JP4962587B2 - スパッタリングターゲット、スパッタリングターゲットの製造方法、及び、光メディアの製造方法 - Google Patents
スパッタリングターゲット、スパッタリングターゲットの製造方法、及び、光メディアの製造方法 Download PDFInfo
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Description
開示されている。
前記成形体を500℃から700℃までの昇温速度が0.1〜1℃/minとなるように焼成する工程と、を備える。
本実施形態に係るスパッタリングターゲットについて説明する。本実施形態に係るスパッタリングターゲットは、酸化マグネシウム又は酸化ゲルマニウムを主成分とするマトリクス中に、酸化ビスマス粒子が分散している。
まず、本実施形態にかかるスパッタリングターゲットの製造方法の一例について説明する。
従来は、非等方プレスにより成形した成形体を焼成していたが、本実施形態のように、等方プレスにより成形した成形体は、充填率が高くなってマトリクス焼成時の酸化ビスマスの粒成長を抑制できることが考えられる。また、500〜700℃の範囲で、酸化ビスマスが特に粒成長する温度範囲である500〜700℃の範囲内における昇温速度を低い特定の範囲にすることにより、粒成長抑制効果があるものと考えられる。
図1を参照して、本実施形態に係る光ディスク(光メディア)200について説明する。
平均粒径0.3μmのBi2O3粒子と、平均粒径0.4μmのGeO2粒子とを用意した。そして、Bi2O3粒子とGeO2粒子とのモル比が50:50となるようにそれぞれを秤量し、ボールミル中でアセトンを溶媒として湿式混合した。
続いて、混合粒子をCIP装置により、等方プレスして成形体を得た。成形条件は、圧力2000kgf/cm2、温度は室温とした。
その後、得られた成形体を、炉内でプレスすることなく加熱して焼成した。150〜700℃の間の昇温速度を0.5℃/minとし、最高温度は810℃とした。
そして、得られた焼成体を、平面研削盤と円筒研磨機により200mmφ、厚さ6mmに成形してスパッタリング用ターゲットを得た。得られたターゲットのSEM写真を図2に示す。なお、図中の白っぽい部分がBi2O3粒子、グレーの部分がGeO2マトリクス、黒い部分は空孔である。
Bi2O3粒子とGeO2粒子とのモル比を35:65とし、150〜700℃の間の昇温速度を0.7℃/minとし、焼成最高温度を800℃とし、それら以外は実施例1と同様にした。
GeO2粒子に変えて、平均粒径0.3μmのMgO粒子を用い、Bi2O3粒子とMgO粒子とのモル比を20:80とし、150〜700℃の間の昇温速度を0.5℃/minとし、焼成最高温度を870℃とし、それら以外は実施例1と同様にした。
Bi2O3粒子とMgO粒子とのモル比を30:70とし、150〜700℃の間の昇温速度を0.3℃/minとし、焼成最高温度を860℃とし、それら以外は実施例3と同様にした。
等方プレス成形でなく、1200kgf/cm2で一軸加圧成形し、150〜700℃の間の昇温速度を3℃/minとしたとする以外は実施例1と同様とした。
150〜700℃の間の昇温速度を2℃/minとする以外は実施例2と同様とした。
等方プレス成形でなく、一軸プレス成形し、150〜700℃の間の昇温速度を5℃/minとするとする以外は実施例3と同様とした。
等方プレス成形でなく、一軸プレス成形し、150〜700℃の間の昇温速度を3℃/minとするとする以外は実施例4と同様とした。
スパッタリングターゲットのSEM写真を撮影し、100個の定方向接線径の算術平均から平均粒径を求めた。なお、全ての実施例及び比較例とも、酸化マグネシウム又は酸化ゲルマニウムのマトリクス中に、酸化ビスマス粒子が分散していた。
スパッタリングターゲットをスパッタリング装置にセットし、RF電源により電力を3kWまで徐々に印加して、スパッタリングターゲットが割れるか否かを観察した。割れた場合は割れた時の電圧を、割れなかった場合には3kWを最大投入可能電圧とした。
Claims (4)
- 酸化マグネシウム又は酸化ゲルマニウムを主成分とするマトリクス、及び、前記マトリクス中に分散した酸化ビスマス粒子を備え、
前記酸化ビスマス粒子の平均粒径が0.2〜0.7μmであるスパッタリングターゲット。 - 酸化ビスマスと、酸化マグネシウム又は酸化ゲルマニウムと、の合計に対する酸化ビスマスのモル分率が、15〜90%である請求項1記載のスパッタリングターゲット。
- 酸化マグネシウム粒子又は酸化ゲルマニウム粒子と、平均粒径が0.05〜0.5μmの酸化ビスマス粒子との混合物を等方プレスすることにより成形体を得る工程と、
前記成形体を500℃から700℃までの昇温速度が0.1〜1℃/minとなるように焼成する工程と、を備えたスパッタリングターゲットの製造方法。 - 光記録層を備える光メディアの製造方法であって、
請求項1又は2記載のスパッタリングターゲットを用いたスパッタリングにより前記光記録層を成膜する工程を備える光メディアの製造方法。
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