CN117663991A - 一维测量机、控制方法和存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明提供一维测量机、控制方法和存储介质。一维测量机包括：标尺，其具有刻度；移动器，其能够沿着所述标尺移动，并且具有光源和光接收元件，所述光源被配置为向所述标尺的刻度发射光，所述光接收元件被配置为接收来自所述光源的已经通过所述标尺的光；光量信息检测器，用于检测与光的光量有关的信息，其中该光是在所述移动器沿着所述标尺移动的同时从所述光源向所述标尺发射的；以及污染检测器，用于基于所述光量信息检测器所检测到的所述与光的光量有关的信息，来检测所述标尺的污染程度。

Description

一维测量机、控制方法和存储介质

技术领域

本文描述的实施例的特定方面涉及导电图案的制造方法。

背景技术

传统上，已知有用于测量待测量物体的在一个方向上的各种尺寸(例如，高度、高低差、孔径等)的一维测量机(例如，参见日本特开2002-221414)。一维测量机包含光电编码器以测量待测量物体的在一个方向上的各种尺寸。作为光电编码器，已知有如下配置：该配置包括具有沿着一个方向布置的刻度的标尺、用于发射光的光源以及用于接收从光源发射并通过标尺的光的光接收部分(例如，参见日本特开2018-44782)。

发明内容

在一个方面，本发明的目的是提供可以检测内置于一维测量机中的标尺的污染程度的一维测量机。

根据本发明的方面，提供一种一维测量机，包括：标尺，其具有刻度；移动器，其能够沿着所述标尺移动，并且具有光源和光接收元件，所述光源被配置为向所述标尺的刻度发射光，所述光接收元件被配置为接收来自所述光源的已经通过所述标尺的光；光量信息检测器，用于检测与光的光量有关的信息，其中该光是在所述移动器沿着所述标尺移动的同时从所述光源向所述标尺发射的；以及污染检测器，用于基于所述光量信息检测器所检测到的所述与光的光量有关的信息，来检测所述标尺的污染程度。

附图说明

图1是示出根据第一实施例的一维测量机的立体图；

图2是示出根据第一实施例的一维测量机的内部结构的部分的图；

图3是第一实施例的标尺和头部的截面图；

图4是第一实施例的光电编码器的控制器的功能配置和一维测量机的控制器的功能配置的框图；

图5A和图5B是示出第一实施例的光量控制器的控制的图表；

图6是示出第一实施例中供给至光源的电流的值与标尺的污染程度之间的关系的图；

图7是示出第一实施例中的一维测量机的硬件配置和光电编码器的硬件配置的框图；

图8示出第一实施例的污染程度的检测处理的流程图；

图9A和图9B是示出第一实施例中显示器上显示的标尺污染检查画面的示例的图；

图10A和图10B是示出通知污染程度的另一方法的图；

图11A和图11B是示出第二实施例中光量控制器的控制的图表；

图12是示出第二实施例中利萨如(Lissajous)信号的大小与标尺的污染程度之间的关系的图；以及

图13示出第二实施例的污染程度的检测处理的流程图。

具体实施方式

根据使用一维测量机的环境，污物可能会附着在内置光电编码器的标尺表面，使得无法读取标尺值。如果无法读取标尺值，则变得不能测量待测量物体的尺寸。因此，如果标尺值突然变得不可读，则将会对生产活动产生很大影响。因此，为了防止标尺值突然变得不可读，期望能够检测标尺的污染程度。

将参照附图给出实施例的描述。

(第一实施例)图1是根据第一实施例的一维测量机100的立体图。图2是示出根据第一实施例的一维测量机100的内部结构的部分的图。在图1和图2中，放置有测量机主体10的平板50的平面方向被定义为X轴方向和Y轴方向。并且平板50的上表面的法线方向被定义为Z轴方向。在图2中，虚线A的左侧是支柱12的内部，虚线A的右侧是支柱12的外部，并且为了清楚起见，标尺13用阴影线表示。一维测量机100包含具有标尺13、头部17和专用控制器的光电编码器，并且测量待测量物体在Z轴方向上的各种尺寸(例如，高低差、高度和孔径等)。如图1所示，一维测量机100包括测量机主体10、控制器20、显示器30和操作器40。

如图1和图2所示，测量机主体10包括置于平板50的上表面的底座11和设置在底座11上并在Z轴方向上延伸的支柱12。在Z轴方向上延伸的标尺13设置在支柱12的内部。引导件14设置在支柱12上。并且，通过使用引导件而可以在Z轴方向上移动的滑块15附接到支柱12。滑块15通过手柄8或诸如马达等的驱动部件在Z轴方向上移动。探头16由保持构件18保持在滑块15上。并且，探头16可以连同滑块15一起在Z轴方向上移动。头部17由保持构件19保持在滑块15上。头部17以面向标尺13的方式设置在支柱12的内部。头部17通过与滑块15一起在Z轴方向上移动，可以沿着标尺13在Z轴方向上移动。

图3是第一实施例的标尺13和头部17的截面图。如图3所示，标尺13具有刻度62，该刻度62沿着Z轴方向以规则的间隔交替地具有不同反射率的高反射部60和低反射部61。标尺13例如是细长的玻璃标尺，并且具有由诸如苏打玻璃等的基材形成的低反射部61以及由设置在基材上的金属图案形成的高反射部60。头部17包括基板63上所形成的光源64和基板65上所形成的光接收元件66。光源64例如是LED(发光二极管)光源。光接收元件66例如是PD(光电二极管)。

光源64向标尺13的刻度62发射光67。光接收元件66接收标尺13的刻度62所反射的光67，并将接收到的光67的光量变化转换成电信号。可以基于由光接收元件66输出的电信号来测量头部17相对于标尺13的移动量，结果，可以测量待测量物体的各种尺寸。

如图1所示，一维测量机100的控制器20基于从光电编码器的控制器获得的信号来检测标尺13的污染程度。显示器30在控制器20的指示下显示各种信息。操作器40接收使用者等的输入操作。显示器30通过被配置为触摸显示器而可以具有操作器40的一部分功能。

图4是第一实施例的光电编码器的控制器90的功能配置和一维测量机100的控制器20的功能配置的框图。如图4所示，光电编码器的控制器90具有原点检测器91、信号输出器92和光量控制器93。原点检测器91检测标尺13的原点。信号输出器92根据从光接收元件66输出的电信号来检测并输出具有90°相位差的两相正弦信号(利萨如信号)。光量控制器93通过增大或减小供给至光源64的电流的值来增大或减小由光源64发射的光67的光量，从而控制利萨如信号具有预定大小。例如，取决于使用一维测量机100的环境，诸如油雾等的异物可能通过支柱12的间隙进入，并且作为污染物附着到标尺13的表面。当标尺13的表面变脏时，光接收元件66所接收到的光67的强度减小，使得利萨如信号的振幅可能减小。以这种方式，当利萨如信号的振幅的大小变得小于预定大小时，光量控制器93增加被供给至光源64的电流的值，以增加由光源64发射的光67的量。相反，当利萨如信号的振幅的大小变得大于预定大小时，光量控制器93减小被供给至光源64的电流的值，以减小从光源64发射的光量。

图5A和图5B是示出第一实施例的光量控制器93的控制的图表。如图5A所示，随着标尺13变得更脏，光量控制器93增加被供给至光源64的电流的值。结果，如图5B所示，即使当标尺13变得非常脏时，光接收元件66所接收到的光67的强度也维持在预定级别处。因此，利萨如信号的振幅的大小可以保持基本恒定。

然而，当标尺13上的污染程度严重(大)时，即使供给至光源64的电流增加，光接收元件66所接收到的光67的强度也不会增加，并且不一定能检测到标尺13的刻度62所反射的光67的量的变化。因此，一维测量机100的控制器20检测标尺13的污染程度，以防止光接收元件66突然变得不能检测到标尺13的刻度62所反射的光67的量的变化。

如图4所示，一维测量机100的控制器20具有移动控制器21、位置计算器22、光量信息检测器23和污染检测器24。移动控制器21通过驱动一维测量机100中所设置的内置马达来移动滑块15，以在标尺13的Z轴方向上沿着标尺13将头部17从一端向另一端移动。移动控制器21指示光电编码器的控制器90从光源64向标尺13发射光67。当移动控制器21正在沿着标尺13移动头部17的同时，位置计算器22通过使用光电编码器的控制器90的原点检测器91所输出的原点信息和光电编码器的控制器90的信号输出器92所输出的利萨如信号来计算头部17相对于标尺13的位置。光量信息检测器23根据位置计算器22计算头部17的位置，获取从光电编码器的控制器90的光量控制器93供给至光源64的电流的值，并检测电流值的大小。并且，光量信息检测器23将电流值的大小与头部17相对于标尺13的位置相关联。污染检测器24基于光量信息检测器23所检测的电流值来检测标尺13的污染程度。如图5A所示，供给至光源64的电流的值的大小根据标尺13的污染程度而变化。因此，可以根据光量信息检测器23所检测的电流值的大小来检测标尺13的污染程度。

图6是示出第一实施例中供给至光源64的电流的值与标尺13的污染程度之间的关系的图。图6左侧的图表示出在标尺13的Z轴方向上的各个位置处供给至光源64的电流的值。图6右侧的图用阴影线的粗糙度和精细度示出污染程度。较粗糙的阴影线表示污物较少，并且较精细的阴影线表示污物较多。如图6所示，供给至光源64的电流的值随着标尺13上的污染程度增加而增加。因此，污染检测器24可以基于光量信息检测器23所检测的电流值来检测标尺13上的污染程度。污染检测器24在显示器上显示所检测到的标尺13的污染程度的信息。

图4所示的存储部70存储诸如与污染检测器24所检测到的标尺13的污染程度有关的信息等的各种类型的信息。

图7是示出第一实施例中的一维测量机100的硬件配置和光电编码器110的硬件配置的框图。如图7所示，一维测量机100具有存储装置71、存储器72、处理器73、显示装置74、输入装置75和接口76。这些单元通过总线77相互连接。光电编码器110具有存储装置111、存储器112、处理器113、头部17和接口114。这些单元通过总线115相互连接。

存储装置71和存储装置111是诸如闪速存储器或硬盘驱动器等的非易失性半导体存储器。污染检测程序78存储在一维测量机100的存储装置71中。

存储器72和存储器112是诸如DRAM(动态随机存取存储器)等的用于临时存储数据的硬件。图4中的存储部70由存储装置71和存储器72实现。

处理器73和处理器113是诸如CPU(中央处理单元)等的用于控制一维测量机100或光电编码器110的各个部分的硬件。一维测量机100的处理器73与存储器72协作以执行污染检测程序78。以这种方式，存储器72和处理器73协作以执行污染检测程序78。由此，实现了图4中的移动控制器21、位置计算器22、光量信息检测器23和污染检测器24的功能。

显示装置74是用于实现图1和图4中的显示器30的硬件，并且是诸如液晶显示器等的显示装置。

输入装置75是诸如键盘或触摸面板等的用于使用者操作一维测量机100的输入装置。输入装置75实现了图1中的操作器40。

接口76和接口114是用于有线或无线通信的硬件。通过接口76和接口114之间的通信，在一维测量机100和光电编码器110之间输入和输出信息。

接下来，将参照图8的流程图描述根据第一实施例的污染级别检测处理的示例。图8中的处理由一维测量机100的控制器20执行。如图8所示，当控制器20响应于使用者或维护工人对操作器40的操作而启动污染检测程序78时，控制器20的污染检测器24检测显示器30上的标尺污染。在这种情况下，显示检查画面(步骤S10)。

图9A和图9B是示出第一实施例中显示器30上显示的标尺污染检查画面80的示例的图。图9A示出在执行污染级别检测处理之前的标尺污染检查画面80。图9B示出在执行污染级别检测处理之后的标尺污染检查画面80。在步骤S10中显示在显示器30上的标尺污染检查画面80是在执行图9A中的污染级别检测处理之前的画面。如图9A所示，在标尺污染检查画面80上设置错误阈值和警告阈值。这里，作为示例，假设错误阈值为15mA，并且警告阈值为12mA。错误阈值是用于判断标尺13的污染程度是否严重(大)并且光接收元件66是否难以检测到标尺13的刻度62所反射的光67的量的变化的阈值。警告阈值是用于由于标尺13的污染程度正在变糟而判断是否向使用者等推荐清洁标尺13的阈值。这些值可以由对操作器40进行操作的使用者或维护工人任意改变。由于错误阈值是标尺13和头部17的特有值，所以使用者或维护工人不能改变错误阈值。

如果过去已经进行了污染级别检测处理，则将进行污染级别检测处理的日期、供给至光源64的电流的最大值、以及获得最大电流值的标尺13的Z轴方向上的坐标位置彼此关联地进行显示。例如，显示最近的三个污染程度检测处理的结果。

此外，在标尺污染检查画面80上，例如，显示历史清除按钮81、历史保存按钮82、图表保存按钮83、执行按钮84和关闭按钮85。历史清除按钮81是用于删除存储部70中所存储的、要作为执行历史显示在标尺污染检查画面80上的信息的按钮。历史保存按钮82是用于将与所检测到的污染程度有关的信息存储在存储部70中的按钮。图表保存按钮83是用于将与所测量的电流值有关的图表(图9B中的标尺污染检查画面80的右上图表)存储在存储部70中的按钮。执行按钮84是用于执行污染程度检测处理的按钮。关闭按钮85是用于关闭标尺污染检查画面80的按钮。

返回图8，当使用者或维护工人选择执行按钮84时(步骤S12：是)，移动控制器21在以恒定速度沿着标尺13在Z轴方向上将头部17从标尺13的最低端向最高端移动的同时，指示光电编码器的控制器90从光源64向标尺13发射光67(步骤S14)。控制器90的光量控制器93通过控制被供给至光源64的电流的值来控制从光源64发射的光量，使得利萨如信号的振幅大小变为预定大小。因此，供给至光源64的电流的大小根据标尺13上的污染程度而变化。接下来，位置计算器22基于从光电编码器的原点检测器91输出的原点信息和从信号输出器92输出的利萨如信号来获得头部17相对于标尺13的位置，获得在各个位置处从光电编码器的光量控制器93供给至光源64的电流的值，并检测电流值的大小(步骤S16)。例如，当位置计算器22计算出头部17已经相对于标尺13在Z轴方向上升了特定间距(例如，1mm)时，光量信息检测器23检测被供给至光源64的电流的值的大小。

接下来，污染检测器24判断在步骤S16中检测到的电流值中是否存在等于或大于错误阈值的电流值(步骤S18)。如果存在等于或大于错误阈值的电流值(步骤S18：是)，则污染检测器24判断为标尺13被严重(很大程度上)污染，使得难以使用标尺13测量待测量物体的尺寸，标尺13的污染程度被检测为处于错误状态(步骤S20)。

当不存在等于或大于错误阈值的电流值时(步骤S18：否)，污染检测器24判断所测量的电流值中是否存在等于或大于警告阈值的电流值(步骤S22)。如果存在等于或大于警告阈值的电流值(步骤S22：是)，则污染检测器24由于标尺13的污染变得严重(增加)并且检测到标尺13的污染程度处于警告状态而判断为期望清洁标尺13(步骤S24)。

如果不存在等于或大于警告阈值的电流值(步骤S22：否)，则污染检测器24判断为标尺13可以正常使用并且检测到标尺13的污染程度是正常的(步骤S26)。

在步骤S20、S24和S26之后，污染检测器24使显示器30显示与标尺13的污染程度有关的信息，并将该信息存储在存储部70中(步骤S28)。例如，如图9B所示，根据步骤S20、S24和S26的结果，污染检测器24在标尺污染检查画面80的标尺状态栏中显示“错误”、“警告”或“正常”。此时，字符“错误”、“警告”和“正常”的背景颜色可能会改变。例如，当显示“错误”时，字符“错误”叠加在红色背景上。当显示“警告”时，字符“警告”叠加在橙色背景上。当显示“正常”时，字符“正常”可以叠加在绿色背景上。此外，“错误”、“警告”和“正常”可以通过诸如“×”、“Δ”和“○”等的其他方法进行显示。污染检测器24在实施历史栏中关联并显示这次检测污染程度的日期、最大电流值和检测到最大电流值的标尺13的坐标位置。结果，可以根据标尺13的污染程度的趋势来初步估计标尺13何时需要清洁，并且抑制由于不能读取标尺13的刻度62而导致待测量物体的尺寸的测量突然失败。此外，如标尺污染检查画面80的右上图表所示的，污染检测器24将表示所测量的电流值的图表与错误阈值86和警告阈值87一起显示在标尺污染检查画面80上。由此，可以检测标尺13在Z轴方向上的污染程度。

当使用者或维护工人选择历史保存按钮82时，污染检测器24将这次检测污染程度的日期、最大电流值和检测到最大电流值的标尺13的坐标位置彼此关联地存储在存储部70中。结果，当在进行下一个污染程度检测处理时显示标尺污染检查画面80的情况下，当前检测结果显示在实施历史栏中。此外，当使用者或维护工人选择图表保存按钮83时，污染检测器24将这次检测污染程度的日期和所测量的电流值的图表(标尺污染检查画面80)彼此相关联地存储在存储部70中。注意，存储目的地不限于存储部70，并且可以选择一维测量机100外部的外部存储器。

应注意，污染级别检测处理不限于通过选择标尺污染检查画面80上的执行按钮84来开始，也可以通过其他方法来开始。例如，在紧接着通过接通一维测量机100的主电源来启动一维测量机100之后，可以自动执行污染级别检测处理。此外，不限于通过在标尺污染检查画面80上显示“错误”、“警告”或“正常”来通知污染程度的检测结果，而是可以通过其他方法来通知污染程度的检测结果。图10A和图10B是示出通知污染程度的另一方法的图。如图10A所示，用于通知“警告”等的弹出窗口88可以显示在显示器30上，或者显示器30上所显示的状况条可以显示诸如“警告”等的表示污染程度的图标。图标89可以一直显示直到污染程度改善为止。如图10B所示，用于概述一维测量机100的状态并显示在显示器30上的画面可以设置有表示标尺13的污染程度的栏，并且可以显示“警告”等。

应当注意，图9A的标尺污染检查画面80可以显示与过去的最近电流值有关的图表。这可以容易地掌握在最近的污染程度检测处理中的整个标尺13的污染程度。当图表显示在图9A的标尺污染检查画面80上时，当选择执行按钮84并且开始污染程度检测处理时，可以删除图表。

如上所述，根据第一实施例，如图8所示，光量信息检测器23检测被供给至光源64的电流的值的大小，该电流的值的大小是与在头部17(移动单元)沿着标尺13移动的同时由光源64向标尺13发射的光67的光量有关的信息(步骤S16)。污染检测器24基于光量信息检测器23所检测的电流值来检测标尺13的污染程度(步骤S18至S26)。结果，由于可以检测标尺13的污染程度，所以可以防止光接收元件66突然不能检测到标尺13的刻度62所反射的光67的光量的变化，并且可以抑制长时间段不能使用一维测量机100。此外，由于可以快速识别出标尺13变脏是光接收元件66不能检测到光67的光量变化的原因，所以可以快速恢复一维测量机100。

此外，在第一实施例中，光量信息检测器23获得从用于控制被供给至光源64的电流的值的光量控制器93供给至光源64的电流的值，使得光接收元件66根据所接收到的光67的光量而输出的电信号变为预定大小，并且光量信息检测器23检测电流值的大小。污染检测器24基于光量信息检测器23所检测的电流值来检测标尺13的污染程度。与电流值小时相比，当电流值大时，污染检测器24检测到标尺13的污染程度更大。如图6所示，供给至光源64的电流的值和标尺13的污染程度彼此密切相关，使得可以根据上述方法高精度地检测标尺13的污染程度。此外，当以光接收元件66所输出的电信号具有预定大小的方式对被供给至光源64的电流的值进行控制时，由于无论标尺13的污染程度如何光接收元件66所输出的电流都基本恒定，因此难以掌握标尺13的污染程度。因此，优选检测标尺13的污染程度。

此外，在第一实施例中，设置用于显示与污染检测器24所检测到的标尺13的污染程度有关的信息的显示器30。结果，使用者等可以视觉辨识标尺13的污染程度，使得可以容易地掌握标尺13的污染程度。

此外，在第一实施例中，如图9B所示，污染检测器24根据标尺13的污染程度使显示器30显示不同的通知(显示“错误”、“警告”和“正常”)。结果，使用者等可以容易地辨识标尺13的污染程度的紧迫性。

此外，在第一实施例中，如图9B所示，污染检测器24基于供给至光源64的电流的值(其是与光67的光量有关的信息)来确定标尺13的污染程度高的位置，并使显示器30显示表示所确定的位置的信息。结果，使用者等可以容易地掌握标尺13上污染程度高的位置。

此外，在第一实施例中，如图9B所示，污染检测器24使显示器3将表示被供给至光源64的电流的值的图表(其是与光67的光量有关的信息)和与标尺13的污染程度有关的错误阈值86和警告阈值870一起显示。这使得使用者等能够在视觉上掌握整个标尺13的污染程度。尽管在第一实施例中使用了两个阈值(错误阈值86和警告阈值87)，但是阈值的数量可以是一个、三个或多于三个。

此外，第一实施例包括用于将检测到标尺13的污染程度的日期和与标尺13的污染程度有关的信息彼此相关联地进行存储的存储部70。结果，使用者等可以在追溯过去的同时掌握标尺13的污染程度的进展。

(第二实施例)在第一实施例中，当检测标尺13的污染程度时，光量控制器93根据标尺13的污染程度来改变被供给至光源64的电流的值。在第二实施例中，将给出无论标尺13的污染程度如何被供给至光源64的电流的值都保持基本恒定的情况的描述。此外，在第二实施例中，光量信息检测器23从光电编码器的信号输出器92获取利萨如信号，检测利萨如信号的大小，并将利萨如信号的大小与头部17相对于标尺13的位置相关联。

图11A和图11B是示出第二实施例中光量控制器93的控制的图表。如图11A所示，当检测标尺13的污染程度时，无论标尺13的污染程度如何，光量控制器93都使被供给至光源64的电流的值基本恒定。随着标尺13上的污染程度增加，光接收元件66所接收到的光67的强度减小。因此，如图11B所示，标尺13上的污染程度越大，利萨如信号的振幅越小。

图12是示出第二实施例中利萨如信号的大小与标尺13的污染程度之间的关系的图。图12左侧的图表表示标尺13在Z轴方向上的各个位置处的利萨如信号的振幅的大小，并且右侧的图表通过阴影线密度表示标尺13的污染程度。如图12所示，光接收元件66所接收到的光67的强度随着标尺13上的污染程度增加而减小，因此利萨如信号的振幅减小。因此，污染检测器24可以基于由光量信息检测器23检测到的利萨如信号的振幅的大小来检测标尺13的污染程度。

将参照图13的流程图描述第二实施例中的污染程度检测处理的示例。图13的处理由控制器20以与图8的处理相同的方式执行。如图13所示，控制器20执行作为与图8中的步骤S10和S12相同的处理的步骤S40和S42。

接下来，移动控制器21在指示光电编码器的控制器90从光源64向标尺13发射光67的同时，以恒定速度沿着标尺13在标尺13的Z轴方向上从底端向顶端移动头部17(步骤S44)。此时，控制器90的光量控制器93使被供给至光源64的电流的值的大小基本恒定。接下来，位置计算器22基于从光电编码器的控制器90输出的原点信息和利萨如信号来确定头部17相对于标尺13的位置，并且光量信息检测器23在各个位置处从光电编码器的控制器90获得利萨如信号，并且检测利萨如信号的振幅的大小(步骤S46)。

接下来，污染检测器24判断在步骤S46中检测到的利萨如信号的振幅的大小各自是否等于或小于错误阈值(步骤S48)。如果存在等于或小于错误阈值的大小(步骤S48：是)，则污染检测器24检测到标尺13的污染程度处于错误状态(步骤S50)。

如果不存在小于或等于错误阈值的大小(步骤S48：否)，则污染检测器24判断各个所测量的利萨如信号的振幅中是否存在等于或小于警告阈值的大小(步骤S52)。如果存在等于或小于警告阈值的大小(步骤S52：是)，则污染检测器24检测到标尺13的污染程度处于警告状态(步骤S54)。

当不存在小于或等于警告阈值的大小时(步骤S52：否)，污染检测器24检测到标尺13的污染程度处于正常状态(步骤S56)。

在步骤S50、S54和S56之后，污染检测器24使显示器30显示与标尺13的污染程度有关的信息，并将该信息存储在存储部70中(步骤S58)。

如上所述，根据第二实施例，如第一实施例那样，如图13所示，光量信息检测器23检测作为与在头部17沿着标尺13移动的同时从光源64向标尺13发射的光67的量有关的信息的利萨如信号的大小(步骤S46)。污染检测器24基于由光量信息检测器23检测到的利萨如信号的大小来检测标尺13的污染程度(步骤S48至S56)。结果，由于可以检测标尺13的污染程度，所以可以抑制光接收元件66突然不能检测到标尺13的刻度62所反射的光67的量的变化，并且可以抑制一维测量机长时段的不可用。此外，由于可以快速识别出标尺13变脏是光接收元件66不能检测到光67的光量变化的原因，所以可以快速恢复一维测量机。

在第二实施例中，光量信息检测器23检测当供给至光源64的电流的值基本恒定时由光接收元件66基于光67的量的变化而输出的电信号(利萨如信号)的大小。污染检测器24基于由光量信息检测器23检测到的利萨如信号的大小来检测标尺13的污染程度。与利萨如信号的大小较大时相比，当利萨如信号的大小较小时，污染检测器24检测到标尺13的污染程度更大。如图12所示，利萨如信号的大小和标尺13的污染程度彼此密切相关，因此上述方法可以精确地检测标尺13的污染程度。供给至光源64的电流的值基本恒定意味着电流值恒定到如下的程度：从光接收元件66输出的电信号的大小随着标尺13的污染程度增加而减小的关系得以维持。

注意，第一实施例和第二实施例中描述的处理功能可以由计算机实现。在这种情况下，提供用于描述处理装置应该具有的功能的处理内容的程序。通过在计算机上执行程序，在计算机上实现上述处理功能。用于描述处理内容的程序可以记录在计算机可读记录介质中(载波除外)。

当分发程序时，其以诸如DVD(数字多功能光盘)或CD-ROM(光盘只读存储器)等的记录有程序的便携式记录介质的形式出售。还可以将程序存储在服务器计算机的存储装置中，并经由网络将程序从服务器计算机传送到其他计算机。

用于执行程序的计算机将例如记录在便携式记录介质上的程序或从服务器计算机传送的程序存储在计算机自身的存储装置中。然后，计算机从其自身的存储装置中读取程序，并根据程序来执行处理。计算机也可以直接从便携式记录介质读取程序，并根据程序来执行处理。此外，每当从服务器计算机传送程序时，计算机还可以根据所接收到的程序来执行处理。

尽管在第一实施例和第二实施例中描述了一维测量机，但本发明也可以应用于除一维测量机之外的诸如三维测量机等的配备有光电编码器的测量机。

本发明不限于具体公开的实施例和变型，而是可以在不脱离本发明的范围的情况下包括其他实施例和变型。

Claims (11)

1.一种一维测量机，包括：

标尺，其具有刻度；

移动器，其能够沿着所述标尺移动，并且具有光源和光接收元件，所述光源被配置为向所述标尺的刻度发射光，所述光接收元件被配置为接收来自所述光源的已经通过所述标尺的光；

光量信息检测器，用于检测与光的光量有关的信息，其中该光是在所述移动器沿着所述标尺移动的同时从所述光源向所述标尺发射的；以及

污染检测器，用于基于所述光量信息检测器所检测到的与光的光量有关的信息，来检测所述标尺的污染程度。

2.根据权利要求1所述的一维测量机，

其中，所述光量信息检测器获取从光电编码器的控制器供给至所述光源的电流值，并且检测所述电流值的大小作为所述与光的光量有关的信息，其中所述控制器控制所述电流值，使得基于所述光接收元件所接收到的光量的变化而从所述光接收元件输出的电信号的大小变为预定值，以及

其中，所述污染检测器基于所述电流值的大小来检测所述标尺的污染程度。

3.根据权利要求2所述的一维测量机，

其中，与所述电流值的大小较小时相比，在所述电流值的大小较大时，所述污染检测器检测为所述标尺的污染程度更大。

4.根据权利要求1所述的一维测量机，

其中，所述光量信息检测器在供给至所述光源的电流值基本恒定时，检测基于所述光接收元件所接收到的光量的变化而由所述光接收元件输出的电信号的大小作为所述与光的光量有关的信息，以及

其中，所述污染检测器基于所述电信号的大小来检测污染程度。

5.根据权利要求4所述的一维测量机，

其中，与所述电信号的大小较大时相比，在所述电信号的大小较小时，所述污染检测器检测为污染程度更大。

6.根据权利要求1或2所述的一维测量机，还包括：

显示器，其被配置为显示所述标尺的污染程度的信息。

7.根据权利要求6所述的一维测量机，

其中，所述污染检测器根据所述标尺的污染程度使所述显示器显示不同的信息。

8.根据权利要求6所述的一维测量机，

其中，所述污染检测器基于所述与光的光量有关的信息来确定所述标尺的污染程度大的位置，并使所述显示器显示表示所述位置的信息。

9.根据权利要求6所述的一维测量机，

其中，所述污染检测器使所述显示器将表示所述与光的光量有关的信息的图表和与所述标尺的污染程度有关的一个或多于一个阈值一起显示。

10.一种一维测量机的控制方法，

所述一维测量机包括：

标尺，其具有刻度，以及

移动器，其能够沿着所述标尺移动，并且具有光源和光接收元件，所述光源被配置为向所述标尺的刻度发射光，所述光接收元件被配置为接收来自所述光源的已经通过所述标尺的光，

所述控制方法包括：

检测与光的光量有关的信息，其中该光是在所述移动器沿着所述标尺移动的同时从所述光源向所述标尺发射的；以及

基于所检测到的与光的光量有关的信息，来检测所述标尺的污染程度。

11.一种计算机可读存储介质，其存储用于使计算机执行根据权利要求10所述的控制方法的程序。