JP4885260B2 - Resin sealing device and resin sealing method - Google Patents

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JP4885260B2 JP2009161766A JP2009161766A JP4885260B2 JP 4885260 B2 JP4885260 B2 JP 4885260B2 JP 2009161766 A JP2009161766 A JP 2009161766A JP 2009161766 A JP2009161766 A JP 2009161766A JP 4885260 B2 JP4885260 B2 JP 4885260B2
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Description

基板に実装した半導体素子等の電子部品を樹脂材料で封止する樹脂封止装置および樹脂封止方法に関する。   The present invention relates to a resin sealing device and a resin sealing method for sealing an electronic component such as a semiconductor element mounted on a substrate with a resin material.

従来、樹脂封止装置は、例えば、リードフレーム1を一対のスライドチャック19b,19bで保持して金型5に搬入し、位置決めした後、前記スライドチャック19bを退出させていた。そして、成形後、金型5に一対のスライドチャック31b,31bを進出させ、前記リードフレーム1を成形して得た成形品2を前記スライドチャック31bに保持させて搬出している。(特許文献1参照)。
また、他の樹脂封止装置は、リードフレーム供給部3から供給されたリードフレームをチャックハンド29で保持し、上型13,下型14の間に搬入して位置決めした後、前記チャックハンド29を退出させていた。そして、成形後、再度、前記チャックハンド39を進出させて成形品を把持し、搬出している(特許文献2参照)。
さらに、異なる樹脂封止装置は、リードフレーム2を吸着部33で吸着保持し、上,下金型11,12の間に搬送して位置決めし、退出させていた。そして、成形後、前記上,下金型11,12の間に前記吸着部33を進出させ、前記リードフレーム2を成形して得た成形品を吸着部33で吸着して搬出している(特許文献3参照)。
Conventionally, in a resin sealing device, for example, the lead frame 1 is held by a pair of slide chucks 19b and 19b, carried into the mold 5 and positioned, and then the slide chuck 19b is retracted. After the molding, the pair of slide chucks 31b and 31b are advanced into the mold 5, and the molded product 2 obtained by molding the lead frame 1 is held by the slide chuck 31b and carried out. (See Patent Document 1).
In another resin sealing device, the lead frame supplied from the lead frame supply unit 3 is held by the chuck hand 29, and is placed between the upper mold 13 and the lower mold 14 for positioning, and then the chuck hand 29 Was leaving. After the molding, the chuck hand 39 is advanced again to grip the molded product and carry it out (see Patent Document 2).
Further, in the different resin sealing devices, the lead frame 2 is sucked and held by the sucking portion 33, and is transported and positioned between the upper and lower molds 11 and 12, and is retracted. After the molding, the suction portion 33 is advanced between the upper and lower molds 11 and 12, and the molded product obtained by molding the lead frame 2 is sucked and carried out by the suction portion 33 ( (See Patent Document 3).

特開昭62−70012号公報JP 62-70012 A 特開平10−286699号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-286699 特開平9−153505号公報JP-A-9-153505

しかしながら、前述の従来例では、基板供給装置から供給された基板をチャックあるいは吸着部で保持し、上,下金型間に搬入して位置決めし、前記チャック等を退出させた後、前記上,下金型を型締めしていた。また、成形後に開いた上,下金型の間にチャック等を、再度、進出させ、成形された基板を搬出していた。このため、従来例の樹脂封止装置はいずれも、樹脂成形サイクルタイムが長く、高い生産効率が得られなかった。
特に、従来例の中には、基板供給装置から供給された基板の搬入,位置決めと、成形された基板の取り出し,搬出とは、別々のチャック等を使用する樹脂封止装置がある。このため、部品点数が多く、装置が大型化するだけでなく、制御機構が複雑になり、メンテナンスが容易でないという問題点があった。
本発明は、前記問題点に鑑み、生産効率が高く、小型で簡単な構造を有し、メンテナンスが容易な樹脂封止装置を提供することを課題とする。
However, in the above-described conventional example, the substrate supplied from the substrate supply apparatus is held by the chuck or the suction unit, and is loaded and positioned between the upper and lower molds. The lower mold was clamped. Further, a chuck or the like is advanced again between the upper and lower molds that are opened after molding, and the molded substrate is carried out. For this reason, none of the conventional resin sealing devices has a long resin molding cycle time, and high production efficiency cannot be obtained.
In particular, among conventional examples, there is a resin sealing device that uses separate chucks or the like for carrying in and positioning of a substrate supplied from a substrate supply device and for taking out and carrying out a molded substrate. For this reason, there are problems that not only the number of parts is large and the apparatus becomes large, but also the control mechanism becomes complicated and maintenance is not easy.
In view of the above-described problems, an object of the present invention is to provide a resin sealing device having high production efficiency, a small and simple structure, and easy maintenance.

本発明に係る樹脂封止装置は、前記課題を解決するため、基板供給装置から供給された基板を基板搬送装置で上,下金型の間に搬送し、前記基板の表裏面を前記上,下金型で挟持するとともに、前記基板に実装した電子部品を前記金型に設けたキャビティ内で樹脂封止する樹脂封止装置であって、
枠体構造を有する基板搬送装置の対向する辺の内側面に、前記基板の両側縁部を側方からスライド嵌合可能なガイド溝をそれぞれ設けるとともに、前記ガイド溝を設けた辺に、基板の縁部に圧接して保持する少なくとも一つのクランプブロックを設け、
金型開閉時に前記クランプブロックを前記上,下金型にそれぞれ設けたリターンピンで上下から挟持するとともに、前記基板の両側縁部を前記ガイド溝にスライド嵌合して支持したままの状態で、前記基板の表裏面を上,下金型で挟持し、樹脂封止する構成としてある。
In order to solve the above problems, the resin sealing device according to the present invention transports the substrate supplied from the substrate supply device between the upper and lower molds by the substrate transport device, and the upper and lower surfaces of the substrate are A resin sealing device that sandwiches an electronic component mounted on the substrate with a lower mold and seals the resin within a cavity provided in the mold,
Guide grooves capable of slidingly fitting both side edges of the substrate from the side are provided on the inner side surfaces of the opposite sides of the substrate transport device having a frame structure, and the sides of the substrate are provided on the sides provided with the guide grooves. Provide at least one clamp block to hold in pressure contact with the edge,
While holding the clamp block from above and below with the return pins provided in the upper and lower molds when the mold is opened and closed, with both side edges of the substrate being slid and supported in the guide grooves , The front and back surfaces of the substrate are sandwiched between upper and lower molds and sealed with resin.

本発明によれば、基板搬送装置で上,下金型間に搬入した基板を位置決めした後、基板搬送装置を退出させる必要がないとともに、再度、進出させる必要がない。このため、樹脂成形サイクルが短く、生産効率が高い。
また、基板の搬入,成形品の離型を同一の基板搬送装置で行うので、部品点数が少なく、小型化しやすいだけでなく、制御機構が簡単になり、メンテナンスが容易な樹脂封止装置が得られる。
According to the present invention, after the substrate carried between the upper and lower molds is positioned by the substrate carrying device, it is not necessary to leave the substrate carrying device and to advance again. For this reason, the resin molding cycle is short and the production efficiency is high.
In addition, since the substrate is carried in and the molded product is released from the same substrate transport device, not only the number of components is reduced and the size can be easily reduced, but also the control mechanism is simplified and a resin sealing device that is easy to maintain can be obtained. It is done.

さらに、本発明によれば、基板の両側縁部が基板搬送装置のガイド溝にスライド嵌合することにより、前記基板の位置ズレが生じにくくなり、抜け落ちにくくなる。 Furthermore, according to the present invention, the side edge portions of the substrate are slidably fitted into the guide grooves of the substrate transport device, so that the positional displacement of the substrate is less likely to occur and the falling off is less likely to occur.

そして、本発明によれば、前記クランプブロックを介して基板の縁部が圧接,保持され、前記基板がより一層、位置ズレしにくくなるとともに、抜け落ちにくくなる。 And according to this invention, the edge part of a board | substrate is press-contacted and hold | maintained via the said clamp block, and while the said board | substrate becomes much more difficult to position-shift, it becomes difficult to drop out.

ついで、本発明によれば、リターンピンの保持力が加算されることにより、成形前後に生じ得る基板の位置ズレをより一層効果的に防止できる。特に、成形後に上,下金型から成形品を離型させて取り出す場合であっても、基板の縁部をリターンピンの圧力で強固に保持できるので、基板が基板搬送装置から脱落することがない。 Next, according to the present invention, by adding the holding force of the return pin, it is possible to more effectively prevent the positional deviation of the substrate that may occur before and after molding. In particular, even when the molded product is removed from the upper and lower molds after molding, the edge of the substrate can be firmly held by the pressure of the return pin, so that the substrate may fall off from the substrate transfer device. Absent.

特に、本発明の実施形態としては、上,下金型にそれぞれ設けたリターンピンで、金型開閉時に基板搬送装置のクランプブロックを上下から同一軸心上で挟持するようにしてもよい。
本実施形態によれば、リターンピンが基板搬送装置を同一軸心上で挟持するので、基板搬送装置に捩れ、撓み等の不具合が発生するおそれがなくなる。
In particular, as an embodiment of the present invention, the clamp pins of the substrate transfer apparatus may be clamped from the top and bottom on the same axis with the return pins provided on the upper and lower molds respectively.
According to the present embodiment, since the return pin sandwiches the substrate transfer device on the same axis, there is no possibility that problems such as twisting and bending occur in the substrate transfer device.

本発明の異なる実施形態としては、成形品を金型のキャビティから突き出すエジェクタピンと、前記エジェクタピンを取り付けたエジェクタプレートと、前記エジェクタプレートに一体に設けられ、かつ、金型の開閉時に基板搬送装置を挟持するリターンピンと、を備えた金型であってもよい。
本実施形態によれば、複雑な駆動機構、制御機構を用いることなく、リターンピンに同期させてエジェクタピンを後退,前進できるとともに、基板搬送装置を上下動させることができるので、成形品を金型キャビティから良好に離型することができる。
As different embodiments of the present invention, an ejector pin for projecting a molded product from a cavity of a mold, an ejector plate to which the ejector pin is attached, a substrate transfer device that is provided integrally with the ejector plate and is opened and closed when the mold is opened and closed It may be a mold provided with a return pin for sandwiching.
According to the present embodiment, the ejector pin can be moved backward and forward in synchronization with the return pin and the substrate transfer device can be moved up and down without using a complicated drive mechanism and control mechanism, and thus the molded product can be Good mold release from mold cavity.

また、本発明の別の実施形態としては、成形品を金型のキャビティから突き出すエジェクタピンと、前記エジェクタピンを取り付けたエジェクタプレートと、前記エジェクタプレートにコイルバネを介して取り付けられ、かつ、金型の開閉時に基板搬送装置を挟持するリターンピンと、を備えた金型であってもよい。
本実施形態によれば、複雑な駆動機構、制御機構を用いることなく、リターンピン及び基板搬送装置に対して所定の時間差でエジェクタピンを後退,前進できるので、成形品を金型のキャビティから良好に離型することができる。
Further, as another embodiment of the present invention, an ejector pin that protrudes a molded product from a cavity of a mold, an ejector plate to which the ejector pin is attached, a coil spring attached to the ejector plate, and a mold It may be a mold provided with a return pin for holding the substrate transfer device at the time of opening and closing.
According to this embodiment, the ejector pin can be moved backward and forward with a predetermined time difference with respect to the return pin and the substrate transfer device without using a complicated drive mechanism and control mechanism, so that the molded product can be easily removed from the mold cavity. Can be released.

本発明の新たな実施形態としては、上,下金型の下流側に、樹脂封止した基板である成形品を仮置きするための仮置き装置と、前記成形品から不要樹脂を除去するディゲータ装置と、不要樹脂を除去した成形品を積み重ねて収納する成形品収納装置と、を一列に順次配置しておいてもよい。
本実施形態によれば、成形後の基板を簡単、かつ、最短距離で取り出して搬出できるので、床面積が小さく、生産効率の高い樹脂封止装置が得られる。
As a new embodiment of the present invention, a temporary placement device for temporarily placing a molded product which is a resin-sealed substrate on the downstream side of the upper and lower molds, and a degaiter for removing unnecessary resin from the molded product The apparatus and the molded product storage device that stacks and stores the molded products from which unnecessary resin is removed may be sequentially arranged in a line.
According to this embodiment, the molded substrate can be easily taken out and carried out at the shortest distance, so that a resin sealing device with a small floor area and high production efficiency can be obtained.

本発明に係る樹脂封止方法は、基板供給装置から供給された基板を基板搬送装置で上,下金型の間に搬送し、前記基板の表裏面を前記上,下金型で挟持するとともに、前記基板に実装した電子部品を前記金型に設けたキャビティ内で樹脂封止する樹脂封止方法であって、
枠体構造を有する基板搬送装置の対向する辺の内側面に、前記基板の両側縁部を側方からスライド嵌合可能なガイド溝をそれぞれ設けるとともに、前記ガイド溝を設けた辺に、基板の縁部に圧接して保持する少なくとも一つのクランプブロックを設け、
金型開閉時に前記クランプブロックを前記上,下金型にそれぞれ設けたリターンピンで上下から挟持するとともに、前記基板の両側縁部を前記ガイド溝にスライド嵌合して支持したままの状態で、前記基板の表裏面を上,下金型で挟持し、樹脂封止する工程からなるものである。
In the resin sealing method according to the present invention, the substrate supplied from the substrate supply device is transferred between the upper and lower molds by the substrate transfer device, and the front and back surfaces of the substrate are sandwiched between the upper and lower molds. A resin sealing method for resin sealing an electronic component mounted on the substrate in a cavity provided in the mold,
Guide grooves capable of slidingly fitting both side edges of the substrate from the side are provided on the inner side surfaces of the opposite sides of the substrate transport device having a frame structure, and the sides of the substrate are provided on the sides provided with the guide grooves. Provide at least one clamp block to hold in pressure contact with the edge,
While holding the clamp block from above and below with the return pins provided in the upper and lower molds when the mold is opened and closed, with both side edges of the substrate being slid and supported in the guide grooves , This comprises a step of sandwiching the front and back surfaces of the substrate with upper and lower molds and sealing with resin.

本発明によれば、基板搬送装置で上,下金型間に搬入した基板を位置決めした後、基板搬送装置を退出させる必要がないとともに、再度、進出させる必要がない。このため、樹脂成形サイクルが短く、生産効率の高い樹脂封止方法が得られる。
また、基板の搬入,成形品の離型を同一の基板搬送装置で行うので、部品点数が少なく、小型化しやすいだけでなく、制御機構が簡単になり、メンテナンスが容易な樹脂封止方法が得られるという効果がある。
According to the present invention, after the substrate carried between the upper and lower molds is positioned by the substrate carrying device, it is not necessary to leave the substrate carrying device and to advance again. For this reason, the resin molding cycle is short, and a resin sealing method with high production efficiency is obtained.
In addition, since the substrate is carried in and the molded product is released by the same substrate transport device, not only the number of parts is reduced and the size can be easily reduced, but also the control mechanism is simplified and a resin sealing method that is easy to maintain is obtained. There is an effect that it is.

本発明に係る樹脂封止装置の実施形態を示す平面図である。It is a top view which shows embodiment of the resin sealing apparatus which concerns on this invention. 図1で示したII-II線断面図である。It is the II-II sectional view taken on the line shown in FIG. 図2で示した矢印IIIの方向から視た側面図である。It is the side view seen from the direction of arrow III shown in FIG. 図2で示したIV-IV線断面図である。It is the IV-IV sectional view taken on the line shown in FIG. 図2で示したV-V線部分拡大断面図である。FIG. 5 is a partial enlarged sectional view taken along line VV shown in FIG. 2. 図5に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 6 is a partial enlarged cross-sectional view taken along line VV for explaining the manufacturing process subsequent to FIG. 5. 図6に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 7 is a partial enlarged cross-sectional view taken along the line VV for explaining the manufacturing process subsequent to FIG. 6. 図7に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 8 is a partial enlarged cross-sectional view taken along line VV for explaining the manufacturing process subsequent to FIG. 7. 図8に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 10 is a partial enlarged cross-sectional view taken along the line VV for explaining the manufacturing process subsequent to FIG. 8. 図9に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 10 is a partial enlarged cross-sectional view taken along the line VV for explaining the manufacturing process following FIG. 9. 図10に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 11 is a partial enlarged cross-sectional view taken along the line VV for explaining the manufacturing process subsequent to FIG. 10. 図11に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 12 is a partial enlarged cross-sectional view taken along the line VV for explaining the manufacturing process subsequent to FIG. 11. 図12に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 13 is a partial enlarged cross-sectional view taken along the line VV for explaining the manufacturing process following FIG. 12. 図13に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 14 is a partial enlarged cross-sectional view taken along the line VV for explaining the manufacturing process subsequent to FIG. 13. 図14に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 15 is a partial enlarged cross-sectional view taken along the line VV for explaining the manufacturing process subsequent to FIG. 14. 図15に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 16 is a partial enlarged cross-sectional view taken along line VV for explaining the manufacturing process following FIG. 15. 図16に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 17 is a partial enlarged cross-sectional view taken along line VV for explaining the manufacturing process following FIG. 16. 図17に続く製造工程を説明するためのV-V線部分拡大断面図である。FIG. 18 is a partial enlarged cross-sectional view taken along the line VV for explaining the manufacturing process subsequent to FIG. 17. 図10で示したV-V線部分拡大断面図の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of the VV line | wire partial expanded sectional view shown in FIG. 本発明に係る樹脂封止装置の要部分解斜視図である。It is a principal part disassembled perspective view of the resin sealing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る樹脂封止装置を側方から視た要部部分側面図である。It is the principal part partial side view which looked at the resin sealing apparatus which concerns on this invention from the side. 本発明に係る樹脂封止装置によって樹脂封止される基板を裏面から視た斜視図である。It is the perspective view which looked at the board | substrate sealed with the resin sealing apparatus which concerns on this invention from the back surface. 本発明に係る樹脂封止装置によって樹脂封止される基板を表面から視た斜視図である。It is the perspective view which looked at the board | substrate sealed with the resin sealing apparatus which concerns on this invention from the surface.

本発明に係る樹脂封止装置は、大略、図1に示すように、メインベース10の中央に配置した金型装置20の上流側に、基板供給装置80および樹脂材料供給装置120を並設する一方、その下流側に成形品仮置き装置140,ディゲート装置150、および、成形品収納装置160を1列に配置してある。
また、前記基板供給装置80と前記金型装置20との間には基板搬送装置100が往復移動可能に配置されている。さらに、前記樹脂材料供給装置120と前記金型装置20との間には樹脂材料搬送装置130が往復移動可能に配置されている。
そして、前記成形品仮置き装置140および成形品収納装置160に沿って第2ガイドユニット170を並設してある。前記第2ガイドユニット170は、基板90を樹脂封止して得た成形品96を前記基板搬送装置100から引き出し、前記成形品仮置き装置140,ディゲート装置150および前記成形品収納装置160に順次搬送する。
In the resin sealing device according to the present invention, as shown in FIG. 1, a substrate supply device 80 and a resin material supply device 120 are arranged in parallel on the upstream side of the mold device 20 disposed in the center of the main base 10. On the other hand, on the downstream side, the molded product temporary placing device 140, the degate device 150, and the molded product storage device 160 are arranged in one row.
A substrate transfer device 100 is disposed between the substrate supply device 80 and the mold device 20 so as to be reciprocally movable. Further, a resin material transfer device 130 is disposed between the resin material supply device 120 and the mold device 20 so as to be reciprocally movable.
A second guide unit 170 is arranged in parallel along the molded product temporary placement device 140 and the molded product storage device 160. The second guide unit 170 pulls out a molded product 96 obtained by resin-sealing the substrate 90 from the substrate transport device 100, and sequentially supplies the molded product temporary storage device 140, the degate device 150, and the molded product storage device 160 to each other. Transport.

前記金型装置20は、図3に示すように、前記メインベース10の上面中央に立設した一対のサイドベース21,21の上端部間に、上金型ベース22を架け渡してある。前記上金型ベース22の中央部から吊り下げた上金型ダイセット23の下面には上金型チェス30を設置してある。そして、前記上金型ダイセット23および上金型チェス30は駆動モータ24を介して上下に往復移動可能に支持されている。   As shown in FIG. 3, the mold apparatus 20 has an upper mold base 22 bridged between upper ends of a pair of side bases 21 and 21 erected at the center of the upper surface of the main base 10. An upper mold chess 30 is installed on the lower surface of the upper mold die set 23 suspended from the center of the upper mold base 22. The upper die set 23 and the upper die chess 30 are supported by a drive motor 24 so as to be reciprocally movable up and down.

前記上金型チェス30は、図5に示すように、前記上金型ダイセット23の下面両側縁部に設けたサイドプレート31,31の間に、第1,第2上金型エジェクタプレート32,33および上金型キャビティプレート40を順次配置してある。特に、前記第1,第2上金型エジェクタプレート32,33は一体化され、常時、一体に上下動する。また、前記上金型キャビティプレート40の下面表面には複数の上型キャビティ41が形成されている。
そして、上金型ダイセット23と第1上金型エジェクタプレート32との間には第1コイルバネ34が配置されている。一方、上金型キャビティプレート40の上面に固定された上金型サポートピン35は、その上端部を第1,第2上金型エジェクタプレート32,33に挿通され、上金型ダイセット23の下面近傍まで延在している。前記上金型サポートピン35は、型締め圧力を受圧し、かつ、撓みを防止する円柱形状であり、前記上型キャビティ41の周辺にバランス良く配置されている。
さらに、第1,第2上金型エジェクタプレート32,33の間には第2コイルバネ36が配置され、上金型リターンピン37を下方側に付勢している。このため、上金型リターンピン37が押し込まれると、第2コイルバネ36が圧縮され、前記上金型リターンピン37が上昇し、上金型リターンピン37の上面と第1エジェクタプレート32の下面が当接した後、第1上金型エジェクタプレート32が押し上げられる。この結果、第1,第2エジェクタプレート32,33が一体に押し上げられ、上金型エジェクタピン38が引き上げられる。
As shown in FIG. 5, the upper mold chess 30 includes first and second upper mold ejector plates 32 between side plates 31 and 31 provided on both side edges of the lower surface of the upper mold die set 23. 33 and the upper mold cavity plate 40 are sequentially arranged. In particular, the first and second upper mold ejector plates 32 and 33 are integrated and always move up and down integrally. A plurality of upper mold cavities 41 are formed on the lower surface of the upper mold cavity plate 40.
A first coil spring 34 is disposed between the upper mold die set 23 and the first upper mold ejector plate 32. On the other hand, the upper mold support pin 35 fixed to the upper surface of the upper mold cavity plate 40 is inserted into the first and second upper mold ejector plates 32 and 33 at the upper end thereof, and the upper mold die set 23 It extends to the vicinity of the lower surface. The upper mold support pin 35 has a cylindrical shape that receives a mold clamping pressure and prevents bending, and is arranged around the upper mold cavity 41 in a well-balanced manner.
Further, a second coil spring 36 is disposed between the first and second upper mold ejector plates 32 and 33 to urge the upper mold return pin 37 downward. For this reason, when the upper mold return pin 37 is pushed in, the second coil spring 36 is compressed, the upper mold return pin 37 is raised, and the upper surface of the upper mold return pin 37 and the lower surface of the first ejector plate 32 are moved. After the contact, the first upper mold ejector plate 32 is pushed up. As a result, the first and second ejector plates 32 and 33 are pushed up integrally, and the upper die ejector pin 38 is pulled up.

なお、図5に示す状態では、上金型キャビティプレート40の上面と第2上金型エジェクタプレート33の下面との間に一定の距離を保つように、前記上金型キャビティプレート40の上面には図示しないストッパが設けられている。また、サイドプレート31と上金型チェス30との接合面間に図示しない脱落防止構造を設けてある。   In the state shown in FIG. 5, the upper mold cavity plate 40 is placed on the upper surface of the upper mold cavity plate 40 so as to maintain a certain distance between the upper surface of the upper mold cavity plate 40 and the lower surface of the second upper mold ejector plate 33. Is provided with a stopper (not shown). Further, a drop-off preventing structure (not shown) is provided between the joint surfaces of the side plate 31 and the upper mold chess 30.

前記金型装置20は、図2に示すように、前記メインベース10の上面のうち、前記上金型チェス30の下方側に位置するように、下金型ベース25、下金型ダイセット26、および、下金型チェス50を順次、積み重ねてある。前記下金型チェス50は、図5に示すように、前記下金型ダイセット26の上面両側縁部に設けたサイドプレート51,51の間に、第1,第2下金型エジェクタプレート52,53と下金型キャビティプレート60とを順次配置したものである。前記下金型キャビティプレート60では、図20に示すように、その上面に形成された隣り合う一対の下型キャビティ61,61がランナー62を介してポット63(図5)に相互に連通している。また、前記下金型キャビティプレート60は、その側面に一対の樹脂材料投入ブロック66,66を組み付けてある(図20)。前記樹脂材料投入ブロック66は、前記ポット63に連通するスリット状の樹脂材料供給溝64および樹脂材料投入口65を備えている。   As shown in FIG. 2, the mold apparatus 20 includes a lower mold base 25 and a lower mold die set 26 so as to be positioned below the upper mold chess 30 on the upper surface of the main base 10. And the lower mold chess 50 are sequentially stacked. As shown in FIG. 5, the lower mold chess 50 includes first and second lower mold ejector plates 52 between side plates 51, 51 provided on both side edges of the upper surface of the lower mold die set 26. 53 and the lower mold cavity plate 60 are sequentially arranged. In the lower mold cavity plate 60, as shown in FIG. 20, a pair of adjacent lower mold cavities 61, 61 formed on the upper surface thereof communicate with each other via a runner 62 to a pot 63 (FIG. 5). Yes. Further, the lower mold cavity plate 60 has a pair of resin material charging blocks 66 and 66 assembled to its side surface (FIG. 20). The resin material input block 66 includes a slit-shaped resin material supply groove 64 and a resin material input port 65 communicating with the pot 63.

また、図5に示すように、前記下金型ダイセット26と第1下金型エジェクタプレート52との間には第3コイルバネ54が配置されている。そして、前記下金型キャビティプレート60の下面に固定された下金型サポートピン55は、その下端部を第1,第2下金型エジェクタプレート52,53に挿通され、下金型ダイセット26の上面に当接している。前記下金型サポートピン55は、型締め圧力を受圧し、かつ、撓みを防止する円柱形状であり、前記下型キャビティ61の周辺にバランス良く配置されている。さらに、下金型第2エジェクタプレート53には下金型エジェクタピン58および下金型リターンピン57が取り付けられている。このため、下金型リターンピン57が押し下げられると、第3コイルバネ54が圧縮され、下金型エジェクタピン58が一体に下降する。   Further, as shown in FIG. 5, a third coil spring 54 is disposed between the lower mold die set 26 and the first lower mold ejector plate 52. The lower mold support pin 55 fixed to the lower surface of the lower mold cavity plate 60 is inserted at the lower end thereof into the first and second lower mold ejector plates 52 and 53, and the lower mold die set 26. It is in contact with the upper surface of. The lower mold support pin 55 has a cylindrical shape that receives a clamping pressure and prevents bending, and is disposed in a balanced manner around the lower mold cavity 61. Further, a lower mold ejector pin 58 and a lower mold return pin 57 are attached to the lower mold second ejector plate 53. For this reason, when the lower mold return pin 57 is pushed down, the third coil spring 54 is compressed and the lower mold ejector pin 58 is integrally lowered.

そして、図2に示すように、前記メインベース10の下方側に配置したプランジャ駆動装置70を駆動してプランジャブロック71を上下動させることにより、ロッド72を介してプランジャブレード73が上下動する。前記プランジャブレード73は、図5に示すように、ポット63内に供給された後述する板状樹脂材料121を圧縮して溶融するとともに、溶融した樹脂材料を、ランナー62を介して下型キャビティ61、および、上型キャビティ41に充填する。   As shown in FIG. 2, the plunger blade 73 is moved up and down via the rod 72 by driving the plunger driving device 70 arranged below the main base 10 to move the plunger block 71 up and down. As shown in FIG. 5, the plunger blade 73 compresses and melts a later-described plate-shaped resin material 121 supplied into the pot 63, and also melts the molten resin material via the runner 62. And the upper mold cavity 41 is filled.

なお、第1,第2,第3コイルバネ34,36,54のバネ力は、第2コイルバネ36のバネ力が最も小さく、第3コイルバネ54のバネ力が最も大きい。そして、第1,第2コイルバネ34,36の合計したバネ力よりも、第3コイルバネ54のバネ力が大きくなるように設定されている。   The first, second, and third coil springs 34, 36, and 54 have the smallest spring force of the second coil spring 36 and the largest spring force of the third coil spring 54. The spring force of the third coil spring 54 is set to be larger than the total spring force of the first and second coil springs 34 and 36.

基板供給装置80は、図1および図2に示すように、複数枚の基板90(図22,23参照)を上下に所定間隔を空けて積み重ねて収納した基板マガジン81を、上下動可能な載置台82に着脱可能に搭載したものである。また、前記基板供給装置80は、前記基板マガジン81から基板90を1枚ずつ側方に押し出すための第1プッシャ83を備えている。そして、前記第1プッシャ83が前記基板マガジン81から前記基板90を1枚ずつ押し出す毎に、前記載置台82が基板90の1枚の厚さ寸法だけ上昇し、高さ調整を行う。   As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the substrate supply device 80 is configured to mount a substrate magazine 81 in which a plurality of substrates 90 (see FIGS. 22 and 23) are stacked and stored at predetermined intervals in the vertical direction. It is detachably mounted on the mounting table 82. Further, the substrate supply device 80 includes a first pusher 83 for pushing out the substrates 90 from the substrate magazine 81 side by side. Each time the first pusher 83 pushes the substrates 90 from the substrate magazine 81 one by one, the mounting table 82 is raised by the thickness of one substrate 90 to adjust the height.

前記基板90は、図22,図23に示すように、短冊状のリードフレームの表裏面に、4個1組で組み合わせた電子部品91を4組ずつ、同一直線上にそれぞれ実装してある。そして、組み合わせた前記電子部品91の間を仕切るように樹脂充填用スリット92を形成してあるとともに、前記リードフレームの両側縁部に位置決め孔93を設けてある。   As shown in FIGS. 22 and 23, the substrate 90 has four sets of electronic components 91 combined in a set of four on the same straight line on the front and back surfaces of a strip-shaped lead frame. The resin filling slits 92 are formed so as to partition the combined electronic components 91, and positioning holes 93 are provided at both side edges of the lead frame.

基板搬送装置100は、図1に示すように、基板マガジン81から押し出された基板90を載置可能な平面形状を有する枠体構造である。また、前記基板搬送装置100は、図20に示すように、基板90の浮き上がりを規制するため、対向する長辺の内側面に設けた一対のガイド溝101,101に、基板90の両側縁部をスライド嵌合する構造となっている。さらに、前記基板搬送装置100は、対向する長辺に前記基板90の脱落を防止するためのクランプブロック102を設けてある。前記クランプブロック102は、図19に示すように、回動軸103を介して回動可能に支持されているとともに、付勢用コイルばね104を介して付勢されている。このため、前記クランプブロック102のクランプ爪105が基板90の片側縁部に圧接可能となっている。そして、クランプ爪105の先端部分を上金型リターンピン37が押圧することにより、基板90をより一層強固に保持可能となっている。さらに、前記基板搬送装置100は、その中央部分が上下に開口しており、前記下型キャビティプレート60の上面中央部に嵌合するように形成されている一方、対向する短辺の上面中央部を切り欠くことにより、逃がし部106(図20)をそれぞれ形成してある。   As shown in FIG. 1, the substrate transport apparatus 100 has a frame structure having a planar shape on which a substrate 90 pushed out from a substrate magazine 81 can be placed. Further, as shown in FIG. 20, the substrate transfer apparatus 100 has a pair of guide grooves 101, 101 provided on the inner surfaces of the long sides facing each other in order to restrict the floating of the substrate 90. Is configured to slide fit. Furthermore, the substrate transport apparatus 100 is provided with a clamp block 102 for preventing the substrate 90 from dropping off at the opposing long sides. As shown in FIG. 19, the clamp block 102 is rotatably supported via a rotating shaft 103 and is biased via a biasing coil spring 104. For this reason, the clamp claw 105 of the clamp block 102 can be pressed against one side edge of the substrate 90. The upper mold return pin 37 presses the tip of the clamp claw 105, so that the substrate 90 can be held more firmly. Further, the substrate transfer apparatus 100 has a central portion that is open at the top and bottom, and is formed so as to fit in the central portion of the upper surface of the lower mold cavity plate 60, while the central portion of the upper surface of the opposing short side. Each of the relief portions 106 (FIG. 20) is formed by cutting out.

従って、前記基板マガジン81から押し出された基板90は、その先端部を第1ガイドユニット110の第1クランパー111に把持され、図示しない駆動装置の駆動によって引き出され、その両側縁部を前記基板搬送装置100の一対のガイド溝101,101にそれぞれ嵌合する。その際、前記基板90は、その両側縁部で前記クランプブロック102のクランプ爪105を押し上げつつ、スライド移動するので、その両側縁部が前記クランプ爪105に押圧されて抜け止めされる。そして、前記基板搬送装置100は一対のアーム部107,107(図20,21)を介して往復移動可能および上下移動可能に支持されている。
すなわち、前記アーム部107はガイドレール108に沿ってスライド移動可能に支持されているとともに、前記ガイドレール108は複数本のサポートピン109aで上下に往復移動可能に支持されている。このため、前記アーム部107は図示しない駆動装置で水平方向にスライド移動可能であるとともに、前記ガイドレール108は駆動装置109bで上下に往復移動可能である。
Accordingly, the substrate 90 pushed out from the substrate magazine 81 is held at the tip by the first clamper 111 of the first guide unit 110 and pulled out by driving of a driving device (not shown), and both side edges thereof are conveyed to the substrate. The pair of guide grooves 101 and 101 of the apparatus 100 are respectively fitted. At that time, the substrate 90 slides while pushing up the clamp claws 105 of the clamp block 102 at both side edges thereof, so that both side edges are pressed by the clamp claws 105 and are prevented from coming off. The substrate transfer apparatus 100 is supported so as to be reciprocally movable and vertically movable through a pair of arm portions 107 and 107 (FIGS. 20 and 21).
That is, the arm portion 107 is supported so as to be slidable along the guide rail 108, and the guide rail 108 is supported by a plurality of support pins 109a so as to be reciprocally movable up and down. Therefore, the arm portion 107 can be slid in the horizontal direction by a driving device (not shown), and the guide rail 108 can be reciprocated up and down by the driving device 109b.

樹脂材料供給装置120は、図1および図3に示すように、複数枚の板状樹脂材料121を並べて収納した樹脂材料マガジン122と、前記樹脂材料マガジン122から前記板状樹脂材料121を1枚ずつ側方に押し出す第2プッシャ123と、からなる。そして、前記樹脂材料供給装置120と前記金型装置20との間に樹脂材料搬送装置130を往復移動可能に配置してある。   As shown in FIGS. 1 and 3, the resin material supply device 120 includes a resin material magazine 122 in which a plurality of plate-shaped resin materials 121 are arranged and stored, and one sheet-shaped resin material 121 from the resin material magazine 122. And a second pusher 123 that pushes out side by side. And the resin material conveyance apparatus 130 is arrange | positioned between the said resin material supply apparatus 120 and the said mold apparatus 20 so that a reciprocation is possible.

前記樹脂材料搬送装置130は、図1に示すように、押し出された板状樹脂材料121を保持できる一対のスリット131を有するホルダー132と、前記ホルダー132を、樹脂材料投入ブロック66に設けた樹脂材料投入口65の上方まで搬送するXYテーブル133と、からなるものである   As shown in FIG. 1, the resin material transport device 130 includes a holder 132 having a pair of slits 131 that can hold the extruded plate-like resin material 121, and a resin provided with the holder 132 in a resin material input block 66. And an XY table 133 that conveys to above the material input port 65.

一方、成形品仮置き装置140は、一対のガイドレール141,141を並設したものである。このため、前記金型装置20で樹脂封止された成形品96の一端部を、後述する第2ガイドユニット170の第2クランパー171で把持し、前記基板搬送装置100から引き出し、ついで、前記成形品96を前記ガイドレール141,141間に仮置きできる。
なお、後述するように、前記第2クランパー171は一対の平行なガイドレール172,172に沿って往復移動可能に支持されている。
On the other hand, the molded product temporary placing device 140 is a device in which a pair of guide rails 141 and 141 are arranged side by side. For this reason, one end portion of the molded product 96 sealed with resin by the mold apparatus 20 is held by a second clamper 171 of a second guide unit 170 described later, pulled out from the substrate transfer apparatus 100, and then the molded article. An article 96 can be temporarily placed between the guide rails 141 and 141.
As will be described later, the second clamper 171 is supported so as to reciprocate along a pair of parallel guide rails 172 and 172.

ディゲート装置150は、図4に示すように、メインベース10に立設した一対の支柱151,151の上端部に固定バー152を架け渡すとともに、一対の前記支柱151,151に可動バー153を上下にスライド移動可能に架け渡してある。また、前記固定バー152に駆動装置154を設置する一方、前記可動バー153には、パンチ155を備えたパンチユニット156を設けてある。前記パンチユニット156の直下にはガイドポスト157aおよび位置決めピン157b(図2)を備えた受けダイ157を配置してある。そして、前記受けダイ157は、一対の駆動ピストン158,158で上下動可能に支持されている。なお、前記駆動ピストン158,158の間にはシュート159が配置されている。   As shown in FIG. 4, the degate device 150 hangs a fixed bar 152 over the upper ends of a pair of support columns 151 and 151 erected on the main base 10 and moves a movable bar 153 up and down on the pair of support columns 151 and 151. Is slidably slidable. A driving device 154 is installed on the fixed bar 152, while a punch unit 156 having a punch 155 is provided on the movable bar 153. A receiving die 157 having a guide post 157a and a positioning pin 157b (FIG. 2) is disposed immediately below the punch unit 156. The receiving die 157 is supported by a pair of drive pistons 158 and 158 so as to be vertically movable. A chute 159 is disposed between the drive pistons 158 and 158.

成形品収納装置160は、図1および図2に示すように、ディゲート装置150の下流側に配置され、載置台161に載置された成形品マガジン162内に可動プレート163を上下動可能に配置してある。また、前記成形品マガジン162の上方開口部の両側に一対のアウトプットレール164が配置されている。前記アウトプットレール164は断面略L字形状であり、駆動装置165で開閉可能となっている。このため、後述する第2クランパー171が成形品96の一端部を把持して前記アウトプットレール164,164間に位置決めする。ついで、前記第2クランパー171を開いて後退させた後、前記アウトプットレール164を駆動装置165で外側に開くことにより、成形品96が前記可動プレート163上に1枚ずつ積み重ねられる。そして、成形品96を1枚積み重ねる毎に、前記可動プレート163が成形品96の厚さ寸法だけ下降し、高さ調整を行う。   As shown in FIGS. 1 and 2, the molded product storage device 160 is disposed on the downstream side of the degate device 150, and the movable plate 163 is disposed in the molded product magazine 162 mounted on the mounting table 161 so as to be movable up and down. It is. A pair of output rails 164 are disposed on both sides of the upper opening of the molded product magazine 162. The output rail 164 has a substantially L-shaped cross section and can be opened and closed by a driving device 165. For this reason, a second clamper 171 described later grips one end of the molded product 96 and positions it between the output rails 164 and 164. Next, after the second clamper 171 is opened and retracted, the output rail 164 is opened outward by the driving device 165, whereby the molded products 96 are stacked one by one on the movable plate 163. Each time one molded product 96 is stacked, the movable plate 163 is lowered by the thickness dimension of the molded product 96 to adjust the height.

第2ガイドユニット170は、図1に示すように、2本の平行なガイドレール172,172に沿って第2クランパー171を駆動装置173で往復移動可能に配置したものである。前記第2クランパー171は、図2に示すように、成形品96の一端部を把持可能な上下一対の爪部で構成され、前記成形品96を所定の位置まで引き出す作業を行う。   As shown in FIG. 1, the second guide unit 170 is configured such that a second clamper 171 is reciprocally moved by a driving device 173 along two parallel guide rails 172 and 172. As shown in FIG. 2, the second clamper 171 is composed of a pair of upper and lower claws capable of gripping one end of the molded product 96, and performs an operation of pulling the molded product 96 to a predetermined position.

なお、本発明に係る樹脂封止装置は、図2および図3に示すように、クリーナー装置180を備えている。前記クリーナー装置180は、その装置本体181の上下面の前方側に図示しない駆動装置により、上下方向に移動可能な一対の回転ブラシ182,182を配置するとともに、その後方側にダクト183を接続してある。そして、前記クリーナー装置180は、開いた上,下金型チェス30,50の間に進出することにより、前記回転ブラシ182で樹脂屑等を掻き出しつつ、前記ダクト183で吸引,除去する。   The resin sealing device according to the present invention includes a cleaner device 180 as shown in FIGS. The cleaner device 180 has a pair of rotary brushes 182 and 182 that can be moved in the vertical direction by a driving device (not shown) on the front side of the upper and lower surfaces of the device main body 181 and a duct 183 connected to the rear side thereof. It is. The cleaner device 180 is opened and advanced between the lower mold chess 30 and 50 to suck and remove the resin waste and the like by the duct 183 while scraping out the resin waste and the like by the rotating brush 182.

次に、本発明に係る樹脂封止装置の動作について説明する。
まず、図1および図2に示すように、基板供給装置80の基板マガジン81内に収納した基板90を第1プッシャ83で押し出し、押し出された前記基板90の一端部を第1ガイドユニット110の第1クランパー111で把持して引き出す。そして、前記基板90の両側縁部を基板搬送装置100のガイド溝101(図20)に沿って嵌合し、クランプブロック102のクランプ爪105の付勢力に抗しつつ、スライドさせて所定の位置に引き入れる。このため、前記基板90は前記クランプ爪105に押圧されているので、搬送時の振動等によって位置ずれを生じることはない。
Next, the operation of the resin sealing device according to the present invention will be described.
First, as shown in FIGS. 1 and 2, the substrate 90 housed in the substrate magazine 81 of the substrate supply device 80 is pushed out by the first pusher 83, and one end of the pushed-out substrate 90 is moved to the first guide unit 110. Grip it with the first clamper 111 and pull it out. Then, both side edges of the substrate 90 are fitted along the guide grooves 101 (FIG. 20) of the substrate transport apparatus 100, and are slid against a biasing force of the clamp claws 105 of the clamp block 102 to be in a predetermined position. Pull in. For this reason, since the substrate 90 is pressed by the clamp claws 105, there is no position shift due to vibration or the like during conveyance.

そして、ガイドレール108(図21)に沿って前記基板搬送装置100をスライド移動させることにより、前記基板搬送装置100に保持された基板90を下金型キャビティプレート60の上方に搬送して位置決めする(図6)。ついで、駆動装置109b(図21)を駆動して前記ガイドレール108を下降させることにより、前記基板搬送装置100を下降させて下金型チェス50の下金型リターンピン57上に載置する(図7)。このとき、基板90の表裏面に配置された4個1組の電子部品91のうち、表裏面の第1組目および第3組目に配置された計16個の電子部品91が樹脂封止可能となる(図1)。
なお、前記基板搬送装置100は、基板90が所定の位置に位置決めされた後、樹脂封止が完了するまでの間、前記基板搬送装置100は駆動装置109bが関与しない無負荷状態となり、上金型リターンピン37と下金型リターンピン57との動作に委ねられる。
Then, the substrate transport device 100 is slid along the guide rail 108 (FIG. 21), so that the substrate 90 held by the substrate transport device 100 is transported and positioned above the lower mold cavity plate 60. (FIG. 6). Next, by driving the driving device 109b (FIG. 21) to lower the guide rail 108, the substrate transfer device 100 is lowered and placed on the lower die return pin 57 of the lower die chess 50 (see FIG. 21). FIG. 7). At this time, out of a set of four electronic components 91 arranged on the front and back surfaces of the substrate 90, a total of 16 electronic components 91 arranged on the first and third sets on the front and back surfaces are sealed with resin. This is possible (FIG. 1).
The substrate transfer device 100 is in a no-load state in which the drive device 109b is not involved until the resin sealing is completed after the substrate 90 is positioned at a predetermined position, and the upper metal plate The operation of the mold return pin 37 and the lower mold return pin 57 is left to the operation.

一方、図1および図3に示すように、樹脂材料供給装置120は樹脂材料マガジン122に収納した板状樹脂材料121を第2プッシャ123で押し出し、ホルダー132のスリット131内に押し込む。そして、前記ホルダー132を、XYテーブル133を介して搬送し、図8に示すように、樹脂材料投入ブロック66の樹脂材料投入口65の直上に前記ホルダー132を位置決めする。   On the other hand, as shown in FIGS. 1 and 3, the resin material supply device 120 pushes the plate-shaped resin material 121 stored in the resin material magazine 122 with the second pusher 123 and pushes it into the slit 131 of the holder 132. Then, the holder 132 is conveyed through the XY table 133, and the holder 132 is positioned immediately above the resin material inlet 65 of the resin material input block 66 as shown in FIG.

ついで、図9に示すように、上金型チェス30を下降させると、位置決めピン42が基板90の位置決め孔93に挿入される。そして、上金型リターンピン37が基板搬送装置100に圧接し、上金型リターンピン37と下金型リターンピン57とで前記基板搬送装置100を挟持しつつ、前記下金型リターンピン57が押し下げられる。このため、バネ力の最も小さい第2コイルバネ36が圧縮された後、第1コイルバネ34が圧縮される。この結果、第1,第2上金型エジェクタプレート32,33が相対的に押し上げられ、上金型エジェクタピン38が上昇し、その下端部が上型キャビティ41の底面から僅かに突出した位置まで移動する(図10)。さらに、上金型チェス30を下降させると、下金型リターンピン57が押し下げられ、第3コイルバネ54が圧縮されるので、第1,第2下金型エジェクタプレート52,53が下降するとともに、下金型エジェクタピン58が下降し、その上端部が下型キャビティ61の底面から僅かに突出した位置まで移動する(図11)。
なお、前記上金型リターンピン37が基板搬送装置100のクランプブロック102を押圧するので、基板90がより一層強固に保持される。
Next, as shown in FIG. 9, when the upper mold chess 30 is lowered, the positioning pins 42 are inserted into the positioning holes 93 of the substrate 90. Then, the upper mold return pin 37 is in pressure contact with the substrate transfer apparatus 100, and the lower mold return pin 57 is held between the upper mold return pin 37 and the lower mold return pin 57 while holding the substrate transfer apparatus 100. Pushed down. For this reason, after the 2nd coil spring 36 with the smallest spring force is compressed, the 1st coil spring 34 is compressed. As a result, the first and second upper mold ejector plates 32 and 33 are relatively pushed up, the upper mold ejector pin 38 is raised, and the lower end of the upper mold ejector pin 38 protrudes slightly from the bottom surface of the upper mold cavity 41. Move (FIG. 10). Further, when the upper mold chess 30 is lowered, the lower mold return pin 57 is pushed down and the third coil spring 54 is compressed, so that the first and second lower mold ejector plates 52 and 53 are lowered, The lower die ejector pin 58 is lowered, and the upper end of the lower die ejector pin 58 moves to a position slightly protruding from the bottom surface of the lower die cavity 61 (FIG. 11).
Since the upper mold return pin 37 presses the clamp block 102 of the substrate transport apparatus 100, the substrate 90 is held more firmly.

そして、図12に示すように、ホルダー132の底面に配置したシャッター134を引き出すとともに、第3プッシャ135でスリット131から板状樹脂材121を押し出し、樹脂材料投入口65から樹脂材料供給溝64内に投入する。そして、第4プッシャ67で板状樹脂材121をポット63内に押し込んだ後(図12)、前記第4プッシャ67の先端面とポット63の内側面とが面一となるように第4プッシャ67を少し引き戻す。さらに、プランジャ駆動装置70を駆動してプランジャブレード73を押し上げ、ポット63内の板状樹脂材121を加熱・加圧して溶融させる。そして、溶融した樹脂材を、ランナー62を介して下型キャビティ61に充填するとともに、リードフレーム90のリードの隙間(図示せず)を介して上型キャビティ41に充填することにより、電子部品91を樹脂封止する(図13)。
なお、前述したように第4プッシャ67を引き戻すのではなく、第4プッシャ67と樹脂材料投入ブロック66との間にストッパを設け、前記第4プッシャ67の先端面とポット63の内側面とが面一となるように設定してもよい。
Then, as shown in FIG. 12, the shutter 134 arranged on the bottom surface of the holder 132 is pulled out, and the plate-shaped resin material 121 is pushed out from the slit 131 by the third pusher 135, and the resin material supply groove 64 is inserted into the resin material supply groove 64. In And after pushing the plate-shaped resin material 121 into the pot 63 with the 4th pusher 67 (FIG. 12), the 4th pusher is set so that the front end surface of the said 4th pusher 67 and the inner surface of the pot 63 may become flush. Pull 67 back a little. Further, the plunger driving device 70 is driven to push up the plunger blade 73, and the plate-like resin material 121 in the pot 63 is heated and pressurized to melt. The molten resin material is filled into the lower mold cavity 61 through the runner 62 and filled into the upper mold cavity 41 through the gaps (not shown) between the leads of the lead frame 90, whereby the electronic component 91 is filled. Is sealed with resin (FIG. 13).
Instead of pulling back the fourth pusher 67 as described above, a stopper is provided between the fourth pusher 67 and the resin material charging block 66 so that the tip surface of the fourth pusher 67 and the inner surface of the pot 63 are connected. You may set so that it may become flush.

樹脂材料搬送装置132を元の位置に復帰させるとともに、所定の型締め時間が経過した後、プランジャブレード73を下降し、プランジャブレード73の先端(上端)とポット63内に位置する不要樹脂95との張り付きを解消する。そして、前記プランジャブレード73を再度上昇させ、ポット63内に位置する不要樹脂95を突き出すとともに、上金型チェス30を上昇させる。このとき、第3コイルバネ54のバネ力によって第1,第2下金型エジェクタプレート52,53が上方に付勢されている。このため、上金型リターンピン37と下金型リターンピン57とで基板搬送装置100を挟持した状態を維持しつつ、下金型エジェクタピン58が下型キャビティ61内に押し出され、前記下型キャビティ61内から成形部94を突き出す(図14)。
すなちわ、上金型リターンピン37と下金型リターンピン57とを同期させて下金型エジェクタピン58を下型キャビティ61内に押し出すとともに、基板搬送装置100を上昇させる。この結果、成形部94と基板90とが同期して上昇することにより、成形品に損傷を与えることなく良好に離型することができる。
The resin material transport device 132 is returned to the original position, and after a predetermined clamping time has elapsed, the plunger blade 73 is lowered, and the tip (upper end) of the plunger blade 73 and the unnecessary resin 95 located in the pot 63 Eliminate sticking. Then, the plunger blade 73 is raised again, the unnecessary resin 95 located in the pot 63 is protruded, and the upper mold chess 30 is raised. At this time, the first and second lower mold ejector plates 52 and 53 are biased upward by the spring force of the third coil spring 54. Therefore, the lower mold ejector pin 58 is pushed into the lower mold cavity 61 while maintaining the state in which the substrate transfer apparatus 100 is sandwiched between the upper mold return pin 37 and the lower mold return pin 57, and the lower mold The molding part 94 is protruded from the cavity 61 (FIG. 14).
That is, the upper mold return pin 37 and the lower mold return pin 57 are synchronized with each other to push the lower mold ejector pin 58 into the lower mold cavity 61 and raise the substrate transfer apparatus 100. As a result, the molded part 94 and the substrate 90 rise synchronously, so that the molded product can be favorably released without damaging the molded product.

本実施形態では、上金型リターンピン37と下金型リターンピン57とが基板搬送装置100を挟持し、特に、クランプブロック102を前記上金型リターンピン37が押圧している。このため、成形部94を上型キャビティ41,下型キャビティ61から突き出す際に、基板90が基板搬送装置100のガイド溝101から脱落することはない。   In the present embodiment, the upper mold return pin 37 and the lower mold return pin 57 sandwich the substrate transport apparatus 100, and in particular, the upper mold return pin 37 presses the clamp block 102. For this reason, the substrate 90 does not fall out of the guide groove 101 of the substrate transport apparatus 100 when the molding portion 94 protrudes from the upper mold cavity 41 and the lower mold cavity 61.

ついで、図15に示すように、上金型チェス30が上昇すると、第1コイルバネ34のバネ力によって付勢されている第1,第2上金型エジェクタプレート32,33が相対的に下降する。このため、上金型リターンピン37と下金型リターンピン57とで基板搬送装置100を挟持した状態を維持しつつ、上金型エジェクタピン38が上型キャビティ41内に押し出され、前記上型キャビティ41内から成形部94を突き出す。   Next, as shown in FIG. 15, when the upper mold chess 30 is raised, the first and second upper mold ejector plates 32 and 33 urged by the spring force of the first coil spring 34 are relatively lowered. . Therefore, the upper mold ejector pin 38 is pushed into the upper mold cavity 41 while maintaining the state in which the substrate transfer apparatus 100 is sandwiched between the upper mold return pin 37 and the lower mold return pin 57, and the upper mold The molding part 94 is protruded from the cavity 41.

本実施形態では、上金型リターンピン37と下金型リターンピン57とが基板搬送装置100を挟持した状態を維持しつつ、上金型エジェクタピン38が上型キャビティ41内に押し出される。すなわち、上金型リターンピン37と下金型リターンピン57とを同期させて上金型エジェクタピン38を上型キャビティ41内に押し出す。このため、上金型チェス30の上昇に合わせて上金型エジェクタピン38を上型キャビティ41内に押し出すとともに、基板搬送装置100を上金型チェス30から開離させる。このため、成形部94と基板90とが同期して上金型チェス30から開離し、成形品94に損傷を与えることなく、良好に離型することができる。   In the present embodiment, the upper mold ejector pin 38 is pushed into the upper mold cavity 41 while maintaining the state in which the upper mold return pin 37 and the lower mold return pin 57 sandwich the substrate transfer apparatus 100. That is, the upper mold return pin 37 and the lower mold return pin 57 are synchronized to push the upper mold ejector pin 38 into the upper mold cavity 41. Therefore, the upper mold ejector pin 38 is pushed out into the upper mold cavity 41 as the upper mold chess 30 are raised, and the substrate transfer apparatus 100 is separated from the upper mold chess 30. For this reason, the molding part 94 and the substrate 90 can be released from the upper mold chess 30 in synchronization with each other, and can be released satisfactorily without damaging the molded product 94.

また、本実施形態では、上金型リターンピン37と下金型リターンピン57とが基板搬送装置100を挟持し、特に、クランプブロック102を前記上金型リターンピン37が押圧している。このため、成形部94を下型キャビティ61,上型キャビテイ41から突き出す際に、基板90が基板搬送装置100のガイド溝101から脱落することはない。   In the present embodiment, the upper mold return pin 37 and the lower mold return pin 57 sandwich the substrate transport apparatus 100, and in particular, the upper mold return pin 37 presses the clamp block 102. For this reason, the substrate 90 does not fall out of the guide groove 101 of the substrate transport apparatus 100 when the molding portion 94 protrudes from the lower mold cavity 61 and the upper mold cavity 41.

そして、第2コイルばね36のバネ力によって上金型リターンピン37が下方に付勢されているため、更に上金型チェス30が上昇すると、上金型リターンピン37と下金型リターンピン57とで基板搬送装置100を挟持した状態を維持しつつ、上金型エジェクタピン38が上昇する。この結果、基板90が基板搬送装置100に保持された状態で上金型エジェクタピン38が上昇し、上金型エジェクタピン38の先端と成形部94との張り付きが解消される。更に、上金型チェス30が上昇すると、図16に示すように、上金型リターンピン37が基板搬送装置100から開離した後、位置決めピン42がリードフレーム90の位置決め孔93から抜け出ることにより、基板搬送装置100は下金型リターンピン57だけで支持される。   Since the upper mold return pin 37 is urged downward by the spring force of the second coil spring 36, when the upper mold chess 30 is further raised, the upper mold return pin 37 and the lower mold return pin 57 Thus, the upper mold ejector pin 38 is raised while maintaining the state where the substrate transfer apparatus 100 is sandwiched. As a result, the upper mold ejector pin 38 is raised while the substrate 90 is held by the substrate transfer apparatus 100, and the sticking between the tip of the upper mold ejector pin 38 and the molding portion 94 is eliminated. Further, when the upper mold chess 30 is lifted, as shown in FIG. 16, the upper mold return pin 37 is released from the substrate transfer device 100, and then the positioning pin 42 is pulled out from the positioning hole 93 of the lead frame 90. The substrate transfer apparatus 100 is supported only by the lower mold return pin 57.

本実施形態では、上金型リターンピン37と下金型リターンピン57とが基板搬送装置100を挟持した状態を維持しつつ、上金型エジェクタピン38が上昇する。すなわち、上金型リターンピン37と、下金型リターンピン57および基板搬送装置100とを所定の時間差で上昇させることができる。このため、複雑な駆動装置や制御機構を別途用いることなく、成形品94に損傷を与えることなく、良好に離型させることができる。   In the present embodiment, the upper mold ejector pin 38 is raised while maintaining the state where the upper mold return pin 37 and the lower mold return pin 57 sandwich the substrate transfer apparatus 100. That is, the upper mold return pin 37, the lower mold return pin 57, and the substrate transport apparatus 100 can be raised by a predetermined time difference. For this reason, it is possible to release the molded article 94 without damaging the molded product 94 without separately using a complicated drive device or control mechanism.

ついで、基板搬送装置100のアーム部107(図20,図21)を取り付けたガイドレール108を、駆動装置109bを駆動して持ち上げる。これにより、図17に示すように、基板90が持ち上げられ、下金型エジェクタピン58の先端と成形部94との張り付きを解消できる。そして、ガイドレール108を介してアーム部107を後退させることにより、基板搬送装置100を下金型キャビティプレート60および上金型キャビティプレート40の間から退出させる。さらに、図18に示すように、上金型チェス30と下金型チェス50との間にクリーナー装置180を進出させ、回転ブラシ182を回転させながら往復移動させることにより、掻き出した樹脂屑等をダクト183で吸引,除去する。   Next, the guide rail 108 to which the arm portion 107 (FIGS. 20 and 21) of the substrate transport apparatus 100 is attached is driven and lifted by the driving device 109b. Thereby, as shown in FIG. 17, the substrate 90 is lifted, and the sticking between the tip of the lower die ejector pin 58 and the molding portion 94 can be eliminated. Then, by retracting the arm portion 107 via the guide rail 108, the substrate transfer apparatus 100 is retracted from between the lower mold cavity plate 60 and the upper mold cavity plate 40. Furthermore, as shown in FIG. 18, the cleaner device 180 is advanced between the upper mold chess 30 and the lower mold chess 50 and moved back and forth while rotating the rotary brush 182, so that scraped resin scraps and the like are removed. Suction and removal by duct 183.

一方、前記基板搬送装置100を下金型キャビティプレート60および上金型キャビティプレート40の間から退出させた後、基板90の先端部を第1ガイドユニット110の第1クランパー111で把持する。そして、基板90に配置された電子部品91のうち、第2組目および第4組目に配置された電子部品91を樹脂封止できるように、1ピッチ前進させる。そして、前記基板搬送装置100を上金型チェス30と下金型チェス50との間に、再度、進出させ、前述の図6と同様に位置決めする。以後、図6から図17に図示した作業を繰り返すことにより、基板90に設けた電子部品91の全てを樹脂封止する。   On the other hand, after the substrate transfer apparatus 100 is withdrawn from between the lower mold cavity plate 60 and the upper mold cavity plate 40, the front end portion of the substrate 90 is held by the first clamper 111 of the first guide unit 110. Then, among the electronic components 91 arranged on the substrate 90, the electronic components 91 arranged in the second set and the fourth set are advanced by one pitch so as to be resin-sealed. Then, the substrate transfer apparatus 100 is advanced again between the upper mold chess 30 and the lower mold chess 50 and positioned in the same manner as in FIG. Thereafter, the operations shown in FIGS. 6 to 17 are repeated to seal all the electronic components 91 provided on the substrate 90 with resin.

本実施形態では、基板90を1ピッチずつずらして基板90の電子部品91を樹脂封止する。このため、上,下金型キャビティプレート40,60の床面積を小さくでき、金型装置20を小型化できるので、樹脂封止装置全体を小型化できる。
さらに、基板マガジン81から基板搬送装置100内に引き出す第1クランパー111を、2回目の樹脂封止を行うための位置決め手段に兼用しているので、基板のピッチ送り装置を別途設ける必要がなく、より一層小型化できるという利点がある。
In the present embodiment, the electronic component 91 of the substrate 90 is resin-sealed by shifting the substrate 90 by one pitch. For this reason, the floor area of the upper and lower mold cavity plates 40 and 60 can be reduced, and the mold apparatus 20 can be miniaturized, so that the entire resin sealing apparatus can be miniaturized.
Furthermore, since the first clamper 111 drawn out from the substrate magazine 81 into the substrate transport apparatus 100 is also used as a positioning means for performing the second resin sealing, there is no need to separately provide a substrate pitch feeding device, There is an advantage that the size can be further reduced.

基板90に実装した電子部品91の全てを樹脂封止し、上金型チェス30と下金型チェス50とを開いた後、図17に示すように、基板搬送装置100に保持された成形品96の一端部を、第2ガイドユニット170の第2クランパー171で把持して引き出し、成形品仮置き装置140に載置する。そして、前記基板搬送装置100を基板供給装置80の横の元の位置に復帰させる。   After all of the electronic components 91 mounted on the substrate 90 are sealed with resin and the upper mold chess 30 and the lower mold chess 50 are opened, as shown in FIG. One end of 96 is held and pulled out by the second clamper 171 of the second guide unit 170 and placed on the molded product temporary placement device 140. Then, the substrate transfer device 100 is returned to the original position next to the substrate supply device 80.

前記仮置き装置140に載置された成形品96は、図4に示すように、その一端部を第2クランパー171に把持されて引き出されて位置決めされると、駆動ピストン158が上昇し、受けダイ157の位置決めピン157b(図2)が成形品96の位置決め孔93に嵌合して位置決めされる。そして、ディゲータ装置150の駆動装置154が可動バー153を下降させ、パンチユニット156に設けたガイド孔(図示せず)がガイドポスト157aに嵌合する。そして、パンチ155が前記不要樹脂95を打ち抜くことにより、不要樹脂95がシュート159に落下する。以後、同様の動作を繰り返すことにより、図22,図23に示す成形品96の不要樹脂95の全てが除去される。なお、不要樹脂95は1つずつ除去する場合に限らず、一工程で除去するようにしてもよい。   As shown in FIG. 4, when the molded product 96 placed on the temporary placement device 140 is positioned by being pulled out by being gripped by the second clamper 171, the drive piston 158 is lifted and received. The positioning pins 157 b (FIG. 2) of the die 157 are fitted into the positioning holes 93 of the molded product 96 and positioned. Then, the driving device 154 of the digger device 150 lowers the movable bar 153, and a guide hole (not shown) provided in the punch unit 156 is fitted into the guide post 157a. Then, when the punch 155 punches out the unnecessary resin 95, the unnecessary resin 95 falls onto the chute 159. Thereafter, by repeating the same operation, all of the unnecessary resin 95 of the molded product 96 shown in FIGS. 22 and 23 is removed. The unnecessary resin 95 is not limited to being removed one by one, but may be removed in one step.

そして、図1,2に示すように、第2クランパー171が一対のアウトプットレール164に前記成形品96を移送した後、第2クランパー171が前記成形品96から離れる。ついで、駆動装置165を駆動して前記アウトプットレール164を開放すると、前記成形品96が可動プレート163上に落下して積み重なる。以後、成形品マガジン162が満杯になるまで同様な作業を繰り返す。そして、前記成形品マガジン162が満杯になった場合には、前記成形品マガジン162を空の成形品マガジン162と交換し、樹脂封止作業を続ける。   As shown in FIGS. 1 and 2, after the second clamper 171 transfers the molded product 96 to a pair of output rails 164, the second clamper 171 moves away from the molded product 96. Next, when the drive device 165 is driven to open the output rail 164, the molded product 96 falls on the movable plate 163 and is stacked. Thereafter, the same operation is repeated until the molded product magazine 162 is full. When the molded product magazine 162 becomes full, the molded product magazine 162 is replaced with an empty molded product magazine 162, and the resin sealing operation is continued.

本発明に係る樹脂封止装置は、前述の基板に限らず、他の基板にも適用できることは勿論である。例えば、片面だけに電子部品を実装した基板を樹脂封止してもよい。   Of course, the resin sealing device according to the present invention can be applied not only to the above-mentioned substrate but also to other substrates. For example, a substrate on which electronic components are mounted only on one side may be resin-sealed.

10:メインベース
20:金型装置
30:上金型チェス
32,33:第1,第2上金型エジェクタプレート
34:第1コイルバネ
35:上金型サポートピン
36:第2コイルバネ
37:上金型リターンピン
38:上金型エジェクタピン
40:上金型キャビティプレート
41:上型キャビティ
50:下金型チェス
52,53:第1,第2下金型エジェクタプレート
54:第3コイルバネ
55:下金型サポートピン
57:下金型リターンピン
58:下金型エジェクタピン
60:下金型キャビティプレート
61:下型キャビティ
62:ランナー
63:ポット
70:プランジャ駆動装置
71:プランジャブロック
72:ロッド
73:プランジャブレード
80:基板供給装置
90:基板
91:電子部品
92:樹脂充填用スリット
93:位置決め孔
100:基板搬送装置
101:ガイド溝
102:クランプブロック
103:回動軸
104:付勢用コイルばね
105:クランプ爪
107:アーム部
108:ガイドレール
109a:サポートピン
109b:駆動装置
110:第1ガイドユニット
111:第1クランパー
120:樹脂材料供給装置
121:板状樹脂材料
122:樹脂材料マガジン
123:第2プッシャ
130:樹脂材料搬送装置
131:スリット
132:ホルダー
140:成形品仮置き装置
141:ガイドレール
150:ディゲータ装置
155:パンチ
156:パンチユニット
157a:ガイドポスト
157b:位置決めピン
160:成形品収納装置
162:成形品マガジン
164:アウトプットレール
170:第2ガイドユニット
171:第2クランパー
172:ガイドユニット
180:クリーニング装置
182:回転ブラシ
183:ダクト
10: Main base 20: Mold device 30: Upper mold chess 32, 33: First and second upper mold ejector plates 34: First coil spring 35: Upper mold support pin 36: Second coil spring 37: Upper mold Mold return pin 38: Upper mold ejector pin 40: Upper mold cavity plate 41: Upper mold cavity 50: Lower mold chess 52, 53: First and second lower mold ejector plates 54: Third coil spring 55: Lower Mold support pin 57: Lower mold return pin 58: Lower mold ejector pin 60: Lower mold cavity plate 61: Lower mold cavity 62: Runner 63: Pot 70: Plunger drive device 71: Plunger block 72: Rod 73: Plunger blade 80: Substrate supply device 90: Substrate 91: Electronic component 92: Slit for filling resin 9 : Positioning hole 100: Substrate transport device 101: Guide groove 102: Clamp block 103: Rotating shaft 104: Biasing coil spring 105: Clamp claw 107: Arm part 108: Guide rail 109 a: Support pin 109 b: Drive device 110: 1st guide unit 111: 1st clamper 120: Resin material supply apparatus 121: Plate-shaped resin material 122: Resin material magazine 123: 2nd pusher 130: Resin material conveyance apparatus 131: Slit 132: Holder 140: Temporary placement apparatus 141: Guide rail 150: Digger device 155: Punch 156: Punch unit 157a: Guide post 157b: Positioning pin 160: Molded product storage device 162: Molded product magazine 164: Output rail 170: Second guide unit 171 The second clamper 172: guide unit 180: a cleaning unit 182: rotating brush 183: Duct

Claims (6)

基板供給装置から供給された基板を基板搬送装置で上,下金型の間に搬送し、前記基板の表裏面を前記上,下金型で挟持するとともに、前記基板に実装した電子部品を前記金型に設けたキャビティ内で樹脂封止する樹脂封止装置であって、
枠体構造を有する基板搬送装置の対向する辺の内側面に、前記基板の両側縁部を側方からスライド嵌合可能なガイド溝をそれぞれ設けるとともに、前記ガイド溝を設けた辺に、基板の縁部に圧接して保持する少なくとも一つのクランプブロックを設け、
金型開閉時に前記クランプブロックを前記上,下金型にそれぞれ設けたリターンピンで上下から挟持するとともに、前記基板の両側縁部を前記ガイド溝にスライド嵌合して支持したままの状態で、前記基板の表裏面を上,下金型で挟持し、樹脂封止することを特徴とする樹脂封止装置。
The substrate supplied from the substrate supply device is transferred between the upper and lower molds by the substrate transfer device, the front and back surfaces of the substrate are sandwiched between the upper and lower molds, and the electronic component mounted on the substrate is A resin sealing device for resin sealing in a cavity provided in a mold,
Guide grooves capable of slidingly fitting both side edges of the substrate from the side are provided on the inner side surfaces of the opposite sides of the substrate transport device having a frame structure, and the sides of the substrate are provided on the sides provided with the guide grooves. Provide at least one clamp block to hold in pressure contact with the edge,
While holding the clamp block from above and below with the return pins provided in the upper and lower molds when the mold is opened and closed, with both side edges of the substrate being slid and supported in the guide grooves , A resin sealing device, wherein the front and back surfaces of the substrate are sandwiched between upper and lower molds and sealed with resin.
リターンピンは、基板搬送装置のクランプブロックを上下から同一軸心上で挟持することを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止装置。 The resin sealing device according to claim 1 , wherein the return pin clamps the clamp block of the substrate transfer device from above and below on the same axis. 成形品を金型のキャビティから突き出すエジェクタピンと、
前記エジェクタピンを取り付けたエジェクタプレートと、
前記エジェクタプレートに一体に設けられ、かつ、金型の開閉時に基板搬送装置を挟持するリターンピンと、を備えた金型を有することを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂封止装置。
An ejector pin that protrudes the molded product from the cavity of the mold,
An ejector plate to which the ejector pins are attached;
3. The resin sealing device according to claim 1 , further comprising: a die provided integrally with the ejector plate and having a return pin that sandwiches the substrate transfer device when the die is opened and closed.
成形品を金型のキャビティから突き出すエジェクタピンと、前記エジェクタピンを取り付けたエジェクタプレートと、前記エジェクタプレートにコイルバネを介して取り付けられ、かつ、金型の開閉時に基板搬送装置を挟持するリターンピンと、を備えた金型を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の樹脂封止装置。 An ejector pin that projects a molded product from a cavity of a mold, an ejector plate to which the ejector pin is attached, and a return pin that is attached to the ejector plate via a coil spring and sandwiches the substrate transfer device when the mold is opened and closed. The resin sealing device according to claim 1, further comprising a mold provided. 上,下金型の下流側に、樹脂封止した基板である成形品を仮置きするための仮置き装置と、前記成形品から不要樹脂を除去するディゲータ装置と、不要樹脂を除去した成形品を積み重ねて収納する成形品収納装置と、を一列に順次配置したことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項目に記載の樹脂封止装置。 Temporary placement device for temporarily placing a molded product, which is a resin-sealed substrate, on the downstream side of the upper and lower molds, a degaiter device for removing unnecessary resin from the molded product, and a molded product from which unnecessary resin has been removed 5. The resin sealing device according to claim 1 , wherein the molded product storage devices that stack and store the components are sequentially arranged in a line. 基板供給装置から供給された基板を基板搬送装置で上,下金型の間に搬送し、前記基板の表裏面を前記上,下金型で挟持するとともに、前記基板に実装した電子部品を前記金型に設けたキャビティ内で樹脂封止する樹脂封止方法であって、
枠体構造を有する基板搬送装置の対向する辺の内側面に、前記基板の両側縁部を側方からスライド嵌合可能なガイド溝をそれぞれ設けるとともに、前記ガイド溝を設けた辺に、基板の縁部に圧接して保持する少なくとも一つのクランプブロックを設け、
金型開閉時に前記クランプブロックを前記上,下金型にそれぞれ設けたリターンピンで上下から挟持するとともに、前記基板の両側縁部を前記ガイド溝にスライド嵌合して支持したままの状態で、前記基板の表裏面を上,下金型で挟持し、樹脂封止することを特徴とする樹脂封止方法。
The substrate supplied from the substrate supply device is transferred between the upper and lower molds by the substrate transfer device, the front and back surfaces of the substrate are sandwiched between the upper and lower molds, and the electronic component mounted on the substrate is A resin sealing method for resin sealing in a cavity provided in a mold,
Guide grooves capable of slidingly fitting both side edges of the substrate from the side are provided on the inner side surfaces of the opposite sides of the substrate transport device having a frame structure, and the sides of the substrate are provided on the sides provided with the guide grooves. Provide at least one clamp block to hold in pressure contact with the edge,
While holding the clamp block from above and below with the return pins provided in the upper and lower molds when the mold is opened and closed, with both side edges of the substrate being slid and supported in the guide grooves , A resin sealing method, wherein the front and back surfaces of the substrate are sandwiched between upper and lower molds and sealed with resin.
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