JP3451639B2 - イオン源電極 - Google Patents
イオン源電極Info
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマ室から引出電
界によりイオンビームを引き出すイオン源に係り、特
に、イオンビーム出力を強くしても電極が熱変形で歪ま
ないイオン源電極に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】所望の物質をイオンビームとして取り出
すためのイオン源には、放電によりその物質を含むプラ
ズマを生成し、そのプラズマからイオンビームを引出す
装置が用いられる。このイオン源は、一端が閉じられ他
端が開放されたプラズマ室を形成し、プラズマ室内に所
望の物質のガスを導入すると共にフィラメントより熱電
子を放出してプラズマ室内に生成し、プラズマを磁場に
より閉じ込め、他端の開放部にスリット状、グリッド状
或いは多孔状の引出用の電極を設けてイオンビームを加
速して引き出すものである。プラズマ室の開放部の形状
は、例えば円形であって、この形状により取り出される
イオンビームの断面形状が規定される。 【０００３】イオンビームの用途は、例えば、半導体基
板の表面に薄膜を形成する際に用いられる。この薄膜の
材料をイオンビーム化して加速し、半導体基板の表面に
打ち込むのである。イオンビームは、その工業的用途か
らいって、一様な分布をしていることが重要である。引
出電極のスリット、グリッド、多孔は、イオンビームが
通りやすく且つ偏らないように均一に微細間隔で形成さ
れている。 【０００４】一般に引出用の電極は、図４のように３つ
の電極５１からなる。各電極５１は、プラズマ室１の開
口部１７にイオンビームの流れる方向に並べて設けられ
ている。各電極５１は、それぞれプラズマ室１の開口部
１７を覆っており、その周辺部がプラズマ室１の周囲に
ボルト５２等で固定されている。各電極５１は、互いに
絶縁され、それぞれ異なった電位が与えられることによ
って、互いに異なる役割を有するものである。ここで
は、プラズマ室に近い順に、第１、第２、第３の電極５
３、５４、５５と呼ぶ。第１の電極５３は電位が与えら
れない。従って浮動電極５３とも呼ばれる。この浮動電
極５３は、プラズマに臨んでいることからプラズマの電
位に近付いて、プラズマの閉込め、引出しの際にプラズ
マの境界形成に寄与するものである。第３の電極５５は
プラズマ室の外殻に対して負電位が与えられる。これ
は、プラズマから正の荷電粒子を引き出すための電位で
ある。第２の電極５４は、上記第３の電極５５に対して
負電位が与えられる。これは、プラズマ室１の外側から
の電子の逆流を防止する電位である。３つの電極５１
は、イオンビームをよく通すためにスリット等を重ね合
わせて配置されることはいうまでもない。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】ところで、強力なイオ
ンビームを得るためには、イオン源の出力を上げること
になり、それに伴って発熱量も多くなる。これによって
引出用の電極は熱を吸収して温度が上昇する。 【０００６】ここで電極は、加速したイオンを通過しや
すくするために、スリット等の隙間の割合を多くし、且
つその厚さを薄く形成したものである。従って、構造的
には強度が弱く変形しやすい。しかも電極は、その周辺
部がプラズマ室の周囲に固定されている。 【０００７】このように周辺部が固定された電極の温度
が上昇すれば、熱変形による歪みを生じることは避けら
れない。もし、それぞれの電極に歪みが生じれば、３つ
の電極のスリット等の位置がずれ、イオンビームが通り
にくくなる。このため取り出されるイオンビームが少な
くなったり、一様性を失ってしまう。イオンビームが少
なくなるのでは、イオン源の出力を上げた意味が無くな
る。また、イオンビームが一様でなければ、これを利用
する上で不具合を生じる。 【０００８】また、歪が大きくなると損傷に発展する恐
れもある。 【０００９】以上のようにイオン源の強力化には、電極
の熱変形という問題がある。 【００１０】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、イオンビーム出力を強くしても電極が熱変形で歪ま
ないイオン源電極を提供することにある。 【００１１】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、多数のスリットを有するイオン源電極に、
各スリット間の骨部内の中空部で構成された冷媒流路を
形成するべく各スリット間の骨部をパイプで構成すると
共に冷媒の入口と出口とを設けたものである。 【００１２】 【作用】上記構成により、冷媒を入口から出口へ、冷媒
流路を介して流すことによりスリット間の骨部が冷却さ
れる。従って、イオン源の出力を上げて発熱量が増加し
ても電極の温度は上昇しない。電極が熱変形で歪むこと
がなくなり、イオンビームが一様になる。 【００１３】 【実施例】以下本発明の一実施例を添付図面に基づいて
詳述する。 【００１４】図１に示される電極は本発明に係るイオン
源電極２であって、イオン源のプラズマ室が円筒状に形
成されているときに用いられる。イオン源電極２は、図
４で示したようなプラズマ室１の径より大きい径を有す
る円形状に形成されている。イオン源電極２の周辺側は
プラズマ室１の開口部１７に取り付けるための縁取部３
であり、その内側はスリット４を有するスリット部５で
ある。スリット部５は、プラズマ室１の開口部１７を覆
うように形成されている。図１は簡略にするために、個
々のスリットが大きく描かれている。。 【００１５】スリット部５は、多数のパイプ６を平行に
並べてパイプ６間がスリット４になるように形成されて
いる。即ち、パイプ６はイオン源電極２の骨部７を構成
している。図２は、イオン源電極２の部分断面図であ
り、パイプ６の断面及び縁取部３の断面が現れている。
各パイプ６はそれぞれ管軸方向に延びた中空部８を有
し、縁取部３にも中空部９が設けられている。各パイプ
６は縁取部３との交差において、各々の中空部８、９が
連通するように構成されている。 【００１６】イオン源電極２の縁取部３の周辺には、パ
イプ６の延長方向の両側に位置して冷媒の入口１０と出
口１１とが設けられている。入口１０、出口１１はそれ
ぞれ縁取部３の中空部９に連通されている。中空部８、
９は入口１０から出口１１までの冷媒流路２０を構成し
ている。 【００１７】次に実施例の作用を述べる。 【００１８】本発明のイオン源電極２を用いてイオン源
を構成する際には、プラズマ室１の開口部１７にこのイ
オン源電極２を取り付けると同時に、入口１０、出口１
１に冷媒の循環系（図示せず）を接続する。冷媒及び循
環系の流路に絶縁性のものを用いてもよいし、イオン源
電極２を接地電位とし、プラズマ室１側に引出用電界を
印加してもよい。また、イオン源電極２を前記第１、第
２、第３の電極で構成するときは、これら３つの電極は
それぞれ絶縁される。 【００１９】冷媒の循環系は、入口１０に低温の冷媒を
供給する。入口１０を通して供給された冷媒は、縁取部
３の中空部９を通り各パイプ６の中空部８に流入する。
各パイプ６の中空部８の反対側から縁取部３の中空部９
の反対側に流出した冷媒が出口１１から循環系へ戻され
る。この間冷媒は各パイプ６、即ちイオン源電極２の骨
部７から熱を奪い取る。イオン源電極２は、これにより
冷却される。従って、イオン源の出力を上げて発熱量が
増加してもイオン源電極２の温度は上昇しないことにな
る。イオン源電極２が熱変形で歪むことがなくなり、イ
オンビームが一様になる。また、イオン源電極２が３つ
の電極で構成されるときには、各電極のスリットの位置
がずれることなく、イオンビームの通過が妨害されるこ
とがない。 【００２０】次に本発明の他の実施例を説明する。 【００２１】図３のイオン源電極２は、多数のスリット
４を形成した薄板状の電極板１２に、スリット４間の骨
部７に対応させて細長い溝１３を多数形成した別の電極
板１４を張り合わせて一体化させたものである。平面図
は図１と同じになる。２つの電極板１２、１４を張り合
わせたことにより、溝７が冷媒流路２０を構成してい
る。このようにすれば、中空部８、９が簡単に構成でき
ると共にパイプを縁取部に接続する必要が無いので簡単
に作ることができる。 【００２２】なお、イオン源電極２は、スリット４を有
するものとしたが、グリッド、多孔を有するものであっ
てもよいことは勿論である。また、イオン源電極２の形
状、或いはスリット部５の形状は、プラズマ室１の開口
部１７の形状に合わせて、円形でも四角形でも任意に形
成することができる。 【００２３】 【発明の効果】本発明によれば、イオンビーム出力を強
くしても電極が熱変形で歪まないので、電極の破損の恐
れがなくなると共に一様で強力なイオンビームが得られ
る。 【００２４】また、電極と冷媒流路とが一体的に構成さ
れているので、プラズマ室への取り付けが容易であると
共に冷媒流路がイオンビーム通過の妨害にならない。
界によりイオンビームを引き出すイオン源に係り、特
に、イオンビーム出力を強くしても電極が熱変形で歪ま
ないイオン源電極に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】所望の物質をイオンビームとして取り出
すためのイオン源には、放電によりその物質を含むプラ
ズマを生成し、そのプラズマからイオンビームを引出す
装置が用いられる。このイオン源は、一端が閉じられ他
端が開放されたプラズマ室を形成し、プラズマ室内に所
望の物質のガスを導入すると共にフィラメントより熱電
子を放出してプラズマ室内に生成し、プラズマを磁場に
より閉じ込め、他端の開放部にスリット状、グリッド状
或いは多孔状の引出用の電極を設けてイオンビームを加
速して引き出すものである。プラズマ室の開放部の形状
は、例えば円形であって、この形状により取り出される
イオンビームの断面形状が規定される。 【０００３】イオンビームの用途は、例えば、半導体基
板の表面に薄膜を形成する際に用いられる。この薄膜の
材料をイオンビーム化して加速し、半導体基板の表面に
打ち込むのである。イオンビームは、その工業的用途か
らいって、一様な分布をしていることが重要である。引
出電極のスリット、グリッド、多孔は、イオンビームが
通りやすく且つ偏らないように均一に微細間隔で形成さ
れている。 【０００４】一般に引出用の電極は、図４のように３つ
の電極５１からなる。各電極５１は、プラズマ室１の開
口部１７にイオンビームの流れる方向に並べて設けられ
ている。各電極５１は、それぞれプラズマ室１の開口部
１７を覆っており、その周辺部がプラズマ室１の周囲に
ボルト５２等で固定されている。各電極５１は、互いに
絶縁され、それぞれ異なった電位が与えられることによ
って、互いに異なる役割を有するものである。ここで
は、プラズマ室に近い順に、第１、第２、第３の電極５
３、５４、５５と呼ぶ。第１の電極５３は電位が与えら
れない。従って浮動電極５３とも呼ばれる。この浮動電
極５３は、プラズマに臨んでいることからプラズマの電
位に近付いて、プラズマの閉込め、引出しの際にプラズ
マの境界形成に寄与するものである。第３の電極５５は
プラズマ室の外殻に対して負電位が与えられる。これ
は、プラズマから正の荷電粒子を引き出すための電位で
ある。第２の電極５４は、上記第３の電極５５に対して
負電位が与えられる。これは、プラズマ室１の外側から
の電子の逆流を防止する電位である。３つの電極５１
は、イオンビームをよく通すためにスリット等を重ね合
わせて配置されることはいうまでもない。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】ところで、強力なイオ
ンビームを得るためには、イオン源の出力を上げること
になり、それに伴って発熱量も多くなる。これによって
引出用の電極は熱を吸収して温度が上昇する。 【０００６】ここで電極は、加速したイオンを通過しや
すくするために、スリット等の隙間の割合を多くし、且
つその厚さを薄く形成したものである。従って、構造的
には強度が弱く変形しやすい。しかも電極は、その周辺
部がプラズマ室の周囲に固定されている。 【０００７】このように周辺部が固定された電極の温度
が上昇すれば、熱変形による歪みを生じることは避けら
れない。もし、それぞれの電極に歪みが生じれば、３つ
の電極のスリット等の位置がずれ、イオンビームが通り
にくくなる。このため取り出されるイオンビームが少な
くなったり、一様性を失ってしまう。イオンビームが少
なくなるのでは、イオン源の出力を上げた意味が無くな
る。また、イオンビームが一様でなければ、これを利用
する上で不具合を生じる。 【０００８】また、歪が大きくなると損傷に発展する恐
れもある。 【０００９】以上のようにイオン源の強力化には、電極
の熱変形という問題がある。 【００１０】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、イオンビーム出力を強くしても電極が熱変形で歪ま
ないイオン源電極を提供することにある。 【００１１】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、多数のスリットを有するイオン源電極に、
各スリット間の骨部内の中空部で構成された冷媒流路を
形成するべく各スリット間の骨部をパイプで構成すると
共に冷媒の入口と出口とを設けたものである。 【００１２】 【作用】上記構成により、冷媒を入口から出口へ、冷媒
流路を介して流すことによりスリット間の骨部が冷却さ
れる。従って、イオン源の出力を上げて発熱量が増加し
ても電極の温度は上昇しない。電極が熱変形で歪むこと
がなくなり、イオンビームが一様になる。 【００１３】 【実施例】以下本発明の一実施例を添付図面に基づいて
詳述する。 【００１４】図１に示される電極は本発明に係るイオン
源電極２であって、イオン源のプラズマ室が円筒状に形
成されているときに用いられる。イオン源電極２は、図
４で示したようなプラズマ室１の径より大きい径を有す
る円形状に形成されている。イオン源電極２の周辺側は
プラズマ室１の開口部１７に取り付けるための縁取部３
であり、その内側はスリット４を有するスリット部５で
ある。スリット部５は、プラズマ室１の開口部１７を覆
うように形成されている。図１は簡略にするために、個
々のスリットが大きく描かれている。。 【００１５】スリット部５は、多数のパイプ６を平行に
並べてパイプ６間がスリット４になるように形成されて
いる。即ち、パイプ６はイオン源電極２の骨部７を構成
している。図２は、イオン源電極２の部分断面図であ
り、パイプ６の断面及び縁取部３の断面が現れている。
各パイプ６はそれぞれ管軸方向に延びた中空部８を有
し、縁取部３にも中空部９が設けられている。各パイプ
６は縁取部３との交差において、各々の中空部８、９が
連通するように構成されている。 【００１６】イオン源電極２の縁取部３の周辺には、パ
イプ６の延長方向の両側に位置して冷媒の入口１０と出
口１１とが設けられている。入口１０、出口１１はそれ
ぞれ縁取部３の中空部９に連通されている。中空部８、
９は入口１０から出口１１までの冷媒流路２０を構成し
ている。 【００１７】次に実施例の作用を述べる。 【００１８】本発明のイオン源電極２を用いてイオン源
を構成する際には、プラズマ室１の開口部１７にこのイ
オン源電極２を取り付けると同時に、入口１０、出口１
１に冷媒の循環系（図示せず）を接続する。冷媒及び循
環系の流路に絶縁性のものを用いてもよいし、イオン源
電極２を接地電位とし、プラズマ室１側に引出用電界を
印加してもよい。また、イオン源電極２を前記第１、第
２、第３の電極で構成するときは、これら３つの電極は
それぞれ絶縁される。 【００１９】冷媒の循環系は、入口１０に低温の冷媒を
供給する。入口１０を通して供給された冷媒は、縁取部
３の中空部９を通り各パイプ６の中空部８に流入する。
各パイプ６の中空部８の反対側から縁取部３の中空部９
の反対側に流出した冷媒が出口１１から循環系へ戻され
る。この間冷媒は各パイプ６、即ちイオン源電極２の骨
部７から熱を奪い取る。イオン源電極２は、これにより
冷却される。従って、イオン源の出力を上げて発熱量が
増加してもイオン源電極２の温度は上昇しないことにな
る。イオン源電極２が熱変形で歪むことがなくなり、イ
オンビームが一様になる。また、イオン源電極２が３つ
の電極で構成されるときには、各電極のスリットの位置
がずれることなく、イオンビームの通過が妨害されるこ
とがない。 【００２０】次に本発明の他の実施例を説明する。 【００２１】図３のイオン源電極２は、多数のスリット
４を形成した薄板状の電極板１２に、スリット４間の骨
部７に対応させて細長い溝１３を多数形成した別の電極
板１４を張り合わせて一体化させたものである。平面図
は図１と同じになる。２つの電極板１２、１４を張り合
わせたことにより、溝７が冷媒流路２０を構成してい
る。このようにすれば、中空部８、９が簡単に構成でき
ると共にパイプを縁取部に接続する必要が無いので簡単
に作ることができる。 【００２２】なお、イオン源電極２は、スリット４を有
するものとしたが、グリッド、多孔を有するものであっ
てもよいことは勿論である。また、イオン源電極２の形
状、或いはスリット部５の形状は、プラズマ室１の開口
部１７の形状に合わせて、円形でも四角形でも任意に形
成することができる。 【００２３】 【発明の効果】本発明によれば、イオンビーム出力を強
くしても電極が熱変形で歪まないので、電極の破損の恐
れがなくなると共に一様で強力なイオンビームが得られ
る。 【００２４】また、電極と冷媒流路とが一体的に構成さ
れているので、プラズマ室への取り付けが容易であると
共に冷媒流路がイオンビーム通過の妨害にならない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示すイオン源電極の平面図
である。 【図２】図１のイオン源電極の部分断面図である。 【図３】本発明の他の実施例を示すイオン源電極の部分
断面図である。 【図４】イオン源の側断面図である。 【符号の説明】 ２ イオン源電極 ４ スリット ７ 骨部 １０ 入口 １１ 出口 ２０ 冷媒流路
である。 【図２】図１のイオン源電極の部分断面図である。 【図３】本発明の他の実施例を示すイオン源電極の部分
断面図である。 【図４】イオン源の側断面図である。 【符号の説明】 ２ イオン源電極 ４ スリット ７ 骨部 １０ 入口 １１ 出口 ２０ 冷媒流路
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 27/02
H01J 37/08
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 多数のスリットを有するイオン源電極
に、各スリット間の骨部内の中空部で構成された冷媒流
路を形成するべく各スリット間の骨部をパイプで構成す
ると共に冷媒の入口と出口とを設けたことを特徴とする
イオン源電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32323492A JP3451639B2 (ja) | 1992-12-02 | 1992-12-02 | イオン源電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32323492A JP3451639B2 (ja) | 1992-12-02 | 1992-12-02 | イオン源電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06176889A JPH06176889A (ja) | 1994-06-24 |
| JP3451639B2 true JP3451639B2 (ja) | 2003-09-29 |
Family
ID=18152506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32323492A Expired - Fee Related JP3451639B2 (ja) | 1992-12-02 | 1992-12-02 | イオン源電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3451639B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5075052B2 (ja) * | 2008-08-07 | 2012-11-14 | トヨタ自動車株式会社 | 電子ビーム発生装置 |
-
1992
- 1992-12-02 JP JP32323492A patent/JP3451639B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06176889A (ja) | 1994-06-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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