JP2008224436A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 電磁波が検体と相互作用することで生じる電磁波の伝播状態の変化から検体の情報を検出するための検査装置であって、
   伝送路と、前記伝送路に電磁波を供給し且つ前記電磁波を検出する電磁波供給検出部と、前記伝送路を伝播する前記電磁波を反射する反射部と、前記電磁波供給検出部と前記反射部との間において検体を設置するための検査部とを有し、
   前記伝送路と前記電磁波供給検出部と前記反射部と前記検査部が同一基板上に形成されており、
   前記電磁波供給検出部は、前記伝送路に電磁波を供給する供給部と、前記伝送路からの前記電磁波を検出する検出部と、を含み、
   前記供給部と前記検出部は、連続する共通の同一層を含む、
   ことを特徴とする検査装置。
2. 前記供給部と前記検出部は、互いに隣接して配置されている請求項1に記載の検査装置。
3. 前記連続する共通の同一層は、低温成長ガリウムヒ素からなる請求項1または2に記載の検査装置。
4. 前記伝送路が分岐点を有し、前記検査部が前記分岐点と前記反射部の間にあり、
   前記供給部から伝送路に供給される電磁波は、前記分岐点を経て前記反射部へ向かう伝送路に結合され、前記反射部から前記分岐点へ向かう電磁波は、前記分岐点を経て前記検出部へ向かう伝送路に結合される請求項1乃至3のいずれかに記載の検査装置。
5. 前記伝送路が、誘電体部と該誘電体部の一箇所以上に設けられた導電部とを有する請求項1乃至4のいずれかに記載の検査装置。
6. 前記反射部が、前記伝送路のインピーダンスを不連続に変化させて形成されている請求項1乃至5のいずれかに記載の検査装置。
7. 前記電磁波の周波数が、30GHz乃至30THzの周波数領域に含まれる請求項1乃至6のいずれかに記載の検査装置。