JP5046296B2 - 変位センサ - Google Patents

Description

本発明は、変位センサに関するものである。

従来、物体の長さや高さを測定する用途には、レーザ光を用いた変位センサが用いられている。変位センサは、投光部からのレーザ光を測定対象物に照射し、その反射光を二次元センサで受光し、反射光の二次元センサにおける受光位置に基づいてセンサヘッドから測定対象物までの距離を測定する（例えば、特許文献１参照）。そして、移動機構により、レーザ光の光軸と交差する方向に、変位センサと測定対象物とを相対的に移動させ、各移動位置における距離を測定することで、測定対象物の長さや表面形状を測定することが可能となる。
特開２００１−５０７１１号公報

しかしながら、上記の変位センサでは、複数の測定対象物の高さや測定対象物の高さの測定は難しい。上記変位センサは、サンプリング周期を変更可能であるが、複数の測定対象物の間隔が異なる場合には対応することができないという問題がある。

本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、複数の測定対象物の測定が可能な変位センサを提供することにある。

上記目的を達成するため、請求項１及び請求項４に記載の発明は、測定対象物に光を照射する投光手段と、前記測定対象物からの反射光を受光し、その反射光の受光位置は前記測定対象物までの距離に対応する受光手段と、前記受光手段の受光位置から前記測定対象物までの距離を測定して測定データを出力する測定手段と、データアドレスにて指定される領域に前記測定データを記憶するデータ記憶手段と、前記データアドレスを記憶する設定記憶手段と、トリガ発生毎に前記測定データを前記データアドレスにて指定されるデータ記憶手段の領域に記憶させるとともに、前記設定記憶手段に記憶された前記データアドレスをカウントアップするデータ蓄積手段と、を備えた。この構成によれば、トリガ発生毎に測定データがデータ記憶手段に記憶されるとともに、その測定データを記憶する領域を示すデータアドレスがカウントアップされる。トリガ発生毎に測定データをデータ記憶手段に記憶することで、複数の測定対象物の高さの測定が可能となる。データアドレスはトリガの発生回数に対応する。従って、データアドレスに基づいてトリガの発生回数、即ち測定対象物の数をカウントすることが可能となる。
特に、請求項１に記載の発明は、前記設定記憶手段には、前記測定データの蓄積開始を前記トリガ発生から遅延させる遅延時間が記憶され、前記データ蓄積手段は、前記トリガ発生から前記遅延時間経過した後に前記測定データの蓄積を開始する。この構成によれば、例えば上面の周囲が面取りされた測定対象物等のように、トリガの発生における測定データが測定対象物の高さを示さない場合、測定対象物の形状に応じて遅延時間を設定することで、測定対象物の高さを容易に測定することが可能となる。

請求項２に記載の発明は、請求項１記載の変位センサにおいて、前記設定記憶手段には、前記トリガ発生毎に前記データ記憶手段に記憶させる測定データの蓄積数が記憶され、前記データ蓄積手段は、前記トリガ発生毎に前記蓄積数分の前記測定データを前記データ記憶手段に記憶させる。この構成によれば、１つの測定対象物における測定データの数を制限することで、複数の測定対象物の高さ測定が可能となる。

請求項３に記載の発明は、請求項２記載の変位センサにおいて、前記データ蓄積手段は、前記データアドレスと前記蓄積数とに基づいて前記トリガの発生回数を算出する。この構成によれば、測定対象物の数を容易に確認することが可能となる。

特に、請求項４に記載の発明は、前記設定記憶手段には、前記トリガ発生毎に前記データ記憶手段に記憶させる測定データの蓄積数が記憶され、前記データ蓄積手段は、前記トリガ発生毎に前記蓄積数分の前記測定データを前記データ記憶手段に記憶させ、前記データアドレスと前記蓄積数とに基づいて前記トリガの発生回数を算出する。この構成によれば、１つの測定対象物における測定データの数を制限することで、複数の測定対象物の高さ測定が可能となる。また、測定対象物の数を容易に確認することが可能となる。

請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のうちの何れか１項に記載の変位センサにおいて、前記設定記憶手段には、前記測定データを前記データ記憶手段に記憶可能なデータ蓄積数が記憶され、前記データ蓄積手段は、前記データアドレスが前記データ蓄積数に達した場合に前記測定データの記憶を停止する。この構成によれば、データアドレスがデータ蓄積数に達するまでトリガ発生に応じて測定データを蓄積するため、継続的な測定が可能となる。また、最新の測定データが過去の測定データに上書きされて測定データが消失する等の不具合の発生を防止することが可能となる。

以上記述したように、本発明によれば、複数の測定対象物の測定が可能な変位センサを提供することができる。

以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図６に従って説明する。
図１に示すように、変位センサのコントローラ１０には複数のケーブル接続端子１０ａ〜１０ｄが設けられ、そのケーブル接続端子１０ａには投光手段及び受光手段としてのセンサヘッド２０ａのケーブルＣ１ａが接続されている。センサヘッド２０ａは、測定台Ｂの上方に図示しない固定具により配置され、コントローラ１０の制御により測定台Ｂ上に載置された測定対象物としてのワークＷに対してレーザ光を照射し、受光した反射光に応じた信号を出力する。

コントローラ１０のケーブル接続端子１０ｃには表示画面としてのコンソール３０がケーブルＣ２を介して接続されている。コンソール３０は、入力回路と、ＬＣＤ等のドットマトリクスにて表示可能な表示画面とを有し、文字及び線画を表示することができる。また、コンソール３０はパーソナルコンピュータよりも小型であり、パーソナルコンピュータが持ち込めない場所にも持ち込むことが可能である。コントローラ１０は、センサヘッド２０ａから入力された信号に基づいて表示データをコンソール３０に出力し、コンソール３０には、表示データに基づいて受光量の数値や、受光量の波形が表示される。

次に、コントローラ１０及びセンサヘッド２０ａの電気的構成を説明する。
図２に示すようにコントローラ１０には、データ蓄積手段、測定手段としてのＣＰＵ１１が内蔵され、該ＣＰＵ１１にはヘッド通信回路１２が接続されている。該ヘッド通信回路１２はケーブル接続端子１０ａ，１０ｂと接続されている。ケーブル接続端子１０ａにはセンサヘッド２０ａが接続されている。また、ケーブル接続端子１０ｂには破線で示すセンサヘッド２０ｂを、ケーブルＣ１ｂを介して接続することができる。即ち、コントローラ１０には２つのセンサヘッド２０ａ，２０ｂを接続することができ、ＣＰＵ１１は、ヘッド通信回路１２を介して各センサヘッド２０ａ，２０ｂと通信することができる。ＣＰＵ１１は、ヘッド通信回路１２に制御信号を出力し、該ヘッド通信回路１２は各センサヘッド２０ａ，２０ｂに制御信号を送信する。ＣＰＵ１１は、ヘッド通信回路１２にて各センサヘッド２０ａ，２０ｂから受信した受光量データを入力する。

ＣＰＵ１１には、ケーブル接続端子１０ａ，１０ｂに接続されるセンサヘッドのそれぞれに対応するデータ記憶手段及び設定記憶手段としての第１の記憶回路１３（メモリ１と表示）及び第２の記憶回路１４（メモリ２と表示）が接続されている。ＣＰＵ１１は、ヘッド通信回路１２を介してセンサヘッド２０ａから受信した受光量データ、センサヘッド２０ａに係わる設定値、などを第１の記憶回路１３に記憶する。また、ＣＰＵ１１は、ヘッド通信回路１２を介してセンサヘッド２０ｂから受信した受光量データ、センサヘッド２０ｂに係わる設定値、などを第２の記憶回路１４に記憶する。

更に、ＣＰＵ１１には、コンソール通信回路１５とパソコン通信回路１６が接続されている。コンソール通信回路１５はケーブル接続端子１０ｃに接続され、そのケーブル接続端子１０ｃには、コンソール（ＣＳ）３０が接続されている。ＣＰＵ１１は、コンソール通信回路１５を介してコンソール３０と通信する。パソコン通信回路１６は、ケーブル接続端子１０ｄと接続されており、そのケーブル接続端子１０ｄには破線で示すパーソナルコンピュータ（ＰＣ）４０がケーブルＣ３を介して接続される。

センサヘッド２０ａは、コントローラ１０と通信するための通信回路２１を備え、該通信回路２１はＣＰＵ２２に接続されている。ＣＰＵ２２は、通信回路２１にて受信した制御信号を入力し、該制御信号に基づいてセンサヘッド２０ａを制御する。ＣＰＵ２２は、表示回路２３及び投光手段としてのレーザダイオード（ＬＤ）２４が接続されている。表示回路２３はセンサヘッド２０ａの外部から視認可能に設けられたＬＥＤなどからなり、ＣＰＵ２２は、表示回路２３に信号を出力し、動作状態を表示回路２３に表示させる。ＣＰＵ２２は、レーザダイオード２４を制御し、ワークＷにレーザ光を照射させる。

ワークＷなどによる反射光はイメージセンサ（ＩＳ）２５に入射される。イメージセンサ２５は例えば二次元ＣＣＤであり、各画素における受光量に応じた電圧の受光信号をアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器２６に出力する。Ａ／Ｄ変換器２６は、受光信号を受光量データにアナログ−デジタル変換し、その受光量データ（画素毎における画素データ）をＣＰＵ２２に出力する。ＣＰＵ２２は、受光量データを通信回路２１に出力し、通信回路２１は受光量データをコントローラ１０に送信する。

上記したように、コントローラ１０のＣＰＵ１１は、センサヘッド２０ａからヘッド通信回路１２を介して受信した受光量データを第１の記憶回路１３に記憶する。そして、ＣＰＵ１１は、第１の記憶回路１３に記憶した受光量データに基づいて、測定点におけるワークＷの高さなどを測定する。

詳述すると、センサヘッド２０ａから出射されるレーザ光は反射面（例えばワークＷの表面）にて反射し、その反射光がイメージセンサ２５に入射され、その反射光を受光する受光位置はセンサヘッド２０ａから反射面までの距離に応じて変化する。コントローラ１０のＣＰＵ１１は、第１の記憶回路１３に記憶した受光量データにおけるピーク値を検出し、そのピーク値の受光量データを出力する画素の位置（ピーク位置）と基準位置（例えばイメージセンサ２５の中心）との差（画素数）を算出する。反射光が基準位置に入射される位置ときのセンサヘッド２０ａから反射面までの距離（反射面からセンサヘッド２０ａまでの高さ）は予め第１の記憶回路１３に記憶されている。また、第１の記憶回路１３には、センサヘッド２０ａの種類に応じて、イメージセンサ２５の１画素に対する距離（高さ）の変化量が記憶されている。ＣＰＵ１１は、測定結果と第１の記憶回路１３に記憶された値に基づいて、その時の反射面からセンサヘッド２０ａまでの高さを測定する。

コントローラ１０は、コンソール３０からの要求信号に応答して、検出したピーク値、反射面の変動量や記憶回路１３，１４に記憶した受光量データ、検出条件などをコンソール３０に送信する。また、コントローラ１０は、コンソール３０から出力される設定データに基づいて、各種設定を行ない、各設定値を記憶回路１３，１４に記憶する。

上記の設定データにはサンプルトリガモードにおける設定値が含まれる。
サンプルトリガモードは、トリガ条件で設定したトリガ発生毎に所定数の測定データを内部メモリに蓄積する動作モードである。この動作モードにおける設定は、トリガ条件、トリガディレイ、サンプルトリガ蓄積数、データアドレスを含む。図６に設定されたトリガ条件の一例を示す。

トリガ条件は、測定データを特製するタイミングの設定である。センサヘッド２０ａは、設定されたサンプリング周波数で規定される時間毎に、受光位置に応じた信号をコントローラ１０に出力する。コントローラ１０は、センサヘッド２０ａからの信号を入力する毎に、その信号に基づいて受光位置から測定対象物までの距離（測定データ）を算出し、その測定データを第１の記憶回路１３に予め記憶されたしきい値と比較する。本実施形態において、第１の記憶回路１３には２つのしきい値が記憶されている。この２つのしきい値を互いに異なる値に設定する。本実施形態において、値の大きい方のしきい値を第１のしきい値と呼び、値の小さい方のしきい値を第２のしきい値と呼ぶ。コントローラ１０は、測定データの値が第１のしきい値より大きい場合にＨＩであると判定し、測定データが第２のしきい値より小さい場合にＬＯであると判定し、測定データが第１のしきい値と第２のしきい値の間である場合にＧＯであると判定する。

上記のトリガ条件は、ＨＩになった時／ＬＯになった時／ＨＩｏｒＬＯになった時／ＨＩからＧＯになった時／ＬＯからＧＯになった時／ＧＯになった時、として設定される。例えば、トリガ条件に「ＧＯになった時」が設定されている場合、コントローラ１０は、ＨＩ又はＬＯとして判定した測定データの次の測定データをＧＯと判定した場合、その時をトリガ発生とする。

トリガディレイは、トリガ発生から測定データの蓄積を開始するまでの時間の設定、つまり測定データの蓄積開始をトリガ発生から遅延させる遅延時間の設定である。サンプルトリガ蓄積数は、トリガ発生毎に第１の記憶回路１３に蓄積するデータ数である。データアドレスは、測定データを蓄積するアドレスである。このデータアドレスは、第１の記憶回路１３において基準アドレスからの相対アドレス又は第１の記憶回路１３の絶対アドレスである。

コントローラ１０は、トリガの発生を判定した後、トリガディレイに設定された値分だけ後の測定データを第１の記憶回路１３のデータアドレスで指定される領域に記憶するとともに、データアドレスをカウントアップする。更に、コントローラ１０は、その記憶した測定データを含み、サンプルトリガ蓄積数分の測定データを第１の記憶回路１３に記憶する。即ち、コントローラ１０は、１回のトリガが発生する毎に、サンプルトリガ蓄積数分の測定データを第１の記憶回路１３に記憶するとともにデータアドレスをカウントアップする。

第１の記憶回路１３において、測定データを記憶する領域は有限である。１回のトリガに対して記憶する測定データの数が多いと、第１の記憶回路１３に測定データを記憶するワークＷの数が少なくなる。従って、サンプルトリガ蓄積数を適宜設定することにより、多くのワークＷの高さの測定データを有限な第１の記憶回路１３に記憶することができるようになる。

従って、トリガディレイを適宜設定することにより、ワークＷの高さやワークＷの上面の形状などを正確に測定することができる。例えば、図３に示すように、ワークＷの突起Ｗ０に対して第１のしきい値Ｌ１と第２のしきい値Ｌ２が設定される。これらのしきい値Ｌ１，Ｌ２は、突起Ｗ０の高さの許容範囲に応じて設定される。つまり、図３では、第１のしきい値Ｌ１より低く第２のしきい値Ｌ２より高い突起Ｗ０を検出する。つまり、この場合では、突起Ｗ０が測定対象物となる。

図３に示すように、コントローラ１０は、センサヘッド２０ａからの信号に基づく測定データが第２のしきい値Ｌ２よりも高くなると「ＧＯになった時」と判断してその時をトリガＴの発生とする。そして、このトリガＴの発生後に、センサヘッド２０ａからの信号に基づく測定データＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，…が出力される。例えば、トリガディレイに「４」が設定されている場合、コントローラ１０は、トリガＴの後に入力される４番目の測定データＳ４を第１の記憶回路１３に記憶するとともに、データアドレスをカウントアップする。尚、トリガディレイに「０」を設定することもできる。この場合、コントローラ１０は、トリガＴが発生したときの測定データを第１の記憶回路１３に記憶する。

更に、コントローラ１０は、サンプルトリガ蓄積数の測定データを第１の記憶回路１３に記憶する。一例として、サンプルトリガ蓄積数が「１」の場合、コントローラ１０は、測定データＳ４を第１の記憶回路１３に記憶する。別の例として、サンプルトリガ蓄積数が「２」の場合、コントローラ１０は、測定データＳ４と次の測定データＳ５を第１の記憶回路１３に記憶する。

上記の動作は、トリガ発生毎に行われる。例えば、図４に示すように、ワークＷの上面に複数（図４において６個）の突起Ｗ０〜Ｗ５が形成されている。この突起Ｗ０〜Ｗ５の配置位置に沿って（図４において矢印Ｍ方向に）ヘッド２０ａを移動させる。すると、各突起Ｗ０〜Ｗ５毎に図３に示すトリガＴが発生する。図２に示すコントローラ１０は、トリガＴの発生毎に、センサヘッド２０ａから出力される信号に基づく測定データのうち、上記の設定に対応する測定データを第１の記憶回路１３に記憶する。

このように、複数の突起Ｗ０〜Ｗ５毎に発生するトリガＴに応答して測定データを記憶することにより、複数の突起Ｗ０〜Ｗ５のそれぞれの高さを測定することができる。また、各突起Ｗ０〜Ｗ５の測定データに基づいて、突起Ｗ０〜Ｗ５の高さの平均値の算出、最も高い突起、最も低い突起の検出を行うことが可能となる。平均値を算出することにより、ノイズ等による測定データの変化に影響されることなく、測定対象物の高さの測定が可能となる。

また、コントローラ１０は、トリガカウンタ読出し機能を有している。トリガカウンタ読出し機能は、コントローラ１０がサンプルトリガモードにおいて、コンソール３０からの要求信号に応答してトリガカウンタとしてトリガ発生回数を要求元であるコンソール３０に出力する機能である。上記のデータアドレスは第１の記憶回路１３に記憶した測定データの個数に対応し、１回のトリガ発生に対してサンプルトリガ蓄積数分の測定データが第１の記憶回路１３に記憶される。従って、コントローラ１０は、データアドレス（絶対アドレスの場合はデータアドレスと基準アドレスとの差）をサンプルトリガ蓄積数で割ることにより、トリガ発生回数を算出する。そして、コントローラ１０は、コンソール３０からの要求信号に応答してトリガ発生回数をトリガカウンタとしてコンソール３０に出力する。従って、コンソール３０は、コントローラ１０からトリガ発生回数、つまり突起Ｗ０〜Ｗ５の数読み出すことができる。

図５は、サンプルトリガモードにおけるコントローラ１０の動作を示すフローチャートである。
即ち、ステップＳ１において、コントローラ１０は、トリガ発生か否かを判断し、トリガ発生の場合にはステップＳ２に移行する。つまり、ステップＳ１はトリガ待ち状態であり、トリガが発生すると、ステップＳ２に移行する。

ステップＳ２において、コントローラ１０は、トリガ発生からトリガディレイ分だけ経過したか否かを判断し、経過した場合にはステップＳ３に移行する。
ステップＳ３において、コントローラ１０は、サンプルトリガ蓄積数分の測定データを第１の記憶回路１３に記憶し、データアドレスをカウントアップ（所定数を加算、所定数が１の場合はプラス１）する。

ステップＳ４において、コントローラ１０は、データアドレスのカウントがデータ蓄積数に達したか否かを判断する。データ蓄積数は、第１の記憶回路１３に記憶可能な測定データの数であり、第１の記憶回路１３の容量に応じて設定される。データアドレスがデータ蓄積数に達していない場合、コントローラ１０は、ステップＳ１に移行し、サンプルトリガモードを継続する。一方、データアドレスがデータ蓄積数に達した場合、コントローラ１０は、測定データの蓄積を終了する。

データアドレスがデータ蓄積数に達した場合に測定データの蓄積を終了することで、データアドレスがデータ蓄積数に達するまでトリガ発生に応じて測定データを蓄積するため、継続的な測定が可能となる。また、最新の測定データが過去の測定データに上書きされて測定データが消失する等の不具合の発生を防止することが可能となる。

以上記述したように、本実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）コントローラ１０は、トリガが発生する毎に、サンプルトリガ蓄積数分の測定データを第１の記憶回路１３に記憶するとともにデータアドレスをカウントアップする。トリガ発生毎に測定データを第１の記憶回路１３に記憶することで、複数の測定対象物の高さの測定が可能となる。データアドレスはトリガの発生回数に対応する。従って、データアドレスに基づいてトリガの発生回数、即ち測定対象物の数をカウントすることが可能となる。

（２）第１の記憶回路１３において、測定データを記憶する領域は有限である。１回のトリガに対して記憶する測定データの数が多いと、第１の記憶回路１３に測定データを記憶するワークＷの数が少なくなる。従って、サンプルトリガ蓄積数を適宜設定することにより、多くのワークＷの高さの測定データを有限な第１の記憶回路１３に記憶することができるようになる。

（３）コントローラ１０は、データアドレス（絶対アドレスの場合はデータアドレスと基準アドレスとの差）をサンプルトリガ蓄積数で割ることにより、トリガ発生回数を算出する。そして、コントローラ１０は、コンソール３０からの要求信号に応答してトリガ発生回数をトリガカウンタとしてコンソール３０に出力する。従って、コンソール３０は、コントローラ１０からトリガ発生回数、つまり突起Ｗ０〜Ｗ５の数読み出すことができるため、測定対象物の数を容易に確認することが可能となる。

（４）コントローラ１０は、トリガの発生を判定した後、トリガディレイに設定された値分だけ後の測定データを第１の記憶回路１３のデータアドレスで指定される領域に記憶する。例えば上面の周囲が面取りされた測定対象物等のように、トリガの発生における測定データが測定対象物の高さを示さない場合、測定対象物の形状に応じて遅延時間を設定することで、測定対象物の高さを容易に測定することが可能となる。従って、トリガディレイを適宜設定することにより、ワークＷの高さやワークＷの上面の形状などを正確に測定することができる。

（５）データアドレスがデータ蓄積数に達した場合、コントローラ１０は、測定データの蓄積を終了するようにした。データアドレスがデータ蓄積数に達した場合に測定データの蓄積を終了することで、データアドレスがデータ蓄積数に達するまでトリガ発生に応じて測定データを蓄積するため、継続的な測定が可能となる。また、最新の測定データが過去の測定データに上書きされて測定データが消失する等の不具合の発生を防止することが可能となる。

尚、上記各実施の形態は、以下の態様で実施してもよい。
・上記実施形態では、測定データとしきい値との比較結果に基づいてトリガ発生を判定するようにしたが、その他のデータに基づいてトリガを発生させるようにしたもよい。例えば、受光光量に基づいてトリガを発生させるようにしてもよく、この場合には、受光光量が低く測定に適していない場合や受光光量が多すぎて測定に適していない場合にトリガを発生させないように設定することで、適切な受光光量における測定が可能となる。また、コントローラ１０の外部から供給される信号の変化によりトリガを発生させるようにしてもよい。

・上記実施形態では、トリガディレイとしてサンプル数を設定したが、時間を設定するようにしてもよい。
・上記実施形態では、ワークＷ上に形成された突起Ｗ０〜Ｗ５を測定する場合について説明したが、搬送ラインなどの搬送手段により搬送される複数のワークを測定するようにしてもよい。

本実施形態の変位センサを示す概略構成図。 変位センサの電気的構成を示すブロック図。 トリガディレイの説明図。 サンプルトリガ蓄積の説明図。 サンプルトリガモードの動作を示すフローチャート。 サンプリングトリガ条件の説明図。

符号の説明

１０…コントローラ、１３，１４…記憶回路、２０ａ…センサヘッド、Ｔ…トリガ、Ｓ１〜Ｓ５…測定データ。

Claims (5)

1. 測定対象物に光を照射する投光手段と、
   前記測定対象物からの反射光を受光し、その反射光の受光位置は前記測定対象物までの距離に対応する受光手段と、
   前記受光手段の受光位置から前記測定対象物までの距離を測定して測定データを出力する測定手段と、
   データアドレスにて指定される領域に前記測定データを記憶するデータ記憶手段と、
   前記データアドレスを記憶する設定記憶手段と、
   トリガ発生毎に前記測定データを前記データアドレスにて指定されるデータ記憶手段の領域に記憶させるとともに、前記設定記憶手段に記憶された前記データアドレスをカウントアップするデータ蓄積手段と、
   を備えた変位センサであって、
   前記設定記憶手段には、前記測定データの蓄積開始を前記トリガ発生から遅延させる遅延時間が記憶され、
   前記データ蓄積手段は、前記トリガ発生から前記遅延時間経過した後に前記測定データの蓄積を開始する、
   ことを特徴とする変位センサ。
2. 前記設定記憶手段には、前記トリガ発生毎に前記データ記憶手段に記憶させる測定データの蓄積数が記憶され、
   前記データ蓄積手段は、前記トリガ発生毎に前記蓄積数分の前記測定データを前記データ記憶手段に記憶させる、
   ことを特徴とする請求項１記載の変位センサ。
3. 前記データ蓄積手段は、前記データアドレスと前記蓄積数とに基づいて前記トリガの発生回数を算出する、
   ことを特徴とする請求項２記載の変位センサ。
4. 測定対象物に光を照射する投光手段と、
   前記測定対象物からの反射光を受光し、その反射光の受光位置は前記測定対象物までの距離に対応する受光手段と、
   前記受光手段の受光位置から前記測定対象物までの距離を測定して測定データを出力する測定手段と、
   データアドレスにて指定される領域に前記測定データを記憶するデータ記憶手段と、
   前記データアドレスを記憶する設定記憶手段と、
   トリガ発生毎に前記測定データを前記データアドレスにて指定されるデータ記憶手段の領域に記憶させるとともに、前記設定記憶手段に記憶された前記データアドレスをカウントアップするデータ蓄積手段と、
   を備えた変位センサであって、
   前記設定記憶手段には、前記トリガ発生毎に前記データ記憶手段に記憶させる測定データの蓄積数が記憶され、
   前記データ蓄積手段は、前記トリガ発生毎に前記蓄積数分の前記測定データを前記データ記憶手段に記憶させ、前記データアドレスと前記蓄積数とに基づいて前記トリガの発生回数を算出する、
   ことを特徴とする変位センサ。
5. 前記設定記憶手段には、前記測定データを前記データ記憶手段に記憶可能なデータ蓄積数が記憶され、
   前記データ蓄積手段は、前記データアドレスが前記データ蓄積数に達した場合に前記測定データの記憶を停止する、
   ことを特徴とする請求項１〜４のうちの何れか１項に記載の変位センサ。

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