JP5039487B2 - 金属蒸着装置および同装置における粉体状担体の撹拌方法 - Google Patents
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Description
このような金属蒸着装置は、衝突検知センサによって容器が所定角度に傾斜したことを検知すると共に、容器が衝突部材に衝突することにより受ける衝撃によって、傾斜した容器の底面上での粉体状担体の滑落を助長する。
このような金属蒸着装置は、容器が所定角度の傾斜位置から水平な状態とされて、容器の傾斜により一方の端部の方へ滑落している粉体状担体を容器の中央側へ跳ね戻させる撹拌を強化する。
このような金属蒸着装置は、容器が傾斜されて底面上を滑落する粉体状担体が桟を乗り越えることによって、粉体状担体の撹拌を助長し、かつ桟が障害となって粉体状担体の一部の滑落が阻止されることを回避し得る。
後に、水平な状態とした容器内の粉体状担体へ所定回数の真空アーク放電によって金属を蒸着するような金属の蒸着と粉体状担体の撹拌とを繰り返してもよい。何れにしても、粉体状担体へ金属ナノ粒子を均等に担持させるという立場からは、粉体状担体を十分に均等に撹拌し得るように、揺動は左右の方向へ交互に行なうことが好ましい。
A:比較のために示す蒸着前の粉体状アルミナAであり、純白な粉体である。
B:本発明の金属蒸着装置を使用した実施例によって得られた担持品である。アーク放電のトータル回数は20000回である。担持品はややクリーム色であり、さらさらしている。
C:図7に示す従来の金属蒸着装置による担持品である。容器31を10rpmで連続的に回転させたものであり、アーク放電のトータル回数は20000回である。坦持品は灰色を呈しており、凝集した状態となっている。なお、白金の蒸着を行なわず、粉状アルミナAを存在させた状態で容器31を回転させるだけでも、粉体状アルミナA は灰色を呈し凝集した状態となった。
D:従来の金属蒸着装置による担持品であり、容器31を100rpmで連続的に回転させて7300回のアーク放電を行なったものである。灰色で凝集した状態となった。
E:従来の金属蒸着装置による担持品であり、容器31を100rpmで連続的に回転させて3000回の真空アーク放電を行なったものである。灰色で凝集した状態となった。
11・・・真空チャンバ、 21・・・同軸型真空アーク蒸発源、
31・・・容器、 32・・・回転駆動源、
33・・・回転軸、 36・・・固定羽根、
41・・・容器、 42・・・容器の底面、
43・・・断面が山型の桟、 45・・・揺動軸、
47・・・衝突部材を兼ねる衝突検知センサ、
A・・・・粉体状アルミナ、
Claims (3)
- 真空チャンバと、蒸着材料であり触媒活性を有する金属を成分とするカソード電極、トリガ電極、アノード電極、トリガ電源、およびアーク発生用電源を備えた同軸型真空アーク蒸発源と、前記同軸型真空アーク蒸発源と対向して前記真空チャンバ内に配置され被蒸着体である粉体状担体を収容する皿状の容器と、前記粉体状担体を撹拌する撹拌手段とを備えた金属蒸着装置であって、
前記撹拌手段は前記容器に設けられた揺動軸の回りに前記容器を水平な状態から第1の方向および前記第1の方向とは逆の第2の方向へ揺動させる揺動機構と、前記容器が水平な状態から前記第1の方向へ所定角度の傾斜をしたことを検知する第1のセンサと、前記容器が水平な状態から前記第2の方向へ所定角度の傾斜をしたことを検知する第2のセンサとを有しており、
前記第1のセンサおよび前記第2のセンサが前記容器の両端部の何れかの衝突を検知する衝突検知センサであり、前記容器の衝突部材であることを兼ね、
前記揺動機構は前記第1のセンサまたは前記第2のセンサからの検知信号に基づいて直ちに揺動の方向を逆にして前記容器を水平な状態にすると共に、前記第1の方向または前記第2の方向への揺動によって傾斜された前記容器の底面上で一方の端部の方へ滑落している前記粉体状担体を前記容器の中央側へ跳ね戻して撹拌し、
前記容器が水平な状態から前記第1の方向または前記第2の方向へ揺動される揺動速度に比して、前記容器が前記所定角度に傾斜したことを前記第1のセンサまたは前記第2のセンサによって検知されて水平な状態とされる速度が高速とされることを特徴とする金属蒸着装置。 - 前記容器の底面上に前記揺動軸と平行に、長さ方向と直角な方向の断面が山型とされた複数本の桟が設けられている請求項1から請求項3までの何れかの1項に記載の金属蒸着装置。
- 真空チャンバと、蒸着材料であり触媒活性を有する金属を成分とするカソード電極、トリガ電極、アノード電極、トリガ電源、およびアーク発生用電源を備えた同軸型真空アーク蒸発源と、前記同軸型真空アーク蒸発源と対向して前記真空チャンバ内の底部に配置され被蒸着体である粉体状担体を収容する皿状の容器と、前記粉体状担体を撹拌する撹拌手段とを備えた金属蒸着装置における前記容器内の粉体状担体の撹拌方法であって、
前記容器を水平な状態としての所定回数の真空アーク放電による前記粉体状担体への前記金属の蒸着と間欠的な次の同様な蒸着との間において、前記容器に設けた揺動軸によって前記容器を水平な状態から前記揺動軸の回りに第1の方向または前記第1の方向と逆の第2の方向へ揺動させることにより傾斜する前記容器の底面上で前記粉体状担体を一方の端部の方へ滑落させ、かつ前記容器が所定角度に傾斜されたことをセンサが検知すると直ちに揺動の方向を逆にして前記容器を水平な状態にすると共に、前記一方の端部の方へ滑落している前記粉体状担体を前記容器の中央側へ跳ね戻し、
前記容器が水平な状態から前記第1の方向または前記第2の方向へ揺動される揺動速度に比して、前記容器が前記所定角度に傾斜したことを前記第1のセンサまたは前記第2のセンサによって検知されて水平な状態とされる速度を高速とすることを特徴とする粉体状担体の撹拌方法。
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