JP5075052B2 - 電子ビーム発生装置 - Google Patents
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Description
この小型電子ビーム励起プラズマ発生装置は、図3に示されるように、プラズマから電子ビームを発生させる電子ビーム発生室1と、電子ビーム発生室1から放出された電子ビームによりガスプラズマを発生させて被処理材2を処理する反応室3とを備えている。電子ビーム発生室1には、プラズマ発生用の放電陰極4と、この放電陰極4と対向する電子ビーム発生装置5とが配設されている。放電陰極4と、電子ビーム発生装置5との間には、補助電極6が配設されている。
電子ビーム発生装置5は、水冷チャンバ9と、水冷チャンバ9に保持された複数(本実施形態では6個)の電極部10とを備えている。水冷チャンバ9は、冷却媒体としての冷却水が図示しない冷却水供給装置から供給されて通過する複数(本実施形態では3個)の冷却通路11を備えている。なお、冷却通路11は、本発明における冷却機構に含まれる。この冷却機構としての冷却通路11に冷却水を通過させることで、水冷チャンバ9の全体を冷却することができる。また、電極部10及び後述する電極保持部12や冷却通路11の数は特に限定されず、適宜設定可能である。冷却機構の構成も特に限定されず、冷却媒体として水の代わりにエチレングリコールや液体窒素等を利用してもよい。
9…冷却チャンバ 10…電極部
11…冷却通路 12…電極保持部
13…凹部 14…貫通孔
15…多孔放電陽極 16…多孔加速電極
17…第1絶縁板 18…第2絶縁板
19…リード線 20…枠状金属板
21…絶縁ネジ 151…第1中央多孔部
152…第1周縁部 151a…第1透孔
161…第2中央多孔部 162…第2周縁部
162a…第2透孔 171…通孔
Claims (4)
- プラズマ発生用の放電陰極と対向するように電子ビーム励起プラズマ発生装置に配設される電子ビーム発生装置であって、
複数の電極保持部と、各該電極保持部にそれぞれ設けられた複数の貫通孔と、冷却機構とを有するチャンバと、
各前記電極保持部にそれぞれ保持されるとともに前記放電陰極からの電子によりプラズマを発生させ、発生した該プラズマの電子を透過するための第1透孔が複数貫設された第1中央多孔部と、該第1中央多孔部の周縁に一体に設けられた枠状の第1周縁部とを有する複数の多孔放電陽極と、
各前記多孔放電陽極と対向するように各前記電極保持部にそれぞれ直に接して保持されるとともに該多孔放電陽極の前記第1透孔から前記電子を引き出して加速し、加速した該電子を透過するための複数の第2透孔が貫設された第2中央多孔部と、該第2中央多孔部の周縁に一体に設けられた枠状の第2周縁部とを有する複数の多孔加速電極と、
各前記多孔放電陽極と各前記多孔加速電極との間に配設されて該多孔放電陽極及び該多孔加速電極間を絶縁し、該多孔放電陽極の前記第1中央多孔部及び該多孔加速電極の前記第2中央多孔部に対応した形状の通孔を有する複数の第1絶縁板と、
各前記多孔放電陽極と各前記電極保持部との間に配設されて該多孔放電陽極及び該電極保持部間を絶縁する複数の第2絶縁板と、
各前記多孔放電陽極に通電するための複数のリード線と、を備え、
前記多孔放電陽極及び前記多孔加速電極の外形状における長手方向長さに対する短手方向長さの比が1未満であり、
前記第1絶縁板及び前記第2絶縁板が5W/m・K以上の熱伝導率を有する熱伝導性電気絶縁材よりなることを特徴とする電子ビーム発生装置。 - 前記多孔放電陽極及び前記多孔加速電極の外形状が矩形状であり、かつ前記第1中央多孔部及び前記第2中央多孔部の外形状が矩形状である請求項1に記載の電子ビーム発生装置。
- 前記多孔放電陽極の前記第1周縁部に接して配設された枠状金属板をさらに備え、
前記枠状金属板が前記多孔放電陽極を構成する材料よりも電気伝導率の高い金属よりなり、前記リード線が該枠状金属板に接続される請求項1又は2に記載の電子ビーム発生装置。 - 前記熱伝導性電気絶縁材が窒化系セラミックスである請求項1〜3のいずれか一つに記載の電子ビーム発生装置。
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