JP5033365B2 - 検査装置 - Google Patents
検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5033365B2 JP5033365B2 JP2006180638A JP2006180638A JP5033365B2 JP 5033365 B2 JP5033365 B2 JP 5033365B2 JP 2006180638 A JP2006180638 A JP 2006180638A JP 2006180638 A JP2006180638 A JP 2006180638A JP 5033365 B2 JP5033365 B2 JP 5033365B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- atmospheric pressure
- temperature
- focus
- inspection apparatus
- optical system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
〔特許文献1〕,〔特許文献2〕,〔特許文献3〕,〔特許文献4〕,〔特許文献5〕,〔特許文献6〕,〔特許文献7〕,〔特許文献8〕。
(P:圧力[atm],V:体積[L],n:モル数,R:気体定数=0.082,T: 絶対温度[K])
ここで、n=w/M(w:質量,M:分子量)であり、V=w/d(d:密度[g/L])とすると、気体の状態方程式は、d=PM/TRと書け、さらにΔd=ΔPM/ΔTRと書ける。
(N:屈折率、d:密度[g/L]、r:Gladstone−Dale定数)
これは、空気の密度の変化は光学系の屈折率の変化となることを意味する。
505はZ駆動装置303aの移動量に変換し、Zステージ制御部305aに渡す。これによりZステージ制御部305aはZ駆動装置303aを駆動し、Zステージ303は対物レンズ201とウエハ1の表面との間隔を一定に保つように上下方向に作動する。
気温のZ補正値=Z基準値+(気温係数×(気温基準値−任意の時点の気温))
で求めたものである。
気圧のZ補正値=Z基準値+(気圧係数×(気圧基準値−任意の時点の気圧))
で求めたものである。
Claims (5)
- 異物検査のための顕微鏡光学系とは別に、焦点制御のための焦点制御光学系を有する検査装置であって、
気圧センサと、
前記気圧センサで得た任意の時点の気圧を保存する保存部と、を有し、
前記任意の時点の気圧を用いて前記焦点制御を行い、
前記任意の時点の気圧、基準となる気圧、気圧係数、及び基準となる基板高さを用いて前記焦点制御を行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
基板を載置し移動するステージと、
前記ステージを上下方向に移動するZステージと、を有し、
前記任意の時点の気圧を用いて、前記Zステージを移動することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
温度センサと、
前記温度センサで得た任意の時点の温度を保存する保存部と、を有し
前記任意の時点の温度を用いて前記焦点制御を行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項3に記載の検査装置であって、
前記任意の時点の温度、基準となる温度、温度係数、及び前記基準となる基板高さを用いて前記焦点制御を行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項3に記載の検査装置であって、
前記任意の時点の気圧を用いることで得た焦点制御量、前記任意の時点の温度を用いることで得た焦点制御量、及び前記基準となる基板高さを用いて前記焦点制御を行うことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006180638A JP5033365B2 (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 検査装置 |
US11/989,018 US8102522B2 (en) | 2006-06-30 | 2007-06-29 | Inspection apparatus and inspection method |
PCT/JP2007/063126 WO2008001891A1 (fr) | 2006-06-30 | 2007-06-29 | Dispositif d'inspection et procédé d'inspection |
US13/312,663 US8345233B2 (en) | 2006-06-30 | 2011-12-06 | Inspection apparatus and inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006180638A JP5033365B2 (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 検査装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008008804A JP2008008804A (ja) | 2008-01-17 |
JP2008008804A5 JP2008008804A5 (ja) | 2009-02-19 |
JP5033365B2 true JP5033365B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=39067141
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006180638A Active JP5033365B2 (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5033365B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5651882B2 (ja) * | 2008-12-05 | 2015-01-14 | 独立行政法人 宇宙航空研究開発機構 | 航空機搭載用風計測ライダー装置 |
CN114536091B (zh) * | 2022-04-11 | 2022-12-09 | 河南职业技术学院 | 一种汽车零部件自动化加工调节方法与系统 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02197808A (ja) * | 1989-01-26 | 1990-08-06 | Nec Corp | 自動焦点調整機能付光学装置 |
JPH1039199A (ja) * | 1996-04-16 | 1998-02-13 | Olympus Optical Co Ltd | 光学機器に適用される焦点調節装置 |
JP3630624B2 (ja) * | 2000-09-18 | 2005-03-16 | 株式会社日立製作所 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
JP2003066341A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Nec Corp | レチクル検査装置 |
JP3721147B2 (ja) * | 2002-07-29 | 2005-11-30 | 株式会社東芝 | パターン検査装置 |
-
2006
- 2006-06-30 JP JP2006180638A patent/JP5033365B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008008804A (ja) | 2008-01-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7177846B2 (ja) | オーバレイ及びエッジ配置誤差の計量及び制御 | |
US8791414B2 (en) | Dynamic focus adjustment with optical height detection apparatus in electron beam system | |
US7301620B2 (en) | Inspecting apparatus, image pickup apparatus, and inspecting method | |
KR101782336B1 (ko) | 검사 장치 및 검사 방법 | |
JP2006332296A (ja) | 電子ビーム応用回路パターン検査における焦点補正方法 | |
US9557277B2 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
US20160211112A1 (en) | Method and Apparatus for Reviewing Defects | |
US7247825B2 (en) | Method and apparatus for scanning a specimen using an optical imaging system | |
KR20210109043A (ko) | 이미징 반사율계 | |
JP5033365B2 (ja) | 検査装置 | |
TW202204848A (zh) | 高靈敏度的基於影像的反射測量 | |
TW202204849A (zh) | 高靈敏度的基於影像的反射測量 | |
KR100926019B1 (ko) | 결함 입자 측정 장치 및 결함 입자 측정 방법 | |
US20090316981A1 (en) | Method and device for inspecting a disk-shaped object | |
JP3677263B2 (ja) | 試料面の高さ位置調整方法 | |
JP5048558B2 (ja) | 基板検査方法および基板検査装置 | |
JP2009198525A (ja) | 創薬スクリーニング装置 | |
CN111398295B (zh) | 一种缺陷检测装置及其方法 | |
US11460783B2 (en) | System and method for focus control in extreme ultraviolet lithography systems using a focus-sensitive metrology target | |
JP2009075068A (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
JP2019135464A (ja) | パターン検査方法およびパターン検査装置 | |
KR101032794B1 (ko) | 헤이즈 가속 검출장치 및 그 검출방법 | |
JP2011069676A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
TWI835976B (zh) | 成像反射計 | |
JPH0221553A (ja) | 電子線測長装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081224 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110629 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120327 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120511 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120605 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120702 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5033365 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150706 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |