JP4898559B2 - ヘリウム液化用冷凍装置及びヘリウム用圧縮機ユニット - Google Patents
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また、本発明の第2の態様は、作動ガスとしてヘリウムガスを使用した空冷式ヘリウム用圧縮機ユニットと負荷側冷凍機とを備えたヘリウム液化用冷凍装置において、前記空冷式ヘリウム用圧縮機ユニットは、ヘリウムガスを低圧から中間圧に昇圧する低段圧縮機を有する低段圧縮機ユニットと、前記低段圧縮機で中間圧に圧縮されたヘリウムガスを中間圧から高圧に昇圧する高段圧縮機を有する高段圧縮機ユニットと備え、前記負荷側冷凍機はヘリウムガス予冷却用冷凍機とジュールトムソン弁と該弁から流下した液化ヘリウムを溜めるヘリウム容器とを備え、前記低段圧縮機の行程容積と前記高段圧縮機の工程容積とを同一に設定すると共に、前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機のインバータ用電動機を同一に設定し、前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機を1台のインバータにて同一回転数で駆動制御し、前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機のスクロールラップ部の設定容積比が2.1〜2.4の同一のスクロール歯形形状を有し、前記低段圧縮機の運転圧力比を9〜11に設定すると共に前記高段圧縮機の運転圧力比を2.3〜2.8に設定して、高圧と低圧との圧力比である高圧力比が24〜26となるようにし、前記低段圧縮機の吐出側で且つ前記ヘリウムガス予冷却用冷凍機から前記高段圧縮機に至る配管より低段圧縮機側に逆止弁を備え、前記低段圧縮機の吐出側で且つ前記逆止弁より低段圧縮機側から前記低段圧縮機の吸入側にバイパスするバイパス配管を備え、そのバイパス配管の途中に流量調整機能を有する減圧弁手段を備えたことにある。
(参考例)
参考例を図1から図11を用いて説明する。
ここで、λ1:ラップ巻き終り角度(インボリュート伸開角)、λS:ラップ巻き始め角度(インボリュート伸開角)、π:円周率、α:旋回半径εthとスクロールラップの基礎円半径aの比(=εth/a)である。
Vr=2.3仕様のスクロールスクロールラップ形状例の場合、そのラップ巻き始め角度(a点)はおよそλs=2.0radとなる。f点及びg点がラップ巻き終り部の点となる。角度にして、f点の位置となる、例えば、インボリュート伸開角λ1=19.3radとなる。曲線69は円弧形状であり、点fと点gを滑らかに結んでいる。
(1)ヘリウム液化冷凍装置50に2つの圧縮機100、200を直列に配置し、低圧から中間圧に昇圧する低段側圧縮機100と、中間圧から高圧に昇圧する高段側圧縮機200の2つを備え、かつ両方の圧縮機100、200の行程容積を同一に設定することにより、それぞれの運転圧力比を従来機に対して、約半分の圧力比に設定でき、圧縮室間の内部漏れ低減による体積効率の向上効果、液体ヘリウム容器内の超電導コイルへの冷却効果が向上できる。また、2つの圧縮機100、200を同一に設置・使用することで、生産性の向上が図れ、圧縮機ユニット258及び圧縮機100、200の製造コストも安価にできる効果がある。
(2)同一の圧縮機100、200を配置し、さらに内蔵したインバータ用電動機も同一品を使用することによって、1つのインバータ900にて2つの圧縮機100、200を同時に回転数制御することができ、両圧縮機100、200の能力制御性が簡便・容易となる。また、冷凍負荷が小さい場合には、低い運転周波数とすることができ、大幅な省エネルギーを達成することができる。また、インバータ制御により、転がり軸受の長寿命化、ひいては、ヘリウム圧縮機100、200の長寿命化が達成できる。
(3)中間圧力の最適範囲に設定することにより、高段側圧縮機200の小型化と該圧縮機200の省エネ化、ひいては上記(2)項と関連して信頼性が大幅に向上できる。
(4)中間圧力の最適な設定により、高段側圧縮機200の入力となる負荷低減効果を最大に発揮せしめ、その結果、装置全体として高圧力比に対して、高効率で高信頼性のヘリウム液化冷凍装置を提供できるものとなる。
(第1実施形態)
次に、本発明の第1実施形態について図14を用いて説明する。図14は本発明の第1実施形態のヘリウム液化用冷凍装置の全体構成を示す図である。この第1実施形態は、次に述べる点で参考例と相違するものであり、その他の点については参考例と基本的には同一であるので、重複する説明を省略する。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について図15を用いて説明する。図15は本発明の第2実施形態のヘリウム液化用冷凍装置の全体構成を示す図である。この第2実施形態は、次に述べる点で第1実施形態と相違するものであり、その他の点については第1実施形態と基本的には同一であるので、重複する説明を省略する。
Claims (3)
- 作動ガスとしてヘリウムガスを使用した空冷式ヘリウム用圧縮機ユニットと負荷側冷凍機とを備えたヘリウム液化用冷凍装置において、
前記空冷式ヘリウム用圧縮機ユニットは、ヘリウムガスを低圧から中間圧に昇圧する低段圧縮機を有する低段圧縮機ユニットと、前記低段圧縮機で中間圧に圧縮されたヘリウムガスを中間圧から高圧に昇圧する高段圧縮機を有する高段圧縮機ユニットと備え、
前記負荷側冷凍機はヘリウムガス予冷却用冷凍機とジュールトムソン弁と該弁から流下した液化ヘリウムを溜めるヘリウム容器とを備え、
前記低段圧縮機の行程容積と前記高段圧縮機の工程容積とを同一に設定すると共に、
前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機のインバータ用電動機を同一に設定し、
前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機を1台のインバータにて同一回転数で駆動制御し、
前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機のスクロールラップ部の設定容積比が2.1〜2.4の同一のスクロール歯形形状を有し、
前記低段圧縮機の運転圧力比を9〜11に設定すると共に前記高段圧縮機の運転圧力比を2.3〜2.8に設定して、高圧と低圧との圧力比である高圧力比が24〜26となるようにし、
前記低段圧縮機の吐出側に逆止弁を備えたことを特徴とするヘリウム液化用冷凍装置。 - 作動ガスとしてヘリウムガスを使用した空冷式ヘリウム用圧縮機ユニットと負荷側冷凍機とを備えたヘリウム液化用冷凍装置において、
前記空冷式ヘリウム用圧縮機ユニットは、ヘリウムガスを低圧から中間圧に昇圧する低段圧縮機を有する低段圧縮機ユニットと、前記低段圧縮機で中間圧に圧縮されたヘリウムガスを中間圧から高圧に昇圧する高段圧縮機を有する高段圧縮機ユニットと備え、
前記負荷側冷凍機はヘリウムガス予冷却用冷凍機とジュールトムソン弁と該弁から流下した液化ヘリウムを溜めるヘリウム容器とを備え、
前記低段圧縮機の行程容積と前記高段圧縮機の工程容積とを同一に設定すると共に、
前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機のインバータ用電動機を同一に設定し、
前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機を1台のインバータにて同一回転数で駆動制御し、
前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機のスクロールラップ部の設定容積比が2.1〜2.4の同一のスクロール歯形形状を有し、
前記低段圧縮機の運転圧力比を9〜11に設定すると共に前記高段圧縮機の運転圧力比を2.3〜2.8に設定して、高圧と低圧との圧力比である高圧力比が24〜26となるようにし、
前記低段圧縮機の吐出側で且つ前記ヘリウムガス予冷却用冷凍機から前記高段圧縮機に至る配管より低段圧縮機側に逆止弁を備え、
前記低段圧縮機の吐出側で且つ前記逆止弁より低段圧縮機側から前記低段圧縮機の吸入側にバイパスするバイパス配管を備え、
そのバイパス配管の途中に流量調整機能を有する減圧弁手段を備えたことを特徴とするヘリウム液化用冷凍装置。 - 作動ガスとしてヘリウムガスを使用し、ヘリウムガスを低圧から中間圧に昇圧する低段圧縮機を有する低段圧縮機ユニットと、前記低段圧縮機で中間圧に圧縮されたヘリウムガスを中間圧から高圧に昇圧する高段圧縮機を有する高段圧縮機ユニットと備え、ヘリウムガス予冷却用冷凍機とジュールトムソン弁と該弁から流下した液化ヘリウムを溜めるヘリウム容器とからなる負荷側冷凍機にヘリウムガスを供給する空冷式ヘリウム用圧縮機ユニットにおいて、
前記低段圧縮機の行程容積と前記高段圧縮機の工程容積とを同一に設定すると共に、
前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機のインバータ用電動機を同一に設定し、
前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機を1台のインバータにて同一回転数で駆動制御し、
前記低段圧縮機及び前記高段圧縮機のスクロールラップ部の設定容積比が2.1〜2.4の同一のスクロール歯形形状を有し、
前記低段圧縮機の運転圧力比を9〜11に設定すると共に前記高段圧縮機の運転圧力比を2.3〜2.8に設定して、高圧と低圧との圧力比となる高圧力比を24〜26とし、
前記低段圧縮機の吐出側で且つ前記ヘリウムガス予冷却用冷凍機から前記高段圧縮機に至る配管より低段圧縮機側に逆止弁を備え、
前記低段圧縮機の吐出側で且つ前記逆止弁より低段圧縮機側から前記低段圧縮機の吸入側にバイパスするバイパス配管を備え、
そのバイパス配管の途中に流量調整機能を有する減圧弁手段を備えたことを特徴とする空冷式ヘリウム用圧縮機ユニット。
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