JP5035300B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5035300B2 JP5035300B2 JP2009142120A JP2009142120A JP5035300B2 JP 5035300 B2 JP5035300 B2 JP 5035300B2 JP 2009142120 A JP2009142120 A JP 2009142120A JP 2009142120 A JP2009142120 A JP 2009142120A JP 5035300 B2 JP5035300 B2 JP 5035300B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trench
- etching
- protective film
- film forming
- trenches
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
本発明の第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態にかかる半導体装置の製造方法におけるトレンチ形成工程に用いられるドライエッチング装置1の断面模式図である。
TEa=TE−Tapoly−Taox
TEb=TE−Tbpoly−Tbox
そして、Tapoly<Tbpoyであり、Taox≒Tboxであるため、TEa>TEbとなる。
D=N・Ra・TEa(=N・Ra・(TE−Tapoly))
このため、ポリマー系保護膜形成ステップの時間TDを固定しておき、実験的にポリマー系保護膜形成ステップとエッチングステップをN回繰り返し、トレンチAの深さをグラフ化する。このようにすれば、そのグラフの傾きからエッチングレートRaを求めることができ、X軸との交点から時間Tapolyを求めることができる。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、保護膜形成ステップの方法を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
Ra・{N(TE−Tapoly)−Taox}≧Rb・{N(TE−Tbpoly)−Tbox}
このように、1回の酸化膜形成ステップに対して複数回のデポ/エッチングサイクルを挿入するようにしても、デポ/エッチングサイクルにおいて残存したポリマー系保護膜を酸化膜形成ステップでのO2プラズマ照射によって除去できる。このようにすれば、酸化膜形成ステップの回数を減らせる分、スループット向上を図ることが可能となる。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、保護膜形成ステップやエッチングステップの方法を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態も、第3実施形態と同様、第1実施形態に対して、保護膜形成ステップやエッチングステップの方法を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態も、第1実施形態に対して、保護膜形成ステップやエッチングステップの方法を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
(δb1+δb2)−(δa1+δa2)≦0
そして、第1実施形態で説明した手法により(図4参照)、Tapoly、Tbpoly、Taox、Tbox、Ra、Rbを算出できるため、これらに基づいて時間TE1、TE2、TD、Toxを決定することができる。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態は、第1、第5実施形態に対して、正常サイクルのエッチングステップを組み合わせたものである。その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
(1)上記第1〜第5実施形態では、トレンチAの底面のエッチング量がトレンチBの底面のエッチング量よりも多くなるような逆転サイクルを行っており、第6実施形態では、逆転サイクルと正常サイクルを繰り返したトータル的に逆転サイクルとなるようにしている。このような逆転サイクルとなるトレンチ形成工程のみを複数回繰り返し実行しても良いが、正常サイクルと組み合わせて、最終的にトレンチA、Bの深さを揃えるようにしても良い。
2 シリコン基板
3 台座
4 真空チャンバ
5 真空ポンプ
6 圧力調整バルブ
7a〜7d ガス導入孔
8、9 RF電源
10 保護膜
10a SiO2膜
10b ポリマー系保護膜
11 マスク
A、B トレンチ
Claims (11)
- 真空チャンバ(4)内にシリコン層を含む基板(2)を設置し、前記シリコン層の上に形成されたマスク(11)の開口部によって規定された第1幅とされる第1トレンチ(A)と該第1トレンチ(A)よりも幅広な第2幅とされる第2トレンチ(B)を同時に形成するトレンチ形成工程を含み、該トレンチ形成工程を前記真空チャンバ(4)内に複数種類のガスを切替えながら導入すると共にプラズマ化し、前記第1、第2トレンチ(A、B)の側壁および底面に保護膜(10)を成膜する保護膜形成ステップと前記保護膜のうち前記第1、第2トレンチ(A、B)の底面に形成された部分を除去して前記シリコン層を露出させ、前記第1、第2トレンチ(A、B)をエッチングにより深くするエッチングステップとを繰り返しながら行う半導体装置の製造方法であって、
前記トレンチ形成工程は、
前記保護膜形成ステップとして、前記複数種類のガスの1つとして酸素を含むガスを導入しながらプラズマ化し、O2プラズマ照射を行うことで前記第1、第2トレンチ(A、B)内に酸化膜(10a)を形成する酸化膜形成ステップと、前記複数種類のガスの1つとしてポリマー系保護膜形成用のガスを導入しながらプラズマ化し、堆積させることで前記第1、第2トレンチ(A、B)内に前記ポリマー系保護膜(10b)を形成するポリマー系保護膜形成ステップとを行い、
前記ポリマー系保護膜形成ステップおよび前記エッチングステップを1サイクルとして、前記酸化膜形成ステップを1回行ったのち前記ポリマー系保護膜形成ステップおよび前記エッチングステップを行うサイクルをNサイクル(N≧1)行い、前記Nサイクルの間に行われる前記第1トレンチ(A)の底面からのエッチング量をδda、前記第2トレンチ(B)の底面からのエッチング量をδdbとすると、δda≧δdbとなる範囲内で前記エッチングステップの時間TEとサイクル数Nを設定して前記エッチングを行うことで、幅狭の前記第1トレンチ(A)の方が幅広の前記第2トレンチ(B)よりも底面のエッチング量を多する逆転サイクルを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記トレンチ形成工程では、前記酸化膜(10a)のうち前記第1、第2トレンチ(A、B)の底面上の部分を前記エッチングステップによって除去するのに掛かる時間をTaox、Tbox、前記ポリマー系保護膜(10b)のうち前記第1、第2トレンチ(A、B)の底面上の部分を前記エッチングステップによって除去するのに掛かる時間をTapoly、Tbpoly、前記エッチングステップによる前記第1、第2トレンチ(A、B)の底面からのエッチングレートをRa、Rbとして、前記エッチングステップの時間TEおよび前記ポリマー系保護膜形成ステップおよび前記エッチングステップを行うサイクル数Nを、
Ra・{N(TE−Tapoly)−Taox}≧Rb・{N(TE−Tbpoly)−Tbox}
となる範囲内で設定することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記トレンチ形成工程では、(N−1)サイクル目までは前記第1、第2トレンチ(A、B)の底面において前記酸化膜(10a)が残り、Nサイクル目で前記第1、第2トレンチ(A、B)の底面において前記酸化膜(10a)が除去され、前記第1、第2トレンチ(A、B)の底面からのエッチングを行うことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 真空チャンバ(4)内にシリコン層を含む基板(2)を設置し、前記シリコン層の上に形成されたマスク(11)の開口部によって規定された第1幅とされる第1トレンチ(A)と該第1トレンチ(A)よりも幅広な第2幅とされる第2トレンチ(B)を同時に形成するトレンチ形成工程を含み、該トレンチ形成工程を前記真空チャンバ(4)内に複数種類のガスを切替えながら導入すると共にプラズマ化し、前記第1、第2トレンチ(A、B)の側壁および底面に保護膜(10)を成膜する保護膜形成ステップと前記保護膜のうち前記第1、第2トレンチ(A、B)の底面に形成された部分を除去して前記シリコン層を露出させ、前記第1、第2トレンチ(A、B)をエッチングにより深くするエッチングステップとを繰り返しながら行う半導体装置の製造方法であって、
前記トレンチ形成工程は、
前記保護膜形成ステップとして、前記複数種類のガスの1つとして酸素を含むガスを導入しながらプラズマ化し、O2プラズマ照射を行うことで前記第1、第2トレンチ(A、B)内に酸化膜(10a)を形成する酸化膜形成ステップと、前記複数種類のガスの1つとしてポリマー系保護膜形成用のガスを導入しながらプラズマ化し、堆積させることで前記第1、第2トレンチ(A、B)内に前記ポリマー系保護膜(10b)を形成するポリマー系保護膜形成ステップとを行い、
前記ポリマー系保護膜形成ステップを行った後、前記酸素を含むガスとエッチング用ガスを同時に前記真空チャンバ(4)内に導入することで前記保護膜形成ステップのうちの前記酸化膜形成ステップと前記エッチングステップを同時に行い、
前記第1トレンチ(A)の底面からのエッチング量をδda、前記第2トレンチ(B)の底面からのエッチング量をδdbとすると、δda≧δdbとなる範囲内で前記エッチングステップの時間TEを設定して前記エッチングを行うことで、幅狭の前記第1トレンチ(A)の方が幅広の前記第2トレンチ(B)よりも底面のエッチング量を多する逆転サイクルを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 真空チャンバ(4)内にシリコン層を含む基板(2)を設置し、前記シリコン層の上に形成されたマスク(11)の開口部によって規定された第1幅とされる第1トレンチ(A)と該第1トレンチ(A)よりも幅広な第2幅とされる第2トレンチ(B)を同時に形成するトレンチ形成工程を含み、該トレンチ形成工程を前記真空チャンバ(4)内に複数種類のガスを切替えながら導入すると共にプラズマ化し、前記第1、第2トレンチ(A、B)の側壁および底面に保護膜(10)を成膜する保護膜形成ステップと前記保護膜のうち前記第1、第2トレンチ(A、B)の底面に形成された部分を除去して前記シリコン層を露出させ、前記第1、第2トレンチ(A、B)をエッチングにより深くするエッチングステップとを繰り返しながら行う半導体装置の製造方法であって、
前記トレンチ形成工程は、
前記保護膜形成ステップとして、前記複数種類のガスの1つとして酸素を含むガスを導入しながらプラズマ化し、O2プラズマ照射を行うことで前記第1、第2トレンチ(A、B)内に酸化膜(10a)を形成する酸化膜形成ステップと、前記複数種類のガスの1つとしてポリマー系保護膜形成用のガスを導入しながらプラズマ化し、堆積させることで前記第1、第2トレンチ(A、B)内に前記ポリマー系保護膜(10b)を形成するポリマー系保護膜形成ステップとを行い、
前記ポリマー系保護膜形成用のガスとエッチング用ガスを同時に前記真空チャンバ(4)内に導入することで前記保護膜形成ステップのうちの前記ポリマー系保護膜形成ステップと前記エッチングステップを同時に行ったのち、前記酸化膜形成ステップを行い、
前記第1トレンチ(A)の底面からのエッチング量をδda、前記第2トレンチ(B)の底面からのエッチング量をδdbとすると、δda≧δdbとなる範囲内で前記エッチングステップの時間TEを設定して前記エッチングを行うことで、幅狭の前記第1トレンチ(A)の方が幅広の前記第2トレンチ(B)よりも底面のエッチング量を多する逆転サイクルを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 真空チャンバ(4)内にシリコン層を含む基板(2)を設置し、前記シリコン層の上に形成されたマスク(11)の開口部によって規定された第1幅とされる第1トレンチ(A)と該第1トレンチ(A)よりも幅広な第2幅とされる第2トレンチ(B)を同時に形成するトレンチ形成工程を含み、該トレンチ形成工程を前記真空チャンバ(4)内に複数種類のガスを切替えながら導入すると共にプラズマ化し、前記第1、第2トレンチ(A、B)の側壁および底面に保護膜(10)を成膜する保護膜形成ステップと前記保護膜のうち前記第1、第2トレンチ(A、B)の底面に形成された部分を除去して前記シリコン層を露出させ、前記第1、第2トレンチ(A、B)をエッチングにより深くするエッチングステップとを繰り返しながら行う半導体装置の製造方法であって、
前記トレンチ形成工程は、
前記保護膜形成ステップとして、前記複数種類のガスの1つとして酸素を含むガスを導入しながらプラズマ化し、O2プラズマ照射を行うことで前記第1、第2トレンチ(A、B)内に酸化膜(10a)を形成する酸化膜形成ステップと、前記複数種類のガスの1つとしてポリマー系保護膜形成用のガスを導入しながらプラズマ化し、堆積させることで前記第1、第2トレンチ(A、B)内に前記ポリマー系保護膜(10b)を形成するポリマー系保護膜形成ステップとを行い、
前記ポリマー系保護膜形成ステップと前記エッチングステップを順に行ったのち、前記酸化膜形成ステップと前記エッチングステップを順に行うという組み合わせを1サイクルとし、このサイクルを繰り返し行い、
前記ポリマー系保護膜形成ステップの後で行う1度目の前記エッチングステップと前記酸化膜形成ステップの後で行う2度目の前記エッチングステップにおける前記第1トレンチ(A)の底面からのトータルのエッチング量をδdaとすると共に前記第2トレンチ(B)の底面からのトータルのエッチング量をδdbとすると、δda≧δdbとなる範囲内で1度目および2度目の前記エッチングステップの時間TE1、TE2を設定して前記エッチングを行うことで、幅狭の前記第1トレンチ(A)の方が幅広の前記第2トレンチ(B)よりも底面のエッチング量を多する逆転サイクルを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記トレンチ形成工程は、前記第1トレンチ(A)の底面からのエッチング量よりも前記第2トレンチ(B)の底面からのエッチング量が多くなる正常サイクルを含み、前記正常サイクルと前記逆転サイクルとを組み合わせて、前記第1、第2トレンチ(A、B)を所定深さにおいて揃えることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 真空チャンバ(4)内にシリコン層を含む基板(2)を設置し、前記シリコン層の上に形成されたマスク(11)の開口部によって規定された第1幅とされる第1トレンチ(A)と該第1トレンチ(A)よりも幅広な第2幅とされる第2トレンチ(B)を同時に形成するトレンチ形成工程を含み、該トレンチ形成工程を前記真空チャンバ(4)内に複数種類のガスを切替えながら導入すると共にプラズマ化し、前記第1、第2トレンチ(A、B)の側壁および底面に保護膜(10)を成膜する保護膜形成ステップと前記保護膜のうち前記第1、第2トレンチ(A、B)の底面に形成された部分を除去して前記シリコン層を露出させ、前記第1、第2トレンチ(A、B)をエッチングにより深くするエッチングステップとを繰り返しながら行う半導体装置の製造方法であって、
前記トレンチ形成工程は、
前記保護膜形成ステップとして、前記複数種類のガスの1つとして酸素を含むガスを導入しながらプラズマ化し、O2プラズマ照射を行うことで前記第1、第2トレンチ(A、B)内に酸化膜(10a)を形成する酸化膜形成ステップと、前記複数種類のガスの1つとしてポリマー系保護膜形成用のガスを導入しながらプラズマ化し、堆積させることで前記第1、第2トレンチ(A、B)内に前記ポリマー系保護膜(10b)を形成するポリマー系保護膜形成ステップとを含み、
前記ポリマー系保護膜形成ステップおよび前記エッチングステップを順に行い、前記エッチングステップにおいて前記第1トレンチ(A)の底面からのエッチング量をδda、前記第2トレンチ(B)の底面からのエッチング量をδdbとすると、δda≧δdbとなる範囲内で前記エッチングステップの時間TE1を設定して前記エッチングを行うことで、幅狭の前記第1トレンチ(A)の方が幅広の前記第2トレンチ(B)よりも底面のエッチング量を多する逆転サイクルと、δda<δdbとなる範囲で前記エッチングステップの時間TE2を設定して前記エッチングを行う正常サイクルとを順に行うことを1サイクルとし、該サイクルのトータルとしてδda≧δdbとなる範囲内で前記逆転サイクルおよび前記正常サイクルにおける前記エッチングステップの時間TE1、TE2を設定して該サイクルを1回もしくは複数回行い、その後、前記酸化膜形成ステップを行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ポリマー系保護膜形成ステップで形成される前記ポリマー系保護膜(10b)として、前記酸化膜形成ステップで生成されるO2プラズマにより分解除去される材質を用いることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ポリマー系保護膜形成ステップでは、前記ポリマー系保護膜形成用ガスとしてC4F8を含むガス用いることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記エッチングステップでは、エッチング用ガスとしてSF6を含むガスを用いることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009142120A JP5035300B2 (ja) | 2009-06-15 | 2009-06-15 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009142120A JP5035300B2 (ja) | 2009-06-15 | 2009-06-15 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010287823A JP2010287823A (ja) | 2010-12-24 |
JP5035300B2 true JP5035300B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=43543282
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009142120A Active JP5035300B2 (ja) | 2009-06-15 | 2009-06-15 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5035300B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5223878B2 (ja) | 2010-03-30 | 2013-06-26 | 株式会社デンソー | 半導体装置の製造方法 |
JP5981106B2 (ja) * | 2011-07-12 | 2016-08-31 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング方法 |
JP2013084695A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Tokyo Electron Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP6486137B2 (ja) | 2015-02-16 | 2019-03-20 | キヤノン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2020122740A (ja) | 2019-01-31 | 2020-08-13 | セイコーエプソン株式会社 | 構造体形成方法およびデバイス |
JP7000568B2 (ja) * | 2019-06-21 | 2022-01-19 | 株式会社日立ハイテク | プラズマ処理方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3774115B2 (ja) * | 2000-11-21 | 2006-05-10 | 住友精密工業株式会社 | シリコンの異方性エッチング方法及び装置 |
JP2007184356A (ja) * | 2006-01-05 | 2007-07-19 | Oki Electric Ind Co Ltd | エッチング方法 |
US7368394B2 (en) * | 2006-02-27 | 2008-05-06 | Applied Materials, Inc. | Etch methods to form anisotropic features for high aspect ratio applications |
US20070202700A1 (en) * | 2006-02-27 | 2007-08-30 | Applied Materials, Inc. | Etch methods to form anisotropic features for high aspect ratio applications |
JP5206311B2 (ja) * | 2008-10-24 | 2013-06-12 | 株式会社デンソー | 半導体装置の製造方法 |
-
2009
- 2009-06-15 JP JP2009142120A patent/JP5035300B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010287823A (ja) | 2010-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20200116855A (ko) | 반도체 소자를 제조하는 방법 | |
JP5035300B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US8252691B2 (en) | Method of forming semiconductor patterns | |
JP5223878B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
TWI520209B (zh) | A manufacturing method of a silicon structure, a manufacturing apparatus for a silicon structure, and a manufacturing of a silicon structure Program | |
JP2010245101A (ja) | ドライエッチング方法 | |
US11398386B2 (en) | Plasma etch processes | |
KR20110011571A (ko) | 마이크로-로딩을 저감시키기 위한 플라즈마 에칭 방법 | |
US8828882B2 (en) | Method for forming a deep trench in a microelectronic component substrate | |
JP2010021442A (ja) | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 | |
JP5206311B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006049885A (ja) | Coガスによって形成された選択的ポリマーマスクを使用する乾式エッチング方法 | |
JP3950446B2 (ja) | 異方性エッチング方法 | |
JP4459877B2 (ja) | エッチング方法及びエッチング装置 | |
JP2023530561A (ja) | 窒化物含有膜除去のためのシステム及び方法 | |
JP4578887B2 (ja) | エッチング方法及びエッチング装置 | |
US8796148B2 (en) | Method for producing a deep trench in a microelectronic component substrate | |
JP4769737B2 (ja) | エッチング方法及びエッチング装置 | |
WO2023287545A1 (en) | Metal oxide directional removal | |
KR20220157476A (ko) | 등방적 질화규소 제거 | |
JP2008243918A (ja) | ドライエッチング方法 | |
CN112041966A (zh) | 使用碳氟化合物阻止层的形貌选择性和区域选择性ald | |
TWI829231B (zh) | 過渡金屬氮化材料的選擇性移除 | |
JP6228860B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010153583A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120530 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120605 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120618 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5035300 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |