JP5055238B2 - 微小コンデンサマイクロホンの製造方法およびエレクトレット化装置 - Google Patents
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Description
32 誘電体膜
33 振動膜
34 シリコン基板
35 音孔
36 エアギャップ
37 スペーサ部
40 固定電極パッド
41 振動膜バッド
43 微小コンデンサマイクロホン(MEMSマイクチップ)
43a 被エレクトレット化チップ
43b、43c 被エレクトレット化チップの隣接チップ
51 針状電極(放電電極)
53 高圧電源
54 イオン遮蔽シャッター
55 可変電圧電源
57 カバー
58 抵抗体
70、71 プローブピン
75 プローブカード
80 粘着シート
81 ステージ
Claims (2)
- 半導体基板からなる基台に周縁部が支持された振動膜と、前記振動膜上に形成された誘電体膜と、前記誘電体膜の上方に空間を介して配置された固定電極とを備える微小コンデンサマイクロホンの製造方法であって、
前記微小コンデンサマイクロホンを、放電電極と対向させて設置する工程と、
設置された微小コンデンサマイクロホンが備える前記固定電極と前記振動膜との間に所定の電位差を付与した状態で、当該固定電極と振動膜との間の誘電体膜に、前記放電電極のコロナ放電により発生したイオンを入射させ、当該イオンに基づく電荷を当該誘電体膜に固定するエレクトレット化を実施する工程と、
を有し、
前記微小コンデンサマイクロホンと前記放電電極との間に設置された、所定の電位が付与されるとともに抵抗体を介して接地電位に接続された導電性カバーの開口部を通じて、前記所定電位差が付与された固定電極と振動膜との間の誘電体膜へ前記イオンが入射することを特徴とする微小コンデンサマイクロホンの製造方法。 - 半導体基板からなる基台に周縁部が支持された振動膜と、前記振動膜上に形成された誘電体膜と、前記誘電体膜の上方に空間を介して配置された固定電極とを備える微小コンデンサマイクロホンのエレクトレット化するエレクトレット化装置であって、
前記微小コンデンサマイクロホンが設置されるステージと、
前記ステージと対向して配置された放電電極と、
前記ステージに設置された微小コンデンサマイクロホンが備える前記固定電極と前記振動膜との間に所定の電位差を付与する手段と、
前記ステージと前記放電電極との間に設置され、抵抗体を介して接地電位に接続された導電性カバーと、
前記導電性カバーに設けられた、前記放電電極のコロナ放電により発生し、前記所定電位差が付与された固定電極と振動膜との間の前記誘電体膜へ到達するイオンの経路となる開口部と、
前記導電性カバーに所定電位を付与する直流電源と、
を備えたことを特徴とするエレクトレット化装置。
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