バッファ層1104aを構成する物質が界面で反応し、互いの機能が損なわれてしまう等の相互作用を防ぐことができる。   In addition, the electron relay layer 1104b prevents an interaction such as a substance constituting the first charge generation region 1104c and a substance constituting the electron injection buffer layer 1104a from reacting at the interface, thereby impairing the functions of each other. Can do.

陰極側に設けられた発光ユニット1103bに注入された正孔は、陰極1102から注入された電子と再結合し、当該発光ユニット1103bに含まれる発光物質が発光する。また、陽極側に設けられた発光ユニット1103aに注入された電子は、陽極側から注入された正孔と再結合し、当該発光ユニット1103aに含まれる発光物質が発光する。よって、中間層1104において発生した正孔と電子は、それぞれ異なる発光ユニットにおいて発光に至る。   The holes injected into the light emitting unit 1103b provided on the cathode side recombine with the electrons injected from the cathode 1102, and the light emitting substance contained in the light emitting unit 1103b emits light. Further, electrons injected into the light emitting unit 1103a provided on the anode side recombine with holes injected from the anode side, and a light emitting substance contained in the light emitting unit 1103a emits light. Therefore, holes and electrons generated in the intermediate layer 1104 are emitted in different light emitting units.

なお、発光ユニット同士を接して設けることで、両者の間に中間層と同じ構成が形成される場合は、発光ユニット同士を接して設けることができる。具体的には、発光ユニットの一方の面に電荷発生領域が形成されていると、当該電荷発生領域は中間層の第1の電荷発生領域として機能するため、発光ユニット同士を接して設けることができる。   In addition, when the same structure as an intermediate | middle layer is formed between both by providing light emitting units in contact, light emitting units can be provided in contact. Specifically, when a charge generation region is formed on one surface of the light emitting unit, the charge generation region functions as the first charge generation region of the intermediate layer. it can.

なお、陰極とn番目の発光ユニットの間に中間層を設けることもできる。   An intermediate layer may be provided between the cathode and the nth light emitting unit.

<発光素子に用いることができる材料>
次に、上述した構成を備える発光素子に用いることができる具体的な材料について、陽極、陰極、有機層、電荷発生領域、電子リレー層並びに電子注入バッファ層の順に説明する。
<Material that can be used for light-emitting element>
Next, specific materials that can be used for the light-emitting element having the above-described structure will be described in the order of the anode, the cathode, the organic layer, the charge generation region, the electron relay layer, and the electron injection buffer layer.

<陽極に用いることができる材料>
陽極1101は、仕事関数の大きい(具体的には4.0eV以上が好ましい)金属、合金、電気伝導性化合物、およびこれらの混合物などを用いることが好ましい。具体的には、例えば、インジウム錫酸化物(ITO:Indium Tin Oxide)、珪素若しくは酸化珪素を含有したインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物(Indium Zinc Oxide)、酸化タングステン及び酸化亜鉛を含有した酸化インジウム等が挙げられる。
<Material that can be used for anode>
The anode 1101 is preferably made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, a mixture thereof, or the like having a high work function (specifically, 4.0 eV or more is preferable). Specifically, for example, indium tin oxide (ITO), indium tin oxide containing silicon or silicon oxide, indium zinc oxide (oxide) containing tungsten oxide and zinc oxide. Examples include indium.

この他、金(Au)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、チタン(Ti)、または金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン等)、モリブデン酸化物、バナジウム酸化物、ルテニウム酸化物、タングステン酸化物、マンガン酸化物、チタン酸化物等が挙げられる。   In addition, gold (Au), platinum (Pt), nickel (Ni), tungsten (W), chromium (Cr), molybdenum (Mo), iron (Fe), cobalt (Co), copper (Cu), palladium ( Pd), titanium (Ti), or a nitride of a metal material (for example, titanium nitride), molybdenum oxide, vanadium oxide, ruthenium oxide, tungsten oxide, manganese oxide, titanium oxide, or the like.

但し、陽極1101と接して第2の電荷発生領域を設ける場合には、仕事関数を考慮せずに様々な導電性材料を陽極1101に用いることができる。具体的には、仕事関数の大きい材料だけでなく、仕事関数の小さい材料を用いることもできる。第2の電荷発生領域を構成する材料については、第1の電荷発生領域と共に後述する。   However, in the case where the second charge generation region is provided in contact with the anode 1101, various conductive materials can be used for the anode 1101 without considering the work function. Specifically, not only a material having a high work function but also a material having a low work function can be used. The material constituting the second charge generation region will be described later together with the first charge generation region.

<陰極に用いることができる材料>
陰極1102は、仕事関数の小さい(具体的には4.0eV未満)材料が好ましいが、陰極1102に接して第1の電荷発生領域を、発光ユニット1103との間に設ける場合、陰極1102は仕事関数の大小に関わらず様々な導電性材料を用いることができる。
<Materials that can be used for the cathode>
The cathode 1102 is preferably made of a material having a low work function (specifically, less than 4.0 eV). However, when the first charge generation region is provided between the light emitting unit 1103 and the cathode 1102, the cathode 1102 has a work function. Various conductive materials can be used regardless of the size of the function.

なお、陰極1102および陽極1101のうち少なくとも一方を、可視光を透過する導電膜を用いて形成する。可視光を透過する導電膜としては、例えば酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などを挙げることができる。また、光を透過する程度(好ましくは、5nm以上30nm以下程度)の金属薄膜を用いることもできる。   Note that at least one of the cathode 1102 and the anode 1101 is formed using a conductive film that transmits visible light. As the conductive film that transmits visible light, for example, indium oxide containing tungsten oxide, indium zinc oxide containing tungsten oxide, indium oxide containing titanium oxide, indium tin oxide containing titanium oxide, indium tin oxide, Examples thereof include indium zinc oxide and indium tin oxide to which silicon oxide is added. In addition, a metal thin film that transmits light (preferably, approximately 5 nm to 30 nm) can be used.

<有機層に用いることができる材料>
上述した発光ユニット1103を構成する各層に用いることができる材料について、以下に具体例を示す。
<Materials that can be used for the organic layer>
Specific examples of materials that can be used for each layer included in the light-emitting unit 1103 are described below.

<正孔注入層>
正孔注入層は、正孔注入性の高い物質を含む層である。正孔注入性の高い物質としては、例えば、モリブデン酸化物やバナジウム酸化物、ルテニウム酸化物、タングステン酸化物、マンガン酸化物等を用いることができる。この他、フタロシアニン(略称:H2Pc)や銅フタロシアニン(略称:CuPc)等のフタロシアニン系の化合物、或いはポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスルホン酸)(PEDOT/PSS)等の高分子等によっても正孔注入層を形成することができる。
<Hole injection layer>
The hole injection layer is a layer containing a substance having a high hole injection property. As the substance having a high hole injection property, for example, molybdenum oxide, vanadium oxide, ruthenium oxide, tungsten oxide, manganese oxide, or the like can be used. In addition, phthalocyanine compounds such as phthalocyanine (abbreviation: H2Pc) and copper phthalocyanine (abbreviation: CuPc), or poly (3,4-ethylenedioxythiophene) / poly (styrenesulfonic acid) (PEDOT / PSS) The hole injection layer can also be formed by a polymer or the like.

なお、正孔注入層の代わりに第2の電荷発生領域を用いてもよい。第2の電荷発生領域を用いると、仕事関数を考慮せずに様々な導電性材料を陽極1101に用いることができるのは前述の通りである。第2の電荷発生領域を構成する材料については第1の電荷発生領域と共に後述する。   Note that the second charge generation region may be used instead of the hole injection layer. As described above, when the second charge generation region is used, various conductive materials can be used for the anode 1101 without considering the work function. The material constituting the second charge generation region will be described later together with the first charge generation region.

<正孔輸送層>
正孔輸送層は、正孔輸送性の高い物質を含む層である。正孔輸送層は、単層に限られず正孔輸送性の高い物質を含む層を二層以上積層したものでもよい。電子よりも正孔の輸送性の高い物質であればよく、特に10−6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質が、発光素子の駆動電圧を低減できるため好ましい。
<Hole transport layer>
The hole transport layer is a layer containing a substance having a high hole transport property. The hole transport layer is not limited to a single layer, and may be a stack of two or more layers containing a substance having a high hole transport property. Any substance that has a property of transporting more holes than electrons may be used, and a substance having a hole mobility of 10 −6 cm 2 / Vs or higher is particularly preferable because the driving voltage of the light-emitting element can be reduced.

<発光層>
発光層は、発光物質を含む層である。発光層は、単層に限られず発光物質を含む層を二層以上積層したものでもよい。発光物質は蛍光性化合物や、燐光性化合物を用いることができる。発光物質に燐光性化合物を用いると、発光素子の発光効率を高められるため好ましい。
<Light emitting layer>
The light emitting layer is a layer containing a light emitting substance. The light emitting layer is not limited to a single layer and may be a stack of two or more layers containing a light emitting substance. As the light-emitting substance, a fluorescent compound or a phosphorescent compound can be used. It is preferable to use a phosphorescent compound for the light-emitting substance because the light-emitting efficiency of the light-emitting element can be increased.

発光物質は、ホスト材料に分散させて用いるのが好ましい。ホスト材料としては、その励起エネルギーが、発光物質の励起エネルギーよりも大きなものが好ましい。   The light emitting substance is preferably used by being dispersed in a host material. As the host material, a material whose excitation energy is larger than that of the light-emitting substance is preferable.

<電子輸送層>
電子輸送層は、電子輸送性の高い物質を含む層である。電子輸送層は、単層に限られず電子輸送性の高い物質を含む層を二層以上積層したものでもよい。正孔よりも電子の輸送性の高い物質であればよく、特に10−6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質が、発光素子の駆動電圧を低減できるため好ましい。
<Electron transport layer>
The electron transport layer is a layer containing a substance having a high electron transport property. The electron transport layer is not limited to a single layer, and may be a stack of two or more layers containing a substance having a high electron transport property. Any substance that has a property of transporting more electrons than holes may be used, and in particular, a substance having an electron mobility of 10 −6 cm 2 / Vs or higher is preferable because the driving voltage of the light-emitting element can be reduced.

<電子注入層>
電子注入層は、電子注入性の高い物質を含む層である。電子注入層は、単層に限られず電子注入性の高い物質を含む層を二層以上積層したものでもよい。電子注入層を設ける構成とすることで陰極1102からの電子の注入効率が高まり、発光素子の駆動電圧を低減できるため好ましい。
<Electron injection layer>
The electron injection layer is a layer containing a substance having a high electron injection property. The electron injection layer is not limited to a single layer, and may be a stack of two or more layers containing a substance having a high electron injection property. A structure in which an electron injecting layer is provided is preferable because the efficiency of injecting electrons from the cathode 1102 is increased and the driving voltage of the light emitting element can be reduced.

電子注入性の高い物質としては、例えばリチウム(Li)、セシウム(Cs)、カルシウム(Ca)、フッ化リチウム(LiF)、フッ化セシウム(CsF)、フッ化カルシウム(CaF2)等のアルカリ金属、アルカリ土類金属またはこれらの化合物が挙げられる。また電子輸送性を有する物質中にアルカリ金属又はアルカリ土類金属、マグネシウム(Mg)又はそれらの化合物を含有させたもの、例えばAlq中にマグネシウム(Mg)を含有させたもの等を用いることもできる。   Examples of the high electron-injecting substance include alkali metals such as lithium (Li), cesium (Cs), calcium (Ca), lithium fluoride (LiF), cesium fluoride (CsF), and calcium fluoride (CaF2), Alkaline earth metals or these compounds are mentioned. Further, an alkali metal or alkaline earth metal, magnesium (Mg), or a compound thereof, for example, a substance containing magnesium (Mg) in Alq can be used in a substance having an electron transporting property. .

<電荷発生領域に用いることができる材料>
第1の電荷発生領域1104c、及び第2の電荷発生領域は、正孔輸送性の高い物質とアクセプター性物質を含む領域である。なお、電荷発生領域は、同一膜中に正孔輸送性の高い物質とアクセプター性物質を含有する場合だけでなく、正孔輸送性の高い物質を含む層とアクセプター性物質を含む層とが積層されていても良い。但し、陰極に接して設けられる第1の電荷発生領域が積層構造の場合には、正孔輸送性の高い物質を含む層が陰極1102と接する構造となる。陽極に接して設けられる第2の電荷発生領域が積層構造の場合には、アクセプター性物質を含む層が陽極1101と接する構造となる。
<Material that can be used for charge generation region>
The first charge generation region 1104c and the second charge generation region are regions including a substance having a high hole-transport property and an acceptor substance. Note that the charge generation region includes not only a case where a substance having a high hole-transport property and an acceptor substance are contained in the same film but also a layer containing a substance having a high hole-transport property and a layer containing an acceptor substance. May be. However, in the case where the first charge generation region provided in contact with the cathode has a stacked structure, a layer containing a substance having a high hole-transport property is in contact with the cathode 1102. In the case where the second charge generation region provided in contact with the anode has a stacked structure, a layer containing an acceptor substance is in contact with the anode 1101.

なお、電荷発生領域において、正孔輸送性の高い物質に対して質量比で、0.1以上4.0以下の比率でアクセプター性物質を添加することが好ましい。   Note that in the charge generation region, the acceptor substance is preferably added at a mass ratio of 0.1 to 4.0 with respect to the substance having a high hole-transport property.

電荷発生領域に用いるアクセプター性物質としては、遷移金属酸化物、特に元素周期表における第4族乃至第8族に属する金属の酸化物が好ましい。具体的には、酸化モリブデンが特に好ましい。なお、酸化モリブデンは、吸湿性が低いという特徴を有している。   As the acceptor substance used for the charge generation region, a transition metal oxide, particularly an oxide of a metal belonging to Groups 4 to 8 in the periodic table is preferable. Specifically, molybdenum oxide is particularly preferable. Note that molybdenum oxide has a feature of low hygroscopicity.

また、電荷発生領域に用いる正孔輸送性の高い物質としては、芳香族アミン化合物、カルバゾール誘導体、芳香族炭化水素、高分子化合物(オリゴマー、デンドリマー、ポリマーを含む)など、種々の有機化合物を用いることができる。具体的には、10−6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質であることが好ましい。但し、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いてもよい。 As the substance having a high hole-transport property used for the charge generation region, various organic compounds such as aromatic amine compounds, carbazole derivatives, aromatic hydrocarbons, and high molecular compounds (including oligomers, dendrimers, and polymers) are used. be able to. Specifically, a substance having a hole mobility of 10 −6 cm 2 / Vs or higher is preferable. Note that other than these substances, any substance that has a property of transporting more holes than electrons may be used.

<電子リレー層に用いることができる材料>
電子リレー層1104bは、第1の電荷発生領域1104cにおいてアクセプター性物質がひき抜いた電子を速やかに受け取ることができる層である。従って、電子リレー層1104bは、電子輸送性の高い物質を含む層であり、またそのLUMO準位は、第1の電荷発生領域1104cにおけるアクセプター性物質のアクセプター準位と、発光ユニット1103のLUMO準位との間に位置する。具体的には、およそ−5.0eV以上−3.0eV以下とするのが好ましい。
<Materials that can be used for the electronic relay layer>
The electron-relay layer 1104b is a layer that can quickly receive the electrons extracted by the acceptor substance in the first charge generation region 1104c. Therefore, the electron-relay layer 1104b is a layer containing a substance having a high electron-transport property, and the LUMO level thereof is the acceptor level of the acceptor substance in the first charge generation region 1104c and the LUMO level of the light-emitting unit 1103. It is located in between. Specifically, it is preferably about −5.0 eV to −3.0 eV.

電子リレー層1104bに用いる物質としては、例えば、ペリレン誘導体や、含窒素縮合芳香族化合物が挙げられる。なお、含窒素縮合芳香族化合物は、安定な化合物であるため電子リレー層1104bに用いる物質として好ましい。さらに、含窒素縮合芳香族化合物のうち、シアノ基やフッ素などの電子吸引基を有する化合物を用いることにより、電子リレー層1104bにおける電子の受け取りがさらに容易になるため、好ましい。   Examples of the substance used for the electronic relay layer 1104b include a perylene derivative and a nitrogen-containing condensed aromatic compound. Note that the nitrogen-containing condensed aromatic compound is a stable compound and thus is preferable as a substance used for the electronic relay layer 1104b. Furthermore, among nitrogen-containing condensed aromatic compounds, it is preferable to use a compound having an electron-withdrawing group such as a cyano group or fluorine because electrons can be more easily received in the electron-relay layer 1104b.

<電子注入バッファ層に用いることができる材料>
電子注入バッファ層1104aは、第1の電荷発生領域1104cから発光ユニット1103aへの電子の注入を容易にする層である。電子注入バッファ層1104aを第1の電荷発生領域1104cと発光ユニット1103aの間に設けることにより、両者の注入障壁を緩和することができる。
<Material that can be used for the electron injection buffer layer>
The electron injection buffer layer 1104a is a layer that facilitates injection of electrons from the first charge generation region 1104c into the light emitting unit 1103a. By providing the electron injection buffer layer 1104a between the first charge generation region 1104c and the light emitting unit 1103a, the injection barrier between them can be relaxed.

電子注入バッファ層1104aには、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類金属、およびこれらの化合物(アルカリ金属化合物(酸化リチウム等の酸化物、ハロゲン化物、炭酸リチウムや炭酸セシウム等の炭酸塩を含む)、アルカリ土類金属化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む)、または希土類金属の化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む))等の電子注入性の高い物質を用いることが可能である。   The electron-injection buffer layer 1104a includes an alkali metal, an alkaline earth metal, a rare earth metal, and a compound thereof (including an alkali metal compound (including an oxide such as lithium oxide, a halide, and a carbonate such as lithium carbonate and cesium carbonate). , Alkaline earth metal compounds (including oxides, halides, carbonates) or rare earth metal compounds (including oxides, halides, carbonates) can be used. It is.

また、電子注入バッファ層1104aが、電子輸送性の高い物質とドナー性物質を含んで形成される場合には、電子輸送性の高い物質に対して質量比で、0.001以上0.1以下の比率でドナー性物質を添加することが好ましい。なお、ドナー性物質としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類金属、およびこれらの化合物(アルカリ金属化合物(酸化リチウム等の酸化物、ハロゲン化物、炭酸リチウムや炭酸セシウム等の炭酸塩を含む)、アルカリ土類金属化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む)、または希土類金属の化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む))の他、テトラチアナフタセン(略称:TTN)、ニッケロセン、デカメチルニッケロセン等の有機化合物を用いることもできる。なお、電子輸送性の高い物質としては、先に説明した発光ユニット1103の一部に形成することができる電子輸送層の材料と同様の材料を用いて形成することができる。   In the case where the electron injection buffer layer 1104a is formed including a substance having a high electron transporting property and a donor substance, the mass ratio with respect to the substance having a high electron transporting property is 0.001 or more and 0.1 or less. It is preferable to add the donor substance at the ratio of As donor substances, alkali metals, alkaline earth metals, rare earth metals, and compounds thereof (alkali metal compounds (including oxides such as lithium oxide, halides, carbonates such as lithium carbonate and cesium carbonate) In addition to alkaline earth metal compounds (including oxides, halides and carbonates) or rare earth metal compounds (including oxides, halides and carbonates), tetrathianaphthacene (abbreviation: TTN), Organic compounds such as nickelocene and decamethyl nickelocene can also be used. Note that the substance having a high electron-transport property can be formed using a material similar to the material for the electron-transport layer that can be formed over part of the light-emitting unit 1103 described above.

<発光素子の作製方法>
発光素子の作製方法の一態様について説明する。下部電極上にこれらの層を適宜組み合わせて有機層を形成する。有機層は、それに用いる材料に応じて種々の方法(例えば、乾式法や湿式法等)を用いることができ、例えば、真空蒸着法、インクジェット法またはスピンコート法などを選んで用いればよい。また、各層で異なる方法を用いて形成してもよい。有機層上に上部電極を形成し、発光素子を作製する。
<Method for Manufacturing Light-Emitting Element>
One embodiment of a method for manufacturing a light-emitting element is described. An organic layer is formed by appropriately combining these layers on the lower electrode. Various methods (for example, a dry method or a wet method) can be used for the organic layer depending on the material used for the organic layer. For example, a vacuum deposition method, an inkjet method, a spin coating method, or the like may be selected and used. Further, different methods may be used for each layer. An upper electrode is formed on the organic layer to manufacture a light emitting element.

以上のような材料を組み合わせることにより、本実施の形態に示す発光素子を作製することができる。この発光素子からは、上述した発光物質からの発光が得られ、その発光色は発光物質の種類を変えることにより選択できる。   By combining the above materials, the light-emitting element described in this embodiment can be manufactured. The light-emitting element can emit light from the above-described light-emitting substance, and the emission color can be selected by changing the type of the light-emitting substance.

また、発光色の異なる複数の発光物質を用いることにより、発光スペクトルの幅を拡げて、例えば白色発光を得ることもできる。白色発光を得る場合には、例えば、発光物質を含む層を少なくとも2つ備える構成とし、それぞれの層を互いに補色の関係にある色を呈する光を発するように構成すればよい。具体的な補色の関係としては、例えば青色と黄色、あるいは青緑色と赤色等が挙げられる。   In addition, by using a plurality of light-emitting substances having different emission colors, the emission spectrum can be widened to obtain, for example, white light emission. In order to obtain white light emission, for example, a structure including at least two layers containing a light-emitting substance may be used, and each layer may be configured to emit light having a color complementary to each other. Specific complementary color relationships include, for example, blue and yellow or blue green and red.

さらに、演色性の良い白色発光を得る場合には、発光スペクトルが可視光全域に拡がるものが好ましく、例えば、一つの発光素子が青色を呈する光を発する層、緑色を呈する光を発する層、赤色を呈する光を発する層を備える構成とすればよい。   Furthermore, in order to obtain white light emission with good color rendering properties, it is preferable that the emission spectrum extends over the entire visible light region. For example, one light emitting element emits blue light, a layer emitting green light, red What is necessary is just to set it as the structure provided with the layer which emits the light which exhibits.

なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。   Note that this embodiment can be combined with any of the other embodiments described in this specification as appropriate.

図7(A)は、実施例の発光素子の隔壁とスペーサ(凸部)の断面構造を示す写真であり、図7(B)は、図7(A)に示すスペーサの側面及び隔壁の側面によって形成されたくびれ153を拡大した写真であり、図7(C)は、図7(A)に示す領域154を拡大した写真である。   FIG. 7A is a photograph showing a cross-sectional structure of the partition walls and the spacers (convex portions) of the light-emitting element of the example, and FIG. 7B is a side view of the spacer and the partition walls shown in FIG. 7C is an enlarged photograph of the constriction 153 formed by the above, and FIG. 7C is an enlarged photograph of the region 154 shown in FIG.

本実施例は、図4(B)に示すスペーサ155の配置と同様のものであり、隔壁150の表面の傾斜部にスペーサ155の端部を配置したものである。   In this embodiment, the arrangement of the spacers 155 shown in FIG. 4B is the same, and the end portions of the spacers 155 are arranged on the inclined portion of the surface of the partition wall 150.

本実施例の発光素子を構成する材料は下記のとおりである。
第1及び第2の下部電極118a,118b: ランタンを含むアルミニウム−ニッケル合金膜(膜厚200nm)とチタン膜(膜厚6nm)の積層
マイクロキャビティ構造149: 酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSO)膜(青色の発光部に含まれる発光素子では膜厚0nm、緑色の発光部に含まれる発光素子では膜厚40nm、赤色の発光部に含まれる発光素子では、膜厚80nmとした。)
隔壁150: 茶色レジスト材料(460nm、540nm、620nmの波長でそれぞれ透過率50%以下である着色された絶縁材料)
スペーサ155: ポジ型感光性ポリイミド
第1の発光ユニット141: 正孔輸送性のアントラセン誘導体及び酸化モリブデンを含む複合材料層(正孔注入層、膜厚20nm)、正孔輸送層(膜厚20nm)、青色の発光層(膜厚30nm)、及び電子輸送層(膜厚20nm)の積層
中間層142: 酸化リチウム膜(膜厚0.1nm)と、銅フタロシアニン膜(膜厚2nm)と、正孔輸送性のアントラセン誘導体及び酸化モリブデンを含む複合材料膜(膜厚20nm)の積層
第2の発光ユニット143: 正孔輸送層(膜厚20nm)、緑色の発光層(膜厚20nm)、赤色の発光層(膜厚20nm)、電子輸送層(膜厚30nm)、及び電子注入層(膜厚1nm)の積層
上部電極122: 銀−マグネシウム合金膜(膜厚15nm)及びITO(膜厚70nm)の積層
The materials constituting the light emitting element of this example are as follows.
First and second lower electrodes 118a and 118b: Laminated lanthanum-containing aluminum-nickel alloy film (film thickness: 200 nm) and titanium film (film thickness: 6 nm) Microcavity structure 149: Indium tin oxide containing silicon oxide (ITSO) ) Film (the light emitting element included in the blue light emitting portion has a thickness of 0 nm, the light emitting element included in the green light emitting portion has a thickness of 40 nm, and the light emitting element included in the red light emitting portion has a thickness of 80 nm.)
Partition wall 150: Brown resist material (colored insulating material having transmittance of 50% or less at wavelengths of 460 nm, 540 nm, and 620 nm)
Spacer 155: Positive photosensitive polyimide First light emitting unit 1411: Composite material layer (hole injection layer, film thickness 20 nm) containing hole transporting anthracene derivative and molybdenum oxide, hole transport layer (film thickness 20 nm) Lamination of blue light emitting layer (film thickness 30 nm) and electron transport layer (film thickness 20 nm) Intermediate layer 142: Lithium oxide film (film thickness 0.1 nm), copper phthalocyanine film (film thickness 2 nm), hole Stacking of Composite Material Film (Film Thickness 20 nm) Containing Transport Anthracene Derivative and Molybdenum Oxide Second Light-Emitting Unit 143: Hole Transport Layer (Film Thickness 20 nm), Green Light-Emitting Layer (Film Thickness 20 nm), Red Light Emitting Lamination of layer (film thickness 20 nm), electron transport layer (film thickness 30 nm), and electron injection layer (film thickness 1 nm) Upper electrode 122: Silver-magnesium alloy film (film thickness 15 nm) and I A stack of O (thickness of 70nm)

本実施例の発光素子の作製方法は次のとおりである。
TFT基板に第1及び第2の下部電極(陽極)まで形成した後、第1及び第2の下部電極上にフォトレジスト膜を形成し、このフォトレジスト膜を露光及び現像することにより、第1及び第2の下部電極それぞれの端部を覆うようにレジスト材料からなる隔壁が形成される。このレジスト材料は、例えば茶色に着色された光吸収のある材料である。
A method for manufacturing the light-emitting element of this example is as follows.
After the first and second lower electrodes (anodes) are formed on the TFT substrate, a photoresist film is formed on the first and second lower electrodes, and the photoresist film is exposed and developed to obtain the first. And the partition which consists of a resist material is formed so that the edge part of each of 2nd lower electrode may be covered. This resist material is a light-absorbing material colored, for example, brown.

次に、この隔壁上にポジ型感光性樹脂として例えばポジ型感光性ポリイミド膜を形成し、ポジ型感光性ポリイミド膜を露光及び現像することにより、隔壁上にポジ型感光性ポリイミド膜からなるスペーサが形成される。このように着色された隔壁の上にポジ型感光性樹脂でスペーサを形成すると、ポジ型感光性ポリイミド膜の露光時に着色された隔壁に光が吸収されて着色された隔壁の温度が上がり、光反応が進みやすくなる。スペーサの中でも特に着色された隔壁と接している底面の光反応が進みやすくなる。このため、着色された隔壁に接している底面のみでテーパの大きい構造(くびれ)を作ることが出来る。従って、隔壁と隔壁上のスペーサの2層構造で、くびれを有する構造物が形成される。   Next, for example, a positive photosensitive polyimide film is formed as a positive photosensitive resin on the partition wall, and the positive photosensitive polyimide film is exposed and developed to form a spacer made of the positive photosensitive polyimide film on the partition wall. Is formed. If a spacer is formed with a positive photosensitive resin on the colored partition walls in this way, light is absorbed by the colored partition walls during the exposure of the positive photosensitive polyimide film, and the temperature of the colored partition walls increases. The reaction is easy to proceed. Among the spacers, the photoreaction on the bottom surface that is in contact with the colored partition is particularly likely to proceed. For this reason, a structure (necking) having a large taper can be formed only by the bottom surface in contact with the colored partition wall. Therefore, a structure having a constriction is formed with a two-layer structure of a partition and a spacer on the partition.

次に、第1及び第2の下部電極、隔壁及びスペーサの上に蒸着法により第1の発光ユニットを形成し、第1の発光ユニット上に蒸着法により中間層を形成する。第1の発光ユニットはキャリア注入層である正孔注入層を有する。次に、中間層上に蒸着法により第2の発光ユニットを形成し、第2の発光ユニット上に上部電極を形成する。なお、中間層やキャリア注入層は薄膜化することが好ましく、上部電極は段切れさせないことが好ましい。   Next, a first light emitting unit is formed on the first and second lower electrodes, the partition walls, and the spacers by vapor deposition, and an intermediate layer is formed on the first light emitting unit by vapor deposition. The first light emitting unit has a hole injection layer which is a carrier injection layer. Next, a second light emitting unit is formed on the intermediate layer by vapor deposition, and an upper electrode is formed on the second light emitting unit. The intermediate layer and the carrier injection layer are preferably thinned, and the upper electrode is preferably not cut off.

着色された隔壁を使用することにはクロストーク対策以外に、視野角依存性対策という意味合いもある。隔壁に着色することで、パネルを斜めから見た際の、隣接画素の発光の混色を防ぐことが可能であるので好ましい。   The use of colored barriers also has implications for viewing angle dependence in addition to crosstalk countermeasures. Coloring the partition walls is preferable because it is possible to prevent color mixture of light emission from adjacent pixels when the panel is viewed obliquely.

図8〜図9は、図7(B)と同様の断面を示す写真であり、くびれの高さ等を詳細に説明するためのものである。   FIGS. 8 to 9 are photographs showing the same cross section as FIG. 7B, and are for explaining the height of the constriction and the like in detail.

図8(A)に示すように、スペーサ155の最も出っ張っている点をポイントEとし、そのポイントEから隔壁150の被形成面又は第1の基板の表面に対して引いた垂線と隔壁150との交点をポイントFとする。ポイントEとFの距離をくびれの高さL1と定義する。また、図7(C)に示すように、第1の発光ユニット141から上部電極122までの厚みをA2とし、第1の発光ユニット141から中間層142までの厚みをA1とする。なお、A1,A2は、それぞれ、第1の基板の表面又は第2の下部電極118bの被形成面(発光素子の被形成面)に対して引いた垂線上の厚さである。   As shown in FIG. 8A, the point at which the spacer 155 protrudes most is a point E, and a perpendicular drawn from the point E to the formation surface of the partition 150 or the surface of the first substrate, and the partition 150 Let the intersection of be point F. The distance between the points E and F is defined as the constriction height L1. Further, as shown in FIG. 7C, the thickness from the first light emitting unit 141 to the upper electrode 122 is A2, and the thickness from the first light emitting unit 141 to the intermediate layer 142 is A1. A1 and A2 are thicknesses on a perpendicular line drawn from the surface of the first substrate or the formation surface of the second lower electrode 118b (formation surface of the light-emitting element), respectively.

本実施例の発光素子の具体的な寸法は、くびれの高さL1が230nmであり、厚みA1が110nmであり、厚みA2が280nmである。   Specific dimensions of the light emitting element of this example are such that the constriction height L1 is 230 nm, the thickness A1 is 110 nm, and the thickness A2 is 280 nm.

上記の寸法L1,A1,A2は、下記式(1)を満たす。
A1<L1≦A2 ・・・(1)
Said dimension L1, A1, A2 satisfy | fills following formula (1).
A1 <L1 ≦ A2 (1)

本実施例は、上記式(1)を満たすため、最上層の発光ユニットの発光層の下の導電性の高い層である中間層やキャリア注入層(複合材料層)を段切れする構造である。
つまり、本実施例では、隔壁上にスペーサをたて、くびれを形成し、くびれの高さL1は、有機層の中間層までの厚みA1より厚く、有機層と上部電極を合わせた厚みA2以下である。その結果、有機層の中でも特に抵抗の低い中間層とキャリア注入層を段切れさせられることが確認された。また、最もくびれている部分に、有機層の側面が接している構造として段差を埋めた結果、上部電極が段切れしない構造とできることが確認された。
In this example, in order to satisfy the above formula (1), the intermediate layer and the carrier injection layer (composite material layer) which are highly conductive layers below the light emitting layer of the uppermost light emitting unit are cut off. .
That is, in this embodiment, a spacer is formed on the partition wall to form a constriction, and the constriction height L1 is thicker than the thickness A1 to the intermediate layer of the organic layer, and the combined thickness of the organic layer and the upper electrode is not more than A2. It is. As a result, it was confirmed that the intermediate layer and the carrier injection layer having a particularly low resistance can be stepped out of the organic layer. In addition, it was confirmed that the upper electrode could be cut off as a result of filling the step as a structure in which the side of the organic layer was in contact with the most constricted portion.

図7(C)、図8(A)に示すように、ポイントEとFの距離であるくびれの高さL1が、第1の発光ユニットから中間層までの厚みA1よりも大きいと、第1の発光ユニットと中間層が段切れすることが確認された。また、ポイントEとFの距離であるくびれの高さL1が、第1の発光ユニットから上部電極までの厚みA2以下であると、第1の発光ユニットと中間層が段切れし、かつ、上部電極が段切れしないことが確認された。   As shown in FIG. 7C and FIG. 8A, when the constriction height L1 which is the distance between the points E and F is larger than the thickness A1 from the first light emitting unit to the intermediate layer, the first It was confirmed that the light emitting unit and the intermediate layer were disconnected. In addition, when the constriction height L1 which is the distance between the points E and F is equal to or less than the thickness A2 from the first light emitting unit to the upper electrode, the first light emitting unit and the intermediate layer are disconnected, and the upper portion It was confirmed that the electrode did not break.

図8(B)に示すように、点線Hに囲まれる領域において、くびれを有機層が埋めることにより、上部電極にとってのくびれの高さは、有機層にとってのくびれの高さよりも小さくなる。   As shown in FIG. 8B, in the region surrounded by the dotted line H, the constriction is filled with the organic layer, so that the constriction height for the upper electrode is smaller than the constriction height for the organic layer.

図8(C)に示すように、ポイントEから隔壁の被形成面又は基板の表面に対して引いた垂線と第2の発光ユニットの表面との交点をポイントJとする。ポイントJとポイントEの距離をL2とする。この距離L2が上部電極にとってのくびれの高さに相当するため、距離L2が上部電極の厚みA3よりも薄ければ上部電極が段切れしないことも確認された。なお、A3は、第1の基板の表面又は下部電極の被形成面(発光素子の被形成面)に対して引いた垂線上の上部電極の厚さである(図7(C)参照)。   As shown in FIG. 8C, an intersection of a perpendicular drawn from the point E to the formation surface of the partition wall or the surface of the substrate and the surface of the second light emitting unit is defined as a point J. The distance between point J and point E is L2. Since this distance L2 corresponds to the height of the constriction for the upper electrode, it was also confirmed that the upper electrode would not be cut off if the distance L2 was thinner than the thickness A3 of the upper electrode. Note that A3 is the thickness of the upper electrode on the vertical line drawn with respect to the surface of the first substrate or the formation surface of the lower electrode (formation surface of the light-emitting element) (see FIG. 7C).

図9に示すように、最もくびれているポイントLから隔壁150側に微小距離離れた点と、ポイントLとを結んだ直線を直線Nとし、基板の表面に平行な直線を直線Kとする。ここで、有機層の中間層の膜厚以上の高さのくびれを作るため、直線Nと直線Kのなす角θが、0より大きく、隔壁150に傾斜がついていることが好ましい。くびれの高さL1が高くなるように隔壁150に傾斜をつけることで、くびれの高さL1が、第1の発光ユニット141から中間層142までの厚みA1よりも大きいという条件を満たしやすくなる。   As shown in FIG. 9, a straight line connecting the point L to the partition 150 side from the most constricted point L and the point L is a straight line N, and a straight line parallel to the surface of the substrate is a straight line K. Here, in order to make a constriction whose height is equal to or greater than the thickness of the intermediate layer of the organic layer, it is preferable that the angle θ formed by the straight line N and the straight line K is larger than 0 and the partition 150 is inclined. By inclining the partition wall 150 so that the constriction height L1 is increased, the condition that the constriction height L1 is larger than the thickness A1 from the first light emitting unit 141 to the intermediate layer 142 is easily satisfied.

図10は、本実施例の発光素子を備えた発光パネルを150cd/mの青単色で表示させた状態を示す写真である。
図11(A)は、比較例の発光素子の隔壁の断面構造を示す写真であり、図11(B)は、比較例の発光素子を備えた発光パネルを150cd/mの青単色で表示させた状態を示す写真である。
なお、図10及び図11(B)では、青色を呈する光を射出する副画素はB、緑色を呈する光を射出する副画素はG、赤色を呈する光を射出する副画素はR、で示した。
FIG. 10 is a photograph showing a state in which a light-emitting panel including the light-emitting element of this example is displayed in a single blue color of 150 cd / m 2 .
FIG. 11A is a photograph showing a cross-sectional structure of a partition wall of a light-emitting element of a comparative example, and FIG. 11B shows a light-emitting panel including the light-emitting element of the comparative example in a blue color of 150 cd / m 2. It is the photograph which shows the state made to do.
In FIGS. 10 and 11B, subpixels that emit blue light are indicated by B, subpixels that emit green light are indicated by G, and subpixels that emit red light are indicated by R. It was.

図11(A)に示す比較例の発光素子は、図7(A)に示す実施例の発光素子からスペーサを除いたものであり、スペーサを形成しない点以外は実施例の発光素子の作製方法と同様の方法によって作製されたものである。   The light emitting element of the comparative example shown in FIG. 11A is obtained by removing the spacer from the light emitting element of the example shown in FIG. 7A, and the method for manufacturing the light emitting element of the example except that the spacer is not formed. It was produced by the same method.

図11に示す比較例の発光パネルでは、導電性の高い中間層を介して隣接するタンデム素子に電流がリークし、隣接画素の赤ライン及び緑ラインが発光してクロストーク現象が発生している。これに対し、図10に示す本実施例の発光パネルでは、スペーサと隔壁によって作られるくびれにおいて第1の発光ユニット及び導電性の高い中間層を段切れさせているため、中間層を介して隣接するタンデム素子に電流がリークすることを抑制でき、隣接画素の赤ライン及び緑ラインが発光するというクロストーク現象の発生を抑制できることが確認された。   In the light emitting panel of the comparative example shown in FIG. 11, current leaks to the adjacent tandem element through the highly conductive intermediate layer, and the red line and the green line of the adjacent pixel emit light and the crosstalk phenomenon occurs. . On the other hand, in the light-emitting panel of this embodiment shown in FIG. 10, the first light-emitting unit and the highly conductive intermediate layer are cut off at the constriction formed by the spacer and the partition wall, and therefore adjacent to each other through the intermediate layer. It was confirmed that the current leak to the tandem element can be suppressed, and the occurrence of the crosstalk phenomenon that the red line and the green line of the adjacent pixel emit light can be suppressed.

118a 第1の下部電極
118b 第2の下部電極
120 有機層
122 上部電極
130a 発光素子
130b 発光素子
141 第1の発光ユニット
142 中間層
143 第2の発光ユニット
150 隔壁
153 くびれ
155 スペーサ(凸部)
156 空間(空隙)
160R 赤色発光部
160G 緑色発光部
160B 青色発光部
170 第2の基板(対向基板)
171 カラーフィルタ
172 ブラックマトリクス
173 オーバーコート層
400 表示パネル
401 表示部
402 画素
402B 青色を呈する光を射出する副画素
402G 緑色を呈する光を射出する副画素
402R 赤色を呈する光を射出する副画素
403g ゲート側の駆動回路部
403s ソース側の駆動回路部
405 シール材
408 引き回し配線
409 FPC(フレキシブルプリントサーキット)
410 第1の基板
411 スイッチング用のトランジスタ
412 電流制御用のトランジスタ
416 絶縁層
450G 発光モジュール
118a first lower electrode 118b second lower electrode 120 organic layer 122 upper electrode 130a light emitting element 130b light emitting element 141 first light emitting unit 142 intermediate layer 143 second light emitting unit 150 partition 153 constriction 155 spacer (convex part)
156 Space (void)
160R Red light emitting unit 160G Green light emitting unit 160B Blue light emitting unit 170 Second substrate (counter substrate)
171 Color filter 172 Black matrix 173 Overcoat layer 400 Display panel 401 Display unit 402 Pixel 402B Sub-pixel 402G that emits light that exhibits blue light Sub-pixel 402R that emits light that exhibits green light Sub-pixel 403g that emits light that exhibits red light Side drive circuit section 403s Source side drive circuit section 405 Seal material 408 Lead-out wiring 409 FPC (flexible printed circuit)
410 First substrate 411 Switching transistor 412 Current control transistor 416 Insulating layer 450G Light emitting module

Claims (9)

絶縁層上に形成された第1の電極及び第2の電極と、
前記絶縁層上に形成され、前記第1の電極と前記第2の電極との間に位置する隔壁と、
前記隔壁上に形成された凸部と、
前記第1の電極、前記隔壁、前記凸部及び前記第2の電極それぞれの上に形成された第1の発光ユニットと、
前記第1の発光ユニット上に形成された中間層と、
前記中間層上に形成された第2の発光ユニットと、
前記第2の発光ユニット上に形成された第3の電極と、
を具備し、
前記凸部の側面及び前記隔壁の側面によってくびれが形成され
前記くびれにおいて、前記第1の発光ユニット及び前記中間層が切れており、
前記くびれにおいて、前記第2の発光ユニットが段切れしないことを特徴とする発光装置。
A first electrode and a second electrode formed on the insulating layer;
A partition wall formed on the insulating layer and positioned between the first electrode and the second electrode;
A convex portion formed on the partition;
A first light emitting unit formed on each of the first electrode, the partition, the convex portion, and the second electrode;
An intermediate layer formed on the first light emitting unit;
A second light emitting unit formed on the intermediate layer;
A third electrode formed on the second light emitting unit;
Comprising
A constriction is formed by the side surface of the convex portion and the side surface of the partition wall ,
In the constriction, the first light emitting unit and the intermediate layer are cut,
In the constriction, the second light emitting unit does not break off .
請求項1において、
前記凸部の側面と前記隔壁との間に空間を有することを特徴とする発光装置。
In claim 1,
A light emitting device having a space between a side surface of the convex portion and the partition wall.
請求項1または2において、
前記凸部の端部は、前記隔壁上における前記隔壁の被形成面に対して傾斜した面に形成されていることを特徴とする発光装置。
In claim 1 or 2 ,
An end portion of the convex portion is formed on a surface inclined with respect to a surface on which the partition wall is formed on the partition wall.
請求項1乃至のいずれか一項において、
前記くびれの変曲点が前記隔壁に形成されていることを特徴とする発光装置。
In any one of Claims 1 thru | or 3 ,
The light-emitting device, wherein the inflection point of the constriction is formed in the partition wall.
請求項1乃至のいずれか一項において、
前記凸部が前記隔壁の被形成面と平行方向に最も迫り出した第1の点から前記被形成面に対して引いた垂線と前記隔壁の表面との交点を第2の点とした場合の前記第1の点と前記第2の点の距離は、前記第1の電極上に位置する前記第1の発光ユニット及び前記中間層の合計厚さより大きく、前記第1の電極上に位置する前記第1の発光ユニット、前記中間層、前記第2の発光ユニット及び前記第3の電極の合計厚さ以下であることを特徴とする発光装置。
In any one of Claims 1 thru | or 4 ,
When the intersection of the perpendicular drawn with respect to the surface to be formed from the first point where the convex portion protrudes most in the direction parallel to the surface on which the partition wall is formed is the second point The distance between the first point and the second point is greater than the total thickness of the first light emitting unit and the intermediate layer located on the first electrode, and is located on the first electrode. A light emitting device having a thickness equal to or less than a total thickness of the first light emitting unit, the intermediate layer, the second light emitting unit, and the third electrode.
請求項1乃至5のいずれか一項において、
前記凸部が前記隔壁の被形成面と平行方向に最も迫り出した第1の点から前記被形成面に対して引いた垂線と前記第2の発光ユニットの表面との交点を第3の点とした場合の前記第1の点と前記第3の点の距離は、前記第3の電極の厚さより小さいことを特徴とする発光装置。
In any one of Claims 1 thru | or 5,
The intersection of the perpendicular drawn with respect to the surface to be formed and the surface of the second light emitting unit from the first point at which the convex portion protrudes most in the direction parallel to the surface to be formed of the partition wall is a third point. In this case, the distance between the first point and the third point is smaller than the thickness of the third electrode.
請求項1乃至のいずれか一項において、
前記第1の発光ユニットはキャリア注入層を有することを特徴とする発光装置。
In any one of Claims 1 thru | or 6 ,
The light emitting device, wherein the first light emitting unit has a carrier injection layer.
請求項1乃至のいずれか一項において、
前記第1の電極及び前記第2の電極の上に配置されたカラーフィルタを有し、
前記カラーフィルタは、前記第1の電極と重なる第1の色と、前記第2の電極と重なる第2の色を有することを特徴とする発光装置。
In any one of Claims 1 thru | or 7 ,
A color filter disposed on the first electrode and the second electrode;
The light emitting device according to claim 1, wherein the color filter has a first color that overlaps the first electrode and a second color that overlaps the second electrode.
請求項1乃至8のいずれか一項において、In any one of Claims 1 thru | or 8,
前記第1の電極上に形成された前記第1の発光ユニット、前記中間層及び前記第2の発光ユニットに対応する第1の発光素子と、前記第2の電極上に形成された前記第1の発光ユニット、前記中間層及び前記第2の発光ユニットに対応する第2の発光素子を有し、前記第1の発光素子と、前記第1の発光素子に隣接する前記第2の発光素子が異なる色を呈する場合は、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子の間に前記凸部が設けられ、前記第1の発光素子と、前記第1の発光素子に隣接する前記第2の発光素子が同じ色を呈する場合は、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子の間に前記凸部が設けられていないことを特徴とする発光装置。A first light emitting element corresponding to the first light emitting unit, the intermediate layer and the second light emitting unit formed on the first electrode; and the first light emitting element formed on the second electrode. A second light emitting element corresponding to the light emitting unit, the intermediate layer, and the second light emitting unit, wherein the first light emitting element and the second light emitting element adjacent to the first light emitting element include: In the case of exhibiting different colors, the convex portion is provided between the first light emitting element and the second light emitting element, and the first light emitting element and the second light emitting element adjacent to the first light emitting element are provided. When the light emitting elements exhibit the same color, the projection is not provided between the first light emitting element and the second light emitting element.
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