JP4971805B2

JP4971805B2 - トルクセンサ

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Publication number: JP4971805B2
Application number: JP2007007223A
Authority: JP
Inventors: 正彦酒井
Original assignee: Ono Sokki Co Ltd
Current assignee: Ono Sokki Co Ltd
Priority date: 2007-01-16
Filing date: 2007-01-16
Publication date: 2012-07-11
Anticipated expiration: 2027-01-16
Also published as: JP2008175579A

Description

本発明は、トーションバーの捻れ角を検出することによりトルクを計測するトルクセンサに関するものである。

トーションバーの捻れ角を検出することによりトルクを計測するトルクセンサとしては、トーションバーの入力軸に、軸方向に延びる磁性体の溝を設けると共に、入力軸を覆うようにトーションバーの出力軸に固定した非磁性体の円筒を設けたトルクセンサが知られている（たとえば、特許文献１）。このトルクセンサでは、トーションバーの出力軸に固定した円筒に、トーションバーの捻れに応じて、前記入力軸に設けた溝との重なり具合が変化する窓を設け、当該窓を包囲するように固定的に配置したコイルに生じる自己誘導起電力を検出する。
特開平8-240491号公報

前記特許文献１記載のトルクセンサによれば、トーションバーの捻れ量に対する、窓と溝との重なり具合の変化量を変化させるためには前記溝や円筒の径を大きくする必要があるために、装置を大型化することなく、トーションバーの捻れ量に対する感度を向上することができない。

そして、このために、前記特許文献１記載のトルクセンサによれば、装置を大型化することなく、測定値に表れる、トーションバーの捻れによる成分の、トーションバーの偏芯や振れ回りによる誤差の成分に対する比率、すなわち、ＳＮ比を大きくして精度よくトルクを検出することが比較的困難であった。

そこで、本発明は、大型化することなく、より精度良くトルクを検出することのできるトルクセンサを提供することを課題とする。

前記課題達成のために、本発明は、トーションバーと、前記トーションバーの一端に固定された、前記トーションバーと同軸状に配置された、非磁性体で形成した第１円筒と、前記トーションバーの他端に固定された、前記第１円筒に挿入された形態で、前記トーションバーと同軸状に配置された、非磁性体で形成した第２円筒と、測定部とを備えたトルクセンサを提供する。ただし、前記第１円筒の前記第２円筒の側壁との対面する側壁には各々スリットが設けられており、前記第１円筒の側壁に設けられたスリットと、前記第２円筒の側壁に設けられたスリットとは、前記トーションバーの径方向から見て相互に交差するように軸方向に対する傾きが異ならせてありものである。また、前記測定部は、トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した第１検出コイルと、前記第１検出コイルと前記トーションバーの回転軸方向の位置を異ならせて配置した、前記トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した第２検出コイルと、前記第１円筒の側壁に設けられたスリットと、前記第２円筒の側壁に設けられたスリットとの交差によって形成される窓を通る磁束を形成する磁束形成手段と、前記第１検出コイルに前記窓を通過した磁束によって誘起された誘起電圧と、前記第２検出コイルに前記窓を通過した磁束によって誘起された誘起電圧とより前記トーションバーの捻れ量を計測する計測回路とを備えて構成されるものである。

このようなトルクセンサによれば、トーションバーの捻れに応じて前記窓は軸方向に移動し、前記窓を通る磁束量の軸方向の分布も変化するので、この変化を第１検出コイルと第２検出コイルとを用いて計測することにより、トーションバーの捻れ量を算定することができる。ここで、トーションバーの捻れ量に対する窓の変位量は、前記第１円筒に設けられたスリットと前記第２円筒に設けられたスリットとの交差角に応じた値となる。したがって、この交差角を適当に設定することにより、トーションバーの捻れに対する窓の変位量を大きくし、トーションバーの捻れ量に対する感度を向上することができる。よって、トルクセンサを大型化することなく、より精度良くトルクを検出することができるようになる。また、第１検出コイルと第２検出コイルによって、トーションバーの全周に渡って計測を行うので、トーションバーの偏芯や振れ回りの影響を相殺した良好なトルクの測定が可能となる。

ここで、このようなトルクセンサは、より具体的には、前記第１検出コイルと第２検出コイルとを、前記第１円筒の外側に当該第１円筒が中央孔に挿入された形態で配置するように構成してもよい。また、この場合には、前記磁束形成手段を、前記第２円筒と前記トーションバーの間に配置された、前記トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した駆動用コイルと、前記駆動用コイルを交流駆動する駆動回路とより構成するようにしてもよい。

また、前記課題達成のために、本発明は、前記トーションバーの一端に固定された、前記トーションバーと同軸状に配置された、非磁性体で形成した第１回転盤と、前記トーションバーの他端に固定された、前記第１回転盤と対面する形態で、前記トーションバーと同軸状に配置された、非磁性体で形成した第２回転盤と、測定部とを備えたトルクセンサを提供する。ただし、前記第１回転盤と第２回転盤には各々スリットが設けられており、前記第１回転盤に設けられたスリットと、前記第２回転盤に設けられたスリットとは、前記トーションバーの軸方向から見て相互に交差するように径方向に対する傾きが異ならせてあるものである。また、前記測定部は、トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した第１検出コイルと、前記第１検出コイルと前記トーションバーの径方向の位置を異ならせて配置した、前記トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した第２検出コイルと、前記第１回転盤に設けられたスリットと、前記第２回転盤に設けられたスリットとの交差によって形成される窓を通る磁束を形成する磁束形成手段と、前記第１検出コイルに前記窓を通過した磁束によって誘起された誘起電圧と、前記第２検出コイルに前記窓を通過した磁束によって誘起された誘起電圧とより前記トーションバーの捻れ量を計測する計測回路とを備えたものである。

このようなトルクセンサによれば、トーションバーの捻れに応じて前記窓は径方向に移動し、前記窓を通る磁束量の径方向の分布も変化するので、この変化を第１検出コイルと第２検出コイルとを用いて計測することにより、トーションバーの捻れ量を算定することができる。ここで、トーションバーの捻れ量に対する窓の変位量は、前記第１回転盤に設けられたスリットと前記第２回転盤に設けられたスリットとの交差角に応じた値となる。したがって、この交差角を適当に設定することにより、トーションバーの捻れに対する窓の変位量を大きくし、トーションバーの捻れ量に対する感度を向上することができる。よって、トルクセンサを大型化することなく、より精度良くトルクを検出することができるようになる。また、第１検出コイルと第２検出コイルによって、トーションバーの全周に渡って計測を行うので、トーションバーの偏芯や振れ回りの影響を相殺した良好なトルクの測定が可能となる。

ここで、このようなトルクセンサは、より具体的には、前記第１検出コイルと第２検出コイルとを、前記第１回転盤の前記一端側に配置するようにしてもよい。また、この場合には、前記磁束形成手段を、前記第２回転盤の前記他端側に配置された、前記トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した駆動用コイルと、前記駆動用コイルを交流駆動する駆動回路とより構成するようにしてもよい。

以上のように、本発明によれば、大型化することなく、より精度良くトルクを検出することのできるトルクセンサを提供することができる。

以下、本発明の実施形態について説明する。
まず、第１の実施形態について説明する。
図１に、本実施形態に係るトルクセンサの構成を示す。
ここで、図１ａはトルクセンサの正面を、図１ｂはトルクセンサの左側面を、図１ｃはトルクセンサの右側面を、図１ｄはトルクセンサの断面を、それぞれ模式的に表している。
図示するように、本トルクセンサは、測定対象のトルクが入力側（図における右方）端と出力側端（図における左方）との間の捻れ方向の力として加えられるトーションバー１０と、トーションバー１０に当該トーションバー１０の入力側で固定された入力側筒２１と、トーションバー１０に当該トーションバー１０の出力側で固定された出力側筒２２と、駆動コイル３１と、第１検出コイル４１と、第２検出コイル４２と、測定回路５０とを有している。

ここで、出力側筒２２は、導電性を有する非磁性体を用いて形成されており、トーションバー１０の入力側の底面が開放された円筒形状を有する。そして、トーションバー１０の出力側の底面の中心部分で、トーションバー１０の出力側に固定されている。
また、入力側筒２１は、導電性を有する非磁性体を用いて形成されており、同軸入れ子状に間隔をあけて配置された二つの両底面の無い中空の円筒形状部である内筒部と外筒部をトーションバー１０の出力側端で連結した形状を有する。そして、内筒部が外筒部の内側の円筒形状部であるものとして、内筒部がトーションバー１０の入力側に固定されている。また、入力側筒２１は、出力側筒２２の内側に、出力側筒２２と同軸入れ子状に配置されるように設けられている。

そして、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２は、出力側筒２２が中央孔に挿入された配置となるように、トーションバー１０の回転軸と同軸状に巻き回した形態で軸方向に並べて設けられている。
また、駆動コイル３１は、入力側筒２１の内筒部と外筒部の間に、トーションバー１０の回転軸と同軸状に巻き回した形態で、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２とに、入力側筒２１の外筒部と出力側筒２２の側壁を介して対面するように配置されている。
なお、駆動コイル３１は、トルクセンサの全体すなわち静止系に対して固定的に設けてもよいし、入力側筒２１と共に回転するように入力側筒２１に対して固定して設けるようにもよい。また、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２も、静止系に対して固定的に設けてもよいし、出力側筒２２と共に回転するように出力側筒２２に対して固定して設けるようにもよい。なお、駆動コイル３１と、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２とのセットとの配置は、これを交換してもよい。

さて、出力側筒２２の側壁と入力側筒２１の外筒部との、駆動コイル３１が、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２と対面する箇所には、各々複数のスリットが設けられている。
すなわち、図２ａに示すように、出力側筒２２の側壁には、軸方向に対して所定角度傾けた複数の周方向に並んだスリットである検出側スリット６１が設けられており、図２ｂに示すように入力側筒２１の外筒部には、軸方向に対して前記出力側筒２２のスリットと逆方向に前記所定角度傾けた複数の周方向に並んだスリットである入力側スリット６２が設けられている。

そして、図１ａ、ｄ、図２ｃに示すように、トルクセンサにおいて、検出側スリット６１と入力側スリット６２は軸と垂直な方向から見て一部重なり合って窓６３を形成するように構成されており、トーションバー１０に捻れが生じていない状態において、この窓６３の軸方向の位置は、ちょうど、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２との中央の位置となるように設定されている。

また、この窓６３は、トーションバー１０の捻れが発生すると、当該捻れに伴い発生する入力側筒２１の回転角度と出力側筒２２の回転角度の偏差に応じて軸方向について捻れ量に応じた距離移動する。すなわち、たとえば、トーションバー１０に、図２ｃに矢印で示すような捻れが生じると窓６３の位置は、図２ｄに示す軸方向について中央の位置から、図２ｅに示すように第２検出コイル４２側に移動する。

さて、ここで、この窓６３は、駆動コイル３１と第１検出コイル４１、駆動コイル３１と第２検出コイル４２の間の磁束の通路となっている。したがって、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２の中央の位置から窓６３が第１検出コイル４１側に移動すると、駆動コイル３１と第１検出コイル４１との間の磁気抵抗は減少し、駆動コイル３１と第２検出コイル４２との間の磁気抵抗は増加する。また、逆に、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２の中央の位置から窓６３が第２検出コイル４２側に移動すると、駆動コイル３１と第１検出コイル４１との間の磁気抵抗は増加し、駆動コイル３１と第２検出コイル４２との間の磁気抵抗は減少する。

したがって、トーションバー１０に捻れが発生し、窓６３が軸方向に移動すると、駆動コイル３１と第１検出コイル４１との間の磁気抵抗と、駆動コイル３１と第２検出コイル４２との間の磁気抵抗は、移動距離に応じた量、したがって、トーションバー１０の捻れ量に応じた量、逆方向に変化する。

したがって、駆動コイル３１と第１検出コイル４１との間の磁気抵抗と、駆動コイル３１と第２検出コイル４２との間の磁気抵抗との間の磁気抵抗との差を測定すれば、トーションバー１０の捻れ量を測定することができ、この捻れ量より、トーションバー１０に加えられたトルクを算定することができる。

ここで、このような測定を行うのが、駆動コイル３１と第１検出コイル４１と第２検出コイル４２とより構成される差動トランスと、測定回路５０である。
すなわち、図３に示すように、測定回路５０は、発振回路５１と、検波回路５２とを有している。そして、発振回路５１は、駆動コイル３１を交流で励磁して磁束を発生し、第１検出コイル４１は、窓６３を通った交流磁束による誘起電圧Ｅ１を生成し、第２検出コイル４２は、窓６３を通った磁束による誘起電圧Ｅ２を生成する。検波回路５２は、第１検出コイル４１の誘起電圧Ｅ１と第２検出コイル４２の誘起電圧Ｅ２の差Ｅ１-Ｅ２の大きさを検波し出力する。ここで、第１検出コイル４１の誘起電圧Ｅ１は駆動コイル３１と第２検出コイル４２と間の磁気抵抗に反比例し、第２検出コイル４２の誘起電圧Ｅ２は駆動コイル３１と第２検出コイル４２と間の磁気抵抗に反比例する。よって、検波回路５２で検波されるＥ１-Ｅ２の大きさによって、トーションバー１０の捻れ量すなわちトーションバー１０に加えられたトルクが表されることになる。

さて、ここで、トーションバー１０の捻れ量θに対する出力側筒２２上での窓６３の移動量ｘは、出力側筒２２の半径をr、Φを図２ｄに示すように入力側スリット６２と検出側スリット６１との軸方向に対する傾きの絶対値として、ｘ=（rθ/２）/ｔａｎΦとなる。したがって、rを大きくせずとも、Φを適当に設定することにより良好な感度を実現することができる。

また、トーションバー１０の偏芯や振れ回りの影響は、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２によって全周について磁気抵抗を検出することにより相殺されるので、この点からも良好なトルクの測定が可能となる。
以上、本発明の第１の実施形態について説明した。
以下、本発明の第２の実施形態について説明する。
図４に、本実施形態に係るトルクセンサの構成を示す。
ここで、図４ａはトルクセンサの正面を、図４ｂはトルクセンサの左側面を、図４ｃはトルクセンサの右側面を、図４ｄはトルクセンサの断面を、それぞれ模式的に表している。
図示するように、本トルクセンサは、測定対象のトルクが入力側（図における右方）端と出力側端（図における左方）との間の捻れ方向の力として加えられるトーションバー１０と、トーションバー１０に当該トーションバー１０の入力側で固定された入力側円盤７１と、トーションバー１０に当該トーションバー１０の出力側で固定された出力側円盤７２と、駆動コイル８１と、第１検出コイル９１と、第２検出コイル９２と、測定回路５０とを有している。

ここで、入力側円盤７１は導電性を有する非磁性体を用いて形成されており、円環状の円盤の内周端部分を入力側に延長してトーションバー１０の入力側に連結固定した形態を有している。また、出力側円盤７２は導電性を有する非磁性体を用いて形成されており、円環状の円盤の内周端部分を出力側に延長してトーションバー１０の出力側に連結固定した形態を有している。そして、入力側円盤７１と出力側円盤７２はトーションバー１０の回転軸と同軸状に、軸方向に近接して相対するように配置されている。

次に、第１検出コイル９１と第２検出コイル９２は、出力側円盤７２の出力側に、トーションバー１０の回転軸と同軸状に巻き回した形態で、径方向に並べて設けられている。また、駆動コイル８１は、入力側円盤７１の入力側に、第１検出コイル９１と第２検出コイル９２と、出力側円盤７２と入力側円盤７１とを介して相対するように、トーションバー１０の回転軸と同軸状に巻き回した形態で配置されている。

なお、駆動コイル８１は、トルクセンサの全体すなわち静止系に対して固定的に設けてもよいし、入力側円盤７１と共に回転するように入力側円盤７１に対して固定して設けるようにもよい。また、第１検出コイル９１と第２検出コイル９２も、トルクセンサの全体すなわち静止系に対して固定的に設けてもよいし、出力側円盤７２と共に回転するように出力側円盤７２に対して固定して設けるようにもよい。また、駆動コイル８１と、第１検出コイル９１と第２検出コイル９２とセットとの配置は、これを交換してもよい。

さて、次に、入力側円盤７１と出力側円盤７２の、駆動コイル８１が、第１検出コイル９１と第２検出コイル９２と対面する箇所には、各々複数のスリットが設けられている。
すなわち、図５ａに示すように、出力側円盤７２には、径方向に対して所定角度傾けた複数の、周方向に並んだスリットである検出側スリット７２１が設けられており、図５ｂに示すように入力側円盤７１には、径方向に対して前記検出側スリット７２１と逆方向に前記所定角度傾けた複数の周方向に並んだスリットである入力側スリット７１１が設けられている。

そして、このような入力側円盤７１と出力側円盤７２が図５ｃに示すようにトルクセンサに組み込まれた状態において、軸方向に見た入力側スリット７１１と検出側スリット７２１の配置関係を図５ｄ示すように、入力側スリット７１１と検出側スリット７２１は軸方向から見て一部重なり合って窓１００を形成する。また、トーションバー１０に捻れが生じていない状態において、この窓１００の径方向の位置は、ちょうど、第１検出コイル９１と第２検出コイル９２との中央の位置となるように設定されている。

また、この窓１００は、トーションバー１０の捻れが発生すると、当該捻れに伴い発生する入力側円盤７１の回転角度と出力側円盤７２の回転角度の偏差に応じて径方向について捻れ量に応じた距離移動する。すなわち、たとえば、トーションバー１０に、図５ｃに矢印で示すような捻れが生じると窓１００の位置は、図５ｄに示す径方向について中央の位置から、図５ｅに示すように第１検出コイル９１側に移動する。

さて、ここで、この窓１００は、駆動コイル８１と第１検出コイル９１、駆動コイル８１と第２検出コイル９２の間の磁束の通路となっている。したがって、第１検出コイル９１と第２検出コイル９２の中央の位置から窓６３が第１検出コイル９１側に移動すると、駆動コイル８１と第１検出コイル９１との間の磁気抵抗は減少し、駆動コイル８１と第２検出コイル９２との間の磁気抵抗は増加する。また、逆に、第１検出コイル９１と第２検出コイル９２の中央の位置から窓６３が第２検出コイル９２側に移動すると、駆動コイル８１と第１検出コイル９１との間の磁気抵抗は増加し、駆動コイル８１と第２検出コイル９２との間の磁気抵抗は減少する。

したがって、トーションバー１０に捻れが発生し、窓１００が径方向に移動すると、駆動コイル８１と第１検出コイル９１との間の磁気抵抗と、駆動コイル８１と第２検出コイル９２との間の磁気抵抗とは、移動距離に応じた量、したがって、トーションバー１０の捻れ量に応じた量、逆方向に変化する。

そこで、駆動コイルコイルと第１検出コイル９１との間の磁気抵抗と、駆動コイル３１と第２検出コイル９２との間の磁気抵抗との間の磁気抵抗との差を、前記第１実施形態で示した測定回路５０で測定すれば、トーションバー１０の捻れ量を測定することができ、この捻れ量より、トーションバー１０に加えられたトルクを算定することができる。

以上、本発明の第２の実施形態について説明した。
さて、ここで、トーションバー１０の捻れ量に対する窓１００の移動量は、各スリットの径方向位置と、各スリットの径方向に対する傾きによって定まる。したがって、円盤の径を大きくせずとも、各スリットの径方向に対する傾きを適当に設定することによりトーションバー１０の捻れ量に対する良好な感度を実現することができる。

また、トーションバー１０の偏芯や振れ回りの影響は、第１検出コイル９１と第２検出コイル９２によって全周について磁気抵抗を検出することにより相殺されるので、この点からも良好なトルクの測定が可能となる。
ところで、以上の第１、第２実施形態における駆動コイル３１と駆動コイル８１は、これを磁性体に置き換えるようにしてもよい。そして、この場合には、第１実施形態においては、測定回路５０を、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２とを交流駆動すると共に、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２によって誘起され前記窓６３-磁性体-窓６３の順に通過した磁束によって、第１検出コイル４１と第２検出コイル４２とに誘起される自己誘起起電力の差を検出する回路として構成するようにする。また、同様に、第２実施形態においては、測定回路５０を、第１検出コイル９１と第２検出コイル９２とを交流駆動すると共に、第１検出コイル９１と第２検出コイル４２によって誘起され前記窓１００-磁性体-窓１００の順に通過した磁束によって、第１検出コイル９１と第２検出コイル９２とに誘起される自己誘起起電力の差を検出する回路として構成するようにする。

本発明の第１実施形態に係るトルクセンサの構成を示す図である。本発明の第１実施形態に係るトルクセンサの構成を示す図である。本発明の第１実施形態に係るトルクセンサの測定回路の構成を示す図である。本発明の第２実施形態に係るトルクセンサの他の構成例を示す図である。本発明の第２実施形態に係るトルクセンサの他の構成例を示す図である。

符号の説明

１０…トーションバー、２１…入力側筒、２２…出力側筒、３１…駆動コイル、４１…第１検出コイル、４２…第２検出コイル、５０…測定回路、５１…発振回路、５２…検波回路、６１…検出側スリット、６２…入力側スリット、６３…窓、７１…入力側円盤、７２…出力側円盤、８１…駆動コイル、９１…第１検出コイル、９２…第２検出コイル、１００…窓、７１１…入力側スリット、７２１…検出側スリット。

Claims

トーションバーと、
前記トーションバーの一端に固定された、前記トーションバーと同軸状に配置された、非磁性体で形成した第１円筒と、
前記トーションバーの他端に固定された、前記第１円筒に挿入された形態で、前記トーションバーと同軸状に配置された、非磁性体で形成した第２円筒と、
測定部とを有し、
前記第１円筒および前記第２円筒における、互いに対面する側壁には各々スリットが設けられており、
前記第１円筒の側壁に設けられたスリットと、前記第２円筒の側壁に設けられたスリットとは、前記トーションバーの径方向から見て相互に交差するように軸方向に対する傾きが異ならせてあり、
前記測定部は、
トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した第１検出コイルと、
前記第１検出コイルと前記トーションバーの回転軸方向の位置を異ならせて配置した、前記トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した第２検出コイルと、
前記第１円筒の側壁に設けられたスリットと、前記第２円筒の側壁に設けられたスリットとの交差によって形成される窓を通る磁束を形成する磁束形成手段と、
前記第１検出コイルに前記窓を通過した磁束によって誘起された誘起電圧と、前記第２検出コイルに前記窓を通過した磁束によって誘起された誘起電圧とより前記トーションバーの捻れ量を計測する計測回路とを有し、
前記第１検出コイルと第２検出コイルとは、前記第１円筒の外側に当該第１円筒が中央孔に挿入された形態で配置されており、
前記磁束形成手段は、
前記第２円筒と前記トーションバーの間に配置された、前記トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した駆動用コイルと、
前記駆動用コイルを交流駆動する駆動回路とを有することを特徴とするトルクセンサ。
トーションバーと、
前記トーションバーの一端に固定された、前記トーションバーと同軸状に配置された、非磁性体で形成した第１回転盤と、
前記トーションバーの他端に固定された、前記第１回転盤と対面する形態で、前記トーションバーと同軸状に配置された、非磁性体で形成した第２回転盤と、
測定部とを有し、
前記第１回転盤と第２回転盤には各々スリットが設けられており、
前記第１回転盤に設けられたスリットと、前記第２回転盤に設けられたスリットとは、前記トーションバーの軸方向から見て相互に交差するように径方向に対する傾きが異ならせてあり、
前記測定部は、
トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した第１検出コイルと、
前記第１検出コイルと前記トーションバーの径方向の位置を異ならせて配置した、前記トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した第２検出コイルと、
前記第１回転盤に設けられたスリットと、前記第２回転盤に設けられたスリットとの交差によって形成される窓を通る磁束を形成する磁束形成手段と、
前記第１検出コイルに前記窓を通過した磁束によって誘起された誘起電圧と、前記第２検出コイルに前記窓を通過した磁束によって誘起された誘起電圧とより前記トーションバーの捻れ量を計測する計測回路とを有し、
前記第１検出コイルと第２検出コイルとは、前記第１回転盤の前記一端側に配置されており、
前記磁束形成手段は、
前記第２回転盤の前記他端側に配置された、前記トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した駆動用コイルと、
前記駆動用コイルを交流駆動する駆動回路とを有することを特徴とするトルクセンサ。
トーションバーと、
前記トーションバーの一端に固定された、前記トーションバーと同軸状に配置された、非磁性体で形成した第１円筒と、
前記トーションバーの他端に固定された、前記第１円筒に挿入された形態で、前記トーションバーと同軸状に配置された、非磁性体で形成した第２円筒と、
測定部とを有し、
前記第１円筒および前記第２円筒における、互いに対面する側壁には各々スリットが設けられており、
前記第１円筒の側壁に設けられたスリットと、前記第２円筒の側壁に設けられたスリットとは、前記トーションバーの径方向から見て相互に交差するように軸方向に対する傾きが異ならせてあり、
前記測定部は、
トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した第１検出コイルと、
前記第１検出コイルと前記トーションバーの回転軸方向の位置を異ならせて配置した、前記トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した第２検出コイルと、
前記第１円筒の側壁に設けられたスリットと、前記第２円筒の側壁に設けられたスリットとの交差によって形成される窓を通る磁束を形成する磁束形成手段と、
前記第１検出コイルに前記窓を通過した磁束によって誘起された誘起電圧と、前記第２検出コイルに前記窓を通過した磁束によって誘起された誘起電圧とより前記トーションバーの捻れ量を計測する計測回路とを有し、
前記第１検出コイルと第２検出コイルとは、前記第２円筒と前記トーションバーの間に配置されており、
前記磁束形成手段は、
前記第１円筒の外側に当該第１円筒が中央孔に挿入された形態で配置された、前記トーションバーの回転軸と同軸状に巻き回した駆動用コイルと、
前記駆動用コイルを交流駆動する駆動回路とを有することを特徴とするトルクセンサ。