JP4908765B2 - 均熱部材及び熱処理装置 - Google Patents
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(1)加熱部材によって加熱される熱処理空間内で被加熱物の近傍に配置される均熱部材であって、前記加熱部材による加熱範囲に近似した外縁形状を呈し、この外縁形状の内側に前記被加熱物の形状に近似した開口部を形成した平面形状を呈することを特徴とする。
(5)被加熱物を1枚ずつ収納する熱処理空間と、前記熱処理空間の平面内で前記被加熱物の全面を含む矩形の加熱範囲の全体、又は該加熱範囲について前記平面内における一方向にのみ分割された複数の領域のそれぞれを均一に加熱する加熱部材と、を備えた熱処理装置において、加熱部材によって加熱される熱処理空間内で被加熱物の近傍に配置される均熱部材であって、前記加熱部材による加熱範囲に近似した外縁形状の内側に前記被加熱物の形状に近似した開口部を形成した平面形状を呈する均熱部材を備えたことを特徴とする。
2 開口部
3 溝部
10 加熱範囲
11〜16 領域
21 半導体ウエハ(被加熱物)
100 半導体製造装置(熱処理装置)
101 プロセスチャンバ
102 加熱体(加熱部材)
104 誘導加熱コイル(加熱部材)
Claims (2)
- 平面形状が矩形の加熱部材によって加熱される熱処理空間内で平面形状が円形の被加熱物の近傍に配置される均熱部材であって、前記加熱部材による加熱範囲に近似した矩形の外縁形状を呈し、この外縁形状の内側に前記被加熱物の形状に近似した開口部を形成した平面形状を呈し、
前記開口部は前記被加熱物の外径よりも僅かに小さい内径の円形の平面形状を呈し、
前記被加熱物が前記開口部と中心位置を一致させて上面に載置され、
前記外縁形状の内側において前記被加熱物が存在する領域と前記被加熱物が存在しない領域とについて、前記被加熱物を含む単位面積当りの熱容量が略等しくなるように材質及び側面断面形状を決定したことを特徴とする均熱部材。 - 円形の被加熱物を1枚ずつ収納する熱処理空間と、前記熱処理空間の平面内で前記被加熱物の全面を含む矩形の加熱範囲について前記平面内における一方向にのみ分割された複数の領域のそれぞれを均一に加熱する加熱部材と、を備えた熱処理装置において、
請求項1に記載の均熱部材を備えたことを特徴とする熱処理装置。
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