JP4958278B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
Physics in Medicine and Biology 48(2003) 3625 APPLIED OPTICS/Vol.41, No.10, 2002,pp.2074
本発明の検査装置の一実施形態は、電磁波を伝播させる伝送路、伝送路に電磁波を供給し且つ伝送路から電磁波を受けて検出する電磁波供給検出部、電磁波を反射して伝送路に戻す反射部、検体を設置するための検査部を有する。伝送路に電磁波を結合させる結合部が更に設けられてもよい。
第1の実施例を説明する。図1に示す上記実施形態と同じ基本構成を有する本実施例では、光強度10mWのポンプ光を間隙17aに、光強度5mWのプローブ光を間隙17bに集光照射する。バイアス供給線18には10Vの電圧を印加し、信号線15の電位は0Vとする。
本発明の第2の実施例を、図5を用いて説明する。
本実施例では、信号線、誘電体、接地電極からなるマイクロストリップライン型伝送線路51は分岐点52を有している。図5中、分岐点52から見て左下に伸びる伝送線路をマイクロストリップライン型伝送線路51a、左上に伸びる伝送線路をマイクロストリップライン型伝送線路51b、右側に伸びる伝送線路をマイクロストリップライン型伝送線路51cとする。
aに供給されたテラヘルツ波はほぼ全て分岐点52を経て反射部57へ向かう伝送線路51 cに結合し、反射部57から分岐点52へ向かうテラヘルツ波はほぼ全て分岐点52を経て検出部へ向かう伝送線路51
bに結合する。
本発明の第3の実施例を、図6を用いて説明する。
本実施例でも、第1の実施例に示したものと同様、マイクロストリップライン型伝送線路61、電磁波供給検出部62、反射部63、検体を滴下する液だめ64が基板上に設置されている。本実施例においては、マイクロストリップライン型伝送線路61を構成する信号線65のうち、断絶している反射部63とは反対の側に、アンテナ66が形成されている。ここでは、逆三角形状のアンテナ66が信号線65に接続されているが、不要な反射波を抑制して、伝播してきた電磁波を空中へ放射できるアンテナであればどの様なものでもよい。
本発明の第4の実施例を、図8を用いて説明する。
本実施例でも、第3の実施例に示したものと同様、マイクロストリップライン型伝送線路81、電磁波供給検出部82、反射部83、検体を滴下する液だめ84が基板上に設置されている。また、伝送線路81を構成する信号線85のうち、断絶している反射部83とは反対側の端部にアンテナ86が形成されている。
本発明の第5の実施例を、図9を用いて説明する。
本実施例では、シリコン等からなる基板91上に、接地電極92aを蒸着等の方法により形成している。そして、エピタキシャルリフトオフ法などにより、低温成長ガリウムヒ素膜93を接地電極92a上に形成している。また、スピンコート法などにより誘電体層94(例えばBCB)を形成している。誘電体層94の一部は、ドライエッチングなどの方法により除去され、低温成長ガリウムヒ素膜93を露出させている。
12、92a、92b、92c 伝送路(接地電極)
13、53、93 電磁波供給検出部(低温成長ガリウムヒ素膜)
14、94 伝送路(誘電体層)
15、65、85、95 伝送路(信号線)
16、51、61、81 伝送路(マイクロストリップライン型伝送線路)
17、55、68、88 電磁波供給検出部(間隙)
18、54、67、87、96 バイアス電圧供給線
19、56、69、89、97 信号読み取り線
23 遅延光学系
25 本発明の検査装置
57、63、83、110 反射部
58、64、84、98、113 検査部(液だめ)
59、112 検体
62、82、111 電磁波供給検出部
Claims (6)
- 電磁波が検体と相互作用することで生じる電磁波の伝播状態の変化から検体の情報を検出するための検査装置であって、
伝送路と、前記伝送路に電磁波を供給し且つ前記電磁波を検出する電磁波供給検出部と、前記伝送路を伝播する前記電磁波を反射する反射部と、前記電磁波供給検出部と前記反射部との間において検体を設置するための検査部とを有し、
前記伝送路と前記電磁波供給検出部と前記反射部と前記検査部が同一基板上に形成されており、
前記電磁波供給検出部は、前記伝送路に電磁波を供給する供給部と、前記伝送路からの前記電磁波を検出する検出部と、を含み、
前記供給部と前記検出部は、互いに隣接して配置されており、連続する共通の同一層を含む、
ことを特徴とする検査装置。 - 電磁波が検体と相互作用することで生じる電磁波の伝播状態の変化から検体の情報を検出するための検査装置であって、
伝送路と、前記伝送路に電磁波を供給し且つ前記電磁波を検出する電磁波供給検出部と、前記伝送路を伝播する前記電磁波を反射する反射部と、前記電磁波供給検出部と前記反射部との間において検体を設置するための検査部とを有し、
前記伝送路と前記電磁波供給検出部と前記反射部と前記検査部が同一基板上に形成されており、
前記電磁波供給検出部は、前記伝送路に電磁波を供給する供給部と、前記伝送路からの前記電磁波を検出する検出部と、を含み、
前記供給部と前記検出部は、連続する共通の同一層を含み、
前記伝送路が分岐点を有し、前記検査部が前記分岐点と前記反射部の間にあり、
前記供給部から伝送路に供給される電磁波は、前記分岐点を経て前記反射部へ向かう伝送路に結合され、前記反射部から前記分岐点へ向かう電磁波は、前記分岐点を経て前記検出部へ向かう伝送路に結合される、
ことを特徴とする検査装置。 - 前記連続する共通の同一層は、低温成長ガリウムヒ素からなる請求項1または2に記載の検査装置。
- 前記伝送路が、誘電体部と該誘電体部の一箇所以上に設けられた導電部とを有する請求項1乃至3のいずれかに記載の検査装置。
- 前記反射部が、前記伝送路のインピーダンスを不連続に変化させて形成されている請求項1乃至4のいずれかに記載の検査装置。
- 前記電磁波の周波数が、30GHz乃至30THzの周波数領域に含まれる請求項1乃至5のいずれかに記載の検査装置。
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