JP4957751B2 - GaN単結晶体およびその製造方法、ならびに半導体デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 273
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 56
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 117
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 52
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 46
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 46
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 16
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 4
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 230
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 224
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 57
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 23
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 8
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 7
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 7
- XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M chlorogallium Chemical compound [Ga]Cl XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 2
- 238000007716 flux method Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 2
- 238000005092 sublimation method Methods 0.000 description 2
- WGPCGCOKHWGKJJ-UHFFFAOYSA-N sulfanylidenezinc Chemical compound [Zn]=S WGPCGCOKHWGKJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000012868 Overgrowth Diseases 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- UPWPDUACHOATKO-UHFFFAOYSA-K gallium trichloride Chemical compound Cl[Ga](Cl)Cl UPWPDUACHOATKO-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 230000009546 growth abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/86—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
- H01L29/861—Diodes
- H01L29/872—Schottky diodes
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/403—AIII-nitrides
- C30B29/406—Gallium nitride
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/0254—Nitrides
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/2003—Nitride compounds
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/201—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds including two or more compounds, e.g. alloys
- H01L29/205—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds including two or more compounds, e.g. alloys in different semiconductor regions, e.g. heterojunctions
Description
本発明の一実施形態であるGaN単結晶体10は、ウルツ型結晶構造を有し、30℃において弾性定数C11が348GPa以上365GPa以下かつ弾性定数C13が90GPa以上98GPa以下、または、弾性定数C11が352GPa以上362GPa以下である。
図2および図4を参照して、本発明の一実施形態であるGaN単結晶体の製造方法は、結晶成長容器110内に、Ga原料を供給するソースボート105と下地基板11と石英部材109とを配置する工程S11と、気相法により下地基板11上にGaN単結晶体10を成長させる工程S12と、を備え、GaN単結晶体10を成長させる工程において、ソースボート105の温度を980℃以上1040℃以下に保持しかつ下地基板11および石英部材109の温度を1130℃より大きく1150℃以下に保持する。
図3を参照して、本発明の一実施形態である半導体デバイス30は、実施形態1のGaN単結晶体10と、GaN単結晶体10上に形成されている少なくとも1層のIII族窒化物半導体層20と、を含む。本実施形態の半導体デバイス30は、実施形態1のGaN単結晶体10を含んでいるため、クラックの発生が極めて少ない。
図3および図4を参照して、本発明の一実施形態である半導体デバイス30の製造方法は、実施形態1のGaN単結晶体10を準備する工程S10と、GaN単結晶体10上に少なくとも1層のIII族窒化物半導体層20を形成する工程S20と、を備える。本実施形態の半導体デバイスの製造方法によれば、実施形態1のGaN単結晶体10上に少なくとも1層のIII族窒化物半導体層20を形成するため、半導体デバイスの製造の際のGaN単結晶体10およびIII族窒化物半導体層20のクラックの発生を抑制することができるため、半導体デバイスの歩留まりが高くなる。
1.GaN単結晶体の製造
図3に示すHVPE装置100を用いて、以下のようにしてGaN単結晶基板(板状のGaN単結晶体10)を製造した。詳細には、HVPE装置100の結晶成長容器110内に、Ga原料を供給するソースボート105、下地基板11としてのGaN基板、サセプタ108としてのカーボン板、局所加熱ヒータ115としての抵抗加熱ヒータ、および支持台を形成する石英部材109である石英板を配置した。詳しくは、石英板(石英部材109)上に抵抗加熱ヒータ(局所加熱ヒータ115を配置し、局所加熱ヒータ115上にカーボン板(サセプタ108)を配置し、サセプタ108上に直径2インチ(5.08cm)で厚さ400μmのGaN基板(下地基板11)を配置した(工程S11)。ここで、GaN基板(下地基板11)の主面は(0001)面でありGa原子面であった。
2−1.クラック発生率
上記のようにして得られた50枚のGaN単結晶基板(板状のGaN単結晶体)のクラックの発生の有無を以下の方法で確認した。GaN単結晶基板の両主面の表面状態を、白色のスポットライトを照射しながら、目視で観察した。GaN単結晶基板の主面においてクラックが発生している部分では、スポットライトの光が散乱されるので、クラックの有無が判断できる。かかる方法によりで、クラックが確認されたGaN単結晶基板をクラックの発生有りとし、クラックが確認されなかったGaN単結晶基板をクラックの発生無しとした。50枚のGaN単結晶基板の枚数に対するクラックの発生が有ったGaN単結晶基板の枚数の百分率をクラック発生率(%)として算出した。本実施例のGaN単結晶体のクラック発生率は2%であった。結果を表1にまとめた。
上記のようにして得られた20個のGaN単結晶体試料の弾性定数C11およびC13を30℃の雰囲気温度中でRUS法により測定した。本実施例のGaN単結晶体の30℃における弾性定数C11は348〜354GPa、弾性定数C13は96〜98GPaであった。結果を表1にまとめた。
1.GaN単結晶体の製造
ソースボートの温度を1020℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN単結晶体を製造し、50枚のGaN単結晶基板および20個のGaN単結晶試料を作製した。
実施例1と同様にして、クラック発生率および弾性定数を測定した。本実施例のGaN単結晶体のクラック発生率は0%であり、30℃における弾性定数C11は352〜362GPa、弾性定数C13は92〜95GPaであった。結果を表1にまとめた。
1.GaN単結晶体の製造
ソースボートの温度を1040℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN単結晶体を製造し、50枚のGaN単結晶基板および20個のGaN単結晶試料を作製した。
実施例1と同様にして、クラック発生率および弾性定数を測定した。本実施例のGaN単結晶体のクラック発生率は4%であり、30℃における弾性定数C11は359〜365GPa、弾性定数C13は90〜92GPaであった。結果を表1にまとめた。
1.GaN単結晶体の製造
ソースボートの温度を1020℃、下地基板および石英部材の温度を1140℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN単結晶体を製造し、50枚のGaN単結晶基板および20個のGaN単結晶試料を作製した。
実施例1と同様にして、クラック発生率および弾性定数を測定した。本実施例のGaN単結晶体のクラック発生率は6%であり、30℃における弾性定数C11は352〜362GPa、弾性定数C13は86〜93GPaであった。結果を表1にまとめた。
1.GaN単結晶体の製造
下地基板および石英部材の温度を1130℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN単結晶体を製造し、50枚のGaN単結晶基板および20個のGaN単結晶試料を作製した。
実施例1と同様にして、クラック発生率および弾性定数を測定した。本実施例のGaN単結晶体のクラック発生率は24%であり、30℃における弾性定数C11は344〜347GPa、弾性定数C13は99〜100GPaであった。結果を表1にまとめた。
1.GaN単結晶体の製造
図1のHVPE装置100に対して、支持台を形成する石英部材がなく、サセプタ108および局所加熱ヒータ115に替えて局所加熱ヒータを内蔵したカーボン板のサセプタ208を用いた図5のHVPE装置230を用いたこと、ソースボートの温度を980℃、下地基板の温度を1130℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN単結晶体を製造し、50枚のGaN単結晶基板および20個のGaN単結晶試料を作製した。
実施例1と同様にして、クラック発生率および弾性定数を測定した。本実施例のGaN単結晶体のクラック発生率は48%であり、30℃における弾性定数C11は342〜345GPa、弾性定数C13は99〜102GPaであった。結果を表1にまとめた。
1.GaN単結晶体の製造
図1のHVPE装置100に対して、局所加熱ヒータ115がない図6のHVPE装置240を用いたこと、ソースボートの温度を980℃、下地基板の温度を1080℃、石英部材の温度を1080℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN単結晶体を製造し、50枚のGaN単結晶基板および20個のGaN単結晶試料を作製した。
実施例1と同様にして、クラック発生率および弾性定数を測定した。本実施例のGaN単結晶体のクラック発生率は52%であり、30℃における弾性定数C11は367〜378GPa、弾性定数C13は83〜88GPaであった。結果を表1にまとめた。
Claims (6)
- ウルツ型結晶構造を有し、30℃において、弾性定数C11が348GPa以上365GPa以下かつ弾性定数C13が90GPa以上98GPa以下、または、弾性定数C11が352GPa以上362GPa以下かつ弾性定数C 13 が86GPa以上93GPa以下、であるGaN単結晶体。
- 抵抗率が1×103Ω・cm以下である請求項1に記載のGaN単結晶体。
- 自立基板である請求項1または請求項2に記載のGaN単結晶体。
- 結晶成長容器内に、Ga原料を供給するソースボートと下地基板と石英部材とを配置する工程と、
気相法により前記下地基板上にGaN単結晶体を成長させる工程と、を備え、
前記GaN単結晶体を成長させる工程において、前記ソースボートの温度を980℃以上1040℃以下に保持しかつ前記下地基板および前記石英部材の温度を1130℃より大きく1150℃以下に保持するGaN単結晶体の製造方法。 - 請求項1のGaN単結晶体と、前記GaN単結晶体上に形成されている少なくとも1層のIII族窒化物半導体層と、を含む半導体デバイス。
- 請求項1のGaN単結晶体を準備する工程と、
前記GaN単結晶体上に少なくとも1層のIII族窒化物半導体層を形成する工程と、を備える半導体デバイスの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009139304A JP4957751B2 (ja) | 2009-06-10 | 2009-06-10 | GaN単結晶体およびその製造方法、ならびに半導体デバイスおよびその製造方法 |
US12/797,617 US8294245B2 (en) | 2009-06-10 | 2010-06-10 | GaN single-crystal mass and method of its manufacture, and semiconductor device and method of its manufacture |
CN201010202934.5A CN101922045B (zh) | 2009-06-10 | 2010-06-10 | GaN单结晶体及其制造方法和半导体器件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012061574A Division JP5440636B2 (ja) | 2012-03-19 | 2012-03-19 | GaN単結晶体およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010287673A JP2010287673A (ja) | 2010-12-24 |
JP4957751B2 true JP4957751B2 (ja) | 2012-06-20 |
Family
ID=43305655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009139304A Active JP4957751B2 (ja) | 2009-06-10 | 2009-06-10 | GaN単結晶体およびその製造方法、ならびに半導体デバイスおよびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8294245B2 (ja) |
JP (1) | JP4957751B2 (ja) |
CN (1) | CN101922045B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012126641A (ja) * | 2012-03-19 | 2012-07-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | GaN単結晶体およびその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07273048A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 化合物半導体単結晶の製造方法、該化合物半導体の単結晶および単結晶基板の製造方法 |
JP4333092B2 (ja) * | 2002-07-12 | 2009-09-16 | 日立電線株式会社 | 窒化物半導体の製造方法 |
US7170095B2 (en) * | 2003-07-11 | 2007-01-30 | Cree Inc. | Semi-insulating GaN and method of making the same |
JP4781028B2 (ja) * | 2004-07-21 | 2011-09-28 | 昭和電工株式会社 | Iii族窒化物半導体積層体及びiii族窒化物半導体発光素子の製造方法 |
US7663295B2 (en) * | 2005-12-15 | 2010-02-16 | Imec | Method and system for measuring physical parameters with a piezoelectric bimorph cantilever in a gaseous or liquid environment |
JP4788397B2 (ja) * | 2006-02-27 | 2011-10-05 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
-
2009
- 2009-06-10 JP JP2009139304A patent/JP4957751B2/ja active Active
-
2010
- 2010-06-10 CN CN201010202934.5A patent/CN101922045B/zh not_active Expired - Fee Related
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012126641A (ja) * | 2012-03-19 | 2012-07-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | GaN単結晶体およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010287673A (ja) | 2010-12-24 |
CN101922045A (zh) | 2010-12-22 |
US8294245B2 (en) | 2012-10-23 |
CN101922045B (zh) | 2014-10-15 |
US20100314625A1 (en) | 2010-12-16 |
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