JP4955286B2 - 外力検出装置 - Google Patents

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Description

本発明は、外力検出装置に関し、詳しくは、支持部と受力部との相対位置の変位を光の受光位置のずれによって検出する光学式変位センサの出力に基づいて前記受力部に印加された外力を検出する外力検出装置に関する。
従来から、支持部に対する受力部の相対変位を光学式変位センサによって検出し、光学式変位センサからの信号に基づいて受力部に印加された外力を算出する、光学式6軸力センサ等の外力検出装置が知られている。
たとえば光学式6軸力センサでは、6軸方向の変位に基づいて6軸方向の力を算出するようにしており、6軸方向の変位を計測するための光学式変位センサを設けた構成としている。
この光学式6軸力センサは、6軸方向の変位を計測するために光センサユニットをベースとしたXY方向の2軸方向の変位を計測することができる光学式変位センサを3つ設けて構成される。
光センサユニットは、光源となるLED(Light Emitting Diode、発光ダイオード)と受光素子となるPD(Photo Diode、フォトダイオード)の光軸を一致させて対向配置する。PDは4分割されて、その中心部にLEDからの光が照射され、光学式変位センサでは、このPDにおける光の受光位置の変位すなわちLEDが取り付けられた部品とPDが取り付けられた部品との相対位置の変位を検出することができるようになっている。
光学式6軸力センサでは、このような各光学式変位センサからの出力に基づいて、LEDが取り付けられた部品とPDが取り付けられた部品との間に印加された6軸力を算出する。
図14は、特許文献1に開示された従来の6軸力センサの平面図であり、図15は、図14の6軸力センサ1001を図14の方向XVでみた側断面図である。
この従来の6軸力センサ1001は、円筒状の支持部1002と、その支持部1002の中心部に配置される厚肉状の受力部1003と、それら支持部1002および受力部1003間を連結する3本のスポーク状の弾性連結部1004を有する弾性フレーム1005とを備えている。
受力部1003には3個の光センサ1008が120度回転対称に配置されている。一方、支持部1002には各光センサ1008に対向する位置にそれぞれ光源1009が設けられており、光センサ1008および光源1009で光センサユニット1010を構成している。
特開平3−245028号公報
しかしながら、上述の従来の光学式変位センサを用いた6軸力センサすなわち外力検出装置には以下のような問題があった。
特許文献1に記載の6軸力センサでは、図14や図15に示すように、受力部1003の側面のうち光源1009に近い側の側面に光センサ1008が設けられており、光源1009と光センサ1008とが接近した構成になっている。
このような構成では、6軸力センサすなわち外力検出装置の外径を小さくすると、光源と光センサの設置スペースに余裕がなくなり各部品の取り付けが困難となるし、また、光源と受光素子との間隔(光路長)を十分に確保できなくなり、精度よく変位検出を行うことができなくなってしまう。このため、従来の装置ではそれ以上の小型化は困難であるという問題があった。
なお、光源と受光素子との間隔(光路長)を確保する必要性について詳しく説明すると、一般に6軸力センサの外径が小さくなるにしたがって、計測すべき最大変位量が小さくなる傾向にあるが、計測すべき最大変位量を小さくする場合には、その分、計測の分解能(感度)を上げなければならない。そして、この分解能を上げるには光センサすなわち受光素子に入射させる光のビーム径を小さくする必要があるが、光源からの発散光を通常のレンズを用いてより小さいビーム径に集光するには、一般に光源とレンズとの間隔を広げることによって対処するものであり、このため、6軸力センサの外径が小さくするためには、それに応じて光源と受光素子との間隔(光路長)を確保する必要がある。
本発明は上記の点にかんがみてなされたもので、装置の外径を小さくする場合であっても、各部品の取り付けを容易に行えるようにし、また、高分解能での計測を可能とした外力検出装置を提供することを目的とする。
本発明は上記の目的を達成するために、支持部と、前記支持部の回転対称軸の中心に配置される受力部と、前記支持部と前記受力部とを連結する弾性連結部とを有し、前記支持部に対する前記受力部の相対変位を3組の光学式変位センサによって検出し、前記3組の光学式変位センサそれぞれからの信号に基づいて前記受力部に印加された外力を算出する外力検出装置において、前記3組の光学式変位センサは、前記回転対称軸を中心に120度回転対称に配置され、前記各光学式変位センサを構成する光源は、前記支持部または前記受力部のいずれか一方に設けられ、前記各光学式変位センサを構成する受光素子は、前記支持部または前記受力部のうち前記光源が設けられているのとは別の方に設けられ、前記光学式変位センサを構成する光源と受光素子との間に前記受力部が介在し、前記光源から前記受光素子までの光路が前記回転対称軸を通過し前記受力部を貫通するように前記3組の光学式変位センサを構成したことを特徴とする。
また本発明は請求項1に記載の発明において、前記弾性連結部は、前記回転対称軸を中心に120度回転対称に配置され、前記回転対称軸から見た場合に、前記弾性連結部に対して前記3組の光学式変位センサの各光軸が重ならないように、前記弾性連結部に対して前記3組の光学式変位センサを配置したことを特徴とする。
また本発明は請求項1または2に記載の発明において、前記光源は、光ファイバにより構成されていることを特徴とする。
本発明によれば、装置の外径を小さくする場合であっても、各部品の取り付けを容易に行えるようにし、また、高分解能での計測を可能とした外力検出装置を提供することができる。
すなわち本発明によれば、請求項1に記載のようにしたので、光学式変位センサを構成する光源と受光素子との間に受力部が介在し、この受力部の分、光源と受光素子との間の距離を長くすることができ、これによって設置スペースを確保して各部品の取り付けを容易に行え、また、高分解能での計測が可能となり、外力検出装置を小径化することもできる。
また本発明によれば、請求項2に記載のように光源と受光素子との光軸が弾性連結部に重ならないような配置にしたので、この弾性連結部の分だけ、光源と受光素子との間の距離を長くすることができ、これによってさらに、設置スペースを確保して各部品の取り付けを容易に行え、また、高分解能での計測が可能となり、外力検出装置を小径化することもできる。
また本発明によれば、請求項3に記載のように光源を光ファイバで構成したので、光源を小さくすることができ、これによってさらに、設置スペースを確保して各部品の取り付けを容易に行え、また、高分解能での計測が可能となり、外力検出装置を小径化することもできる。
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明による6軸力センサの第1の実施の形態の外観を示す斜視図である。
図1に示すように、本実施の形態の6軸力センサ20は、円柱状の形状に形成され、本体21aの上部に円板上の上部蓋21bがされて構成される。
図2は、図1に示した6軸力センサ20から上部蓋21bを外して上から見た概略斜視図である。
また図3は、図1に示した6軸力センサ20から上部蓋21bを外して上から見た概略平面図である。
さらに図4は、図1に示した6軸力センサ20を図3の方向IVでみた側断面図である。
図2、図3および図4に示すように、本実施の形態の6軸力センサ20は、円筒状の支持部22と、その支持部22の中心部に配置される受力部23と、これら支持部22と受力部23との間を連結するスポーク状の弾性連結部24を3本有するフレーム25とを備えて構成される。
なお、本実施の形態では、外枠を支持部22とし、中心部を受力部23としたが、本発明はこれに限られるものではなく、外枠を受力部とし、中心部を支持部としてもかまわないことは言うまでもない。
フレーム25は、アルミ合金材から切削加工および放電加工によって削り出して形成した一体のもので、弾性連結部24は屈曲して形成され、全方向に弾性変形しやすくされている。
支持部22および受力部23は、計測すべき力が加えられる2部材にそれぞれ固着される。これによって、6軸力センサ20に力が作用したとき、支持部22と受力部23との間に3軸方向の微少変位と3軸回りの微少回転とが生じる。
また、図2および図3に示すように、支持部22には、3個の光センサ1(受光素子(たとえばPD))が120度回転対称に配置されている。
一方、受力部23には、3個の光源3(たとえばLED)が、3個の光センサ1のそれぞれに対向して120度回転対称に配置されている。各光源3からの光は、受力部23の回転対称中心を通過して各光センサ1に入射する。
図2、図3および図4に示すように、光源3からの光は、受力部23を通過し、光センサ1の受光面の中央に照射される。光センサ1はこれを受光し、この受光結果に基づいて、光源3から出射される光の中心軸と直交する面内の2軸方向における、支持部22に対する受力部23の相対変位を計測することができる。
なお、この例では、受力部23は高さを有し、光源3からの光を通過させるための貫通孔が設けられているものであるが、貫通孔の代わりに貫通溝等が設けられているものであってもかまわない。また、受力部23の機械的強度が要求仕様を満たす場合には、受力部全体の厚みを薄くすることにより光路を確保するものであってもかまわない。
また、この例では、受力部23は一体に構成されているものであるが、光源等の光学部品の受力部23への取り付けを容易にするために、たとえば受力部23を厚み方向に2分割し、あらかじめ光源等の光学部品が取り付けられている上側の受力部を、基部となる下側の受力部に取り付ける構成としてもよい。
この実施の形態によれば、光源3と光センサ1との間に受力部23を介在させた分だけ光路長を長く確保することができる。
次に、本発明の別の実施の形態について説明する。
図5は、本発明による6軸力センサの第2の実施の形態の概略斜視図である。
また図6は、図5に示した6軸力センサ120を上から見た概略平面図である。
さらに図7は、図5に示した6軸力センサ120を図6の方向VIIでみた側断面図である。
図5、図6および図7に示すように、本実施の形態の6軸力センサ120は、円筒状の支持部122と、その支持部122の中心部に配置される受力部123と、これら支持部122と受力部123との間を連結するスポーク状の弾性連結部124を3本有するフレーム125とを備えて構成される。
なお、本実施の形態では、外枠を支持部122とし、中心部を受力部123としたが、本発明はこれに限られるものではなく、外枠を受力部とし、中心部を支持部としてもかまわないことは言うまでもない。
フレーム125は、アルミ合金材から切削加工および放電加工によって削り出して形成した一体のもので、弾性連結部124は屈曲して形成され、全方向に弾性変形しやすくされている。
支持部122および受力部123は、計測すべき力が加えられる2部材にそれぞれ固着される。これによって、6軸力センサ120に力が作用したとき、支持部122と受力部123との間に3軸方向の微少変位と3軸回りの微少回転とが生じる。
また、図5および図6に示すように、支持部122には、3個の光センサ101(受光素子(たとえばPD))が120度回転対称に配置されている。
一方、受力部123には、3個の出射口103が、3個の光センサ101のそれぞれに対向して120度回転対称に配置されている。各出射口103から出射された光は、受力部123の回転対称中心を通過して各光センサ101に入射する。
この実施の形態では、光源(図示せず)からの光を光ファイバの入射口(図示せず)に入射させ、出射口103から出射する。出射口103は3個設けているが、光源は出射口103ごとに合計3個設けてもよいし、光源を共通で1個だけ設け、その光を光ファイバの1つの入射口から入射させた後に光ファイバを3分岐させ、3個の出射口103のそれぞれに光を供給するようにしてもよい。
図5、図6および図7に示すように、出射口103からの光は、受力部123を通過し、光センサ101の受光面の中央に照射される。光センサ101はこれを受光し、この受光結果に基づいて、出射口103から出射される光の中心軸と直交する面内の2軸方向における、支持部122に対する受力部123の相対変位を計測することができる。
なお、この例では、受力部123は高さを有し、出射口103からの光を通過させるための貫通孔が設けられているものであるが、貫通孔の代わりに貫通溝等が設けられているものであってもかまわない。また、受力部123の機械的強度が要求仕様を満たす場合には、受力部全体の厚みを薄くすることによって光路を確保するものであってもかまわない。
また、この例では、受力部123は一体に構成されているものであるが、光源等の光学部品の受力部123への取り付けを容易にするために、たとえば受力部123を厚み方向に2分割し、あらかじめ光源等の光学部品が取り付けられている上側の受力部を、基部となる下側の受力部に取り付ける構成としてもよい。
この実施の形態によれば、出射口103と光センサ101との間に受力部123を介在させた分だけ光路長を長く確保することができる。また、光ファイバを用いることにより光源を小さくすることができ、第1の実施の形態よりも、設置スペースの確保がより容易になるし、より小径化に対応することができる。
次に、本発明のさらに別の実施の形態について説明する。
図8は、本発明による6軸力センサの第3の実施の形態の概略斜視図である。
また図9は、図8に示した6軸力センサ220を上から見た概略平面図である。
さらに図10は、図8に示した6軸力センサ220を図9の方向Xでみた側断面図である。
図8、図9および図10に示すように、本実施の形態の6軸力センサ220は、円筒状の支持部222と、その支持部222の中心部に配置される受力部223と、これら支持部222と受力部223との間を連結するスポーク状の弾性連結部224を3本有するフレーム225とを備えて構成される。
なお、本実施の形態では、外枠を支持部222とし、中心部を受力部223としたが、本発明はこれに限られるものではなく、外枠を受力部とし、中心部を支持部としてもかまわないことは言うまでもない。
フレーム225は、アルミ合金材から切削加工および放電加工によって削り出して形成した一体のもので、弾性連結部224は屈曲して形成され、全方向に弾性変形しやすくされている。
支持部222および受力部223は、計測すべき力が加えられる2部材にそれぞれ固着される。これによって、6軸力センサ220に力が作用したとき、支持部222と受力部223との間に3軸方向の微少変位と3軸回りの微少回転とが生じる。
また、図8および図9に示すように、支持部222には、3個の光センサ201(受光素子(たとえばPD))が120度回転対称に配置されている。
一方、受力部223には、3個の光源203(たとえばLED)が、3個の光センサ201のそれぞれに対向して120度回転対称に配置されている。各光源203からの光は、受力部223の回転対称中心を通過して各光センサ201に入射する。
なお、本実施の形態においては、第1の実施の形態と異なり、各光源203から各光センサ201への光軸が、各弾性連結部224と重ならないような位置に、θ度だけずらして、各光源203および各光センサ201を設けてある。このように構成することによって、各光源203と各弾性連結部224との干渉を回避することができ、また光路長をより長く確保することができる。
図8、図9および図10に示すように、光源203からの光は、受力部223を通過し、光センサ201の受光面の中央に照射される。光センサ201はこれを受光し、この受光結果に基づいて、光源203から出射される光の中心軸と直交する面内の2軸方向における、支持部222に対する受力部223の相対変位を計測することができる。
なお、この例では、受力部223は高さを有し、光源203からの光を通過させるための貫通孔が設けられているものであるが、貫通孔の代わりに貫通溝等が設けられているものであってもかまわない。また、受力部223の機械的強度が要求仕様を満たす場合には、受力部全体の厚みを薄くすることによって光路を確保するものであってもかまわない。
また、この例では、受力部223は一体に構成されているものであるが、光源等の光学部品の受力部223への取り付けを容易にするために、たとえば受力部223を厚み方向に2分割し、あらかじめ光源等の光学部品が取り付けられている上側の受力部を、基部となる下側の受力部に取り付ける構成としてもよい。また、各光源203は、光源を固定するための引き出し部分を設けることなく、受力部223の側面に直接固定する構成としてもよい。
この実施の形態によれば、光源203と光センサ201との間に受力部223を介在させた分だけ光路長を長く確保することができ、光軸を弾性連結部224と重ならないようにすることによってさらに光路長を長くすることができる。
次に、本発明のさらに別の実施の形態について説明する。
図11は、本発明による6軸力センサの第4の実施の形態の概略斜視図である。
また図12は、図11に示した6軸力センサ320を上から見た概略平面図である。
さらに図13は、図11に示した6軸力センサ320を図12の方向XIIIでみた側断面図である。
図11、図12および図13に示すように、本実施の形態の6軸力センサ320は、円筒状の支持部322と、その支持部322の中心部に配置される受力部323と、これら支持部322と受力部323との間を連結するスポーク状の弾性連結部324を3本有するフレーム325とを備えて構成される。
なお、本実施の形態では、外枠を支持部322とし、中心部を受力部323としたが、本発明はこれに限られるものではなく、外枠を受力部とし、中心部を支持部としてもかまわないことは言うまでもない。
フレーム325は、アルミ合金材から切削加工および放電加工によって削り出して形成した一体のもので、弾性連結部324は屈曲して形成され、全方向に弾性変形しやすくされている。
支持部322および受力部323は、計測すべき力が加えられる2部材にそれぞれ固着される。これによって、6軸力センサ320に力が作用したとき、支持部322と受力部323との間に3軸方向の微少変位と3軸回りの微少回転とが生じる。
また、図11および図12に示すように、支持部322には、3個の光センサ301(受光素子(たとえばPD))が120度回転対称に配置されている。
一方、受力部323には、3個の出射口303が、3個の光センサ301のそれぞれに対向して120度回転対称に配置されている。各出射口303から出射された光は、受力部323の回転対称中心を通過して各光センサ301に入射する。
なお、本実施の形態においては、第2の実施の形態と異なり、各光源303から各光センサ301への光軸が、各弾性連結部324と重ならないような位置に、θ度だけずらして、各光源303および各光センサ301を設けてある。このように構成することによって、光路長をより長く確保することができるし、また、光ファイバを弾性連結部324の外側に回すことができ、光ファイバを配設する際に小さな曲率で曲げる必要がなく、光ファイバの曲げ損失の発生を抑制することができる。
この実施の形態では、光源(図示せず)からの光を光ファイバの入射口(図示せず)に入射させ、出射口303から出射する。出射口303は3個設けているが、光源は出射口303ごとに合計3個設けてもよいし、光源を共通で1個だけ設け、その光を光ファイバの1つの入射口から入射させた後に光ファイバを3分岐させ、3個の出射口303のそれぞれに光を供給するようにしてもよい。
図11、図12および図13に示すように、出射口303からの光は、受力部323を通過し、光センサ301の受光面の中央に照射される。光センサ301はこれを受光し、この受光結果に基づいて、出射口303から出射される光の中心軸と直交する面内の2軸方向における、支持部322に対する受力部323の相対変位を計測することができる。
なお、この例では、受力部323は高さを有し、出射口303からの光を通過させるための貫通孔が設けられているものであるが、貫通孔の代わりに貫通溝等が設けられているものであってもかまわない。また、受力部323の機械的強度が要求仕様を満たす場合には、受力部全体の厚みを薄くすることによって光路を確保するものであってもかまわない。
また、この例では、受力部323は一体に構成されているものであるが、光源等の光学部品の受力部323への取り付けを容易にするために、たとえば受力部323を厚み方向に2分割し、あらかじめ光源等の光学部品が取り付けられている上側の受力部を、基部となる下側の受力部に取り付ける構成としてもよい。また、各出射口303は、各出射口を固定するための引き出し部分を設けることなく、受力部323の側面に直接固定する構成としてもよい。
この実施の形態によれば、出射口303と光センサ301との間に受力部323を介在させた分だけ光路長を長く確保することができる。また、光ファイバを用いることにより光源を小さくすることができ、第1の実施の形態よりも、設置スペースの確保がより容易になるし、より小径化に対応することができる。さらに光軸を弾性連結部324と重ならないようにすることによってさらに光路長を長くすることができるし、光ファイバを弾性連結部の外側に回すことができ、光ファイバを配設する際に小さな曲率で曲げる必要がなく、光ファイバの曲げ損失の発生を抑制することができる。
本発明による6軸力センサの第1の実施の形態の外観を示す斜視図である。 図1に示した6軸力センサ20から上部蓋21bを外して上から見た概略斜視図である。 図1に示した6軸力センサ20から上部蓋21bを外して上から見た概略平面図である。 図1に示した6軸力センサ20を図3の方向IVでみた側断面図である。 本発明による6軸力センサの第2の実施の形態の概略斜視図である。 図5に示した6軸力センサ120を上から見た概略平面図である。 図5に示した6軸力センサ120を図6の方向VIIでみた側断面図である。 本発明による6軸力センサの第3の実施の形態の概略斜視図である。 図8に示した6軸力センサ220を上から見た概略平面図である。 図8に示した6軸力センサ220を図9の方向Xでみた側断面図である。 本発明による6軸力センサの第4の実施の形態の概略斜視図である。 図11に示した6軸力センサ320を上から見た概略平面図である。 図11に示した6軸力センサ320を図12の方向XIIIでみた側断面図である。 特許文献1に開示された従来の6軸力センサの平面図である。 図14の6軸力センサ1001を図14の方向XVでみた側断面図である。
符号の説明
20 6軸力センサ
21a 本体
21b 上部蓋
22 支持部
23 受力部
24 弾性連結部
25 フレーム
1 光センサ
3 光源
103 出射口

Claims (3)

  1. 支持部と、前記支持部の回転対称軸の中心に配置される受力部と、前記支持部と前記受力部とを連結する弾性連結部とを有し、前記支持部に対する前記受力部の相対変位を3組の光学式変位センサによって検出し、前記3組の光学式変位センサそれぞれからの信号に基づいて前記受力部に印加された外力を算出する外力検出装置において、
    前記3組の光学式変位センサは、前記回転対称軸を中心に120度回転対称に配置され、
    前記各光学式変位センサを構成する光源は、前記支持部または前記受力部のいずれか一方に設けられ、
    前記各光学式変位センサを構成する受光素子は、前記支持部または前記受力部のうち前記光源が設けられているのとは別の方に設けられ、
    前記光学式変位センサを構成する光源と受光素子との間に前記受力部が介在し、前記光源から前記受光素子までの光路が前記回転対称軸を通過し前記受力部を貫通するように前記3組の光学式変位センサを構成したことを特徴とする外力検出装置。
  2. 前記弾性連結部は、前記回転対称軸を中心に120度回転対称に配置され、
    前記回転対称軸から見た場合に、前記弾性連結部に対して前記3組の光学式変位センサの各光軸が重ならないように、前記弾性連結部に対して前記3組の光学式変位センサを配置したことを特徴とする請求項1に記載の外力検出装置。
  3. 前記光源は、光ファイバにより構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の外力検出装置。
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