JP4981998B2 - 検出素子 - Google Patents
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Description
このように、共振周波数の変化量Δfは、振動子4の質量の変化量Δm、すなわち、検出対象物の質量に比例し、振動子4の質量mに反比例する。したがって、検出対象物の質量が大きくなる程、または振動子4の質量(=厚み)が小さくなる程、共振周波数fの変化量Δfが大きくなり、検出対象物の振動子4への付着を検知し易くなる。
Claims (14)
- 検査対象の液体が導入される検査空間と、前記検査空間に対して開口した微小空間とを内部に有するカバー部材と、
前記カバー部材に設けられ、前記液体を前記検査空間へ導入する導入経路と、
前記カバー部材に設けられ、前記液体を前記検査空間から排出する排出経路と、
前記検査空間に配置されるとともに、前記検査空間のサイズよりも大きいサイズを有し、前記微小空間内に挿入された縁部を有する振動子と、
接地電位に接続された第1のアンテナと、
前記第1のアンテナと協働して電磁場を前記振動子に印加する第2のアンテナと、
前記振動子が振動したときの振動信号からなる受信信号を前記第1のアンテナと協働して前記振動子から受信する第3のアンテナとを備える検出素子。 - 前記カバー部材は、
断面が略U字形状からなる第1の凹部と、前記第1の凹部の縁部から連続して設けられ、かつ、断面が略L字形状からなる第2の凹部とを一主面側に有する第1のカバー部材と、
前記第1の凹部と略同じサイズからなる貫通孔を有し、前記貫通孔が前記第1の凹部に向かい合い、かつ、前記貫通孔以外の部分が前記第1のカバー部材の前記一主面に接して配置されることにより前記微小空間を構成する第2のカバー部材と、
前記第2のカバー部材の前記第1のカバー部材に接する面と反対側の面に接して配置され、前記第1の凹部および前記貫通孔とともに前記検査空間を構成する第3のカバー部材とを含む、請求項1に記載の検出素子。 - 前記第1および第3のカバー部材は、ガラスからなり、
前記第2のカバー部材は、シリコンからなる、請求項2に記載の検出素子。 - 前記カバー部材は、前記微小空間内に挿入された前記振動子の縁部よりも下側に位置する前記微小空間の低面に形成されたm(mは正の整数)個の突起物を更に有し、
前記振動子の前記縁部は、前記m個の突起物上に配置されている、請求項1に記載の検出素子。 - 前記n個の突起物は、前記振動子を略水平に支持する3個以上の突起物からなる、請求項4に記載の検出素子。
- 前記カバー部材は、前記振動子の側面部の一部を支持するk(kは2以上の整数)個の支持部材を更に有する、請求項5に記載の検出素子。
- 各々が検査対象の液体が導入される複数の検査空間と、前記複数の検査空間に対応して設けられ、かつ、各々が対応する前記検査空間に対して開口した複数の微小空間とを内部に有するカバー部材と、
前記複数の検査空間に対応して前記カバー部材に設けられ、各々が対応する前記検査空間に前記液体を導入する複数の導入経路と、
前記複数の検査空間に対応して前記カバー部材に設けられ、各々が対応する前記検査空間から前記液体を排出する複数の排出経路と、
前記複数の検査空間に対応して設けられ、各々が、対応する前記検査空間に配置されるとともに、前記検査空間のサイズよりも大きいサイズを有し、前記微小空間内に挿入された縁部を有する複数の振動子と、
接地電位に接続された第1のアンテナと、
前記第1のアンテナと協働して電磁場を前記複数の振動子に印加する第2のアンテナと、
前記振動子が振動したときの振動信号からなる受信信号を前記第1のアンテナと協働して前記複数の振動子から受信する第3のアンテナとを備える検出素子。 - 前記カバー部材に接して配置され、複数の補助経路を有する補助カバー部材を更に備え、
前記複数の補助経路の各々は、隣接する2つの前記検査空間のうちの一方の検査空間に対応して設けられた前記排出経路と前記2つの検査空間のうちの他方の検査空間に対応して設けられた前記導入経路とを接続する、請求項7に記載の検出素子。 - 前記カバー部材に接して配置され、前記複数の検査空間に対応して設けられた複数の補助経路を有する補助カバー部材を更に備え、
前記複数の補助経路の各々は、対応する前記検査空間に対応して設けられた前記導入経路に前記液体を外部から導入する第1の補助経路と、対応する前記検査空間に対応して設けられた前記排出経路から前記液体を外部へ排出する第2の補助経路とからなる、請求項7に記載の検出素子。 - 複数のユニット素子と、
接地電位に接続された第1のアンテナと、
前記第1のアンテナと協働して電磁場を前記複数のユニット素子に含まれる複数の振動子に印加する第2のアンテナと、
前記振動子が振動したときの振動信号からなる受信信号を前記第1のアンテナと協働して前記複数の振動子から受信する第3のアンテナとを備え、
前記複数のユニット素子の各々は、
検査対象の液体が導入される検査空間と、前記検査空間に対して開口した微小空間とを内部に有するカバー部材と、
前記カバー部材に設けられ、前記液体を前記検査空間へ導入する導入経路と、
前記カバー部材に設けられ、前記液体を前記検査空間から排出する排出経路と、
前記検査空間に配置されるとともに、前記検査空間のサイズよりも大きいサイズを有し、前記微小空間内に挿入された縁部を有する振動子とを含む、検出素子。 - 前記複数のユニット素子に含まれる複数のカバー部材に接して配置され、各々が前記複数のユニット素子に含まれる複数の検査空間のうちの隣接する2つの検査空間を接続する複数の補助経路を有する補助カバー部材を更に備え、
前記複数の補助経路の各々は、前記2つの検査空間のうちの一方の検査空間に対応して設けられた前記排出経路と前記2つの検査空間のうちの他方の検査空間に対応して設けられた前記導入経路とを接続する、請求項10に記載の検出素子。 - 前記複数のユニット素子に含まれる複数のカバー部材に接して配置され、前記複数のユニット素子に含まれる複数の検査空間に対応して設けられた複数の補助経路を有する補助カバー部材を更に備え、
前記複数の補助経路の各々は、対応する前記検査空間に対応して設けられた前記導入経路に前記液体を外部から導入する第1の補助経路と、対応する前記検査空間に対応して設けられた前記排出経路から前記液体を外部へ排出する第2の補助経路とからなる、請求項11に記載の検出素子。 - 前記複数の振動子は、相互に略同じ厚みを有する、請求項7から請求項12のいずれか1項に記載の検出素子。
- 前記複数の振動子は、相互に異なる厚みを有する、請求項7から請求項12のいずれか1項に記載の検出素子。
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