JP5045599B2 - 多層配線板および半導体デバイス - Google Patents
多層配線板および半導体デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP5045599B2 JP5045599B2 JP2008199221A JP2008199221A JP5045599B2 JP 5045599 B2 JP5045599 B2 JP 5045599B2 JP 2008199221 A JP2008199221 A JP 2008199221A JP 2008199221 A JP2008199221 A JP 2008199221A JP 5045599 B2 JP5045599 B2 JP 5045599B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- wiring board
- multilayer wiring
- layer
- pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1517—Multilayer substrate
- H01L2924/15172—Fan-out arrangement of the internal vias
- H01L2924/15174—Fan-out arrangement of the internal vias in different layers of the multilayer substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
本発明は、多層配線板および半導体デバイスに関するものである。詳しくは、半導体チップを搭載する多層配線板、および、多層配線板に半導体チップが実装された半導体デバイスに関し、さらに詳しくは、高速信号伝送に対応した配線構造を有する多層配線板および半導体デバイスに関するものである。
近年の電子機器の高機能化並びに軽薄短小化の要求に伴い、電子部品の高密度集積化、さらには高密度実装化が進んできており、これらの電子機器に使用される半導体パッケージは、従来にも増して、益々、小型化かつ多ピン化が進んできている。また、電子機器の高機能化に伴い、半導体チップの高クロック周波数化が進んでおり、半導体チップを搭載する回路基板のインピーダンス整合が、益々重要になってきている。
従来の回路基板はプリント配線板と呼ばれ、ガラス繊維の織布にエポキシ樹脂を含浸させた積層板からなるガラスエポキシ板に貼り付けられた銅箔をパターニング後、複数枚重ねて積層接着し、ドリルで貫通穴を開けて、この穴の壁面に、銅めっきを行って、ビアを形成し、層間の電気接続を行った配線基板の使用が主流であった。しかし、搭載部品の小型化、高密度化が進み、上記の配線基板では配線密度が不足して部品の搭載に問題が生じるようになってきている。
このような背景により、近年、ビルドアップ多層配線板が採用されている。ビルドアップ多層配線板は、樹脂のみで構成される絶縁層と導体とを積み重ねながら成形される。ビア形成方法としては、従来のドリル加工に代わって、レーザ法、プラズマ法やフォト法等、多岐にわたり、小径のビアホールを自由に配置することで高密度化を達成するものである。層間接続部としては、ブライドビア(Blind Via)やバリードビア(Buried Via:ビアを導電体で充填した構造)等があり、ビアの上にビアを形成するスタックドビアが可能なバリードビアホールが、特に注目されている。このような多層配線板を用いることにより、多ピンの半導体チップを搭載できるようになってきている(例えば、特許文献1参照。)。
高クロック周波数の半導体チップを実装するための多層配線板においては、インピーダンス整合が非常に重要である。現在では、絶縁層の厚みや誘電率、信号配線の幅や厚み、グランド層および電源層の配置の仕方により、1層分の信号配線においては高精度のインピーダンス整合が実現できている。
一方、ある層の信号配線と他の層の信号配線を電気的に接続するための層間接続部は、その構造からインピーダンス整合が困難であるため、インピーダンス不整合部となる。特に、層間接続部が多くなればなるほど、インピーダンス不整合部が多くなるため、信号配線において高精度のインピーダンス整合を実現しても、全体としては高速信号伝送に適さなくなる。
具体的に、主として、半導体チップおよびそれを実装する多層配線板からなる従来の半導体デバイスを用いて説明する。該多層配線板の配線構造は、主として、インナーパッド、層間接続部である導体ポスト、配線パターンおよびアウターパッドからなり、インナーパッドからアウターパッドまで電気的接続は、インナーパッドから導体ポスト(1)へ、次いで配線パターン(1)へ、次いで次の導体ポスト(2)へ、次いで次の配線パターン(2)へ、次いで次の導体ポスト(3)へ、次いで次の配線パターン(3)へ、次いで次の導体ポスト(4)へ、次いでアウターパッドへと接続されるように、複数層の配線パターンが、それぞれ導体ポストを経由して接続されるのが一般的であった。この場合、複数層の配線パターンにおいて、高精度のインピーダンス整合を実現しても、導体ポストの部分(層間接続部)がインピーダンス不整合部となるため、全体としては、高速伝送に適さなくなる問題があった。これは層間接続部を有する多層配線板であるが故の問題であり、層間接続部のインピーダンス不整合は避けられないのが現状である。
以上のように、多層配線板は半導体チップの多ピン化への対応には適しているが、高クロック周波数化に向けては、層間接続部におけるインピーダンス不整合となる問題が顕在化しつつある。
本発明は、半導体チップを搭載する多層配線板、および、多層配線板に半導体チップが実装された半導体デバイスにおける、インピーダンス整合に関するこのような問題点に鑑み、インピーダンス不整合部の少ない配線構造を有する多層配線板および半導体デバイスを提供することを目的とする。
(1) 一方の面にインナーパッドが形成され、他方の面にアウターパッドが形成され、インナーパッドとアウターパッドとが、配線パターンおよび導体ポストにより電気的に接続された多層配線板であって、クロック配線、および、クロックと同期した信号が流れる信号配線が、次の接続構造からなることを特徴とする多層配線板、
(a)インナーパッドから、1個以上の導体ポスト、1層の配線パターン、1個以上の導体ポストの順に経由して、アウターパッドに接続されている構造、
(b)インナーパッドから、1層の配線パターン、1個以上の導体ポストの順に経由して、アウターパッドに接続されている構造、
(c)インナーパッドから、1個以上の導体ポスト、1層の配線パターンの順に経由して、アウターパッドに接続されている構造、
(2) 前記配線パターンが、マイクロストリップ配線、または、ストリップ配線であることを特徴とする前記(1)項に記載の多層配線板、
(3) アウターパッドが、ボールグリッドアレイ(BGA)構造またはピングリッドアレイ(PGA)構造からなる前記いずれかに記載の多層配線板、
(4) 前記いずれかに記載の多層配線板に、半導体チップがフリップチップ接続により実装されていることを特徴とする半導体デバイス、
である。
本発明において、重要な配線をインピーダンス不整合部の少ない配線構造とすることで、高速信号伝送に適した多層配線板および半導体デバイスを得ることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれによって何ら限定されるものではない。
図1は、本発明による半導体デバイスの構造の一例を示す断面図であり、本発明による多層配線板の構造を示す断面図も含まれている。
半導体デバイス150は、主として、半導体チップ101およびそれを実装する多層配線板110からなる。半導体チップ101と多層配線板110とは、バンプ102により、フリップチップ接続され、バンプ102はアンダーフィル103により封止されることにより保護されている。多層配線板110の配線構造は、主として、インナーパッド104、層間接続部である導体ポスト106、配線パターン105、アウターパッド107、および、それらを絶縁するための絶縁層109からなる。多層配線板110の半導体チップ101実装面と反対側の面にはマザーボード(図示せず)との接続に必要な半田ボール108が実装されており、いわゆるBGA構造となっている。あるいは、マザーボードにソケットが実装されている場合には、半田ボール108の代わりに、ピン(図示せず)を設けて実装することも可能であり、いわゆるPGA構造とすることも可能である。
続いて、多層配線板110の配線構造について説明する。図1に示された多層配線板110の一番左の配線構造においては、インナーパッド104からアウターパッド107までは、「1個の導体ポスト120a⇒1層の配線パターン120b⇒3個の導体ポスト120c」と接続されている。また、左から2番目の配線構造においては、「2個の導体ポスト121a⇒1層の配線パターン121b⇒2個の導体ポスト121c」と接続されている。すなわち、これらの配線構造は「1個以上の導体ポスト⇒1層の配線パターン⇒1個以上の導体ポスト」と接続されていることになる。
インピーダンス不整合は、主として、導体ポストで生じるため、導体ポストが連続で接続されることで、インピーダンス不整合部の数を減らすことができる。言い換えると、複数層の配線パターンがそれぞれ導体ポストで電気接続された従来の配線構造においては、インピーダンス不整合部は導体ポスト形成箇所の数だけ、即ち導体ポストが形成される各絶縁層に、それぞれ少なくとも1個以上あったのに対して、図1に示すような本発明による配線構造においては、インピーダンス不整合部は半導体チップ101に近い側の「1個以上の導体ポスト」と、アウターパッドに近い側の「1個以上の導体ポスト」の2箇所である。したがって、本発明の多層配線板は、高速信号伝送に適した配線構造を有することになる。
ここで、1層分の配線パターンについては、上下の層が電源層またはグランド層に囲ま
れたストリップ配線、あるいは、上下いずれかの層が電源層またはグランド層であるマイクロストリップ配線であることが好ましい。そのような配線とすることで、インピーダンスが確実に制御されるため、高速信号を伝送するのに好適である。
なお、本発明において、「1個以上の導体ポスト」とは、上記3個の導体ポスト120cを例に説明すると、3個の導体ポストと2個の中間パッド105a、105bを含んだ部分を示している。すなわち、導体ポストと導体ポストを接続する中間パッドも含めて考えることとする。ただし、多層配線板において、中間パッドを省いた配線構造を実現できるのであれば、その限りではない。
図2は、本発明による半導体デバイスの構造の他の例を示す断面図であり、本発明による多層配線板の構造を示す断面図も含まれている。図2における半導体デバイスの構成は、第1のものと同様であるため説明を省略する。ただし、多層配線板における配線構造が異なるため、その部分についてのみ説明する。
まず、図2に示された多層配線板210の一番左の配線構造であるが、インナーパッド204からアウターパッド207までは「1層の配線パターン220a⇒4個の導体ポスト220b」と接続されている。すなわち、この配線構造は「1層の配線パターン⇒1個以上の導体ポスト」と接続されていることになる。また、左から2番目の配線構造においては、「4個の導体ポスト221a⇒1層の配線パターン221b」と接続されている。すなわち、この配線構造は「1個以上の導体ポスト⇒1層の配線パターン」と接続されていることになる。
図2に示すような本発明による配線構造においては、インピーダンス不整合部は半導体チップ201に近い側の「1個以上の導体ポスト」、または、アウターパッドに近い側の「1個以上の導体ポスト」のいずれか1箇所である。したがって、本発明の多層配線板は、高速信号伝送に適した配線構造を有することになる。
ここで、1層分の配線パターンについては、上下いずれかの層が電源層またはグランド層であるマイクロストリップ配線であることが好ましい。そのような配線とすることで、インピーダンスが確実に制御されるため、高速信号を伝送するのに好適である。
一般的に、半導体チップ101を駆動する場合には、クロック信号を用い、それに同期して信号を入出力することが多い。多層配線板110の重要な特性の一つとして、クロック信号、および、クロックと同期した信号を確実に伝送することが挙げられる。それを実現するには高速信号伝送に適した配線構造を適用することが得策である。したがって、少なくとも、クロック配線、および、クロックと同期した信号が流れる信号配線を、本発明による配線構造とすることが好ましい。上述の信号配線以外の信号配線においても、同様な構造とすることが好ましいが、高速伝送が不要な場合にはその限りではない。
なお、これまでの説明においては、半導体チップをフリップチップ接続する例について言及したが、本発明の多層配線板を、それ以外の接続方式に用いても構わない。他の例としては、半導体チップをフェイスアップで搭載し、ワイヤーボンド接続する方式などが挙
げられる。半導体チップと多層配線板を接続するバンプにおいても、はんだバンプや、スタッドバンプ(金バンプ)、導電性ペーストによるものなど、各種各様の接続形態が挙げられる。
101、201:半導体チップ
102、202:バンプ
103、203:アンダーフィル
104、204:インナーパッド
105、205:配線パターン
105a、105b、205a、205b、205c:中間パッド
106、206:導体ポスト
107、207:アウターパッド
108、208:半田ボール
109、209:絶縁層
110、210:多層配線板
120a、120c、121a、121c、220b、221a:1個以上の導体ポスト120b、121b、220a、221b:1層の配線パターン
150、250:半導体デバイス
Claims (4)
- 一方の面にインナーパッドが形成され、他方の面にアウターパッドが形成され、インナーパッドとアウターパッドとが、配線パターンおよび導体ポストにより電気的に接続された多層配線板であって、クロック配線、および、クロックと同期した信号が流れる信号配線が、次の接続構造からなることを特徴とする多層配線板。
(a)インナーパッドから、1個以上の導体ポスト、1層の配線パターン、1個以上の導体ポストの順に経由して、アウターパッドに接続されている構造。
(b)インナーパッドから、1層の配線パターン、1個以上の導体ポストの順に経由して、アウターパッドに接続されている構造。
(c)インナーパッドから、1個以上の導体ポスト、1層の配線パターンの順に経由して、アウターパッドに接続されている構造。 - 前記配線パターンが、マイクロストリップ配線、または、ストリップ配線であることを特徴とする請求項1記載の多層配線板。
- アウターパッドが、ボールグリッドアレイ構造またはピングリッドアレイ構造からなる請求項1または2に記載の多層配線板。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の多層配線板に、半導体チップがフリップチップ接続により実装されていることを特徴とする半導体デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008199221A JP5045599B2 (ja) | 2002-01-23 | 2008-08-01 | 多層配線板および半導体デバイス |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002014838 | 2002-01-23 | ||
JP2002014838 | 2002-01-23 | ||
JP2008199221A JP5045599B2 (ja) | 2002-01-23 | 2008-08-01 | 多層配線板および半導体デバイス |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003001575A Division JP2003289121A (ja) | 2002-01-23 | 2003-01-07 | 多層配線板および半導体デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008263239A JP2008263239A (ja) | 2008-10-30 |
JP5045599B2 true JP5045599B2 (ja) | 2012-10-10 |
Family
ID=39985436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008199221A Expired - Fee Related JP5045599B2 (ja) | 2002-01-23 | 2008-08-01 | 多層配線板および半導体デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5045599B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014027212A (ja) * | 2012-07-30 | 2014-02-06 | Ibiden Co Ltd | プリント配線板 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4204150B2 (ja) * | 1998-10-16 | 2009-01-07 | パナソニック株式会社 | 多層回路基板 |
JP2001217356A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-08-10 | Ibiden Co Ltd | 多層回路基板および半導体装置 |
JP3457599B2 (ja) * | 1999-12-07 | 2003-10-20 | 松下電器産業株式会社 | 半導体装置 |
-
2008
- 2008-08-01 JP JP2008199221A patent/JP5045599B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008263239A (ja) | 2008-10-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6461895B1 (en) | Process for making active interposer for high performance packaging applications | |
US6835597B2 (en) | Semiconductor package | |
US7586188B2 (en) | Chip package and coreless package substrate thereof | |
US8381394B2 (en) | Circuit board with embedded component and method of manufacturing same | |
US20150156880A1 (en) | Printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board | |
US20070273026A1 (en) | Semiconductor package substrate | |
JP2005515611A (ja) | インターポーザを有する高性能低コスト超小型回路パッケージ | |
KR20150025449A (ko) | 전자부품 내장기판 | |
US7351916B2 (en) | Thin circuit board | |
JP2005191518A (ja) | 斜行バイアが形成された印刷回路基板およびパッケージ | |
JP2009200189A (ja) | 電子部品搭載型半導体チップ | |
US6423622B1 (en) | Lead-bond type chip package and manufacturing method thereof | |
US6538213B1 (en) | High density design for organic chip carriers | |
KR102134933B1 (ko) | 배선 기판 및 배선 기판의 제조 방법 | |
KR20140143567A (ko) | 반도체 패키지 기판 및 반도체 패키지 기판 제조 방법 | |
US8022513B2 (en) | Packaging substrate structure with electronic components embedded in a cavity of a metal block and method for fabricating the same | |
KR101109261B1 (ko) | 인쇄회로기판 및 그 제조방법 | |
US20110147058A1 (en) | Electronic device and method of manufacturing electronic device | |
KR20100082551A (ko) | 인터포저 및 집적회로 칩 내장 인쇄회로기판 | |
US7342317B2 (en) | Low coefficient of thermal expansion build-up layer packaging and method thereof | |
KR20150065029A (ko) | 인쇄회로기판, 그 제조방법 및 반도체 패키지 | |
JP5045599B2 (ja) | 多層配線板および半導体デバイス | |
JP2007305692A (ja) | 電子部品及びその製造方法並びに電子部品内蔵基板及びその製造方法 | |
US8063481B2 (en) | High-speed memory package | |
US7061084B2 (en) | Lead-bond type chip package and manufacturing method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080829 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120619 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120702 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150727 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |