JP5068332B2 - レーザビーム装置 - Google Patents
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Description
図1は、この発明の実施の形態1によるレーザビーム装置を示す上面図である。また、図2は、図1のレーザビーム装置を示す側面図である。図において、LDチップ(光源)1は、互いに垂直な速軸及び遅軸を持つレーザダイオード素子である。また、LDチップ1は、レーザビームを照射する発光部を有している。LDチップ1の発光部から照射されるレーザビームの光軸方向は、速軸方向及び遅軸方向のいずれにも垂直な方向とされている。LDチップ1の発光部から照射されるレーザビームは、速軸方向成分の特性と遅軸方向成分の特性とが互いに異なるレーザビーム、即ち集光性に異方性を持つレーザビームとなっている。LDチップ1の発光部は、図示しない給電装置からLDチップ1への給電によりレーザビームを照射する。
図7は、この発明の実施の形態2によるレーザビーム装置の要部を示す上面図である。また、図8は、図7のレーザビーム装置の要部を示す側面図である。分割用光学素子8に設けられた一対の分割素子側面8c,8dは、図8に示すように、各分割素子ビーム通過面8a,8bのそれぞれに対して傾斜している。従って、分割用光学素子8は、平行四辺形の断面を持つ平行平面基板とされている。分割用光学素子8は、各分割素子側面8c,8dがレーザビームの光軸と平行になるように配置されている。
図9は、この発明の実施の形態3によるレーザビーム装置の要部を示す上面図である。また、図10は、図9のレーザビーム装置の要部を示す側面図である。図において、分割用光学素子8及びシフト用光学素子9は、共通のガラス板(支持台)21に固定されている。即ち、分割用光学素子8及びシフト用光学素子9は、ガラス板21を介して互いに固定されている。
図11は、この発明の実施の形態4によるレーザビーム装置を示す上面図である。また、図12は、図11のレーザビーム装置を示す側面図である。さらに、図13は、図11のLDチップ1の光軸に垂直な断面におけるレーザビームの特性を示す模式図であり、図13(a)は速軸方向コリメータ5を通過した直後のレーザビームの特性を示す図、図13(b)はビーム変換素子6を通過した直後のレーザビームの特性を示す図、図13(c)は分割用光学素子8を通過した直後のレーザビームの特性を示す図、図13(d)はシフト用光学素子9を通過した直後のレーザビームの特性を示す図である。
Claims (4)
- 長径及び短径を持つ発光部を有し、上記発光部からレーザビームを照射するレーザダイオード素子、
上記レーザビームを速軸方向についてコリメートする速軸方向コリメータ、
上記速軸方向コリメータの後段に配置され、上記発光部の長径方向について上記レーザビームの一部のみが第1の分割ビームとして内部を進行するとともに、残りの上記レーザビームが第2の分割ビームとして外部を進行し、上記第1の分割ビームの光路を変更することにより、上記レーザビームを上記第1の分割ビーム及び上記第2の分割ビームに分割する分割用光学素子、及び
上記分割用光学素子の後段に配置され、上記第1の分割ビーム及び上記第2の分割ビームのいずれか一方の光路を変更することにより、上記第1の分割ビーム及び上記第2の分割ビームの上記発光部の短径方向についての位置を互いに重なる位置とするシフト用光学素子
を備えていることを特徴とするレーザビーム装置。 - 上記分割用光学素子の前段に配置され、上記レーザビームを遅軸方向についてコリメートする遅軸方向コリメータ
をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載のレーザビーム装置。 - 上記分割用光学素子の前段に配置され、上記レーザビームの径及び拡がり角のそれぞれについて、上記発光部の長径方向についての成分と上記発光部の短径方向についての成分とを入れ替えるビーム変換素子
をさらに備えていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレーザビーム装置。 - 上記分割用光学素子及び上記シフト用光学素子は、互いに固定されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のレーザビーム装置。
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