JP5068957B2 - Cmp研磨装置における研磨ヘッド - Google Patents
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Description
技術的課題が生じてくるのであり、本発明は該課題を解決することを目的とする。
スナップリング31を介して取り付けられている。該取付部材30にはリテーナリング押圧部材10aが連結されている。リテーナリング9は、このリテーナリング押圧部材10aを介してリテーナリング押圧手段10からの押圧力が伝達される。
する中空体に形成されている。更に、該弾性部材34の底部34bの両側縁部であって、且つ、前記ネジ体33に設けられている前記レンチの掛止溝33d,33dに対峙してレンチ挿入孔兼通気孔34c,34cが開穿されている。
2 研磨用プラテン
3 研磨ヘッド
4,12 回転軸
5 モータ
6 研磨用パッド
7 ヘッド本体
8 キャリア
9 リテーナリング
10 リテーナリング押圧手段
10a リテーナリング押圧部材
11 弾性シート
13 ドライプレート
14 ピン
15 作動トランス
16 キャリア押圧手段
16a キャリア押圧部材
17 エアーフロートライン
18 弾性シート
19 エアー吹出し口
19a バキューム口
20,36 エアーフィルタ
21 給気ポンプ
22 孔
23 真空ポンプ
24 バキュームライン
25,25a エアバッグ
28 バキューム孔
29 エアー室
32 逆止弁
33 ネジ体
33a 膨拡部
33b 螺子部
33c 通気路
33d レンチの掛止溝
34 弾性部材
34a 円孔
34b 底部
34c レンチ挿入孔兼通気孔
35 空隙部
V1,V2 自動開閉バルブV
Claims (3)
- CMP研磨装置の研磨ヘッドであって、該研磨ヘッドは回転自在に設けられたヘッド本体と、該ヘッド本体の下部にあって、該ヘッド本体と同軸上で回転するキャリアを有し、且つ、該ヘッド本体及びキャリアにはエアーフロートラインとバキュームラインが設けられており、更に、該キャリアの下面には弾性シートが張設され、該弾性シートと該キャリア間にエアー室が設けられて、該エアー室に前記エアーフロートライン及びバキュームラインを連通するとともに、前記弾性シートには孔が開穿され、該孔を介して該弾性シート下面のウェーハを前記バキュームラインからのバキュームによって吸着し、又は前記エアーフロートラインからのエアー圧によって該ウェーハを研磨用プラテン上に張設されている研磨用パッド上に押圧できるように構成された研磨ヘッドにおいて、
前記キャリアに設けられているエアーフロートラインのエアー吹出し口に逆止弁を組み込んだことを特徴とするCMP研磨装置における研磨ヘッド。 - 上記逆止弁は中心部に通気路を開穿したネジ体と、該ネジ体の下方部の膨拡部に冠着される弾性部材とから成り、且つ、該ネジ体の前記膨拡部の側面にはレンチの掛止溝が設けられており、一方、前記弾性部材にはレンチ挿入孔兼通気孔が開穿され、該レンチ挿入孔兼通気孔を前記レンチの掛止溝に対峙させて該弾性部材をネジ体の膨拡部に冠着したことを特徴とする請求項1記載のCMP研磨装置における研磨ヘッド。
- 上記キャリアに延設されたバキュームラインのバキューム口直下の弾性シートにバキューム孔が開穿されていることを特徴とする請求項1記載のCMP研磨装置における研磨ヘッド。
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- 2006-03-16 JP JP2006073431A patent/JP5068957B2/ja active Active
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