JPH06302291A

JPH06302291A - 電子ビーム源

Info

Publication number: JPH06302291A
Application number: JP5110983A
Authority: JP
Inventors: Manabu Hamagaki; 学浜垣; Tamio Hara; 民夫原
Original assignee: RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
Current assignee: RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
Priority date: 1993-04-14
Filing date: 1993-04-14
Publication date: 1994-10-28

Abstract

(57)【要約】【目的】プラズマ発生用多孔陽極の電子が透過する多孔
部位のみが放電電極となるようにして、この多孔部位の
みにプラズマを集中発生させ、電子ビームの引き出し効
率を向上させる。【構成】プラズマ発生用陰極１８と、プラズマ発生用陰
極１８との間でプラズマを発生するとともに発生された
プラズマの電子を透過するための透過孔１４ａが多数穿
設された多孔部位Ａを備えたプラズマ発生用多孔陽極１
４と、プラズマ発生用多孔陽極１４の透過孔１４ａから
電子を引き出して加速するとともに引き出して加速した
電子を透過するための透過孔１６ａが多数穿設された多
孔部位を備えた電子加速用多孔電極１６とを順に配置し
た電子ビーム源であって、プラズマ発生用多孔陽極１４
のプラズマ発生用陰極側１８の表面を、多孔部位Ａを除
いて絶縁部材５０により被覆した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子ビーム源に関し、
さらに詳細には、半導体などのドライ・エッチング、成
膜ならびに電子ビーム励起イオン源などに用いられる電
子ビーム源に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体などのドライ・エッチン
グ、成膜ならびに電子ビーム励起イオン源などに用いら
れる電子ビーム源として、例えば、特開昭６２−２７８
７３６号公報に開示された電子ビーム源がある。

【０００３】上記特開昭６２−２７８７３６号公報に開
示された電子ビーム源は、電子ビームを用いてイオンを
生成する電子ビーム励起イオン源に用いられた電子ビー
ム源であって、電子ビームの電流とエネルギーとを独立
して制御することができるものであった。

【０００４】図９は、特開昭６２−２７８７３６号公報
に開示された電子ビーム源を備えた電子ビーム励起イオ
ン源の構成を示しており、カソード（プラズマ発生用陰
極）１０２と透過孔１０４ａを多数穿設した多孔状アノ
ード（プラズマ発生用多孔陽極）１０４との間で、放電
プラズマが発生されることになる。そして、この放電プ
ラズマのプラズマ電子が、プラズマ発生用多孔陽極１０
４の透過孔１０４ａから、透過孔１０６ａを多数形成し
た多孔状の電子ビーム加速用電極（電子ビーム加速用多
孔電極）１０６により引き出されて加速され、電子ビー
ムを形成することになるものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開昭６２−２７８７３６号公報に開示された従来の電子
ビーム源にあっては、図１０（電子ビーム電流の放電電
流に対する依存性を示すグラフであり、「Ｉｄ」は放電
電流、「Ｉ_A1」は電子ビーム電流、「Ｖ_AC」は加速電圧
であり、プラズマ発生用多孔陽極１０４と電子ビーム加
速用多孔電極１０６との間の電子加速領域のガス圧は
「０．０３Ｔｏｒｒ」である。なお、特開昭６２−２７
８７３６号公報第４図に対応する。）に示されているよ
うに、放電電流の約１割程度しか電子ビーム電流を取り
出すことができないものであって、電子ビームの引き出
し効率があまり良くないという問題点が指摘されてい
た。

【０００６】ところで、電子ビームとしてプラズマ発生
用多孔陽極から引き出される電子の数は、放電電流のう
ちプラズマ発生用多孔陽極の透過孔を透過した電子の数
に等しいものであるから、電子ビーム電流はプラズマ発
生用多孔陽極の透過孔の全面積に比例することになる。

【０００７】即ち、プラズマ発生用陰極とプラズマ発生
用多孔陽極との間のプラズマ発生領域から電子を引き出
して加速する場合、プラズマ発生用多孔陽極の透過孔か
ら引き出される電子ビーム電流の放電電流に対する割合
は、プラズマと接するプラズマ発生用多孔陽極の全面積
と電子透過部位（透過孔の全面積）との割合（以下、
「開口率」と称する。）に等しくなる。

【０００８】図１１（ａ）（ｂ）には、上記した特開昭
６２−２７８７３６号公報に示される従来の電子ビーム
源において用いられる、プラズマ発生用多孔陽極１０４
ならびに電子ビーム加速用多孔電極１０６が示されてい
るが、プラズマ発生用陰極１０２とプラズマ発生用多孔
陽極１０４との間のプラズマ発生領域において発生され
たプラズマは、プラズマ発生用多孔陽極１０４のプラズ
マ発生用陰極側１０２の表面の全面に広がって発生され
ることになる。

【０００９】このため、従来の電子ビーム源においては
開口率が低いものとなり、プラズマ発生用多孔陽極１０
４の透過孔１０４ａから引き出される電子ビーム電流の
放電電流に対する割合も低いものとなっていた。

【００１０】即ち、プラズマ発生用多孔陽極１０４の透
過孔１０４ａが存在する多孔部位Ａ（図１１（ａ）にお
いて、破線で示す中央の円形部分の内部である。）に位
置するプラズマ電子だけが、電子ビーム加速用多孔電極
１０６によって透過孔１０４ａから引き出されて加速さ
れ、電子ビームを形成することになるので、多孔部位Ａ
の周縁部に位置する周部Ｂには引き出されないプラズマ
電子が残存することになり、電子ビームの引き出し効率
があまり良くないものとなっていた。なお、符号１０４
ｂ（１０６ｂ）は、固定用ならびに位置決め用の貫通孔
である。

【００１１】本発明は、従来の技術の有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、プラズマ発生用多孔陽極の電子が透過する多孔
部位のみが放電電極となるようにして、この多孔部位の
みにプラズマを集中発生させ、電子ビームの引き出し効
率を向上させた電子ビーム源を提供しようとするもので
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による電子ビーム源は、プラズマ発生用陰極
と、上記プラズマ発生用陰極との間でプラズマを発生す
るとともに発生されたプラズマの電子を透過するための
透過孔が多数穿設された多孔部位を備えたプラズマ発生
用多孔陽極と、上記プラズマ発生用多孔陽極の上記透過
孔から電子を引き出して加速するとともに引き出して加
速した電子を透過するための透過孔が多数穿設された多
孔部位を備えた電子加速用多孔電極とを順に配置した電
子ビーム源において、上記プラズマ発生用多孔陽極の上
記プラズマ発生用陰極側の表面を、上記多孔部位を除い
て絶縁部材により被覆するようにした。

【００１３】また、本発明による電子ビーム源は、プラ
ズマ発生用陰極と、上記プラズマ発生用陰極との間でプ
ラズマを発生するとともに発生されたプラズマの電子を
透過するための透過孔が多数穿設された多孔部位を備え
たプラズマ発生用多孔陽極と、上記プラズマ発生用多孔
陽極の上記透過孔から電子を引き出して加速するととも
に引き出して加速した電子を透過するための透過孔が多
数穿設された多孔部位を備えた電子加速用多孔電極とを
順に配置した電子ビーム源において、上記プラズマ発生
用陰極と上記プラズマ発生用多孔陽極との間のプラズマ
発生領域の軸方向距離を短縮化した。

【００１４】

【作用】プラズマ発生用多孔陽極のプラズマ発生用陰極
側の表面が、多孔部位を除いて絶縁部材により被覆され
ているので、放電プラズマが多孔部位のみに集中するよ
うになる。

【００１５】また、プラズマ発生用陰極とプラズマ発生
用多孔陽極との間のプラズマ発生領域の軸方向距離を短
縮化したので、プラズマが径方向に広がることなく、多
孔部位に集中するようになる。

【００１６】このため、上記いずれの場合においても、
多孔部位から効率よく電子を引き出せることになり、電
子の引き出し効率を、多孔部位における開口率と同等ま
で改善することができる。

【００１７】

【実施例】以下、図面に基づいて、本発明による電子ビ
ーム源の実施例を詳細に説明するものとする。

【００１８】図１には、本発明の第一の実施例による電
子ビーム源を備えた電子ビーム励起イオン源が示されて
いる。

【００１９】この電子ビーム源を備えた電子ビーム励起
イオン源は、内径（φｄ）６０ｍｍで全長１１０ｍｍの
密閉容器１２内に、例えば、タングステンやモリブデン
などの高融点金属などからなるプラズマ発生用多孔陽極
１４および電子ビーム加速用多孔電極１６を、約１ｍｍ
の間隔で配設している。これらプラズマ発生用多孔陽極
１４および電子ビーム加速用多孔電極１６は、従来の電
子ビーム源に使用されたものと同様に図１１（ａ）
（ｂ）に示されるような構成をしており、多孔部位Ａの
直径は２５ｍｍであり、直径１ｍｍの透過孔１４ａ（１
６ａ）が２１１個穿設されている。

【００２０】密閉容器１２内のプラズマ発生用多孔陽極
１４と対向する一方の側壁１２ａには、熱フィラメント
よりなるプラズマ発生用陰極１８が、プラズマ発生用多
孔陽極１４に向けて突出するように配設されている。

【００２１】また、プラズマ発生用陰極１８とプラズマ
発生用多孔陽極１４との間には、貫通孔２０ａが穿設さ
れた中間電極２０が設けられている。中間電極２０は、
熱フィラメントよりなるプラズマ発生用陰極１８領域の
ガス圧を高めることにより、プラズマ発生用陰極１８と
プラズマ発生用多孔陽極１４との間の放電を安定にした
り、後述するイオン生成領域におけるイオン生成のため
の作動ガスとして酸素などの活性ガスを用いた場合に、
プラズマ発生用陰極１８領域に導入されるＡｒ（アルゴ
ン）ガスのガス圧を高めて、酸素などの活性ガスが流入
することを防止し、プラズマ発生用陰極１８の熱フィラ
メントを保護するための隔壁としての作用をする。

【００２２】なお、プラズマ発生用陰極１８領域のＡｒ
のガス圧は、０．１Ｔｏｒｒ程度に設定される。

【００２３】さらに、電子ビーム加速用多孔電極１６と
対向する他方の側壁１２ｂとの間のイオン生成室１２ｃ
内には、半導体チップなどの被処理材２２が、電気的に
絶縁された状態で配置されることになる。

【００２４】電源としては、プラズマ発生用陰極１８と
してのフィラメントから熱電子を放出させるために、こ
れを約１５００°Ｃ乃至１６００°Ｃに加熱するための
電圧Ｖｈを印加する直流あるいは交流のヒータ電源２６
と、プラズマ発生用陰極１８とプラズマ発生用多孔陽極
１４との間に放電電圧Ｖｄを印加するための放電電源２
８と、電子ビーム加速用多孔電極１６に電子ビームの加
速電圧Ｖａを印加するための電子ビーム加速用電源３０
とが設定されている。

【００２５】また、プラズマ発生用多孔陽極１４のプラ
ズマ発生用陰極１８側の表面は、多孔部位Ａを除いた残
存部位たる周部Ｂ全体に、絶縁部材５０が被覆されてい
る。

【００２６】なお、密閉容器１２とプラズマ発生用多孔
陽極１４、電子ビーム加速用多孔電極１６、中間電極２
０ならびにプラズマ発生用陰極１８とは、従来の技術と
同様に絶縁部材５０を介して接続されていて、密閉容器
１２は電気的に絶縁された状態とされている。

【００２７】また、図１１（ａ）において、符号１４ａ
（１６ａ）は、固定用ならびに位置決め用の貫通孔であ
る。

【００２８】以上の構成において、密閉容器１２の側壁
１２ａと中間電極２０との間に配設されたバルブ（図示
せず）を介して、密閉容器１２内に放電用ガスとしての
Ａｒガスが、上記したように０．１Ｔｏｒｒ程度のガス
圧となるように導入される。プラズマ発生用陰極１８と
プラズマ発生用多孔陽極１４との間には、放電電源２８
から約６０Ｖ乃至１００Ｖの低エネルギーの放電電圧Ｖ
ｄが印加されて放電が起こされ、プラズマ発生用陰極１
８とプラズマ発生用多孔陽極１４との間で放電プラズマ
が生成される。

【００２９】この際に、プラズマ発生用陰極１８は加熱
電源２６からの加熱電圧Ｖｈにより約１５００°Ｃ乃至
１６００°Ｃに加熱されて熱電子を放出しており、プラ
ズマ発生用陰極１８とプラズマ発生用多孔陽極１４との
間の放電開始を容易にしている。このために、放電電源
２８からの約６０Ｖ乃至１００Ｖの低エネルギーの放電
電圧Ｖｄにより放電を開始することができる。

【００３０】上記したように、プラズマ発生用陰極１８
とプラズマ発生用多孔陽極１４との間が、放電電源２８
により電子ビーム源となる電子を含むプラズマを生成す
る領域たるプラズマ発生領域となるが、このプラズマ発
生領域で生成されたプラズマは、多孔部位Ａを除いたプ
ラズマ発生用多孔陽極１４のプラズマ発生用陰極１８側
の表面が絶縁部材５０により被覆されているため、多孔
部位Ａのみに集中するようになる。

【００３１】また、プラズマ発生用多孔陽極１４に対し
て約１ｍｍの間隔で設けられた電子ビーム加速用多孔電
極１６には、電子ビーム加速用電源３０により加速電圧
Ｖａが印加されていて、プラズマ発生領域で生成された
プラズマから電子を引き出して加速し、電子ビームをイ
オン生成室１２ｃ内に入射する。従って、プラズマ発生
用多孔陽極１４と電子ビーム加速用多孔電極１６との間
が、電子ビーム加速用電源３０により電子を加速する領
域たる電子ビーム加速領域となる。

【００３２】なお、プラズマ発生用多孔陽極１４と電子
ビーム加速用多孔電極１６との間は、例えば、０．０３
Ｔｏｒｒ程度のガス圧とされている。

【００３３】イオン生成室１２ｃには、イオン生成のた
めの作動ガスとして、例えば、酸素（Ｏ₂）あるいはＡ
ｒガスが供給されている。そして、イオン生成室１２ｃ
内に導入された電子ビームは、イオン生成のための作動
ガスのガス分子に衝突し、濃いプラズマを発生する。こ
うして、電離断面積の大きなエネルギーを有する電子ビ
ームを用いて、ガス圧の少ない領域でプラズマが発生さ
れる。

【００３４】即ち、イオン生成室１２ｃ内のガス分子に
高速の電子を衝突させ、ガス分子をプラズマ化してイオ
ンを生成することになる。従って、電子ビーム加速用多
孔電極１６から側壁１２ｃまでの領域が、電子ビームに
よりプラズマを生成する領域たるイオン生成領域とな
る。

【００３５】なお、イオン生成領域のガス圧は、真空ポ
ンプによって１０^-4Ｔｏｒｒ乃至０．１Ｔｏｒｒ程度に
設定される。

【００３６】上記のようにしてイオン生成室１２ｃ内で
発生されたプラズマ中のイオンが、被処理材２２に衝突
することになって、被処理材２２に対するエッチングな
どの処理が行われる。

【００３７】ところで、電子ビーム加速用多孔電極１６
に電子ビーム加速用電源３０により加速電圧Ｖａを印加
することにより、電子ビームとしてプラズマ発生領域か
ら引き出される電子の数は、上記したように「開口率」
に等しくなる。本実施例においては、プラズマ発生用多
孔陽極１４の多孔部位Ａ以外は絶縁部材５０によって被
覆されているため、プラズマは多孔部位Ａのみと接する
ことになる。

【００３８】従って、本実施例においては、透過孔１４
ａを穿設した多孔部位Ａの直径が２５ｍｍであるため、
この多孔部位Ａの面積は１５６．２５πｍｍ²となる。
さらにまた、透過孔１４ａの直径は１ｍｍであり、透過
孔１４ａは２１１個穿設されているため、透過孔１４ａ
の全面積は５２．７５πｍｍ²となる。

【００３９】上記したように放電プラズマは多孔部位Ａ
に集中するため、電子が引き出される面積の割合は、
「５２．７５πｍｍ²／１５６．２５πｍｍ²」となり、
約３４％となる。

【００４０】一方、プラズマ発生用多孔陽極１４の多孔
部位Ａ以外に絶縁部材５０を被覆しない従来の技術の場
合には、放電プラズマはプラズマ発生用多孔陽極１４の
全面に接触することになる。この場合には、ｄφ＝６０
ｍｍであるため、プラズマ発生用多孔陽極１４の全面の
面積は９００πｍｍ²となり、電子が引き出される面積
の割合は、「５２．７５πｍｍ²／９００πｍｍ²」とな
り、約６％という極めて小さい値となる。

【００４１】図２および図３は、発明者による第一の実
施例を使用した実験の結果を示すグラフであり、放電電
流Ｉｄの３割以上の電流が、電子ビーム電流Ｉａとして
引き出せることが確認されている。

【００４２】なお、プラズマ発生用多孔陽極１４の各透
過孔１４ａの中心間の間隔については、加工限界ならび
に強度限界があり、全透過孔１４ａ部分の面積割合は、
多孔部位Ａの全面積の約４割乃至５割が限界と考えられ
る。

【００４３】図４は、プラズマ発生用多孔陽極１４領域
のガス圧を変化させて、引き出される電子ビーム電流を
測定した結果を示すグラフである。この図４から明らか
なように、低いガス圧においても、空間電荷制限電流以
上の電子ビーム電流が引き出されていることが理解され
る。なお、ガス圧が高くなると、プラズマ中のイオンや
電子の寄与により、見かけ上の電流が増加している。

【００４４】上記のようにして、電子ビームの引き出し
効率が改善されるようになるので、図５に示すように放
電電流４Ａ乃至５Ａにおいて、イオン生成領域に１０¹¹
ｃｍ^-3以上の高密度プラズマを発生できるようになっ
た。この高密度プラズマ中に被処理材２２を配置するこ
とにより、ドライ・エッチング、プラズマＣＶＤ、表面
処理などを容易に行うことができるものである。

【００４５】図６は、本発明の第二の実施例による電子
ビーム源を備えた電子ビーム励起イオン源を示してお
り、多孔部位Ａの外径に合わせた絶縁材料より構成され
た筒状絶縁部材６０を、中間電極２０と多孔部位Ａとの
間に配置したものである。

【００４６】この第二の実施例においては、筒状絶縁部
材６０によってプラズマの径方向への広がりが制限され
るため、プラズマが強制的に多孔部位Ａに集中されるよ
うになり、極めて効率のよい電子ビームの引き出しを行
うことができる。

【００４７】図７は、本発明の第三の実施例による電子
ビーム源を備えた電子ビーム励起イオン源を示してお
り、中間電極２０とプラズマ発生用多孔陽極１４との軸
方向距離を極めて短く設定している。この第三の実施例
にあっては、プラズマが径方向に広がらないうちに多孔
部位Ａに到達することになり、上記第一の実施例および
第二の実施例と同様に、多孔部位Ａにプラズマを集中さ
せることができる。

【００４８】この第三の実施例においては、中間電極２
０とプラズマ発生用多孔陽極１４との軸方向距離が短く
なるので、装置全体をコンパクトに構成することがで
き、また絶縁部材５０をプラズマ発生用多孔陽極１４に
被覆したり、中間電極２０と多孔部位Ａとの間に筒状絶
縁部材６０を配置したりしなくてもよいため、構成部品
点数ならびに加工工数が大幅に低減される。

【００４９】図８は、本発明の第四の実施例による電子
ビーム源を備えた電子ビーム励起イオン源を示してお
り、大口径プラズマを生成する場合を示している。

【００５０】近年、産業界においては、直径が２０ｃｍ
以上の大口径プラズマを、均一に生成することが要望さ
れている。しかしながら、プラズマ発生用多孔陽極１４
ならびに電子ビーム加速用多孔電極１６を大口径化し
て、均一な大口径プラズマを発生させることは、製造技
術上極めて困難である。

【００５１】このため、図８に示すように、図１に示す
ような小口径のプラズマ発生用多孔陽極１４ならびに電
子ビーム加速用多孔電極１６を複数並置して、大口径プ
ラズマを発生させればよい。この際にも、多孔部位Ａ以
外の部位は、絶縁部材５０で被覆することにより、電子
ビームの引き出し効率を改善することができる。

【００５２】この図８に示す第四の実施例においては生
成されたプラズマは、電子の透過部位たる多孔部位Ａの
範囲においては空間電位、浮動電位、プラズマ密度は均
一であり、結果として、均一な大口径プラズマにより被
処理材２２を処理できる。

【００５３】なお、上記各実施例において、イオン生成
領域における作動ガスに不活性ガスを用いるときは、熱
フィラメントよりなるプラズマ発生用陰極１８を保護す
る必要がないので、中間電極２０を設けなくともよい。

【００５４】また、上記各実施例においては、プラズマ
発生領域で生成される放電プラズマとして、直流の放電
電源２８により生成される直流放電プラズマを用いた
が、プラズマ領域から電子を引き出して電子ビーム加速
領域において電子を加速できればよいものであるため、
高周波（ＲＦ）放電プラズマ、マイクロ波放電プラズマ
あるいはＥＣＲ（ＥｌｅｃｔｒｏｎＣｙｃｌｏｔｒｏ
ｎＬｅｓｏｎａｎｃｅ）プラズマ（電子サイクロトロ
ン共鳴プラズマ）などを用いてもよい。

【００５５】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。

【００５６】プラズマ発生用陰極と、上記プラズマ発生
用陰極との間でプラズマを発生するとともに発生された
プラズマの電子を透過するための透過孔が多数穿設され
た多孔部位を備えたプラズマ発生用多孔陽極と、上記プ
ラズマ発生用多孔陽極の上記透過孔から電子を引き出し
て加速するとともに引き出して加速した電子を透過する
ための透過孔が多数穿設された多孔部位を備えた電子加
速用多孔電極とを順に配置した電子ビーム源において、
上記プラズマ発生用多孔陽極の上記プラズマ発生用陰極
側の表面を、上記多孔部位を除いて絶縁部材により被覆
するようにしたり、上記プラズマ発生用陰極と上記プラ
ズマ発生用多孔陽極との間のプラズマ発生領域の軸方向
距離を短縮化するようにしたため、プラズマを多孔部位
のみに集中することができるようになる。

【００５７】このため、上記いずれの場合においても、
多孔部位から効率よく電子を引き出せることになり、電
子の引き出し効率は、多孔部位における開口率と同等ま
で向上されることになる。

【００５８】従って、本発明によれば、プラズマ発生用
多孔陽極の電子が透過する多孔部位のみが放電電極とな
るので、この多孔部位のみにプラズマが集中し、電子ビ
ームの引き出し効率を著しく向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例による電子ビーム源を備
えた電子ビーム励起イオン源の全体構成概略側断説明図
である。

【図２】放電電流と電子ビーム電流との関係を示すグラ
フである。

【図３】加速電圧と電子ビーム電流との関係を示すグラ
フである。

【図４】ガス圧と電子ビーム電流との関係を示すグラフ
である。

【図５】放電電流とプラズマ密度との関係を示すグラフ
である。

【図６】本発明の第二の実施例による電子ビーム源を備
えた電子ビーム励起イオン源の全体構成概略側断説明図
である。

【図７】本発明の第三の実施例による電子ビーム源を備
えた電子ビーム励起イオン源の全体構成概略側断説明図
である。

【図８】本発明の第四の実施例による電子ビーム源を備
えた電子ビーム励起イオン源の全体構成概略側断説明図
である。

【図９】従来の電子ビーム源を備えた電子ビーム励起イ
オン源の全体構成概略側断説明図である。

【図１０】放電電流と電子ビーム電流との関係を示すグ
ラフである。

【図１１】プラズマ発生用多孔陽極ならびに電子ビーム
加速用多孔電極を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は多孔
部位Ａの拡大説明図である。

【符号の説明】

１２密閉容器１４プラズマ発生用多孔陽極１４ａ透過孔１６電子ビーム加速用多孔電極１６ａ透過孔１８プラズマ発生用陰極２０中間電極２０ａ貫通孔２２被処理材２６加熱電源２８放電電源３０加速電源５０絶縁部材６０筒状絶縁部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プラズマ発生用陰極と、前記プラズマ発生用陰極との間でプラズマを発生すると
ともに発生されたプラズマの電子を透過するための透過
孔が多数穿設された多孔部位を備えたプラズマ発生用多
孔陽極と、前記プラズマ発生用多孔陽極の前記透過孔から電子を引
き出して加速するとともに引き出して加速した電子を透
過するための透過孔が多数穿設された多孔部位を備えた
電子加速用多孔電極とを順に配置した電子ビーム源にお
いて、前記プラズマ発生用多孔陽極の前記プラズマ発生用陰極
側の表面を、前記多孔部位を除いて絶縁部材により被覆
したことを特徴とする電子ビーム源。
【請求項２】プラズマ発生用陰極と、前記プラズマ発生用陰極との間でプラズマを発生すると
ともに発生されたプラズマの電子を透過するための透過
孔が多数穿設された多孔部位を備えたプラズマ発生用多
孔陽極と、前記プラズマ発生用多孔陽極の前記透過孔から電子を引
き出して加速するとともに引き出して加速した電子を透
過するための透過孔が多数穿設された多孔部位を備えた
電子加速用多孔電極とを順に配置した電子ビーム源にお
いて、前記プラズマ発生用陰極と前記プラズマ発生用多孔陽極
との間のプラズマ発生領域の軸方向距離を短縮化したこ
とを特徴とする電子ビーム源。