JP5030242B2 - Bellows pump and operation method of bellows pump - Google Patents
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Description
本発明は、ベローズポンプおよびベローズポンプの運転方法に関する。 The present invention relates to a bellows pump and a method for operating the bellows pump.
ベローズポンプは、ベローズを伸張、圧縮させて動作させ搬送液体を吸引、吐出させるポンプである。ベローズポンプは、ベローズを圧縮することで搬送液体を吐出することは、簡単にできるが、該ベローズを伸張させることで液を吸引するのは難しい。 The bellows pump is a pump that operates by extending and compressing the bellows to suck and discharge the transport liquid. The bellows pump can easily discharge the transport liquid by compressing the bellows, but it is difficult to suck the liquid by extending the bellows.
特許文献1には、吸入通路及び吐出通路等を形成しているポンプヘッドと、前記ポンプヘッドを両側より挟み込むよう配置された左右のシリンダケースと、前記シリンダケース同士を外周側にあって少なくとも略上下左右の角部である合計4箇所で締め付けているボルト等からなる複数の締結手段と、前記各シリンダケース内に配設されてシリンダケースに吸排気される駆動流体により伸縮する両側の概略有底円筒形ベローズと、前記各ベローズの自由端面側に突設されている軸部材と、前記各軸部材に取り付けられている連結板と、前記各連結板同士を連結している2本のロッドとを備え、前記両ベローズが前記駆動流体の吸排気及びロッド等を介し交互に伸長・収縮されることにより、移送流体を前記吸入通路から吸引し前記吐出通路から吐出する2連式ベローズポンプが記載されている。
In
従来のベローズポンプは、ベローズに機械的に操作体を締結して連結した状態で操作できるように機械結合させ、片方のベローズが圧縮することを利用して反対側の機械結合させたベローズを外部から機械的に伸張させているので、この機械結合に必要な軸部材、連結板、ロッド、軸受機構、固定部材その他の多くの部品を必要とし、高額、かつ、組立精度も必要で、組み立てても拘束が多く、動きを安定させるのも困難で工数も多くかかりかつ軸受けが磨耗するなどの不具合を発生する要素が多い。 The conventional bellows pump is mechanically coupled so that it can be operated in a state in which the operating body is mechanically fastened and connected to the bellows, and the bellows that is mechanically coupled to the opposite side using the compression of one bellows is externally connected. Because it is mechanically extended from the shaft, it requires a lot of other parts such as shaft members, connecting plates, rods, bearing mechanisms, fixing members, etc., which are necessary for this mechanical connection. However, there are many factors that cause troubles such as a lot of restraints, difficulty in stabilizing the movement, a lot of man-hours, and wear of the bearings.
従来のベローズポンプで別の方法として、ベローズを2個対向させて配置し、片方のベローズを圧縮空気で圧縮動作すると直接対向するベローズを押して伸張させるようなロッドを、仕切り部に穴をあけ、搬送流体が入るベローズ内部に該ロッドが挿入することで2つのベローズが連結するように配置することで対向するベローズを圧縮されたベローズで直接反対側のベローズを伸張させるように配置するベローズポンプがある。 As an alternative to the conventional bellows pump, two bellows are placed facing each other, and when one of the bellows is compressed with compressed air, a rod that directly pushes the opposite bellows to extend and opens a hole in the partition, A bellows pump that arranges two bellows to be connected by inserting the rod into a bellows into which a carrier fluid enters, so that the opposite bellows is directly expanded by the compressed bellows, and the bellows pump on the opposite side is extended. is there.
ベローズ内部にロッドを入れるとベローズ内部は、ポンプの搬送流体が入るところなので、このロッドの影響でポンプ搬送流体の流れの抵抗が大きくなるので搬送流体の流量が少なくなりロスが増えてしまう。この方法のポンプは、搬送流体の流量が少なくなるというポンプとしては、重大な欠点があり、特に大型のポンプには、適さない。 When a rod is inserted into the bellows, the pump carrier fluid enters the inside of the bellows, and therefore the resistance of the flow of the pump carrier fluid increases due to the influence of this rod, so the flow rate of the carrier fluid decreases and the loss increases. The pump of this method has a serious disadvantage as a pump in which the flow rate of the carrier fluid decreases, and is not suitable for a large pump in particular.
従来のベローズに操作体を締結するベローズ駆動方式では、多くの部品が必要になり、複雑になる。また、搬送流体流量減少などポンプとしての重大な欠点となる。 In the conventional bellows drive system in which the operating body is fastened to the bellows, many parts are necessary and complicated. Moreover, it becomes a serious fault as a pump such as a decrease in the flow rate of the transport fluid.
ベローズポンプ運転のために駆動流体である圧縮流体を供給した場合、ベローズを構成するベローズ部であるベローズ蛇腹が薄内成形され伸縮容易とされているために、圧縮流体によってベローズ蛇腹が伸縮する前に、伸縮しない状態で、ベローズ蛇腹がベローズの中心に向かう圧縮流体の圧力によって潰されて変形破壊されるという現象が発生する。 When the compressed fluid, which is the driving fluid, is supplied for the bellows pump operation, the bellows bellows, which is the bellows part that constitutes the bellows, is formed in a thin shape to make it easy to expand and contract. In addition, a phenomenon occurs in which the bellows bellows is crushed and deformed by the pressure of the compressed fluid toward the center of the bellows without being expanded or contracted.
つまり、ベローズで蛇腹が伸張しないで収縮してしまうので、搬送流体を吸い上げることができず、ベローズポンプとしての運転ができないということが起きる。 That is, since the bellows is contracted without being extended by the bellows, the carrier fluid cannot be sucked up and the bellows pump cannot be operated.
この現象は、ポンプとしての機能がなくなる重大欠陥である。この現象は、過去にいろいろ実験を繰り返された先行メーカの技術者が開発を断念した原因の現象である。 This phenomenon is a serious defect that eliminates the function as a pump. This phenomenon is the cause of the abandonment of development by an engineer of a leading manufacturer who has repeated various experiments in the past.
本発明は、かかる点に鑑みてなされたもので充分な圧縮流体を供給したときに、圧縮流体によってベローズ蛇腹が変形破壊されたり、あるいは圧縮流体によってベローズ蛇腹が伸張すべきときに伸張しないで収縮してしまうという現象の発生を回避して正常な運転を可能にして、従来ベローズポンプの持つ前述の重大欠陥を解決することを目的とする。 The present invention has been made in view of such points, and when a sufficient compressed fluid is supplied, the bellows bellows is deformed and broken by the compressed fluid, or the bellows bellows is contracted without being stretched when the bellows bellows should be stretched by the compressed fluid. It is an object of the present invention to solve the above-mentioned serious defect of the conventional bellows pump by avoiding the occurrence of the phenomenon and enabling normal operation.
本発明は、ベローズ天板部にベローズ部が取りつけられて形成されたベローズを少なくとも2つ備え、各ベローズをそれぞれ気密に摺動可能に配設する2つのシリンダを備え、該2つのシリンダおよび2つのベローズ部が固着されるポンプ本体を備え、前記シリンダ内であって該シリンダと前記ベローズ部との間に、および前記ベローズ天板部と前記シリンダとの間にそれぞれ圧縮流体作動室が形成され、それぞれの圧縮流体作動室に圧縮流体が導入されることによって前記ベローズ部を圧縮、伸張させて、各ベローズに搬送液体を交互に流入させ、各ベローズから搬送液体を交互に吐出させるようにしたベローズポンプにおいて、
前記シリンダと前記ベローズ部との間に形成された圧縮流体作動室に連通させて、該圧縮流体作動室に導入された圧縮流体の作動圧を緩和する圧縮流体排出路が設けられ、
前記圧縮流体排出路が、前記シリンダと前記ベローズ部との間に形成された圧縮流体作動室に連通され、前記シリンダと前記ベローズとの間に形成された前記圧縮流体作動室に導入された圧縮流体が前記ベローズ天板部と前記シリンダとの間に形成された該圧縮流体作動室に導入されたとき、導入された該圧縮流体の一部を大気に流出させて流入ロスを発生させ、圧縮流体の作動圧を緩和させる大気に連通する細孔または小溝によって形成されたことを特徴とするベローズポンプを特徴とする。
The present invention includes at least two bellows formed by attaching a bellows portion to a bellows top plate portion, and includes two cylinders in which each bellows is slidably disposed, and the two cylinders and 2 A pump main body to which two bellows portions are fixed, and compressed fluid working chambers are formed in the cylinder, between the cylinder and the bellows portion, and between the bellows top plate portion and the cylinder, respectively. The compressed fluid is introduced into the respective compressed fluid working chambers to compress and expand the bellows part so that the transport liquid flows alternately into the bellows and the transport liquid is alternately discharged from the bellows. In bellows pump,
A compressed fluid discharge passage is provided that communicates with a compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows portion to relieve the working pressure of the compressed fluid introduced into the compressed fluid working chamber;
The compressed fluid discharge path communicates with a compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows part, and is introduced into the compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows. When fluid is introduced into the compressed fluid working chamber formed between the bellows top plate portion and the cylinder, a part of the introduced compressed fluid flows out to the atmosphere to generate an inflow loss, and compression The bellows pump is characterized by being formed by pores or small grooves communicating with the atmosphere for relaxing the working pressure of the fluid.
本発明は、また、前記細孔は、前記圧縮流体が前記シリンダと前記ベローズとの間に形成された圧縮流体作動室に導入されたときに、該圧縮流体の作動圧の緩和によって該圧縮流体がベローズを形成する蛇腹を潰さない大きさに形成されることを特徴とするベローズポンプを特徴とする。 In the present invention, it is preferable that the pores are formed by reducing the working pressure of the compressed fluid when the compressed fluid is introduced into a compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows. The bellows pump is characterized in that it is formed in a size that does not crush the bellows forming the bellows.
本発明は、ベローズ天板部にベローズ部が取りつけられて形成されたベローズを少なくとも2つ備え、各ベローズをそれぞれ気密に摺動可能に配設する2つのシリンダを備え、該2つのシリンダおよび2つのベローズ部が固着されるポンプ本体を備え、前記シリンダ内であって該シリンダと前記ベローズ部との間に、および前記ベローズ天板部と前記シリンダとの間にそれぞれ圧縮流体作動室が形成され、それぞれの圧縮流体作動室に圧縮流体が導入されることによって前記ベローズ部を圧縮、伸張させて、各ベローズに搬送液体を交互に流入させ、各ベローズから搬送液体を交互に吐出させるようにされ、前記シリンダと前記ベローズ部との間に形成された圧縮流体作動室に連通させて、該圧縮流体作動室に導入された圧縮流体の作動圧を緩和する圧縮流体排出路が設けられ、該圧縮流体排出路が細孔または小溝によって形成されたベローズポンプの運転方法において、
大気に連通する前記細孔または小溝が、前記シリンダと前記ベローズ部との間に形成された圧縮流体作動室に連通され、前記シリンダと前記ベローズとの間に形成された前記圧縮流体作動室に導入された圧縮流体が前記ベローズ天板部と前記シリンダとの間に形成された該圧縮流体作動室に導入されたとき、該導入された圧縮流体の一部を大気に流出させて流入ロスを発生させ、圧縮流体の作動圧を緩和させることを特徴とするベローズポンプの運転方法を提供する。
The present invention includes at least two bellows formed by attaching a bellows portion to a bellows top plate portion, and includes two cylinders in which each bellows is slidably disposed, and the two cylinders and 2 A pump main body to which two bellows portions are fixed, and compressed fluid working chambers are formed in the cylinder, between the cylinder and the bellows portion, and between the bellows top plate portion and the cylinder, respectively. The compressed fluid is introduced into the respective compressed fluid working chambers to compress and expand the bellows part, so that the transport liquid flows alternately into each bellows, and the transport liquid is alternately discharged from each bellows. , Communicating with a compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows portion, and reducing the working pressure of the compressed fluid introduced into the compressed fluid working chamber. Compressed fluid discharge passage is provided with a sum, method of operating a bellows pump which is formed the compressed fluid discharge passage by pores or small grooves,
The pores or small grooves communicating with the atmosphere are communicated with a compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows portion, and are formed in the compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows. When the introduced compressed fluid is introduced into the compressed fluid working chamber formed between the bellows top plate portion and the cylinder, a part of the introduced compressed fluid is caused to flow out to the atmosphere to reduce inflow loss. A method for operating a bellows pump is provided, wherein the operating pressure of the compressed fluid is reduced.
本発明は、また、前記細孔は、前記圧縮流体が前記シリンダと前記ベローズとの間に形成された圧縮流体作動室に導入されたときに、該圧縮流体の作動圧を緩和して該圧縮流体がベローズを形成する蛇腹を潰さないことを特徴とするベローズポンプの運転方法を提供する。 In the present invention, it is preferable that when the compressed fluid is introduced into a compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows, the pores relieve the working pressure of the compressed fluid and compress the compressed fluid. Provided is a method for operating a bellows pump, wherein the fluid does not crush the bellows forming the bellows.
本発明は、上述のようにシリンダとベローズ蛇腹であるベローズ部との間に形成された圧縮流体作動室に連通させて、この圧縮流体作動室に導入された圧縮流体の作動圧を緩和する圧縮流体排出路を設けたこと、さらには、この圧縮流体排出路を外部の大気に連通させる細穴または小溝によって形成するようにしているので、圧縮流体を圧縮流体作動室に供給したときに、あるいは圧縮流体によってベローズ蛇腹が伸張すべきときに伸張しないで収縮してしまうという現象の発生を回避することができ、もってベローズポンプの正常運転を継続させることができる。 The present invention communicates with the compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows portion which is the bellows bellows as described above, and compresses the working pressure of the compressed fluid introduced into the compressed fluid working chamber. Since the fluid discharge path is provided, and further, the compressed fluid discharge path is formed by a narrow hole or a small groove communicating with the external atmosphere, so that the compressed fluid is supplied to the compressed fluid working chamber, or When the bellows bellows is to be stretched by the compressed fluid, it is possible to avoid the phenomenon that the bellows bellows contracts without being stretched, and thus the normal operation of the bellows pump can be continued.
また、本発明は、上述のようにベローズ天板部、シリンダあるいは他の個所に大気に連通する細孔あるいは小溝を形成する構造を採用するので、従来のベローズポンプのように機械結合に必要な部材を必要とせず、極めてシンプルな構造によって従来のベローズポンプが有していた重大な欠陥を解決することができ、このシンプル構造のために装置自体の製造コストを安価にすることができる。 In addition, the present invention employs a structure in which pores or small grooves communicating with the atmosphere are formed in the bellows top plate, cylinder, or other part as described above, so that it is necessary for mechanical coupling like a conventional bellows pump. It is possible to solve a serious defect of the conventional bellows pump with a very simple structure without using any member, and the manufacturing cost of the apparatus itself can be reduced due to this simple structure.
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1は、本発明の実施例のベローズポンプの全体斜視図、図2は図1の正面図、図3は図1の右側面図、図4は図1の左側面図、図5は図1の縦断面図である。 1 is an overall perspective view of a bellows pump of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of FIG. 1, FIG. 3 is a right side view of FIG. 1, FIG. 4 is a left side view of FIG. 1 is a longitudinal sectional view of FIG.
図1から図4において、本実施例のベローズポンプ100は、左右の2つのシリンダ1a,1b(総称する場合には1)、その間に一体に設けられたポンプ本体19、各シリンダの外側に密着して配設されたシリンダ端板4,5を備え、シリンダ端板4,5とシリンダ1a,1bとの間にはOリング4a,5aが配設され、左右両側のシリンダ端板4,5の4つの隅にはそれぞれ固定ボルト34a,34b,34c,34d(総称する場合は34)が貫通して設けられ、ナット35a,35b,35c,35d(総称する場合は35)によって締結される。
1 to 4, the
シリンダ1aの最上部には気室出入り口を兼ねた継手(以下、気室入り口継手という。他の同様の構成物についても同様に継手とする。)8が設けられ、シリンダ内部と連通し、シリンダ1bの最上部には、気室出入り口継手9が設けられ、シリンダ端板4の側方上部には気室出入り口継手6が設けられ、シリンダ端板5a側方上部には気室出入り口継手7が設けられている。
At the uppermost part of the
シリンダ端板4の側方中央部にはバルブ10が、そしてシリンダ端板5の側方中央部には他のバルブ11が設置してある。ポンプ本体19は円柱高さの低い形状の中央円柱状に形成され、最上部に搬送液体の吐出口17が、そして手前側側方部に搬送液体の吸入口18が設けられる。吸入口18と吐出口17とは後述するようにして連通される。
A
図4において、シリンダ1aの中にはベローズ天板部2bが配設され、更にシリンダ1aの中にはベローズ天板部20に一体化されたベローズ蛇腹であるベローズ部2cが配設される。ベローズ天板部2bは板状に形成され、その端面にはOリング溝2aが形成され、このOリング溝2aにはOリング2eが配設され、気密性を確保している。
In FIG. 4, a bellows top plate portion 2b is disposed in a
ベローズ部2cは前述のようにベローズ蛇腹構成とされ、伸張および収縮可能とされ、1端側はベローズ天板部2bに固着され、他端側はポンプ本体19の端面に固着される。このような構成によって、すなわちベローズ天板部2bにベローズ部2cが取り付けられて一方のベローズ2が形成される。
The
形成されたベローズ2は、ベローズ天板部2bの端面がシリンダ1bの内面を摺動し、その時に、Oリング溝2aとOリング2eの組み合わせによって気密が保たれる。
In the formed
このようにして気密を保つことの出来るベローズ天板部2bはシリンダ1aの内部空間を左右両側に分けて両側に室を形成する。そして、ベローズ部2cは左側に分けられた室をベローズ内外の室に区割する。従ってここでは、右側に区割され、ベローズ天板部2bとシリンダ1aとによって形成される室をベローズ天板側気室12と称する。このベローズ天板側気室12は1つの圧縮流体作動室として作用することになる。
In this way, the bellows top plate portion 2b that can maintain airtightness divides the internal space of the
ベローズ部2cとシリンダ1aとによって、形成される室をベローズ(蛇腹)側気室14と称する。このベローズ側気室14はもう一方の圧縮流体作動室として作用する。ベローズ部2cの内部にベローズ部14、ベローズ天板部2bおよびポンプ本体19によって形成された室は搬送流体搬送室14Aとなる。
The
ベローズ天板側気室12にはシリンダ端板4に設けた気室出入り口継手6が連通しており、この気室出入り口継手6を介して駆動源としての圧縮流体(例えば圧縮空気)が導入され、排出される。導入された圧縮流体はベローズ天板部2bの側面に作用し、ベローズ天板部2bを押圧してシリンダ1a内を摺動させる。
An air chamber inlet / outlet joint 6 provided in the
ベローズ側気室14にはシリンダ1aの円筒部に設けた気室出入り口継手8が連通しており、この気室出入り口継手8を介して駆動源としての圧縮流体が導入され、排出される。導入された圧縮流体はベローズ部2cに作用し、ベローズ2を伸張させてシリンダ1a内を右方に移動させる。
An air chamber inlet / outlet joint 8 provided in the cylindrical portion of the
駆動源としての圧縮流体がベローズ天板側気室12およびベローズ側気室14のいずれかの室に導入され、排出されることによってベローズ1はシリンダ1内を伸張、収縮する。これに伴なって搬送流体搬送室14Aの容積が増加、減少する。ベローズ天板部2bの両端部にはベローズ天板側気室12とベローズ側気室14を連通させるようにした細孔20,21が設けてある。この細孔20,21の機能については後述する。
以上のようにしてベローズ2が構成される。
他方側のベローズ3についてもベローズ2と同様に構成される。
A compressed fluid as a driving source is introduced into one of the bellows top plate
The
The bellows 3 on the other side is configured in the same manner as the
ベローズ天板側気室13にはシリンダ端板5に設けた気室出入り口継手7が連通しており、この気室出入り口継手7を介して駆動源としての圧縮流体(例えば圧縮空気)が導入され、排出される。導入された圧縮流体はベローズ天板部3bの側面に作用し、ベローズ天板部3bを押圧してシリンダ1b内を摺動させる。
An air chamber inlet / outlet joint 7 provided in the
ベローズ側気室15にはシリンダ1bの円筒部に設けた気室出入り口継手9が連通しており、この気室出入り口継手8を介して駆動源としての圧縮流体が導入され、排出される。導入された圧縮流体はベローズ部3cに作用し、ベローズ3を伸張させてシリンダ1b内を左方に移動させる。
An air chamber inlet / outlet joint 9 provided in the cylindrical portion of the
駆動源としての圧縮流体がベローズ天板側気室13およびベローズ側気室15のいずれかの室に導入され、排出されることによってベローズ3はシリンダ1b内を伸張、収縮する。これに伴なって搬送流搬送室15Aの容積が増加、減少する。
Compressed fluid as a drive source is introduced into one of the bellows top plate
ベローズ天板部3bの両端部にはベローズ天板側気室13とベローズ側気室15を連通させるようにした細孔22,23が設けてある。この細孔22,23の機能については後述する。
以上のようにしてベローズ3が構成される。
At both ends of the bellows top
The bellows 3 is configured as described above.
図6は、ポンプ本体19の右側面を示し、図7は図5の断面を示し、図7(B)は図6のB−B断面を、そして図7(C)は図6のC−C断面を示し、図8は図6のA−A断面を示す。
6 shows the right side of the
図4,図7に示すように、ポンプ本体19の下方内部には、吸入口18から搬送流搬送室14A,15Aにそれぞれ吸入側出口29,33を経て連通する連通孔26A,30Aが設けられ、この連通孔26Aに吸入側逆止弁座28が配設され(図7(B))、連通孔30A吸入側逆止弁30が配設される(図7(C))。図7(B)に示すように、連通孔26Aには、逆止弁設置部材19Aが嵌入される、逆止弁設置部材19Aは吸入弁体ガイド27、この吸入弁体ガイド27にガイドされて摺動する吸入側逆止弁26および吸入側逆止弁座28を備える。
As shown in FIGS. 4 and 7, communication holes 26 </ b> A and 30 </ b> A that communicate from the
吸入側逆止弁26は吸入側逆止弁座28に圧接することでシールされ、吸入口18からの搬送液のベローズ2側への流入が阻止される。つまり吸入側出口29からベローズ2の搬送流体搬送室14Aへの流れが止められ、ベローズ2内の搬送液やベローズ2の作用によって後述する吐出側逆止弁16からと吐出口17に向けて吐出がなされる。搬送流体搬送室14Aの圧力が減少してシールが解除されると、吸入側逆止弁26は吸入弁体ガイド27にガイドされて上方へと摺動し、搬送液が吸入側出口29から搬送流体搬送室14Aに流入することを許容する。
The suction
図7(C)に示すように、連通孔30Aには、逆止弁設置部材19Bが嵌入される、逆止弁設置部材19Bは吸入弁体ガイド31、この吸入弁体ガイド31にガイドされて摺動する吸入側逆止弁30および吸入側逆止弁座32を備える。
As shown in FIG. 7C, the check valve installation member 19 B is inserted into the
吸入側逆止弁30は吸入側逆止弁座32に圧接することでシールされ、吸入口18からの搬送液のベローズ3側への流入が阻止される。つまり吸入側出口33からベローズ3の搬送液搬送室15Aへの流れが止められ、ベローズ3内の搬送液をベローズ3の作用によって後述する吐出側逆止弁16から吐出口17に向けて吐出がなされる。搬送液搬送室15Aの圧力が減少してシールが解除されると、吸入側逆止弁30は吸入弁体ガイド31にガイドされて上方へと摺動し、搬送液が吸入側出口33から搬送液搬送室15Aに流入することを許容する。
The suction-
このような動作がベローズ2および3の交互の伸張、収縮作用に同調して交互に繰り返えされ、どちらかの搬送液搬送室14A,15Aの搬送液が吐出口へ間断なく吐出側逆止弁16を介して圧送される。吐出側逆止弁16は次のように構成される。
以上のようにしてベローズ2が構成される。
Such an operation is alternately repeated in synchronism with the alternately extending and contracting actions of the
The
図4,図8に示すように、ポンプ本体19の上方内部には、搬送液搬送室14A,15Aに連通する連通孔16Aが設けられ、この連通孔16Aに吐出側逆止弁16が配設され、この吐出側逆止弁16の吐出側は吐出口17に連通される。この吐出側逆止弁16は交互に搬送液搬送室14A,15Aの搬送液を吐出口17に導出させる。
As shown in FIGS. 4 and 8, a
図9は、ベローズポンプ駆動流体切換操作回路を示す。図9において、ベローズポンプ駆動流体切換操作回路は、駆動源に接続された駆動流体供給路45に接続されたメインバルブ44を備え、メインバルブ44は内部に切換回路を備えて、この切換によって駆動流体供給路45は気室出入り口継手6と気室出入り口継手9,あるいは気室出入り口継手7と気室出入り口継手8のいずれかに継続される。図示の例にあっては駆動流体供給路45は気室出入り継手7および8に接続されていることを示す。駆動流体としては、この例では圧縮液体が使用される。図示の例にあっては、気室出入り口継手7および8は大気に開放されていることを示す。従って、この場合にはベローズ天板側気室13は気室出入り口継手7を介して大気開放される。
FIG. 9 shows a bellows pump drive fluid switching operation circuit. In FIG. 9, the bellows pump driving fluid switching operation circuit includes a
メインバルブ44の回路切換えは、バルブ10およびバルブ11からの操作信号によってなされる。
The circuit switching of the
図5において、シリンダ端板4,5の中央付近に段穴4b,5bを設け、ピン38,39をスプリング40,41と共に装着する。これらのピン38,39に対応してバルブ10,11を板にネジ固定して、ネジでこれらの板をシリンダ端板4,5に固定配置する。これらのピン38,39は、ベローズ2,3の伸張、収縮の動きをバブル10,11のメインバブル44の切換え動作のための信号としてメインバルブ44に伝える。この信号は、メインバルブ44の切換え動作に必要な押し込み動作を行うために使用される。すなわち、ベローズ2,3が伸張すると、ピン38,39は、ベローズ2,3に組み込まれたステンレス製の板42,43で押し上げられ、バルブ10,11の切替部を押してエアーの切替えを行う。切替えられたエアーが信号となってメインバルブ44の切換えを行うことになる。
In FIG. 5, step holes 4 b and 5 b are provided near the center of the
ポンプとして働く気室出入り口継手6及び9に同時に圧縮気体を入れると、ベローズ2は、気室12に入った圧縮空気によって収縮し、そのベローズ2の収縮で吐出側の逆止弁が動いて、吐出口17を通して搬送流体が吐出する。そのときベローズ側気室15に圧縮空気が同時に入るのでベローズ3は伸張する。
次に30の吸入側逆止弁が、32の吸入逆止弁座との圧接状態を解除して浮き上がることで18の吸入口から搬送流体をベローズ3内部に引き込む、このとき吐出側逆止弁16は、閉じているので吐出口17へは、ベローズ2からの搬送流体の流れしかない。ベローズ3の伸張によってベローズ天板部3bに接合された板43により、ピン39が押されて、バルブ11が切り替わる。
When compressed gas is simultaneously put into the air chamber inlet /
Next, the suction
次に、ベローズ2、ベローズ3を圧縮、伸張させた圧縮流体は、メインバルブ44の切換えによって、それぞれ気室出入り口継手6及び9から圧縮空気が大気圧に開放されて出ていくのでピン39は、スプリング41によって戻されてバルブ11も元の位置に復帰すると同時に、図9のメインバルブ44が切り替わったので、気室出入り口継手7、8に圧縮気体が供給され、ベローズ3が収縮し逆止弁16が開き吐出口17から搬送流体が吐出し、吸入口18の30の吸入側逆止弁は閉じている。
このとき同時にベローズ2が伸張する。このことで搬送流体は、ベローズ2内部の吸入側逆止弁26が浮き上がって28の吸入側逆止弁座との圧接シール状態が無くなるので、ベローズ2の内部に搬送流体は18の吸入口から勢い良く流入する。
Next, the compressed fluid obtained by compressing and expanding the
At the same time, the
今度は、ベローズ天板部2bに接合された板42により、ピン38が押されて、バルブ10が切り替わる。そうすると、メインバルブ44が再度切り替わり、気室出入り口継手6、9に圧縮気体が供給される。こうして、ベローズの圧縮、伸張動作が繰り返され、搬送流体が圧送される。
This time, the
ベローズ側気室14または15に圧縮気体が供給された場合、ベローズ蛇腹であるベローズ部2c,3cは、薄肉成形されており、伸縮することが容易にできるようになっていることから、圧縮空気が入ると蛇腹が伸びるよりも、ベローズ蛇腹が圧縮空気圧力で伸張しない状態で、ベローズ蛇腹がベローズの中心に向かう圧縮空気の圧力で、潰されて変形破壊されてしまう現象がおきる。
つまりベローズが伸張しないで収縮してしまうので、搬送流体を吸い上げることができなくポンプとして働かない現象が生じる。
When compressed gas is supplied to the bellows
That is, since the bellows contracts without being stretched, a phenomenon occurs in which the carrier fluid cannot be sucked up and does not function as a pump.
この欠陥は、ベローズ天板側気室12とベローズ側気室14とを連通する細孔20、21、または/およびベローズ天板側気室13とベローズ側気室15とを連通する細孔22、23とが設けることで圧縮流体のロスを若干起こさせることでベローズの蛇腹が潰されて変形することを防ぐことで克服される。つまり連通する細孔20,21,22,23は、ベローズ天板側気室12,13が大気圧に開放されているので圧縮流体のロスが発生する。この圧縮流体のロスは導入された圧縮流体の圧力を緩和することになるのでベローズを潰してしまう圧縮変形をおこさせない機能を持っている。
This defect is caused by the
ここでは、ベローズ天板側気室12とベローズ側気室14とを連通する細孔20、21、または/およびベローズ天板側気室13とベローズ側気室15とを連通する細孔22、23を設けてベローズ部の変形破壊を避けた。他の方法として、ベローズ部の蛇腹のあるベローズ側気室14と15のあるシリンダ1a、1bの円筒部に同様の細孔を形成して大気と連通することでも同じ効果がある。または、ポンプ本体19に細孔を設けて大気に連通するようにしてもよい。
または、その他の方法としては、シールを完全にするのではなく、緩くシールして圧縮空気が漏れるようにすることでも良い。
Here, the
Alternatively, as another method, the seal may be sealed loosely so that compressed air leaks, instead of completely sealing.
すなわち、シリンダ1a,1bとベローズ部2c,3cとの間に形成されたベローズ(蛇腹)側気室14,15である圧縮流体作動室に連通させて、この圧縮流体作動室に導入された圧縮流体の作動圧を緩和する圧縮流体排出路を設けることによって上述した欠陥を克服する。
That is, the compressed fluid introduced into the compressed fluid working chamber is communicated with the compressed fluid working chamber which is the bellows (bellows)
この圧縮流体排出路は、シリンダ1a,1bベローズ部2c,3cとの間に形成された圧縮流体作動室14,15と、ベローズ天板部2b,3bシリンダ1a,1bとの間に形成された圧縮流体作動室12、13とを連通させる細孔または小溝によって形成することができる。また、この圧縮流体排出路はシリンダ1a,1bとベローズ部2c,3cとの間に形成された圧縮流体作動室14,15を外部の大気に連通させる連通手段によって形成することができる。
The compressed fluid discharge path is formed between the compressed
連通手段は、外部の大気に連通させる細孔がシリンダ1a,1bもしくはポンプ本体19に形成されることによって形成され得る。
The communication means can be formed by forming pores in the
このように、ベローズの作動のために充分に投入された圧縮気体が投入当初のロスによってベローズ部2cまたはベローズ部3cを変形破壊することなく、ベローズ2またはベローズ3を伸張させる。つまりロスさせることによって、圧縮気体の力がベローズのベローズ部である蛇腹にかかるが潰すまでの力にならないように細穴の大きさ、連通する面積の大きさを選択することにより、ベローズの変形破壊を防ぎつつ、ベローズを伸張させることができる。細孔を余りに大きくすれば、ベローズを作動させることが困難になる。
As described above, the compressed gas sufficiently supplied for the operation of the bellows expands the
この連通細孔の大きさについては、通常バランスを考慮して数個設けるのが良いが、小型のベローズであれば1個の孔でも良い。また、実施例では細孔としたが、小溝でも同じ効果を持たせることができる。またはシールを完全に行うのではなく。シールに若干の隙間を持たせることでも同じような動作が可能である。開放面積については、ポンプの大きさや圧縮空気の圧力によって変化するので、シミュレーションや実験によって決定する。
この連通を行うことでベローズの伸張と収縮動作が自在になるので、ベローズポンプを作成するのに従来のベローズポンプと違い、ポンプ機能を作る部品も少なくなり、ほぼ半分以下の部品で動作ができるようになる。
With regard to the size of the communication pores, it is usually preferable to provide several in consideration of the balance, but one small hole may be used if it is a small bellows. Moreover, although it was set as the pore in the Example, the same effect can be given even with a small groove. Or do not seal completely. A similar operation can be achieved by providing a slight gap in the seal. Since the open area varies depending on the size of the pump and the pressure of the compressed air, it is determined by simulation or experiment.
By making this communication, the expansion and contraction of the bellows becomes free. Unlike conventional bellows pumps, the number of parts that make the pump function is reduced, making it possible to operate with almost half of the parts. It becomes like this.
また、ポンプの動作を安定させるのに必要な精度を要求する部分については、従来のポンプが多重拘束設計なので構造が複雑で性能を出すのが困難であったが、本実施例のベローズポンプは、精度出しが簡単であるのでポンプ組立が容易であり、ポンプの寿命や信頼性などのポンプの重要な課題も容易に達成でき従来のポンプと比較して非常に有利である。 In addition, for the part that requires the accuracy required to stabilize the operation of the pump, the conventional pump is a multi-constraint design, so the structure was complicated and difficult to achieve performance, but the bellows pump of this embodiment is Since the accuracy is simple, pump assembly is easy, and important problems of the pump such as the life and reliability of the pump can be easily achieved, which is very advantageous as compared with the conventional pump.
以上のように、本実施例では、ベローズ天板部2b,3bに蛇腹構成であるベローズ部2c,3cが取りつけられて形成されたベローズ2,3を少なくとも2つ備え、各ベローズ2,3がそれぞれシリンダ1a,1b内に気密に摺動可能に配設されて、前記シリンダ内であって該シリンダ1a,1bと前記ベローズ部2c,3cとの間に、および前記ベローズ天板部2b,3bと前記シリンダ1a,1bの間にそれぞれ圧縮流体作動室(ベローズ(蛇腹)側気室14,15およびベローズ天板側気室12,13)が形成され、それぞれの圧縮流体作動室に圧縮流体が導入されることによって前記ベローズ部2c,3cを圧縮,伸張させて、各ベローズに搬送液を交互に流入させ、各ベローズから搬送液を交互に吐出させるようにしたベローズポンプ100が用いられる。
As described above, in this embodiment, at least two
このように構成されたベローズポンプにおいて、前記シリンダ1a,1bと前記ベローズ部2c,3cとの間に形成された圧縮流体作動室に圧縮流体を導入させる時に、圧縮流体排出路からー部の圧縮流体を流出させて該圧縮流体作動室に導入された圧縮流体の作動圧を緩和するベローズポンプの運転方法が形成される。
また、この運転方法において、前記シリンダ1a,1bと前記ベローズ部2c,3cとの間に形成された圧縮流体作動室から前記ベローズ天板部2b,3bと前記シリンダ1a,1bとの間に形成された圧縮流体作動室に一部の圧縮流体を流出させるようにした運転方法が形成される。
In the bellows pump configured as described above, when the compressed fluid is introduced into the compressed fluid working chamber formed between the
Further, in this operation method, a compression fluid working chamber formed between the
また、上述の運転方法において、前記シリンダ1a,1bと前記ベローズ部2c,3cとの間に形成された圧縮流体作動室から直接外部の大気に一部の圧縮流体を流出させるようにした運転方法が形成される。
また、上述の運転方法において、前記シリンダ1a,1bもしくはポンプ本体19に設けた例えば細孔20,21,22,23から一部の圧縮流体を直接大気中に流出させるようにした運転方法が形成される。
Further, in the above-described operation method, an operation method in which a part of the compressed fluid is caused to flow directly from the compressed fluid working chamber formed between the
Further, in the above-described operation method, an operation method is formed in which a part of the compressed fluid is directly discharged into the atmosphere from, for example, the
1a、1b:シリンダ
2:ベローズ
3:ベローズ
2a、3a:Oリング用溝
2b、3b:ベローズ天板部
2c、3c:ベローズ部(蛇腹部)
4:シリンダ端板
5:シリンダ端板
4b、5b:段穴
6:気室出入り口継手
7:気室出入り口継手
8:気室出入り口継手
9:気室出入り口継手
10:バルブ
11:バルブ
12:ベローズ天板側気室
13:ベローズ天板側気室
14:ベローズ(蛇腹)側気室
14A:搬送流体搬送室(ベローズ2側)
15:ベローズ(蛇腹)側気室
15A:搬送液搬送室(ベローズ3側)
16:吐出側逆止弁
16A:連通孔
17:吐出口
18:吸入口
19:ポンプ本体
19A:逆止弁設置部材
20、21、22、23:細孔
26:吸入側逆止弁(ベローズ2側)
26A:連通孔
27:吸入弁体ガイド(ベローズ2側)
28:吸入側逆止弁座(ベローズ2側)
29:吸入側出口(ベローズ2側)
30:吸入側逆止弁(ベローズ3側)
31:吸入弁体ガイド(ベローズ3側)
32:吸入側逆止弁座(ベロー3側)
33:吸入側出口(ベローズ3側)
42:板
43:板
44:メインバルブ
45:駆動流体供給路
1a, 1b: Cylinder 2: Bellows 3:
4: Cylinder end plate 5:
15: Bellows (bellows)
16: Discharge
26A: Communication hole 27: Suction valve element guide (bellows 2 side)
28: Check valve seat on suction side (
29: Suction side outlet (
30: Suction side check valve (Bellows 3 side)
31: Suction valve body guide (bellows 3 side)
32: Suction side check valve seat (Bellows 3 side)
33: Inlet side outlet (bellows 3 side)
42: plate 43: plate 44: main valve 45: drive fluid supply path
Claims (4)
前記シリンダと前記ベローズ部との間に形成された圧縮流体作動室に連通させて、該圧縮流体作動室に導入された圧縮流体の作動圧を緩和する圧縮流体排出路が設けられ、
前記圧縮流体排出路が、前記シリンダと前記ベローズ部との間に形成された圧縮流体作動室に連通され、前記シリンダと前記ベローズとの間に形成された前記圧縮流体作動室に導入された圧縮流体が前記ベローズ天板部と前記シリンダとの間に形成された該圧縮流体作動室に導入されたとき、導入された該圧縮流体の一部を大気に流出させて流入ロスを発生させ、圧縮流体の作動圧を緩和させる大気に連通する細孔または小溝によって形成されたことを特徴とするベローズポンプ。 The bellows top plate part is provided with at least two bellows formed by attaching the bellows part, and each bellows is provided with two cylinders slidably disposed, the two cylinders and the two bellows parts are provided. A pump main body to be fixed, and a compression fluid working chamber is formed in the cylinder between the cylinder and the bellows part, and between the bellows top plate part and the cylinder. In the bellows pump that compresses and expands the bellows portion by introducing a compressed fluid into the fluid working chamber, alternately flows the transport liquid into each bellows, and alternately discharges the transport liquid from each bellows.
A compressed fluid discharge passage is provided that communicates with a compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows portion to relieve the working pressure of the compressed fluid introduced into the compressed fluid working chamber;
The compressed fluid discharge path communicates with a compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows part, and is introduced into the compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows. When fluid is introduced into the compressed fluid working chamber formed between the bellows top plate portion and the cylinder, a part of the introduced compressed fluid flows out to the atmosphere to generate an inflow loss, and compression A bellows pump characterized in that it is formed by pores or small grooves communicating with the atmosphere that relieve the working pressure of fluid.
大気に連通する前記細孔または小溝が、前記シリンダと前記ベローズ部との間に形成された圧縮流体作動室に連通され、前記シリンダと前記ベローズとの間に形成された前記圧縮流体作動室に導入された圧縮流体が前記ベローズ天板部と前記シリンダとの間に形成された該圧縮流体作動室に導入されたとき、該導入された圧縮流体の一部を大気に流出させて流入ロスを発生させ、圧縮流体の作動圧を緩和させることを特徴とするベローズポンプの運転方法。 The bellows top plate part is provided with at least two bellows formed by attaching the bellows part, and each bellows is provided with two cylinders slidably disposed, the two cylinders and the two bellows parts are provided. A pump main body to be fixed, and a compression fluid working chamber is formed in the cylinder between the cylinder and the bellows part, and between the bellows top plate part and the cylinder. When the compressed fluid is introduced into the fluid working chamber, the bellows portion is compressed and expanded, and the carrier liquid is alternately introduced into each bellows, and the carrier liquid is alternately discharged from each bellows, Pressure that reduces the working pressure of the compressed fluid introduced into the compressed fluid working chamber by communicating with the compressed fluid working chamber formed between the bellows portion Fluid discharge passage is provided method of operating a bellows pump which is formed the compressed fluid discharge passage by pores or small grooves,
The pores or small grooves communicating with the atmosphere are communicated with a compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows portion, and are formed in the compressed fluid working chamber formed between the cylinder and the bellows. When the introduced compressed fluid is introduced into the compressed fluid working chamber formed between the bellows top plate portion and the cylinder, a part of the introduced compressed fluid is caused to flow out to the atmosphere to reduce inflow loss. A method for operating a bellows pump, characterized in that the operating pressure of the compressed fluid is reduced.
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CA2812879A1 (en) * | 2010-09-29 | 2012-04-05 | Dattatraya Rajaram Shelke | Device for transferring energy between two fluids |
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Family Cites Families (9)
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JP3574641B2 (en) * | 2002-04-19 | 2004-10-06 | 株式会社イワキ | Pump system |
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JP2007220897A (en) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Bellows pump and substrate processing apparatus equipped therewith |
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