JP4946362B2 - エンコーダ - Google Patents
エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4946362B2 JP4946362B2 JP2006300211A JP2006300211A JP4946362B2 JP 4946362 B2 JP4946362 B2 JP 4946362B2 JP 2006300211 A JP2006300211 A JP 2006300211A JP 2006300211 A JP2006300211 A JP 2006300211A JP 4946362 B2 JP4946362 B2 JP 4946362B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- encoder
- modulation signal
- polarized component
- illumination light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 41
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 28
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 16
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 15
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Description
以下、本発明の第1の実施形態を図1に基づいて説明する。図1には、本発明の第1の実施形態に係るエンコーダ10の概略的な構成が示されている。図1に示されるように、エンコーダ10は、いわゆる回折干渉方式のエンコーダであり、所定方向(X軸方向)に移動する移動体の移動方向、あるいは移動量、あるいは変位を検出するリニアエンコーダである。
V(t)=r・sin(ωt)…(1)
V’(t)=r・sin(ωt−θS)…(2)
I(t)=X0+A・cos[rω・sin(ωt)+ωx] …(3)
次に、本発明の第2の実施形態について図2に基づいて説明する。図2には、第2の実施形態に係るエンコーダ10’の概略的な構成が示されている。このエンコーダ10’は、1つの電気光学素子16を用いて変調した照明光を、偏光ビームスプリッタ21でS偏光成分とP偏光成分とに分離し、このS偏光成分とP偏光成分との干渉を利用して、移動スケール24の位置情報を検出する点で、第1の実施形態に係るエンコーダ10と相違している。したがって、重複記載を回避する観点から、以下の記載では第1の実施形態と同一又は同等の構成部分には、同一の符号を用いるとともに、その説明を簡略又は省略するものとする。
Claims (6)
- 変調信号に基づいて変調された照明光の干渉を利用して、移動体の位置情報を検出するエンコーダであって、
前記照明光を回折して、第1回折光と第2回折光を生成する回折部材と;
前記移動体に固定され、前記移動体の移動方向に配列されたパターンを有するスケールと;
前記第1回折光の光路上に配置され、前記第1回折光を前記変調信号に基づいて、前記パターンの配列方向へ周期的に偏向する第1電気光学素子と;
前記変調信号の位相をシフトする位相シフト回路と;
前記第2回折光の光路上に配置され、前記第2回折光を、前記位相シフト回路により位相がシフトされた前記変調信号に基づいて、前記パターンの配列方向へ周期的に偏向する第2電気光学素子と;を備えるエンコーダ。 - 前記位相シフト回路は、前記変調信号の位相をほぼ180度反転させることを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。
- 変調信号に基づいて変調された照明光の干渉を利用して、移動体の位置情報を検出するエンコーダであって、
前記変調信号に基づいて前記照明光に含まれるS偏光成分又はP偏光成分を周期的に偏向する電気光学素子と;
前記電気光学素子を透過した前記照明光の前記S偏光成分と前記P偏光成分を分離する分離光学系と;
前記移動体に固定され、前記移動体の移動方向に配列されたパターンを有するすスケールと;
前記照明光の前記S偏光成分と前記P偏光成分とを前記スケールに照射して、前記パターンの配列方向に振動する干渉光を生成する導光光学系と;を備えるエンコーダ。 - 前記導光光学系は、S偏光成分又は前記P偏光成分の偏向方向を変えて、前記S偏光成分と前記P偏光成分の偏向方向を揃える位相板を備えることを特徴とする請求項3に記載のエンコーダ。
- 前記照明光は円偏光であることを特徴とする請求項3又は4に記載のエンコーダ。
- 前記照明光は、前記分離光学系に対して45度の角度を成す直線偏光又は楕円偏光であることを特徴とする請求項3又は4に記載のエンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006300211A JP4946362B2 (ja) | 2006-11-06 | 2006-11-06 | エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006300211A JP4946362B2 (ja) | 2006-11-06 | 2006-11-06 | エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008116342A JP2008116342A (ja) | 2008-05-22 |
JP4946362B2 true JP4946362B2 (ja) | 2012-06-06 |
Family
ID=39502387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006300211A Active JP4946362B2 (ja) | 2006-11-06 | 2006-11-06 | エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4946362B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5268529B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2013-08-21 | キヤノン株式会社 | 変位計測装置及び半導体製造装置 |
NL2005259A (en) | 2009-09-29 | 2011-03-30 | Asml Netherlands Bv | Imprint lithography. |
DE102010063253A1 (de) * | 2010-12-16 | 2012-06-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
JP6434422B2 (ja) * | 2013-01-15 | 2018-12-05 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 周期的偏光ナノ構造によって表されるデータを読み取る方法 |
WO2014111697A1 (en) | 2013-01-15 | 2014-07-24 | Renishaw Plc | Measurement scale |
TWI710795B (zh) | 2019-12-04 | 2020-11-21 | 國立中興大學 | 光學旋轉編碼器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06194189A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光エンコーダ |
JP3491969B2 (ja) * | 1994-06-27 | 2004-02-03 | キヤノン株式会社 | 変位情報測定装置 |
JP2006170696A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Sendai Nikon:Kk | 光電式エンコーダ |
JP2006170899A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Sendai Nikon:Kk | 光電式エンコーダ |
-
2006
- 2006-11-06 JP JP2006300211A patent/JP4946362B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008116342A (ja) | 2008-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4924879B2 (ja) | エンコーダ | |
JP4946362B2 (ja) | エンコーダ | |
JP5500075B2 (ja) | エンコーダ | |
US7332709B2 (en) | Photoelectric encoder | |
US20120287441A1 (en) | Displacement Detecting Device | |
JP2004212243A (ja) | 格子干渉型光学式エンコーダ | |
JPH0843136A (ja) | 光学式エンコーダ | |
US6407815B2 (en) | Optical displacement measurement system | |
JP5343980B2 (ja) | エンコーダ | |
JP4827857B2 (ja) | エンコーダ | |
KR100531458B1 (ko) | 광학식 변위측정장치 | |
JP4023923B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
JP5212840B2 (ja) | エンコーダ | |
JP2008191004A (ja) | エンコーダ | |
JP2006343314A (ja) | 光電式エンコーダ | |
WO2007138869A1 (ja) | エンコーダ | |
KR100531693B1 (ko) | 광학식 변위측정장치 | |
JP2008249456A (ja) | 光エンコーダ | |
JP5152613B2 (ja) | エンコーダ | |
JP2007303957A (ja) | エンコーダ | |
JP4154038B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
JP2007147283A (ja) | エンコーダ | |
JPH0540048A (ja) | 格子干渉型変位検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080620 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20080624 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090909 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100922 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120220 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150316 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4946362 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150316 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |