JP4913585B2 - 異常検査装置 - Google Patents
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Description
S・・・・測定対象(サンプル)
Sa・・・表面
L1・・・測定光
4d・・・異常検出部
21・・・光源(レーザ光源)
30・・・散乱光検出部
31・・・パターン由来散乱光検出部
32・・・異常由来散乱光検出部
33・・・蛍光検出部
Claims (3)
- 測定対象に対して測定光を照射する光源と、
前記測定光を前記測定対象の表面上に照射した場合に、前記表面上のパターンにより散乱されたパターン由来散乱光、前記表面上の異常により散乱された異常由来散乱光、及び、前記表面上の異常により発生した蛍光をそれぞれ検出するためのパターン由来散乱光検出部、異常由来散乱光検出部及び蛍光検出部と、
前記パターン由来散乱光検出部で検出した光の強度が、所定の閾値を越える場合に、前記蛍光検出部で検出した光の強度に基づいて、前記異常の検出を行う異常検出部を具備している異常検査装置。 - 測定対象に対して測定光を照射する光源と、
前記測定光を前記測定対象の表面上に照射した場合に、前記表面上のパターンにより散乱されたパターン由来散乱光、前記表面上の異常により散乱された異常由来散乱光、及び、前記表面上の異常により発生した蛍光をそれぞれ検出するためのパターン由来散乱光検出部、異常由来散乱光検出部及び蛍光検出部と、
前記異常由来散乱光検出部で検出した光の強度に対する前記パターン由来散乱光検出部で検出した光の強度の比率が、所定の閾値を越える場合に、前記蛍光検出部で検出した光の強度に基づいて、前記異常の検出を行う異常検出部を具備している異常検査装置。 - 測定対象に対して測定光を照射する光源と、
前記測定光を前記測定対象の表面上に照射した場合に、前記表面上のパターン又は異常により散乱された散乱光及び前記表面上の異常により発生した蛍光をそれぞれ検出するための散乱光検出部及び蛍光検出部と、
前記散乱光検出部で検出した光の強度が所定の閾値を超える場合には、散乱光強度信号による異物検出をせず、前記蛍光検出部で検出した蛍光の強度に基づいて、前記異常の検出を行う異常検出部を具備している異常検査装置。
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