JP4995763B2 - 投影システム、リソグラフィ装置、透過性光学エレメントの熱プロファイルを変更する方法 - Google Patents
投影システム、リソグラフィ装置、透過性光学エレメントの熱プロファイルを変更する方法 Download PDFInfo
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- リソグラフィ装置内で使用するのに適した投影システムであって、
透過性光学エレメントと、
前記透過性光学エレメントの熱プロファイルを変更するように構成され、伝達部材と熱プロファイル調節器とを備える熱プロファイル補正器であって、前記伝達部材が、所望の熱プロファイルを前記熱プロファイル調節器から前記透過性光学エレメントに伝達するように、前記透過性光学エレメントの近傍の内外に移動可能である、熱プロファイル補正器と
を備える投影システム。 - 前記熱プロファイル調節器が、少なくとも1つの加熱用プレートを備える、請求項1に記載の投影システム。
- 前記熱プロファイル調節器が、前記伝達部材が間に配置可能となるように互いに離隔された配列で配置された1対の加熱用プレートを備える、請求項2に記載の投影システム。
- 前記加熱用プレートまたは各加熱用プレートが、個別にアドレス可能な電気ヒータのアレイを備える、請求項2に記載の投影システム。
- 前記個別にアドレス可能な電気ヒータが、前記伝達部材の選択された離散的な領域に熱を伝達するように構成される、請求項4に記載の投影システム。
- 熱伝達のために前記離散的な領域を選択するように構成されたコントローラをさらに備える、請求項5に記載の投影システム。
- 前記コントローラが、投影システムのモデルに対比して、熱伝達のために前記離散的な領域を選択するように構成される、請求項6に記載の投影システム。
- 前記コントローラが、前記熱プロファイル調節器内に、または隣接して配置される、請求項6に記載の投影システム。
- 前記熱プロファイル調節器が冷却源を備える、請求項1に記載の投影システム。
- 前記伝達部材が、複数の熱源を備える、請求項1に記載の投影システム。
- 第2の伝達部材をさらに備える、請求項1に記載の投影システム。
- 前記伝達部材および前記第2の伝達部材が、所望の熱プロファイルを前記熱プロファイル調節器から前記透過性光学エレメント内に伝達するように、前記透過性光学エレメントの近傍の内外に移動可能である、請求項11に記載の投影システム。
- 前記伝達部材および前記第2の伝達部材が、前記透過性光学エレメントの近傍の内外に移動可能であり、その結果、前記透過性光学エレメントの近傍内にあるとき、前記透過性光学エレメントが前記伝達部材と前記第2の伝達部材との間に位置する、請求項12に記載の投影システム。
- 放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
パターニングされた放射ビームを形成するために、前記調節済み放射ビームにその断面でパターンを与えることが可能であるパターニングデバイスを支持するように構築された支持体と、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
透過性光学エレメントを含み、前記パターニングされた放射ビームを前記基板のターゲット部分上に投影するように構成された投影システムと
を含み、前記投影システムが、
前記透過性光学エレメントの熱プロファイルを変更するように構成され、伝達部材と熱プロファイル調節器とを備える熱プロファイル補正器であって、前記伝達部材が、所望の熱プロファイルを前記熱プロファイル調節器から前記透過性光学エレメントに伝達するように、前記透過性光学エレメントの近傍の内外に移動可能である、熱プロファイル補正器を備える、リソグラフィ装置。 - 透過性光学エレメントの熱プロファイルを変更する方法であって、
所定の熱プロファイルを熱プロファイル調節器から伝達部材に伝達するステップと、
前記熱プロファイルを前記伝達部材から前記透過性光学エレメントに伝達するように、前記伝達部材を前記透過性光学エレメントの近傍内に移動するステップとを含む方法。
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