JP4949115B2

JP4949115B2 - 液剤滴下装置

Info

Publication number: JP4949115B2
Application number: JP2007105087A
Authority: JP
Inventors: 努伊藤; 朗澤森; 宗治清水; 丈之長谷川
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2007-04-12
Filing date: 2007-04-12
Publication date: 2012-06-06
Anticipated expiration: 2027-04-12
Also published as: JP2008259970A

Description

本発明は、液剤滴下装置に関するものである。

従来、液晶等の液剤が貯留されたバッファとシリンジとの間に設けられた吸引側バルブ及びシリンジとノズルとの間に設けられた吐出側バルブの開閉を制御してプランジャを操作することで、シリンジ内への液剤の供給及びシリンジ内に貯留された液剤の滴下を行う液剤滴下装置がある。例えば、特許文献１の液剤滴下装置は、バッファとシリンジとの間及びシリンジとノズルとの間の流路に可撓性を備えるチューブを用い、チューブを挟着若しくは挟着を解除することで流路の開閉を行うピンチバルブを吸引側バルブ及び吐出側バルブとして採用している。
特開２００５−１２５１８６号公報

ところで、上記特許文献１の液剤滴下装置では、液剤を滴下する際に、プランジャの押圧操作により液剤滴下装置内の液剤に圧力が加わると、シリンジとノズルとの間のチューブが液剤によって径方向外側に押し広げられる。その結果、該チューブにおいて液剤に付加された圧力が分散してしまい、所望の滴下量の液剤がノズルから吐出されず、液剤の滴下精度が悪化するという問題があった。

本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、液剤の滴下精度の向上を図ることができる液剤滴下装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、液剤を貯留するシリンジと、前記シリンジへの前記液剤の供給を制御する吸引側バルブと、前記シリンジからノズルへの前記液剤の供給を制御する吐出側バルブと、前記シリンジ内の前記液剤を前記ノズルに向かって押圧するプランジャと、を備えた液剤滴下装置であって、前記吐出側バルブは、前記シリンジの液剤貯留空間と連通する流路を有するシリンジブロックと、前記ノズルの吐出口と連通する流路を有するノズルブロックと、前記シリンジブロックの流路と前記ノズルブロックの流路とを連通する貫通孔と、前記シリンジブロックの流路と前記ノズルブロックの流路とを不通にする閉塞部とを有し、前記シリンジブロックと前記ノズルブロックとの間で摺動可能に支持されたスライド部材とを備え、前記スライド部材には、前記シリンジブロック側の面に前記貫通孔及び前記閉塞部を囲繞して前記シリンジブロックと前記スライド部材との間をシールするリング状のシリンジブロック側シール部材が設けられるとともに、前記ノズルブロック側の面に前記貫通孔及び前記閉塞部を囲繞して前記スライド部材と前記ノズルブロックとの間をシールするリング状のノズルブロック側シール部材が設けられ、前記貫通孔により前記シリンジブロックの流路と前記ノズルブロックの流路とが連通する状態と、前記閉塞部により前記シリンジブロックの流路と前記ノズルブロックの流路とが不通の状態との間で前記スライド部材が摺動する際、前記シリンジブロック側シール部材は前記シリンジブロックの流路を乗り越えないように構成されるとともに、前記ノズルブロック側シール部材は前記ノズルブロックの流路を乗り越えないように構成された。

同構成によれば、シリンジからノズルへの液剤の供給を制御する吐出側バルブは、シリンジブロックの流路及びノズルブロックの流路との間にスライド部材の貫通孔又は閉塞部を切り換え配置することで開閉される。そのため、シリンジとノズルとの間の流路に可撓性を備えるチューブを用いた場合に比べ液剤に加わった圧力が分散され難く、液剤の滴下精度の向上が図られる。

また、シール部材が、貫通孔及び閉塞部を囲繞してシリンジブロックとスライド部材との間及びスライド部材とノズルブロックとの間をシールするため、液剤の滴下時に、シールされたシリンジブロックとスライド部材との間及びスライド部材とノズルブロックとの間から液剤が溢れ出すことが防止される。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液剤滴下装置において、前記吐出側バルブは、前記シリンジブロックと前記ノズルブロックとの接合面と、前記シリンジブロック及び前記ノズルブロックと前記スライド部材との接触面とが同一平面上にならないように構成された。同構成によれば、シリンジブロック及びノズルブロックとスライド部材との接触面に漏れ出した液晶が吐出側バルブの外部まで漏れ出し難くなる。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の液剤滴下装置において、前記スライド部材は、高剛性の部材により形成された。同構成によれば、スライド部材が高剛性の部材により形成されているため、液剤に圧力が加えられても貫通孔が押し広げられ難く、液剤に加わった圧力の分散が抑制される。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置において、前記プランジャを往復動させる第１のアクチュエータと、前記シリンジと前記ノズルとの間で前記スライド部材を摺動させる第２のアクチュエータと、前記シリンジ内に液剤を供給する場合には、前記吸引側バルブを開き、前記吐出側バルブを閉じた状態で前記第１のアクチュエータを駆動して前記プランジャを引き上げ、前記ノズルから液剤を吐出する場合には、前記吸引側バルブを閉じ、前記吐出側バルブを開いた状態で前記第１のアクチュエータを駆動して前記プランジャを押し下げる制御装置とを備えた。同構成によれば、制御装置によって自動で液剤の供給及び滴下が行われる。

本発明によれば、液剤の滴下精度の向上を図ることが可能な液剤滴下装置を提供することができる。

以下、本発明を液晶滴下装置に具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。
図１は、液晶滴下装置の概略構成図である。液晶滴下装置は、液晶ディスプレイパネルの製造工程のうち、液晶ディスプレイパネルを構成する基板に液晶を滴下する工程において用いられる。

液晶滴下装置のバッファ１０には図示しないタンクから液晶が供給されるとともに、バッファ１０内に貯留された液晶がチューブ１１を介してシリンジ２０に供給される。チューブ１１の両端部は、それぞれ継手部１２ａ，１２ｂを介してバッファ１０及びシリンジ２０に接続されている。そして、チューブ１１には吸引側バルブ１３が設けられており、シリンジ２０への液晶の供給を制御する。尚、本実施形態では、チューブ１１は、可撓性を備え、かつ液晶に対し耐食性を備えた合成ゴム、例えばシリコンゴム等で形成されている。吸引側バルブ１３は、チューブ１１を挟着、若しくは挟着を解除することで流路を開閉するピンチバルブによって構成されている。

シリンジ２０は、中空略円筒状に形成されたシリンジ上部２１を備え、そのシリンジ上部２１の下端には、中空略円筒状に形成されたシリンジ下部２２がシリンジ上部２１と同軸上にて嵌合されている。シリンジ上部２１及びシリンジ下部２２に囲まれた空間が液晶を貯留する液剤貯留空間２３を形成する。シリンジ２０には、シリンジ上部２１の上端に形成された開口２１ａを介して、円柱状に形成されたプランジャ３０が軸方向に沿って往復動可能に挿入されている。プランジャ３０の外径はシリンジ上部２１及びシリンジ下部２２の内径よりも小さく形成されている。シリンジ上部２１とプランジャ３０との間にはバリシール（登録商標）等のシール材２４及びスペーサ２５が介在され、シリンジ上部２１から液晶が溢れ出すことが防止されている。また、シリンジ上部２１の側面２１ｂにはチューブ１１が接続されており、チューブ１１と液剤貯留空間２３とが連通されている。また、シリンジ下部２２の下端には、吐出側バルブ４０を介してノズル６０が接続されている。ノズル６０は中空略円筒形状に形成されるとともに、該ノズル６０の先端に液晶を吐出する吐出口６１が形成されている。

液晶滴下装置は、吸引側バルブ１３が開き、吐出側バルブ４０が閉じた状態において、プランジャ３０が上動（図１において上側に移動）することによりバッファ１０に貯留された液晶がシリンジ２０（液剤貯留空間２３）内にチューブ１１を介して吸入されるようになっている。また、吸引側バルブ１３が閉じ、吐出側バルブ４０が開いた状態において、プランジャ３０が下動（図１において下側に移動）することによりシリンジ２０内の液晶が吐出側バルブ４０を介してノズル６０に供給され、吐出口６１から液晶が吐出されるようになっている。

液晶滴下装置は制御装置７０を備え、制御装置７０は吸引側バルブ１３に接続されている。吸引側バルブ１３は制御装置７０からの信号により、吸引側バルブ１３を開閉する。また、制御装置７０は第１のアクチュエータ７１及び第２のアクチュエータ７２に接続されている。第１のアクチュエータ（例えば、モータ）７１は吐出側バルブ４０に接続されており、制御装置７０からの信号によって吐出側バルブ４０を開閉する。第２のアクチュエータ（例えば、モータ）７２はプランジャ３０に接続されており、制御装置７０からの信号によってプランジャ３０をシリンジ２０の軸方向に沿って往復動させる。

次に、吐出側バルブ４０について詳細に説明する。
吐出側バルブ４０は、シリンジ下部２２の下端が外嵌されるシリンジブロック４１と、シリンジブロック４１の下端に固定されるノズルブロック４２と、シリンジブロック４１とノズルブロック４２との間に挿入されるスライド部材４３とから構成される。吐出側バルブ４０は、スライド部材４３が長手方向（図１において左右方向）に沿って往復動することで開閉されるようになっている。また、スライド部材４３は、高剛性の部材（例えば、ステンレス等）にて形成されている。

シリンジブロック４１には、シリンジ２０の液剤貯留空間２３と連通する流路４４が形成されるとともに、ノズルブロック４２には、ノズル６０の吐出口６１と連通する流路４５が形成されている。図２に示すように、シリンジブロック４１のノズルブロック４２との接合面４６中央には、長手方向に沿った溝４７が形成されている。ノズルブロック４２のシリンジブロック４１との接合面４８中央には、短手方向（図２において左右方向）の長さが溝４７と略同じ突条４９が溝４７と対向する位置に形成されている。シリンジブロック４１の接合面４６から溝４７の底面５０までの高さ（深さ）は、ノズルブロック４２の接合面４８から突条４９の上面５１までの高さよりも高く形成されている。

図３に示すように、スライド部材４３は、略直方体状に形成されるとともに軸方向に沿った貫通孔５２が形成されている。貫通孔５２は、スライド部材４３の短手方向における略中央に形成されており、シリンジブロック４１の流路４４とノズルブロック４２の流路４５とを連通する。貫通孔５２は、シリンジブロック４１の流路４４及びノズルブロック４２の流路４５と略同径に形成されている。スライド部材４３の底面５０との接触面５３及び上面５１との接触面５４には、それぞれ貫通孔５２を囲繞して第１のシール部材としての第１のＯリング５５ａ，５５ｂが設けられている。また、接触面５３，５４における貫通孔５２から長手方向に沿ってずれた位置に閉塞部５６が形成されており、閉塞部５６を囲繞して第２のシール部材としての第２のＯリング５７ａ，５７ｂが設けられている。

そして、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２を互いに組み付けた状態で、溝４７と突条４９との間にスライド部材４３が挿入される。従って、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２の接合面４６，４８と、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２とスライド部材４３との接触面５３，５４とが同一平面上にならないように構成されている。

また、図１に示すように、スライド部材４３には、取っ手部５８が螺着されており、取っ手部５８には第１のアクチュエータ７１が接続されている。スライド部材４３は、第１のアクチュエータ７１が駆動することにより、長手方向に沿って往復動する。そして、吐出側バルブ４０は、スライド部材４３を長手方向に沿って移動し、貫通孔５２がシリンジブロック４１の流路４４とノズルブロック４２の流路４５との間に位置した状態で開き、閉塞部５６がシリンジブロック４１の流路４４とノズルブロック４２の流路４５との間に位置した状態で閉じる。

次に、液晶滴下装置が液晶を滴下する動作について説明する。
図４（ａ）に示すように、制御装置７０は、第１のアクチュエータ７１を駆動して閉塞部５６を、シリンジブロック４１の流路４４とノズルブロック４２の流路４５との間に位置させて吐出側バルブ４０を閉じ、吸引側バルブ１３を開いた状態で、プランジャ３０を引き上げる。プランジャ３０が引き上げられることで液剤貯留空間２３内が負圧となり、吸引側バルブ１３が開き、吐出側バルブ４０が閉じた状態であるため、バッファ１０に貯留された液晶が液剤貯留空間２３に供給される。この状態において、第２のＯリング５７ａ，５７ｂが閉塞部５６を囲繞してシリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間をシールしているため、液剤貯留空間２３が負圧になっても、ノズル６０先端から貫通孔５２に回り込んで液剤貯留空間２３内に気泡が混入することが防止される。

次に、図４（ｂ）に示すように、制御装置７０は、第１のアクチュエータ７１を駆動して貫通孔５２を、シリンジブロック４１の流路４４とノズルブロック４２の流路４５との間に位置させて吐出側バルブ４０を開き、吸引側バルブ１３を閉じた状態で、プランジャ３０を押し下げる。プランジャ３０が押し下げられることで液剤貯留空間２３内の液晶に圧力が加わり、ノズル６０の吐出口６１から液晶が吐出される。

このように吐出側バルブ４０は、シリンジブロック４１の流路４４とノズルブロック４２の流路４５との間に貫通孔５２又は閉塞部５６が切り換え配置されることで開閉されるため、シリンジ２０とノズル６０との間の流路に可撓性を備えるチューブを用いた場合に比べ液晶に加わった圧力が分散され難く、液晶の滴下精度の向上が図られる。さらに、スライド部材４３は、高剛性の部材にて形成されているため、液晶に圧力が加わった場合であっても貫通孔５２が径方向外側に押し広げられ難く、液晶に加わった圧力の分散が抑制される。

また、第１のＯリング５５ａ，５５ｂが貫通孔５２を囲繞してシリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間をシールしているため、液晶の滴下時に、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間から液晶が漏れ出すことが防止される。

さらに、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２の接合面４６，４８と、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２とスライド部材４３との接触面５３，５４とが同一平面上にならないように構成されている。そのため、仮に液晶が第１のＯリング５５ａ，５５ｂ又は第２のＯリング５７ａ，５７ｂから漏れ出した場合であっても、吐出側バルブ４０の外部まで漏れ出し難くなっている。

以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）吐出側バルブ４０を、シリンジ下部２２の下端が外嵌されるシリンジブロック４１と、シリンジブロック４１の下端に固定されるノズルブロック４２と、シリンジブロック４１とノズルブロック４２との間に挿入されるスライド部材４３とから構成した。スライド部材４３に、シリンジブロック４１の流路４４とノズルブロック４２の流路４５とを連通する貫通孔５２及び不通にする閉塞部５６を形成した。そして、シリンジ２０からノズル６０への液剤の供給を制御する吐出側バルブ４０を、シリンジブロック４１の流路４４とノズルブロック４２の流路４５との間に貫通孔５２又は閉塞部５６を切り換え配置することで開閉するようにした。そのため、シリンジ２０とノズル６０との間の流路に可撓性を備えるチューブを用いた場合に比べ液剤に加わった圧力が分散され難く、液剤の滴下精度の向上を図ることができる。

（２）第１のＯリング５５ａ，５５ｂが貫通孔５２を囲繞してシリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間をシールしているため、液晶の滴下時に、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間から液晶が漏れ出すことを防止される。そのため、液晶が漏れ出すことによる圧力の低下が抑制され、液剤の滴下精度の向上を図ることができる。

（３）第２のＯリング５７ａ，５７ｂが閉塞部５６を囲繞してシリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間をシールしているため、液剤貯留空間２３内が負圧になっても、吐出口６１から貫通孔５２に回り込んで液剤貯留空間２３内に気泡が混入することを防止できる。

（４）シリンジブロック４１及びノズルブロック４２の接合面４６，４８と、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２とスライド部材４３との接触面５３，５４とが同一平面上にならないように構成されている。そのため、仮に液晶が第１のＯリング５５ａ，５５ｂ又は第２のＯリング５７ａ，５７ｂから漏れ出した場合であっても、吐出側バルブ４０の外部まで漏れ出し難くなっている。従って、液晶が吐出側バルブ４０の外部に漏れ出すことによる圧力の低下が抑制され、液剤の滴下精度の向上を図ることができる。

（５）スライド部材４３が高剛性の部材にて形成されているため、液晶に圧力が加わった場合であっても貫通孔５２が径方向外側に押し広げられ難く、液晶に加わった圧力の分散が抑制され、液剤の滴下精度の向上を図ることができる。

尚、本実施形態は、以下の態様で実施してもよい。
・本実施形態では、スライド部材４３の貫通孔５２及び閉塞部５６をそれぞれ、第１のＯリング５５ａ，５５ｂ及び第２のＯリング５７ａ，５７ｂで囲繞して、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間をシールしたが、これに限らない。例えば、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間の隙間（クリアランス）が小さい場合には、図５に示すように、スライド部材４３に貫通孔５２及び閉塞部５６を囲繞するシール部材としてのＯリング８０ａ，８０ｂを設けてもよい。このようにすることで、図６（ａ）に示す吐出側バルブ４０が閉じた状態と、図６（ｂ）に示す吐出側バルブ４０が開いた状態とを切り換える際に、Ｏリング８０ａ，８０ｂがシリンジブロック４１の流路４４及びノズルブロック４２の流路４５を乗り越えずに済むため、Ｏリング８０ａ，８０ｂの損傷を防ぐことができる。また、Ｏリングが１つで済むため、部品点数を削減することができる。さらに、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間の隙間が十分小さい場合には、Ｏリングを設けなくともよい。

・本実施形態では、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間にそれぞれ第１のＯリング５５ａ，５５ｂ及び第２のＯリング５７ａ，５７ｂを設けたが、これに限らない。例えば、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間に第１のＯリング５５ａのみを設け、スライド部材４３とノズルブロック４２との間に第２のＯリング５７ｂのみを設けてもよい。このようにしても、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間から液晶が漏れ出すことを防止でき、スライド部材４３とノズルブロック４２との間において吐出口６１から貫通孔５２に気泡が回り込んで混入することを防止できる。

また、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間に第２のＯリング５７ａを設け、スライド部材４３とノズルブロック４２との間に第１のＯリング５５ｂを設けてもよく、接触面５３に第１のＯリング５５ａのみを設けてもよい。さらに、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間にＯリング８０ａを設け、スライド部材４３とノズルブロック４２との間に第１のＯリング５５ｂ及び第２のＯリング５７ｂを設けてもよい。その他どのような組み合わせで第１のＯリング５５ａ，５５ｂ，第２のＯリング５７ａ，５７ｂ，Ｏリング８０ａ，８０ｂを設けてもよく、これにより、液晶が漏れ出すこと及び気泡が混入することを防止できる。

・本実施形態では、シール部材としてＯリングを用いたが、これに限らず、吐出側バルブ４０を介して液晶が漏れ出すこと及び気泡が混入することを防止できれば、どのようなシール部材を用いてもよい。

・本実施形態では、吸引側バルブ１３としてピンチバルブを用いたが、これに限らず、例えばロータリーバルブを用いてもよい。
・本実施形態では、スライド部材４３をステンレスにて形成したが、これに限らず、その他高剛性の部材によって形成してもよい。

・本実施形態では、第１のアクチュエータ７１及び第２のアクチュエータ７２としてモータを用いたが、どのようなアクチュエータであってもよく、例えば油圧で作動するアクチュータであってもよい。

・本実施形態では、シリンジブロック４１に溝４７を形成しノズルブロック４２に突条４９を形成したが、これに限らず、シリンジブロック４１に突条を形成しノズルブロック４２に溝を形成してもよい。また、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２に溝を形成してもよい。

・本実施形態では、シリンジブロック４１の流路４４と液剤貯留空間２３とを直接連通したが、これに限らず、シリンジ２０とシリンジブロック４１との間に、高剛性の部材で形成されたパイプ等を介して間接的に連通するようにしてもよい。同様に、ノズルブロック４２と吐出口６１との間に高剛性の部材で形成されたパイプ等を介して、ノズルブロック４２の流路４５とノズル６０とを間接的に連通してもよい。

・本実施形態では、シリンジブロック４１とノズルブロック４２とをそれぞれ別の部材から形成したが、これに限らず、シリンジブロック４１とノズルブロック４２とを１つの部材から一体形成してもよい。

・本実施形態では、液晶を滴下する液晶滴下装置に具現化したが、液晶以外の液剤を滴下してもよく、例えば接着剤やはんだペーストを滴下する装置に具現化してもよい。

液晶滴下装置の概略構成図。液晶滴下装置の一部側面図。スライド部材の断面斜視図。（ａ），（ｂ）液晶滴下装置の動作説明図。別のスライド部材の断面斜視図。（ａ），（ｂ）別の液晶滴下装置の動作説明図。

符号の説明

１３…吸引側バルブ、２０…シリンジ、２３…液剤貯留空間、３０…プランジャ、４０…吐出側バルブ、４１…シリンジブロック、４２…ノズルブロック、４３…スライド部材、４４，４５…流路、４６，４８…接合面、５２…貫通孔、５３，５４…接触面、５６…閉塞部、６０…ノズル、６１…吐出口、７０…制御装置、７１…第１のアクチュエータ、７２…第２のアクチュエータ。

Claims

液剤を貯留するシリンジと、前記シリンジへの前記液剤の供給を制御する吸引側バルブと、前記シリンジからノズルへの前記液剤の供給を制御する吐出側バルブと、前記シリンジ内の前記液剤を前記ノズルに向かって押圧するプランジャと、を備えた液剤滴下装置であって、
前記吐出側バルブは、
前記シリンジの液剤貯留空間と連通する流路を有するシリンジブロックと、
前記ノズルの吐出口と連通する流路を有するノズルブロックと、
前記シリンジブロックの流路と前記ノズルブロックの流路とを連通する貫通孔と、前記シリンジブロックの流路と前記ノズルブロックの流路とを不通にする閉塞部とを有し、前記シリンジブロックと前記ノズルブロックとの間で摺動可能に支持されたスライド部材とを備え、
前記スライド部材には、前記シリンジブロック側の面に前記貫通孔及び前記閉塞部を囲繞して前記シリンジブロックと前記スライド部材との間をシールするリング状のシリンジブロック側シール部材が設けられるとともに、前記ノズルブロック側の面に前記貫通孔及び前記閉塞部を囲繞して前記スライド部材と前記ノズルブロックとの間をシールするリング状のノズルブロック側シール部材が設けられ、
前記貫通孔により前記シリンジブロックの流路と前記ノズルブロックの流路とが連通する状態と、前記閉塞部により前記シリンジブロックの流路と前記ノズルブロックの流路とが不通の状態との間で前記スライド部材が摺動する際、前記シリンジブロック側シール部材は前記シリンジブロックの流路を乗り越えないように構成されるとともに、前記ノズルブロック側シール部材は前記ノズルブロックの流路を乗り越えないように構成されたことを特徴とする液剤滴下装置。
前記吐出側バルブは、前記シリンジブロックと前記ノズルブロックとの接合面と、前記シリンジブロック及び前記ノズルブロックと前記スライド部材との接触面とが同一平面上にならないように構成されたことを特徴とする請求項１に記載の液剤滴下装置。
前記スライド部材は、高剛性の部材により形成されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液剤滴下装置。
前記プランジャを往復動させる第１のアクチュエータと、
前記シリンジと前記ノズルとの間で前記スライド部材を摺動させる第２のアクチュエータと、
前記シリンジ内に液剤を供給する場合には、前記吸引側バルブを開き、前記吐出側バルブを閉じた状態で前記第１のアクチュエータを駆動して前記プランジャを引き上げ、前記ノズルから液剤を吐出する場合には、前記吸引側バルブを閉じ、前記吐出側バルブを開いた状態で前記第１のアクチュエータを駆動して前記プランジャを押し下げる制御装置と
を備えたことを特徴とする請求項１〜３のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置。