JP4902726B2 - 逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 64
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 125
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 117
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 117
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 91
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 62
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 35
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 14
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 9
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 27
- 239000010408 film Substances 0.000 description 17
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/123—Connection of the pixel electrodes to the thin film transistors [TFT]
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/32115—Planarisation
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/1201—Manufacture or treatment
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/124—Insulating layers formed between TFT elements and OLED elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
- H01L2924/13069—Thin film transistor [TFT]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/302—Details of OLEDs of OLED structures
- H10K2102/3023—Direction of light emission
- H10K2102/3026—Top emission
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/321—Inverted OLED, i.e. having cathode between substrate and anode
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/82—Cathodes
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/82—Cathodes
- H10K50/826—Multilayers, e.g. opaque multilayers
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8052—Cathodes
- H10K59/80523—Multilayers, e.g. opaque multilayers
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Description
また、本発明による逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置は、金属基板上に配置されて光を生成する光発生領域及び前記光発生領域の周辺に配置された第1及び第2パッド部と、前記金属基板上に形成され、前記金属基板の導電特性を絶縁する絶縁層と、前記光発生領域上に形成された薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタを覆って前記金属基板上に配置され、前記薄膜トランジスタの一部と前記第1パッド部の一部及び前記第2パッド部の一部とを各々露出するコンタクトホールを含む保護層と、前記保護層上に形成され、前記コンタクトホールを通じて露出された薄膜トランジスタの一部と接触される導電パターンと、前記光発生領域上に形成されて前記導電パターンと電気的に接続される第1カソード電極と、前記第1カソード電極上に形成された第2カソード電極と、前記第2カソード電極上に配置された有機発光層と、前記有機発光層上に配置され、透明な導電金属で形成されたアノード電極と、前記第1及び第2パッド部を露出する前記コンタクトホール各々に、前記導電パターンと同一の物質で形成された電極パターンとを備え、前記導電パターンは透明な金属材質であるITOで形成され、前記第1カソード電極はモリブデンで形成され、前記第2カソード電極はAlNdで形成されることを特徴とする。
また、本発明による逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置の製造方法は、光発生領域及び前記光発生領域の周辺に配置された第1及び第2パッド部に区分された金属基板を準備する段階と、前記金属基板の導電特性を絶縁するために前記金属基板上に絶縁層を形成する段階と、前記絶縁層が形成された金属基板の光発生領域上に薄膜トランジスタを形成する段階と、前記薄膜トランジスタを覆って、前記薄膜トランジスタの一部と前記第1パッド部の一部及び前記第2パッド部の一部とを各々露出するコンタクトホールを含む保護層を前記金属基板上に形成する段階と、前記コンタクトホールを通じて露出された前記薄膜トランジスタの一部と接触するように、前記保護層が形成された前記金属基板上に第1及び第2金属層を順次積層し、前記第1及び第2金属層をパターニングして第1及び第2導電パターンを形成する段階と、前記薄膜トランジスタの一部と前記第1パッド部の一部及び第2パッド部の一部が露出されるように、前記第1及び第2導電パターンが形成された前記金属基板上に平坦化層を形成する段階と、前記平坦化層が形成された前記金属基板上に、前記第2導電パターンと電気的に接続されるカソード電極を形成する段階と、前記カソード電極が形成された前記金属基板上に、バンク層を形成して前記カソード電極の一部と前記第1及び第2パッド部の一部とが露出されるように、前記バンク層をパターニングしてバンクパターンを形成する段階と、前記カソード電極上に有機発光層を形成する段階と、前記有機発光層上に透明な導電金属でアノード電極を形成する段階とを含み、前記第1及び第2パッド部を露出する前記コンタクトホールの各々には、前記第2導電パターンと同一の物質で電極パターンが形成され、前記第1導電パターンはモリブデンで形成され、前記第2導電パターンはITOで形成され、前記第1及び第2パッド部のそれぞれは、前記第1導電パターンの第1上部電極及び前記第2導電パターンの第2上部電極を含むことを特徴とする。
さらに、本発明による逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置の製造方法は、光発生領域及び前記光発生領域の周辺に配置された第1及び第2パッド部に区分された金属基板を準備する段階と、前記金属基板の導電特性を絶縁するために前記金属基板上に絶縁層を形成する段階と、前記絶縁層が形成された金属基板の光発生領域上に薄膜トランジスタを形成する段階と、前記薄膜トランジスタを覆って、前記薄膜トランジスタの一部と前記第1パッド部の一部及び前記第2パッド部の一部とを各々露出するコンタクトホールを含む保護層を前記金属基板上に形成する段階と、前記コンタクトホールを通じて露出された前記薄膜トランジスタの一部と接触するように、前記保護層が形成された前記金属基板上に導電金属層を積層し、前記導電金属層をパターニングして導電パターンを形成する段階と、前記薄膜トランジスタの一部と前記第1パッド部の一部及び第2パッド部の一部とが露出されるように、前記導電パターンが形成された前記金属基板上に平坦化層を形成する段階と、前記導電パターンと電気的に接続されるように、前記平坦化層が形成された前記金属基板上に第1及び第2金属層を順次積層し、前記第1及び第2金属層をパターニングして第1及び第2カソード電極を形成する段階と、前記第1及び第2カソード電極が形成された前記金属基板上に、バンク層を形成して前記第2カソード電極の一部と前記第1及び第2パッド部の一部とが露出されるように、前記バンク層をパターニングしてバンクパターンを形成する段階と、前記第2カソード電極上に有機発光層を形成する段階と、前記有機発光層上に透明な導電金属でアノード電極を形成する段階とを含み、前記第1及び第2パッド部を露出する前記コンタクトホールの各々には、前記導電パターンと同一の物質で電極パターンが形成され、前記第1カソード電極はモリブデンで形成され、前記第2カソード電極はAlNdで形成され、前記導電パターンは、透明な金属材質であるITOで形成されることを特徴とする。
図1は、本発明の実施の形態1に係る逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置を概略的に示す断面図である。本発明の実施の形態1に係る逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置では、第1電極がカソード電極であり、第2電極がアノード電極である逆構造(inverted)について例を挙げて説明する。
Claims (5)
- 金属基板上に配置されて光を生成する光発生領域及び前記光発生領域の周辺に配置された第1及び第2パッド部と、
前記金属基板上に形成され、前記金属基板の導電特性を絶縁する絶縁層と、
前記光発生領域上に形成された薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタを覆って前記金属基板上に配置され、前記薄膜トランジスタの一部と前記第1パッド部の一部及び前記第2パッド部の一部とを各々露出するコンタクトホールを含む保護層と、
前記保護層上に形成され、前記コンタクトホールを通じて露出された前記薄膜トランジスタの一部と接触される第1及び第2導電パターンと、
前記光発生領域上に形成されて前記第2導電パターンと電気的に接続されるカソード電極と、
前記カソード電極上に配置された有機発光層と、
前記有機発光層上に配置され、透明な導電金属で形成されたアノード電極と、
前記第1及び第2パッド部を露出する前記コンタクトホールの各々に、前記第2導電パターンと同一の物質で形成された電極パターンと、
を備え、
前記第1導電パターンはITOで形成され、前記第2導電パターンはモリブデンで形成され、
前記第1及び第2パッド部のそれぞれは、前記第1導電パターンと同一物質でなる第1上部電極及び前記第2導電パターンと同一物質でなる第2上部電極を含む
ことを特徴とする逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置。 - 前記カソード電極は、反射率の高いAlNdで形成されることを特徴とする請求項1に記載の逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置。
- 金属基板上に配置されて光を生成する光発生領域及び前記光発生領域の周辺に配置された第1及び第2パッド部と、
前記金属基板上に形成され、前記金属基板の導電特性を絶縁する絶縁層と、
前記光発生領域上に形成された薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタを覆って前記金属基板上に配置され、前記薄膜トランジスタの一部と前記第1パッド部の一部及び前記第2パッド部の一部とを各々露出するコンタクトホールを含む保護層と、
前記保護層上に形成され、前記コンタクトホールを通じて露出された薄膜トランジスタの一部と接触される導電パターンと、
前記光発生領域上に形成されて前記導電パターンと電気的に接続される第1カソード電極と、
前記第1カソード電極上に形成された第2カソード電極と、
前記第2カソード電極上に配置された有機発光層と、
前記有機発光層上に配置され、透明な導電金属で形成されたアノード電極と、
前記第1及び第2パッド部を露出する前記コンタクトホール各々に、前記導電パターンと同一の物質で形成された電極パターンと、
を備え、
前記導電パターンは透明な金属材質であるITOで形成され、
前記第1カソード電極はモリブデンで形成され、前記第2カソード電極はAlNdで形成される
ことを特徴とする逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置。 - 光発生領域及び前記光発生領域の周辺に配置された第1及び第2パッド部に区分された金属基板を準備する段階と、
前記金属基板の導電特性を絶縁するために前記金属基板上に絶縁層を形成する段階と、
前記絶縁層が形成された金属基板の光発生領域上に薄膜トランジスタを形成する段階と、
前記薄膜トランジスタを覆って、前記薄膜トランジスタの一部と前記第1パッド部の一部及び前記第2パッド部の一部とを各々露出するコンタクトホールを含む保護層を前記金属基板上に形成する段階と、
前記コンタクトホールを通じて露出された前記薄膜トランジスタの一部と接触するように、前記保護層が形成された前記金属基板上に第1及び第2金属層を順次積層し、前記第1及び第2金属層をパターニングして第1及び第2導電パターンを形成する段階と、
前記薄膜トランジスタの一部と前記第1パッド部の一部及び第2パッド部の一部が露出されるように、前記第1及び第2導電パターンが形成された前記金属基板上に平坦化層を形成する段階と、
前記平坦化層が形成された前記金属基板上に、前記第2導電パターンと電気的に接続されるカソード電極を形成する段階と、
前記カソード電極が形成された前記金属基板上に、バンク層を形成して前記カソード電極の一部と前記第1及び第2パッド部の一部とが露出されるように、前記バンク層をパターニングしてバンクパターンを形成する段階と、
前記カソード電極上に有機発光層を形成する段階と、
前記有機発光層上に透明な導電金属でアノード電極を形成する段階と、
を含み、
前記第1及び第2パッド部を露出する前記コンタクトホールの各々には、前記第2導電パターンと同一の物質で電極パターンが形成され、
前記第1導電パターンはモリブデンで形成され、前記第2導電パターンはITOで形成され、
前記第1及び第2パッド部のそれぞれは、前記第1導電パターンの第1上部電極及び前記第2導電パターンの第2上部電極を含む
ことを特徴とする逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置の製造方法。 - 光発生領域及び前記光発生領域の周辺に配置された第1及び第2パッド部に区分された金属基板を準備する段階と、
前記金属基板の導電特性を絶縁するために前記金属基板上に絶縁層を形成する段階と、
前記絶縁層が形成された金属基板の光発生領域上に薄膜トランジスタを形成する段階と、
前記薄膜トランジスタを覆って、前記薄膜トランジスタの一部と前記第1パッド部の一部及び前記第2パッド部の一部とを各々露出するコンタクトホールを含む保護層を前記金属基板上に形成する段階と、
前記コンタクトホールを通じて露出された前記薄膜トランジスタの一部と接触するように、前記保護層が形成された前記金属基板上に導電金属層を積層し、前記導電金属層をパターニングして導電パターンを形成する段階と、
前記薄膜トランジスタの一部と前記第1パッド部の一部及び第2パッド部の一部とが露出されるように、前記導電パターンが形成された前記金属基板上に平坦化層を形成する段階と、
前記導電パターンと電気的に接続されるように、前記平坦化層が形成された前記金属基板上に第1及び第2金属層を順次積層し、前記第1及び第2金属層をパターニングして第1及び第2カソード電極を形成する段階と、
前記第1及び第2カソード電極が形成された前記金属基板上に、バンク層を形成して前記第2カソード電極の一部と前記第1及び第2パッド部の一部とが露出されるように、前記バンク層をパターニングしてバンクパターンを形成する段階と、
前記第2カソード電極上に有機発光層を形成する段階と、
前記有機発光層上に透明な導電金属でアノード電極を形成する段階と、
を含み、
前記第1及び第2パッド部を露出する前記コンタクトホールの各々には、前記導電パターンと同一の物質で電極パターンが形成され、
前記第1カソード電極はモリブデンで形成され、前記第2カソード電極はAlNdで形成され、
前記導電パターンは、透明な金属材質であるITOで形成される
ことを特徴とする逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090015460A KR101319096B1 (ko) | 2009-02-24 | 2009-02-24 | 탑 에미션 인버티드형 유기발광 다이오드 표시장치 및 그의제조방법 |
KR10-2009-0015460 | 2009-02-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010199554A JP2010199554A (ja) | 2010-09-09 |
JP4902726B2 true JP4902726B2 (ja) | 2012-03-21 |
Family
ID=42621706
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009284940A Active JP4902726B2 (ja) | 2009-02-24 | 2009-12-16 | 逆構造トップエミッション型有機発光ダイオード表示装置及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8803172B2 (ja) |
JP (1) | JP4902726B2 (ja) |
KR (1) | KR101319096B1 (ja) |
CN (1) | CN101814522B (ja) |
Families Citing this family (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101780250B1 (ko) * | 2010-09-24 | 2017-09-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법 |
JP5825812B2 (ja) * | 2011-03-24 | 2015-12-02 | 株式会社Joled | 表示装置の製造方法 |
KR101815256B1 (ko) * | 2011-06-28 | 2018-01-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광표시장치 및 그 제조방법 |
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-
2009
- 2009-02-24 KR KR1020090015460A patent/KR101319096B1/ko active IP Right Grant
- 2009-11-25 CN CN2009102260731A patent/CN101814522B/zh active Active
- 2009-12-16 US US12/639,414 patent/US8803172B2/en active Active
- 2009-12-16 JP JP2009284940A patent/JP4902726B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8803172B2 (en) | 2014-08-12 |
KR20100096545A (ko) | 2010-09-02 |
CN101814522B (zh) | 2013-04-03 |
JP2010199554A (ja) | 2010-09-09 |
KR101319096B1 (ko) | 2013-10-17 |
US20100213482A1 (en) | 2010-08-26 |
CN101814522A (zh) | 2010-08-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110610 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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