JP5009353B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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Description
なお、塗布剤溜り部(ペースト皿53であって、塗布剤Pの受取位置)とワークWの被塗布部20との高低差としては、例えば、5mm程度とされ、第1状態では、第1の転写ピン21の下端と塗布剤溜り部との差、および第2の転写ピン22の下端とワークWの被塗布部20との差をそれぞれ5mm程度とされる。
移動する方向に対して直交する方向に所定間隔に隔たれた状態で移動することになる。このため、第1の転写ピン21にて転写するときと、第2の転写ピン22にて転写するときには、このずれを吸収する方向に転写ピン21,22を変位させる必要がある。
21,22 転写ピン
25 状態変位手段
26 ベルト部材
27 駆動機構
28 制御手段
35 変位ステージ
53 ペースト皿
71、72 支持アーム
73、74 アームガイド機構
75 アーム制御機構
P 塗布剤(ペースト)
Claims (13)
- ペースト状の塗布剤を被塗布部に塗布するための一対の転写ピンを備えた塗布装置であって、
第1の転写ピンがペースト状の塗布剤が溜められる塗布剤溜り部の上方に対応するとともに第2の転写ピンが被塗布部の上方に対応する第1状態と、第2の転写ピンがペースト状の塗布剤が溜められる塗布剤溜り部の上方に対応するとともに第1の転写ピンが被塗布部の上方に対応する第2状態とに交互に変位させる状態変位手段と、第1状態及び第2状態において各転写ピンを上下方向であるZ軸方向に移動させるZ軸方向移動手段とを備え、
前記状態変位手段は、前記第1の転写ピンと第2の転写ピンとが夫々塗布剤溜まり部と被塗布部とを直線状に往復し、第1の転写ピンが塗布剤溜まり部から被塗布部へ変位する際に、第2の転写ピンが被塗布部から塗布剤溜まり部へ変位し、第2の転写ピンが塗布剤溜まり部から被塗布部へ変位する際に、第1の転写ピンが被塗布部から塗布剤溜まり部へ変位するものであることを特徴とする塗布装置。 - 前記状態変位手段は、XYZステージである変位ステージに設けられ、前記Z軸方向移動手段をこの変位ステージのZ軸方向移動機構にて構成したことを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- Z軸方向移動手段は各転写ピンをそれぞれ独立してZ軸方向に変位させる移動機構を備え、前記状態変位手段がXYステージである変位ステージに配置されたことを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記塗布剤溜り部を構成するペースト皿が前記変位ステージに設けられることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の塗布装置。
- 転写ピンがペースト状の塗布剤を受け取る受取位置が、塗布剤を転写する被塗布部よりも高位であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の塗布装置。
- 前記状態変位手段は、前記一対の転写ピンが付設されるベルト部材と、このベルト部材を走行させる駆動機構と、この駆動機構を制御して、第1の転写ピンと第2の転写ピンとを交互に第1状態と第2状態とに変位させる制御手段とを備えたことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の塗布装置。
- 前記状態変位手段のベルト部材を、前記受取位置と被塗布部とに対応して水平面に対して傾斜して配設したことを特徴とする請求項6に記載の塗布装置。
- 前記状態変位手段による前記一対の転写ピンの移動軌跡は、平面視においてハの字状をなし、転写ピンが被塗布部の上方に位置する状態では、この転写ピンを前記移動軌跡の交点に近接する終点上に位置させることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の塗布装置。
- 前記状態変位手段による前記一対の転写ピンの移動軌跡は、平面視においてハの字状をなし、転写ピンが被塗布部の上方に位置する状態では、この転写ピンを前記移動軌跡の交点上に位置させることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の塗布装置。
- 前記状態変位手段は、前記一対の転写ピンをそれぞれ支持する支持アームと、各支持アームの前記移動軌跡に沿った移動をガイドするアームガイド機構と、一方の支持アームが塗布剤溜り部側から被塗布部側へ移動する際に他方の支持アームが被塗布部側から塗布剤溜り部側へ移動し、一方の支持アームが被塗布部側から塗布剤溜り部側へ移動する際に他方の支持アームが塗布剤溜り部側から被塗布部側へ移動するように前記アームガイド機構を制御するアーム制御機構とを備えたことを特徴とする請求項9に記載の塗布装置。
- ペースト状の塗布剤を被塗布部に塗布する塗布方法であって、
第1の転写ピンの先端をペースト状の塗布剤に浸漬状乃至接触状として塗布剤を受け取ると同時に、第2の転写ピンに付着した塗布剤を被塗布部に転写して塗布する第1工程と、第2の転写ピンの先端をペースト状の塗布剤に浸漬状乃至接触状として塗布剤を受け取ると同時に、第1の転写ピンに付着した塗布剤を被塗布部に転写して塗布するこの第2工程とを備え、
前記第1の転写ピンと第2の転写ピンとは夫々塗布剤溜まり部と被塗布部とを直線状に往復し、第1の転写ピンが塗布剤溜まり部から被塗布部へ変位する際に、第2の転写ピンが被塗布部から塗布剤溜まり部へ変位し、第2の転写ピンが塗布剤溜まり部から被塗布部へ変位する際に、第1の転写ピンが被塗布部から塗布剤溜まり部へ変位させて前記第1工程と第2工程とを交互に行うことを特徴とする塗布方法。 - 第1工程と第2工程とを交互に行うときの各転写ピンの移動軌跡は、平面視においてハの字状をなし、塗布剤を被塗布部に転写して塗布するときの転写ピンを前記移動軌跡の交点に近接する終点上に位置させることを特徴とする請求項11に記載の塗布方法。
- 第1工程と第2工程とを交互に行うときの各転写ピンの移動軌跡は、平面視においてハの字状をなし、塗布剤を被塗布部に転写して塗布するときの転写ピンを前記移動軌跡の交点上に配置することを特徴とする請求項11に記載の塗布方法。
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