JP5041732B2 - 発光体及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本例の発光体の製造方法は、反射防止構造の元になる凹凸パターン9が形成された犠牲層8を利用するので、透光性保護層3に対する反射防止構造5の形成及び半導体発光素子2と透光性保護層3との間における中空層4の形成を容易に行うことができる。また、ウェーハ段階で一連の工程を実施するので、各部の形成を高能率に行うことができる。よって、反射防止構造を有しない半導体発光素子2を用いて、所要の発光体1Aを容易かつ高能率に製造することができる。
2 半導体発光素子
3 透光性保護層
4 中空層
5,6,7 反射防止構造
5a,6a,7a 突起部
8 犠牲層
9 凹凸パターン
10 ピラー形成用孔
Claims (6)
- 半導体発光素子と、当該半導体発光素子の光取り出し面側に配置された透光性保護層と、これら半導体発光素子と透光性保護層との間に設けられた中空層とを有し、
前記透光性保護層には、先端部が前記半導体発光素子の表面に突き当てられた支持用のピラーが一体に設けられており、
前記透光性保護層の、前記中空層を介して前記半導体発光素子の光取り出し面と対向する面に、前記半導体発光素子から放射される光の波長以下の周期で面方向に配列された複数の突起物の集合からなる反射防止構造を形成したことを特徴とする発光体。 - 半導体発光素子と、当該半導体発光素子の光取り出し面側に配置された透光性保護層と、これら半導体発光素子と透光性保護層との間に設けられた中空層とを有し、
前記透光性保護層には、先端部が前記半導体発光素子の表面に突き当てられた支持用のピラーが一体に設けられており、
前記半導体発光素子の光取り出し面上、及び前記透光性保護層の、前記中空層を介して前記半導体発光素子の光取り出し面と対向する面の双方に、前記半導体発光素子から放射される光の波長以下の周期で面方向に配列された複数の突起物の集合からなる反射防止構造を形成したことを特徴とする発光体。 - 前記中空層内に空気又は窒素ガスが封入されており、前記透光性保護層を前記中空層内の基体よりも屈折率が大きい材料で形成したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の発光体。
- 所要の半導体プロセスを経て作製された半導体発光素子を用意する工程と、
当該半導体発光素子の光取り出し面上に、後の工程で除去される犠牲層を形成する工程と、
当該犠牲層の外面に前記半導体発光素子から放射される光の波長以下の周期で面方向に配列された複数の突起物の集合からなる凹凸パターンを形成する工程と、
当該凹凸パターンが形成された前記犠牲層の外面に透光性保護層を形成し、当該透光性保護層の前記犠牲層と接する面に前記凹凸パターンとは凹凸の向きが逆になった反射防止構造を転写する工程と、
前記犠牲層をエッチングによって除去し、前記犠牲層が除去された部分に中空層を形成する工程
とを含むことを特徴とする発光体の製造方法。 - 所要の半導体プロセスを経て半導体発光素子が作製され、かつ当該半導体発光素子の光取り出し面に前記半導体発光素子から放射される光の波長以下の周期で面方向に配列された複数の突起物の集合からなる第1反射防止構造が形成された反射防止構造付き半導体発光素子を用意する工程と、
前記反射防止構造付き半導体発光素子の第1反射防止構造形成面上に、後の工程で除去される犠牲層を形成し、当該犠牲層の前記第1反射防止構造と接する面及びその反対側の面に前記第1反射防止構造を転写する工程と、
当該第1反射防止構造が転写された前記犠牲層の外面に透光性保護層を形成し、当該透光性保護層の前記犠牲層と接する面に前記第1反射防止構造とは凹凸の向きが逆になった第2反射防止構造を転写する工程と、
前記犠牲層をエッチングによって除去し、前記犠牲層が除去された部分に中空層を形成する工程
とを含むことを特徴とする発光体の製造方法。 - 前記犠牲層を形成する工程、前記透光性保護層を形成する工程及び前記中空層を形成する工程のそれぞれをウェーハ段階で行い、これらの各工程が完了した後にウェーハを切断して所要の発光体を得ることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の発光体の製造方法。
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