JP5000236B2 - 最表面層がフッ化ニッケル膜である金属材料およびその製造方法 - Google Patents
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Description
素(BCl3)、三フッ化窒素(NF3)、三フッ化塩素(ClF3)、臭化水素(HBr
)等のハロゲン系の反応性および腐食性の強い特殊ガスが使用されている。これらのガスは、雰囲気中に水分が存在すると容易に加水分解し、フッ酸、臭酸等が発生する。このフッ酸等は、上記ガスを取り扱う、バルブ、継ぎ手、配管、反応チャンバー等の構成部材の金属表面を容易に腐食するため、問題となっている。
一方、真空ポンプは高速回転機器であるため、軽量化を図る必要があり、素材としてアルミニウムを用いるのが一般的である。この場合、無電解ニッケルめっき等を施して腐食対策を行っているが、ガリウム砒素対策は十分ではない。
上のフッ素化処理温度が必要である。
該表面上に形成された、タングステンを10〜48質量%含むニッケル−タングステン合金めっき皮膜またはモリブデンを10〜48質量%含むニッケル−モリブデン合金めっき皮膜と、
該皮膜上に形成されたフッ化ニッケル膜からなる最表面層と
を有する金属材料。
とも1種のガス、または該ガスを不活性ガスで希釈したガスであることを特徴とする上記[4]〜[6]のいずれかに記載の金属材料の製造方法。
〔基材〕
本発明に用いられる基材は、少なくとも表面が金属からなる基材である。前記金属としては、たとえば、アルミニウム、アルミニウム合金、鉄、ステンレス鋼、銅および銅合金が好ましい。後述するように、本発明は、より低温でのフッ素化処理が可能であるため、熱の影響を受けやすいアルミニウム、アルミニウム合金、銅および銅合金に対してより好適である。
本発明の金属材料は、上記基材表面上にニッケル−タングステン合金めっき皮膜またはニッケル−モリブデン合金めっき皮膜を有する。タングステンまたはモリブデンを含有するニッケル合金めっき皮膜を形成することによって、このめっき皮膜をフッ素と反応させる際に高熱量を得ることができ、フッ素化反応部分、すなわち最表面層のみを高温にすることができ、他の部分、すなわち基材に、熱の影響を与えずに最表面層をフッ素化処理することができる。
き温度が25℃、電流密度が2A/dm2、pH10である。
表面がニッケル−タングステン合金めっき皮膜またはニッケル−モリブデン合金めっき皮膜からなる金属材料の表面をフッ素化処理することにより、最表面層がフッ化ニッケル膜である金属材料が得られる。
が1721KJ/mol、MoF6が1585KJ/mol(文献値:化学便覧、平成5
年9月30日発行、発行所:丸善株式会社、編者:社団法人 日本化学会)であるため常温でも容易に熱量を得ることができ、その熱量を利用してニッケル−タングステン合金めっき皮膜中またはニッケル−モリブデン合金めっき皮膜中のニッケルをフッ素化することができる。
このガスを不活性ガスで希釈したガスが挙げられる。
定することができる。たとえば、フッ素の場合には、コスト等を考慮して10%程度の濃度で使用することが望ましい。
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明は、この実施例により何ら限定されるものではない。
2種類の無電解ニッケル−リンめっき薬剤(商品名:ニムデンNSXおよびニムデンHDX、いずれも上村工業(株)製)を使用し、予め酸洗浄と活性化処理を施したステンレス鋼(SUS316L)の表面に無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜(膜厚:20μm)を、所定の方法(条件:めっき温度90℃、pH=4.5〜4.8、時間70分)に従って形成させた。
主成分としてNi源であるNiSO4・6H2O(硫酸ニッケル)30g/L、タングステン源であるNaWO4・2H2O(タングステン酸ナトリウム)80g/L、錯化剤CitH2O(クエン酸)90g/L、pH調整剤(アンモニア水)、安定剤、光沢剤で構成
されるニッケル−タングステン電解合金めっき液を調製した。
テン合金めっき皮膜(膜厚:3μm)を形成させた。
主成分としてNi源であるNi(NH2SO3)2・4H2O(スルファミン酸ニッケル(II)水和物65g/L、モリブデン源であるNa2MoO4・2H2O(モリブデン酸ナト
リウム二水和物)24g/L、錯化剤C6H11NaO(グルコン酸ナトリウム)65g/
L、K4P2O7・3H2O(ピロリン酸カリウム)15g/L、pH調整剤(アンモニア水)、光沢剤で構成されるニッケル−モリブデン電解合金めっき液を調製した。
で電解めっきして、無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜上にニッケル−モリブデン合金
めっき皮膜を形成させた。
2種類の無電解ニッケル−リンめっき薬剤(商品名:ニムデンNSXおよびニムデンHDX、いずれも上村工業(株)製)を使用し、所定の方法(条件:めっき温度90℃、pH=4.5〜4.8、時間70分)に従って、予め脱脂、活性化処理、酸洗浄および亜鉛置換を施したアルミニウム(A5052)の表面に無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜(膜厚:20μm)を形成させた。
ステンレス鋼(SUS316L)の代わりに、製造例4で作製した無電解ニッケル−リンめっき皮膜を有するアルミニウム(A5052)を使用した以外は、製造例3と同様にして無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜上にニッケル−モリブデン合金めっき皮膜を形成させた。
置換した。完全置換後、その状態を12時間保持し、上記ニッケル−タングステン合金めっき皮膜の表面をフッ化した。次いで、窒素ガスでF2ガスを置換し、その状態を12時
間保持した後、降温してフッ化ニッケル膜を形成させた。
が2.4nm/min(SiO2)であった。これらの結果からフッ化ニッケル膜の膜厚
は1.7μmあることが判明した。なお、フッ化ニッケル膜の膜厚は、Sputtering Time×スパッタレートにより算出した。
得られた最表面層がフッ化ニッケル膜である金属材料について、実施例1と同様にしてXPS解析したところ、FおよびNi−FはSputtering Timeが260分まで検出された。この結果から実施例1と同様にしてフッ化ニッケル膜の膜厚を求めたところ、0.6μmであった。
ニッケル−タングステン合金めっき皮膜を有するステンレス鋼(SUS316L)の代わりに、製造例1で作製した表面が無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜のステンレス鋼(SUS316L)を使用した以外は実施例2と同様にして、フッ化ニッケル膜を最表面層として形成させた。
常圧気相流通式反応炉に、製造例2で製造したニッケル−タングステン合金めっき皮膜を有するステンレス鋼(SUS316L)を装着し、このステンレス鋼の表面にNi熱電対を密着させ、炉内を300℃まで昇温した。炉内温度が安定した後、窒素ガスで大気を置換した。その後、20%F2ガス(窒素希釈)を導入し、窒素ガスを置換した。完全置
換後、上記ステンレス鋼の表面温度変化をNi熱電対で2時間測定した。
25分経過時まで発熱が認められた。
ニッケル−タングステン合金めっき皮膜を有するステンレス鋼(SUS316L)の代わりに、製造例1で作製した表面が無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜のステンレス鋼(SUS316L)を使用した以外は実施例4と同様にして、無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜を有するステンレス鋼の表面温度変化を測定したが、温度変化はほとんど見られなかった。
0分経過時まで発熱が認められた。
ニッケル−タングステン合金めっき皮膜を有するステンレス鋼(SUS316L)の代わりに、製造例1で作製した表面が無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜のステンレス鋼(SUS316L)を使用した以外は実施例6と同様にして、フッ化ニッケル膜を最表面層として形成させた。
、スパッタレートが4nm/min(SiO2)であった。これらの結果からフッ化ニッ
ケル膜の膜厚は0.01μmあることが判明した。なお、フッ化ニッケル膜の膜厚は、Sputtering Time×スパッタレートにより算出した。
表1に実施例2、3および比較例1で得た最表面層がフッ化ニッケル膜である金属材料ならびに製造例1で得た表面が無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜であるステンレス鋼(SUS316L)の表面固有抵抗値を測定した結果を示す。表面抵抗率の測定はJIS−K6911に準じて行った。測定条件は、電圧500V、charge時間5秒とし、55秒間通電後、測定した。
表2に実施例6、7および比較例2で得た最表面層がフッ化ニッケル膜である金属材料ならびに製造例1で得た表面が無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜であるステンレス鋼(SUS316L)の耐食性試験を実施した結果を示す。耐食性評価試験は、金属材料またはステンレス鋼を35%塩化水素水溶液へ常温下(25℃)で24時間浸漬し、浸漬後の重量減少量で評価した。
表3に実施例8で得た最表面層がフッ化ニッケル膜である金属材料ならびに製造例4で得た表面が無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜であるステンレス鋼(SUS316L)の耐食性試験を実施した結果を示す。耐食性評価試験は、金属材料またはステンレス鋼を35%塩化水素水溶液へ常温下(25℃)で1時間30分浸漬し、浸漬後の重量減少量で評価した。
Claims (7)
- 表面が金属からなる基材と、
該表面上に形成された、タングステンを10〜48質量%含むニッケル−タングステン合金めっき皮膜またはモリブデンを10〜48質量%含むニッケル−モリブデン合金めっき皮膜と、
該皮膜上に形成されたフッ化ニッケル膜からなる最表面層と
を有する金属材料。 - 前記基材が、アルミニウム、アルミニウム合金、鉄、ステンレス鋼、銅および銅合金から選択される金属からなり、該金属が前記基材の表面を構成していることを特徴とする請求項1に記載の金属材料。
- 前記基材が、アルミニウム、アルミニウム合金、鉄、ステンレス鋼、銅および銅合金から選択される金属と、該金属表面上に形成された無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜とを有することを特徴とする請求項1に記載の金属材料。
- 表面が金属からなる基材の表面に、めっきにより、タングステンを10〜48質量%含むニッケル−タングステン合金めっき皮膜またはモリブデンを10〜48質量%含むニッケル−モリブデン合金めっき皮膜を形成し、次いで、該皮膜とフッ化ガスとを反応させることを特徴とする、最表面層がフッ化ニッケル膜である金属材料の製造方法。
- 前記基材が、アルミニウム、アルミニウム合金、鉄、ステンレス鋼、銅および銅合金から選択される金属からなり、該金属が前記基材の表面を構成していることを特徴とする請求項4に記載の金属材料の製造方法。
- 前記基材が、アルミニウム、アルミニウム合金、鉄、ステンレス鋼、銅および銅合金から選択される金属と、該金属表面上に形成された無電解ニッケル−リン合金めっき皮膜とを有することを特徴とする請求項4に記載の金属材料の製造方法。
- 前記フッ化ガスが、F2、ClF3およびNF3からなる群から選択される少なくとも1種のガス、または該ガスを不活性ガスで希釈したガスであることを特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載の金属材料の製造方法。
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