JP5061728B2 - シリコン単結晶の育成方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の炭素をドープしたシリコン単結晶を製造する方法を実施する際に用いるチョクラルスキー法(CZ法)による単結晶引上げ装置の一例である。単結晶引上げ装置のメインチャンバー1内には、溶融された原料融液4を収容するための石英ルツボ5とその石英ルツボ5を支持する黒鉛ルツボ6が設けられている。
(実施例1)
単結晶引上げ装置の炉内に直径22インチ(550mm)の石英ルツボを装備して、CZ法を用いて直径8インチ(200mm)のシリコン単結晶を育成した。上記のようなCZ法において、シリコン多結晶原料と炭素粒を用意し、該炭素粒をシリコン原料とともに前記石英ルツボ内に入れた。この時の炭素粒重量は偏析現象の計算から、直胴0cmにて該シリコン単結晶中のカーボン濃度が0.8ppmaとなるような量とした。該炭素粒はモールド成形材を粒径3―10mmに砕き、純化処理したものを用いた。該シリコン原料と該炭素粒とをともに溶融し、その後単結晶種を融液に浸けた後、直径8インチ(200mm)のシリコン単結晶を育成した。この結晶シリコンの直胴部から数箇所ウェーハ状のサンプルを切り出し、FT―IR法にて炭素濃度を測定した。その結果を図4に示した。
炭素粒をルツボに入れなかったことを除いて、実施例1と同じ条件で直径8インチ(200mm)のシリコン単結晶を育成した。実施例1と同じ位置からウェーハ状のサンプルを切り出し、FT―IR法にて炭素濃度を測定した。その結果、どの位置でも炭素濃度は測定下限0.03ppma以下であった。
実施例1で用いた単結晶引上げ装置よりもひとまわり小さな単結晶引上げ装置の炉内に直径18インチ(450mm)のルツボを装備して、シリコン原料を溶融し、直径5インチ(125mm)のシリコン単結晶の引き上げを行った。このときシリコン原料を溶融している途中で、図3のように、上方から炭素粒をルツボ内に投入する方法を試みた。該炭素粒はモールド成形材を粒径3―10mmに砕き純化処理したものを用いた。また、ドープ量は直胴長さ0cmのときに該シリコン単結晶中の炭素濃度が1.0ppmaになる量とした。該シリコン原料が完全に溶解した後、単結晶種を融液に浸け、直径5インチ(125mm)のシリコン単結晶を育成した。該シリコン単結晶の直胴部から数箇所ウェーハ状のサンプルを切り出し、FT―IR法にて炭素濃度を測定した。その結果、図5に示したように計算値通りの炭素濃度が得られた。また、得られたシリコン単結晶は、重金属等の汚染も無く、問題なく無転位化されていることが確認できた。
炭素ドープ剤として、CIP成形材を適度(1〜3mm程度)に砕いたものを用いたこと以外は、実施例2と同じ条件で直径5インチ(125mm)結晶を育成した。シリコン原料が溶解した後、単結晶種を融液に浸け、結晶を引き上げようとしたが、結晶が乱れてしまい全長に渡る単結晶を得ることができなかった。一部単結晶になった部分から、ウェーハ状のサンプルを切り出し、FT―IR法にて炭素濃度を測定した。その結果、炭素濃度は計算値より低い値となった。これはCIP成形材が難溶性であり、シリコン融液に全部溶けきれず、一部解けきれなかったものが異物として融液内に残存し、単結晶化を妨げたためであると考えられる。
4…原料融液、 5…石英ルツボ、 6…黒鉛ルツボ、 7…ヒーター、
8…断熱部材、 9…ガス流出口、 10…ガス導入口、 11…ガス整流筒、
12…遮熱部材、 13…投下部品、 14…シリコン原料、15…炭素粒。
Claims (4)
- チョクラルスキー法により炭素を添加したルツボ中の原料融液からシリコン単結晶を育成する炭素ドープシリコン単結晶の育成方法において、前記ルツボ中の原料に炭素を添加するドープ剤として押出成形材またはモールド成形材を用いることを特徴とするシリコン単結晶育成方法。
- 請求項1に記載の炭素ドープしたシリコン単結晶の育成方法において、前記押出成形材またはモールド成形材からなるドープ剤は、押出成形材またはモールド成形材を粒状に砕いたものとすることを特徴とするシリコン単結晶育成方法。
- 請求項1又は請求項2に記載の炭素ドープしたシリコン単結晶の育成方法において、前記ドープ剤を、シリコン原料とともにルツボ内に入れた後、原料を溶融し単結晶を育成することを特徴とするシリコン単結晶育成方法。
- 請求項1又は請求項2に記載の炭素ドープしたシリコン単結晶の育成方法において、前記ドープ剤を、シリコン原料または融液の入ったルツボに上方から投下した後、単結晶を育成することを特徴とするシリコン単結晶育成方法。
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