JP4995556B2

JP4995556B2 - エンコーダ用検出部およびエンコーダ

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Publication number: JP4995556B2
Application number: JP2006336987A
Authority: JP
Inventors: 一房野田
Original assignee: 株式会社雄島試作研究所
Priority date: 2006-12-14
Filing date: 2006-12-14
Publication date: 2012-08-08
Anticipated expiration: 2026-12-14
Also published as: JP2008151529A

Description

本発明はエンコーダ用検出部およびエンコーダに関する。

例えば、モータの駆動軸の回転量を検出するエンコーダとしてロータリーエンコーダが用いられており、この種のエンコーダは、ケースと、このケースの内部に収容された目盛板、発光ダイオード、受光素子などを備えている。
そして、目盛板は、複数のスリットが形成され前記駆動軸の回転に連動して回転され、発光ダイオードはこの目盛板に臨ませて配置されて目盛板に光を照射させ、受光素子は、前記目盛板に臨ませて配置され前記発光ダイオードから発せられ前記スリットを通過した光を受光し、前記受光素子から出力される検出信号に基づいて回転量を検出するようにしている（特許文献１参照）。

特開平５−１２６５９９号公報

このような従来のエンコーダでは、エンコーダのケースの外部に設けられた電源と前記発光ダイオードを電源供給用のケーブルで接続するとともに、外部に設けられた信号処理回路と受光素子を検出信号伝達用のケーブルで接続している。
したがって、電源供給用のケーブルと発光ダイオードとの接続箇所、あるいは、信号伝達用のケーブルと受光素子との接続箇所には電気信号が現れていることから、引火性を有する塗料やガソリンなどを扱う防爆環境下で使用する上で不利があった。
また、放射線が発生する環境下では、放射線が発光ダイオードや受光素子にダメージを与えるため耐久性を確保する上で不利があった。
また、高電圧や高磁場が発生する環境下では、電圧や磁場が信号伝達用のケーブルで伝達される検出信号に影響を与えるため、回転量の検出を確実に行う上で不利があった。
また、エンコーダを構成する発光ダイオード、受光素子および目盛板が収容されたケースと、電源および検出回路とが離れた箇所に設置され、電源供給用のケーブルと検出信号伝達用のケーブルとが長くなると、それらケーブルを伝送される検出信号が外部からの電磁波ノイズの影響を受けやすくなり、検出回路によって検出される回転量に誤差が生じるおそれがある。
このような問題は、ロータリーエンコーダのみならず、同様の検出原理を用いるリニアエンコーダなどの他のエンコーダにおいても同様に発生している。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、その目的は、様々な環境下において使用でき常に安定した検出動作を行うことができるエンコーダ用検出部およびエンコーダを提供することにある。

上述の目的を達成するため、本発明のエンコーダ用検出部は、ケースと、前記ケース内に配設され複数のスリットが形成された目盛板と、前記ケースの内外にわたって設けられた複数の受光用光ファイバと、前記ケースの内外にわたって設けられ光を前記ケース内に導く複数の光照射用光ファイバと、前記目盛板に対向するように配置され前記各スリットを通過した光をそれぞれ受光する前記各受光用光ファイバの光入射端と、前記目盛板を挟んで前記各受光用光ファイバの光入射端と反対の箇所で前記目盛板に対向するように配置されたレンズとを備え、前記複数の光照射用光ファイバの光出射端から発せられた光をそれぞれ前記複数の受光用光ファイバの光入射端に入射できる範囲に拡散させ重畳させて前記レンズに入射させ、前記レンズにより平行光として前記目盛板に向けて照射することを特徴とする。
また、本発明は、ケースと、前記ケース内に配設され複数のスリットが形成された目盛板と、複数の発光素子と、複数の受光素子とを備えるエンコーダであって、前記複数の発光素子毎に前記複数の発光素子から発せられた光を前記ケース内に導く複数の光照射用光ファイバが設けられ、前記複数の受光素子毎に光を前記複数の受光素子に導く複数の受光用光ファイバが設けられ、前記複数の受光用光ファイバの光入射端は、前記各スリットを通過した光をそれぞれ受光するように前記目盛板に対向して配置され、前記目盛板を挟んで前記各受光用光ファイバの光入射端と反対の箇所で前記目盛板に対向するようにレンズが設けられ、前記複数の光照射用光ファイバの光出射端から発せられた光をそれぞれ前記複数の受光用光ファイバの光入射端に入射できる範囲に拡散させ重畳させて前記レンズに入射させ、前記レンズにより平行光として前記目盛板に向けて照射することを特徴とする。

本発明によれば、ケースの内部に発光素子および受光素子が設けられておらず電気信号が現れることがないので、ケースを防爆環境下、放射線が発生する環境下、高電圧や高磁場が発生する環境下などに設置して使用でき、常に安定した検出動作を行う上で有利となる。
また、光照射用光ファイバおよび受光用光ファイバが長くなったとしても、それら光ファイバを伝送される光は、外部からの電磁波ノイズの影響を受けることがなく、正確な検出量を得る上で有利となる。
また、発光素子が単一の場合、発光素子が温度変化や振動、衝撃などの影響を受けることによりその光出力（光量）が変動しても、本発明では光照射用光ファイバと受光用光ファイバとが一対一の関係になく、光照射用光ファイバから出射される光は拡散されてレンズにより複数の受光用光ファイバのそれぞれにほぼ均等に入射されるので、温度変化や振動、衝撃などの影響を受けることなく検出信号を得ることができ、したがって、正確な検出量を得る上で有利となる。
また、発光素子が複数の場合、各発光素子が温度変化や振動、衝撃などの影響を受けることによりその光出力（光量）が変動しても、本発明では光照射用光ファイバと受光用光ファイバとが一対一の関係になく、光照射用光ファイバから出射される光は拡散され、重畳されてレンズにより複数の受光用光ファイバのそれぞれにほぼ均等に入射されるので、温度変化や振動、衝撃などの影響を受けることなく検出信号を得ることができ、したがって、正確な検出量を得る上で有利となる。

次に本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施の形態）
図１は第１の実施の形態のエンコーダ１０の構成を示す断面図、図２は図１のＡ方向から見た可動スリット板３４の平面図、図３は図１のＢ方向から見た固定スリット板３６の平面図、図４（Ａ）は第１の実施の形態の要部の概略図である。

図１に示すように、本実施の形態では、エンコーダ１０はモータ２の回転量を検出するロータリーエンコーダである。
エンコーダ１０は、検出部１２と、電装部１４とを備えている。
検出部１２は、モータ２に近接して配置されている。
電装部１４は、検出部１２から離間した箇所に配設されている。
検出部１２は、複数の受光用光ファイバ１８と、受光用光ファイバ１８よりも数が少ない光照射用光ファイバ１６とを介して電装部１４に接続されている。
本実施の形態では、受光用光ファイバ１８は３本で、光照射用光ファイバ１６は１本である。

電装部１４は、単一の発光素子２０と、電源２２と、複数の受光素子２４と、検出回路２６などを含んで構成されている。
発光素子２０は、検出部１２に光を供給するものであり、本実施の形態では発光ダイオードで構成されている。
電源２２は、発光素子２０に駆動電流（電源）を供給して発光させるものである。
複数の受光素子２４は、検出部１２からの光を受光して検出信号を生成するものである。
本実施の形態では、受光素子２４として第１乃至第３の受光素子２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃの３つが設けられ、各受光素子２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃはフォトダイオードで構成されている。
検出回路２６は、受光素子２４から出力される前記検出信号に基づいてモータ２の回転量に対応したデジタル信号を生成するものである。
本実施の形態では、検出回路２６は、第１乃至第３の受光素子２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃから出力される３つの検出信号に基づいてモータ２の回転量に対応したデジタル信号を生成する。

検出部１２はケース２８を備え、ケース２８には、回転軸３０、目盛板３２、レンズ３８が収容され、ケース２８の内外にわたって単一の光照射用光ファイバ１６と、複数の受光用光ファイバ１８とが設けられている。
目盛板３２は、可動スリット板３４と固定スリット板３６とを備えている。
回転軸３０は、ケース２８内に設けられた軸受け部３１によって回転可能に支持されている。
本実施の形態では、検出部１２は、モータ２の回転量を検出するものであり、したがって、回転軸３０の一端はモータ２の駆動軸に一体回転可能に連結され、回転軸３０の他端には可動スリット板３４が取り付けられている。

可動スリット板３４は、円板状を呈し、図２に示すように、可動スリット板３４の回転中心の周方向全周にわたって複数の第１の可動スリット３４０２が形成されている。
また、それら第１の可動スリット３４０２とは半径が異なる円周上の一部に複数の第２の可動スリット３４０４が形成されている。

可動スリット板３４の一部に臨むように固定スリット板３６が不図示の取り付け部材を介してケース２８内に固定されている。
固定スリット板３６は、図３に示すように、円板状を呈し、可動スリット板３４に重ね合わさるように配設されている。
固定スリット板３６が可動スリット板３４の第１の可動スリット３４０２に臨む箇所には、可動スリット板３４の周方向の一部に複数の第１の固定スリット３６０２Ａと、複数の第２の固定スリット３６０２Ｂとが周方向に間隔をおいて形成されている。
また、固定スリット板３６が可動スリット板３４の第２の可動スリット３４０４に臨む箇所には、第３の固定スリット３６０４が周方向の一部に形成されている。

光照射用光ファイバ１６は、ケース２８の内外にわたって設けられ発光素子２０から発せられた光をケース２８内に導くものである。
光照射用光ファイバ１６の光入射端は発光素子２０に接続されている。
光照射用光ファイバ１６は、その光出射端を後述するレンズ３８に臨ませた状態でケース２８内に不図示の取り付け部材を用いて取着されている。

受光用光ファイバ１８は、ケースの内外にわたって設けられ、複数の受光素子２４毎に設けられている。
受光用光ファイバ１８は、目盛板３２のスリット３４０２、３４０４、３６０２Ａ、３６０２Ｂ、３６０４を通過した光を複数の受光素子２４に導くものである。
本実施の形態では、受光用光ファイバ１８として、第１乃至第３の受光素子２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃに対応して、第１乃至第３の受光用光ファイバ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの３つが設けられている。
各受光用光ファイバ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの光出射端は、第１乃至第３の受光素子２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃにそれぞれ接続されている。
各受光用光ファイバ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃは、その光入射端を固定スリット板３６に臨ませた状態でケース２８内に不図示の取り付け部材を用いて取着されている。
本実施の形態では、各受光用光ファイバ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの光入射端にはコリメータレンズ１９が設けられている。

さらに詳細に説明すると、第１の受光用光ファイバ１８Ａは、その光入射端を固定スリット３６の第１の固定スリット３６０２Ａに臨ませて配設されている。
第２の受光用光ファイバ１０Ｂは、その光入射端を固定スリット３６の第２の固定スリット３６０２Ｂに臨ませて配設されている。
第３の受光用光ファイバ１８Ｃは、その光入射端を固定スリット３６の第３固定スリット３６０４に臨ませて配設されている。

レンズ３８は、目盛板３２を挟んで各受光用光ファイバ１８の光入射端と反対の箇所で目盛板３２に対向するように配置されている。
本実施の形態では、光照射用光ファイバ１６の前記光出射端から発せられた光は、第１乃至第３の受光用光ファイバ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの光入射端に入射できる範囲に拡散される。
そして、その拡散された光は、レンズ３８により平行光として可動スリット板３４に向けて照射される。
なお、光照射用光ファイバ１６の前記光出射端から発せられた光を、第１乃至第３の受光用光ファイバ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの光入射端に入射できる範囲に拡散するに際して、光照射用光ファイバ１６の前記光出射端に拡散用のレンズを配置するなど任意である。
また、光照射用光ファイバ１６の前記光出射端から発せられた光を、反射鏡により反射させてレンズ３８に導き、前記光出射端からレンズ３８までの光路を屈曲させるなど任意である。

次に動作について説明する。
図１に示すように、電源２２から発光素子２０に電流が供給され発光素子２０が発光すると、その光は光照射用光ファイバ１６に伝送され、光照射用光ファイバ１６の光出射端から出射される。
図１、図２に示すように、光照射用光ファイバ１６の出射端から出射され拡散された光は、レンズ３８によって平行光Ｌとされて、可動スリット板３４の第１の可動スリット３４０２の一部および第２の可動スリット３４０４に全域にわたって照射される。
そして、可動スリット板３４の第１の可動スリット３４０２の一部および第２の可動スリット３４０４を通過した平行光Ｌは、図１、図３に示すように、固定スリット板３６の第１、第２、第３の固定スリット３６０２Ａ、３６０２Ｂ、３６０４を通過する。
すなわち、平行光Ｌのうち、可動スリット３４の第１可動スリット３４０２と固定スリット３６の第１の固定スリット３６０２Ａとをこの順に通過した光は、第１の受光用光ファイバ１８Ａの光入射端に入射されこの第１の受光用光ファイバ１８Ａによって第１の受光素子２４Ａに導かれる。
これにより、第１の受光素子２４Ａで検出信号Ａが生成される。
また、平行光Ｌのうち、可動スリット３４の第１可動スリット３４０２と固定スリット３６の第２の固定スリット３６０２Ｂとをこの順に通過した光は、第２の受光用光ファイバ１８Ｂの光入射端に入射されこの第２の受光用光ファイバ１８Ｂによって第２の受光素子２４Ｂに導かれる。
これにより、第２の受光素子２４Ｂで検出信号Ｂが生成される。

すなわち、回転軸３０の回転に伴い第１、第２の固定スリット３６０２Ａ、３６０２Ｂに対して第１の可動スリット３４０２が移動することでこれらスリット１ピッチ毎に光路が遮られることにより、回転量に比例した回数の明暗が発生する。したがって、検出信号Ａ、Ｂはこの明暗に対応して繰り返して増減する信号となる。
検出回路２６は、このように増減する２つの検出信号Ａ、Ｂに基づいてモータ２の回転量に対応したデジタル信号を生成する。
前記デジタル信号を従来公知のカウンタ回路などに供給することで回転量のデータが求められる。

また、平行光Ｌのうち、可動スリット３４の第２可動スリット３４０４と固定スリット３６の第３の固定スリット３６０４とをこの順に通過した光は、第３の受光用光ファイバ１８Ｃの光入射端に入射されこの第３の受光用光ファイバ１８Ｃによって第３の受光素子２４Ｃに導かれる。
これにより、第３の受光素子２４Ｃで検出信号Ｃが生成される。

すなわち、回転軸３０の回転に伴い第３の固定スリット３６０４に対して第２の可動スリット３４０４が合致することで光路が形成され、回転軸３０の一回転毎に光が透過することになる。したがって、検出信号Ｃはこの光の透過に対応して発生する信号となる。
検出回路２６は、このような検出信号Ｃに基づいて、固定スリット板３６に対する可動スリット板３４の回転角度の基準位置（絶対位置）を検出する。

本実施の形態によれば、検出部１２のケース２８内に目盛板３２およびレンズ３８のみを設け、ケース２８内外にわたって設けられた光照射用光ファイバ１６によって目盛板３２のスリットに光を照射させ、かつ、前記スリットを通過した光をケース２８内外にわたって設けられた複数の受光用光ファイバ１８によってケース２８の外に導くことができる。
したがって、ケース２８の内部には可動スリット板３４と固定スリット板３６とレンズ３８のみが設けられているため、ケース２８の内部に電気信号が現れることがないので、ケース２８を防爆環境下に設置し、かつ、光照射用光ファイバ１６に光を入射する発光素子２０と、複数の受光用光ファイバ１８を介して光を受光する受光素子２４とを防爆環境ではない環境下に設置すれば、防爆環境下においてエンコーダ１０を使用することが可能となる。
また、可動スリット板３４と固定スリット板３６とレンズ３８のみが収容されたケース２８を放射線が発生する環境下に設置し、かつ、発光素子２０および受光素子２４を放射線が発生しない環境下に設置すれば、放射線が発光ダイオードや受光素子にダメージを与えることがなく、エンコーダ１０の耐久性を確保する上で有利となる。
また、可動スリット板３４と固定スリット板３６のみが収容されたケース２８を高電圧や高磁場が発生する環境下に設置し、かつ、発光素子２０および受光素子２４を高電圧や高磁場が発生しない環境下に設置すれば、電圧や磁場が受光素子２４から出力される検出信号に影響を与えることがないため、回転量の検出を確実に行うことができ常に安定した検出動作を行う上で有利となる。
また、検出部１２と電装部１４とが離れた箇所に設置され、光照射用光ファイバ１６および受光用光ファイバ１８が長くなったとしても、それら光ファイバ１６、１８を伝送される光は、外部からの電磁波ノイズの影響を受けることがなく、検出回路２６によって正確な回転量（検出量）を検出する上で有利となる。

また、本実施の形態によれば次のような効果が奏される。
複数の光照射用光ファイバ１６と複数の受光用光ファイバ１８とを一対一に対応させて設けた構成を想定する。
この場合には、各発光素子２０が温度変化や振動、衝撃などの影響を受けると、それら各発光素子２０の光出力（光量）の変動量は、個々の発光素子２０でそれぞれ異なるものとなり、そのため、個々の受光用光ファイバ１８に入射される光の間において光量の変動量にばらつきが生じる。
したがって、第１、第２の受光素子２４Ａ、２４Ｂから出力される検出信号Ａ、Ｂの大きさの変動量は均等ではなく、検出信号Ａ、Ｂの大きさの相対的な変動が生じる。言い換えると、検出信号Ａ、Ｂの変動は非同相成分となる。
このような非同相成分の変動を除去し、あるいは、軽減することは困難である。
したがって、複数の発光素子２０の光出力の変動が生じると、検出回路２６は検出信号Ａ、Ｂの大きさの変動の影響を受けて前記デジタル信号を生成せざるを得ず、モータ２の回転量（検出量）を正確に得る上で不利となる。

これに対して、本実施の形態では、単一の発光素子２０が温度変化や振動、衝撃などの影響を受けることによりその光出力（光量）が変動しても、複数の受光用光ファイバ１８のそれぞれに入射される複数の光の光量の変動量は均等であり、個々の受光用光ファイバ１８に入射される光の間において光量の変動量にばらつきは生じない。
したがって、第１、第２の受光素子２４Ａ、２４Ｂから出力される検出信号Ａ、Ｂの大きさの変動量は均等であり、検出信号Ａ、Ｂの大きさに相対的な変動は生じない。言い換えると、検出信号Ａ、Ｂの変動は同相成分となる。
検出信号Ａ、Ｂのこのような同相成分の変動を除去し、あるいは、軽減することは従来公知のさまざまな信号処理によって簡単に行うことができる。
したがって、発光素子２０の光出力の変動が生じたとしても、検出回路２６によって前記同相成分の変動を除去する信号処理を行うことにより、検出信号Ａ、Ｂの大きさの変動の影響を受けることなく前記デジタル信号を生成することができ、モータ２の回転量を正確に得ることができる。
すなわち、本実施の形態によれば、温度変化や振動、衝撃などの影響を受けることなく検出信号を得ることができ、したがって、正確な回転量（検出量）を検出する上で有利となる。

（第２の実施の形態）
図４（Ｂ）、（Ｃ）は第２の実施の形態の要部の概略図である。
第２の実施の形態では、第１の実施の形態が光照射用光ファイバ１６が単一であったのに対し、第２の実施の形態では、複数の光照射用光ファイバ１６を用い、それら光ファイバ１６から出射された光を重畳させて用いている。
すなわち、第１の実施の形態と同一の箇所、部材に同一の符号を付しその説明を省略し異なった点のみを説明すると、図４（Ｂ），（Ｃ）に示すように、第２の実施の形態では、複数の光照射用光ファイバ１６の光出射端から発せられた光をそれぞれ複数の受光用光ファイバ１８の光入射端に入射できる範囲に拡散させ重畳させてレンズ３８に入射させ、レンズ３８により平行光として目盛板３２に向けて照射するようにしている。
図４（Ｂ）では、複数の光照射用光ファイバ１６の光出射端を束ねて用いており、図４（Ｃ）では、複数の光照射用光ファイバ１６の光出射端をそれぞれ異なった向きからレンズ３８に臨ませるように配置している。
このような第２の実施の形態によっても、光照射用光ファイバ１６と受光用光ファイバ１８とを一対一に対応させず、複数の光照射用光ファイバ１６から出射された光を重畳させて用いるので、第１の実施の形態と同様な効果が奏される。

なお、第１、第２の実施の形態では、ケース２８から導出された光照射用光ファイバ１６と、複数の受光用光ファイバ１８とを電装部１４の発光素子２０と、複数の受光素子２４とにそれぞれ接続した場合について説明した。
しかしながら、光照射用光ファイバ１６および複数の受光用光ファイバ１８の中間箇所にコネクタを設け、それらコネクタを用いて検出部１２と電装部１４とを切り離しできるようにしてもよい。前記コネクタは、ケース２８に設けてもよいし、ケース２８の外方で各ファイバの中間箇所に設けてもよい。
また、本実施の形態では、エンコーダ１０がロータリーエンコーダであった場合について説明したが、本発明はリニアエンコーダにも適用可能であることは無論である。
この場合には、目盛板３２は、多数のスリットが形成され直線状に延在するメインスケールと、複数のスリットが設けられた固定スリット板とを備えている。ケース２８は、前記メインスケールの長手方向に沿って移動可能に設けられ、前記固定スリット板はケース２８内に固定され、その他の構成はロータリーエンコーダの場合と同様である。
また、受光素子２４および受光用光ファイバ１８の数は任意である。

本実施の形態のエンコーダ１０の構成を示す断面図である。図１のＡ方向から見た可動スリット板３４の平面図である。図１のＢ方向から見た固定スリット板３６の平面図である。（Ａ）は第１の実施の形態の要部の概略図、（Ｂ）、（Ｃ）は第２の実施の形態の要部の概略図である。

符号の説明

１０……エンコーダ、１２……検出部、１６……光照射用光ファイバ、１８……受光用光ファイバ、２０……発光素子、２４……受光素子、２８……ケース、３２……目盛板、３８……レンズ。

Claims

ケースと、
前記ケース内に配設され複数のスリットが形成された目盛板と、
前記ケースの内外にわたって設けられた複数の受光用光ファイバと、
前記ケースの内外にわたって設けられ光を前記ケース内に導く複数の光照射用光ファイバと、
前記目盛板に対向するように配置され前記各スリットを通過した光をそれぞれ受光する前記各受光用光ファイバの光入射端と、
前記目盛板を挟んで前記各受光用光ファイバの光入射端と反対の箇所で前記目盛板に対向するように配置されたレンズとを備え、
前記複数の光照射用光ファイバの光出射端から発せられた光をそれぞれ前記複数の受光用光ファイバの光入射端に入射できる範囲に拡散させ重畳させて前記レンズに入射させ、前記レンズにより平行光として前記目盛板に向けて照射する、
ことを特徴とするエンコーダ用検出部。
前記目盛板は、前記ケース内に固定され複数のスリットが設けられた固定スリット板と、前記ケース内で前記固定スリット板に重ね合わせて配設され複数のスリットが設けられ回転される可動スリット板とを備える、
ことを特徴とする請求項１記載のエンコーダ用検出部。
前記目盛板は、複数のスリットが形成され直線状に延在するメインスケールと、前記ケース内に固定され複数のスリットが設けられた固定スリット板とを備え、前記ケースは前記メインスケールの長手方向に沿って移動可能に設けられている、
ことを特徴とする請求項１記載のエンコーダ用検出部。
前記各受光用光ファイバの光入射端はそれぞれコリメータレンズを介して前記目盛板に臨んでいる、
ことを特徴とする請求項１記載のエンコーダ用検出部。
前記光照射用光ファイバは受光用光ファイバよりも少ない数で設けられている、
ことを特徴とする請求項１記載のエンコーダ用検出部。
ケースと、
前記ケース内に配設され複数のスリットが形成された目盛板と、
複数の発光素子と、
複数の受光素子とを備えるエンコーダであって、
前記複数の発光素子毎に前記複数の発光素子から発せられた光を前記ケース内に導く複数の光照射用光ファイバが設けられ、
前記複数の受光素子毎に光を前記複数の受光素子に導く複数の受光用光ファイバが設けられ、
前記複数の受光用光ファイバの光入射端は、前記各スリットを通過した光をそれぞれ受光するように前記目盛板に対向して配置され、
前記目盛板を挟んで前記各受光用光ファイバの光入射端と反対の箇所で前記目盛板に対向するようにレンズが設けられ、
前記複数の光照射用光ファイバの光出射端から発せられた光をそれぞれ前記複数の受光用光ファイバの光入射端に入射できる範囲に拡散させ重畳させて前記レンズに入射させ、前記レンズにより平行光として前記目盛板に向けて照射する、
ことを特徴とするエンコーダ。
前記目盛板は、前記ケース内に固定され複数のスリットが設けられた固定スリット板と、前記ケース内で前記固定スリット板に重ね合わせて配設され複数のスリットが設けられ回転される可動スリット板とを備える、
ことを特徴とする請求項６記載のエンコーダ。
前記目盛板は、多数のスリットが形成され直線状に延在するメインスケールと、前記ケース内に固定され複数のスリットが設けられた固定スリット板とを備え、前記ケースは前記メインスケールの長手方向に沿って移動可能に設けられている、
ことを特徴とする請求項６記載のエンコーダ。