JP4882631B2 - 固体撮像装置及び撮像装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えばＣＭＯＳイメージセンサやＣＣＤイメージセンサ等の固体撮像装置及びその固体撮像装置を用いた撮像装置に関し、特に環境条件に応じて固体撮像装置を最適化した撮影を行うことができる固体撮像装置及び撮像装置に関する。

従来、撮像装置に用いる固体撮像装置として、撮像部を構成する複数の画素毎に、光電変換を行うフォトダイオードと、このフォトダイオードで生成した信号電荷を読み出す読み出しトランジスタ（転送ゲート）と、読み出された信号電荷を画素信号に変換する増幅トランジスタと、信号電荷をリセットするリセットトランジスタと、読み出す画素を選択する選択トランジスタ等を設けたＣＭＯＳイメージセンサが各種提供されている。
そして、本件出願人は、このような固体撮像装置において、環境温度に依存してローカル電圧が変動する撮像装置を提案している（例えば特許文献１参照）。

図１１はこのような撮像装置で電圧供給回路として用いるチャージポンプ回路の構成例を示す回路図である。
このチャージポンプ回路は、発振回路３０１、アンプ３０２、スイッチＳＷ１〜ＳＷ４、分圧抵抗（出力電圧設定部３０７）Ｒ１、Ｒ２、ポンプ用コンデンサ（ポンプ容量）Ｃ_Ｐ、出力用コンデンサＣ_ＯＵＴ、インバータ３０３、位相補償回路３０４、制御回路３０５、基準電圧源３０６等で構成されている。
まず、制御回路３０５は、発振回路３０１からの周波数信号に基づいてパルス信号を生成し、そのパルス信号をスイッチＳＷ１、ＳＷ３に供給するとともに、インバータ３０３を介して反転パルス信号をスイッチＳＷ２、ＳＷ４に供給する。このスイッチング動作によって、ポンプ用コンデンサＣ_Ｐは、スイッチＳＷ１、ＳＷ３を介して電源電圧で充電され、その充電電圧はスイッチＳＷ２を介して出力用コンデンサＣ_ＯＵＴに供給される。出力用コンデンサＣ_ＯＵＴでは、ポンプ用コンデンサＣ_Ｐの出力を平滑化し、電圧出力VOUTとして出力する。
また、出力用コンデンサＣ_ＯＵＴによる電圧出力VOUTは、抵抗Ｒ１、Ｒ２によって分割され、アンプ３０２に入力される。アンプ３０２では、この分割電圧と参照電圧の誤差信号を制御回路３０５に供給し、制御回路３０５では、この誤差信号に対応する出力電圧制御信号を生成してスイッチＳＷ４に供給し、電圧出力VOUTを制御する。

このような構成において、例えば基準電圧、参照電圧、分割抵抗の１つまたは複数に温度依存性を設けることにより、環境温度に依存してローカル電圧が変動するような電圧供給回路を構成することが可能である。例えば、基準電圧、参照電圧、分割抵抗に温度依存性を有する素子を付加することにより、温度依存性を設けることができる。
図１２は転送ゲート電圧の温度依存性を示す説明図である。
図示のように、２５°Ｃの温度で−０．８Ｖのゲート電圧が６０°Ｃの温度で−１．１Ｖのゲート電圧となり、このような温度依存性によって転送ゲート電圧を最適化し、暗電流を抑制できるような電圧供給を行うことができる。
なお、このような温度依存性によって最適化できるローカル電圧としては、転送ゲート電圧以外にも想定でき、それぞれにローカル電圧供給回路を設けることで、環境温度変化による不具合を防止することが可能となる。
特願２００５−１３５８９４号

しかしながら、上記従来技術では、温度変化をそのままローカル電圧に反映させるような構成であったため、急激な温度変化が生じた場合、大幅な電圧変動が稼働中に生じ、かえって画質を劣化させてしまう場合がある。
例えば、この種の撮像装置において、動画、静止画などの動作が切り替えられると、フレームレートの違いなどから、瞬間的な消費電流の変動が起こり、温度が大きく上昇してしまう。
しかし、このような温度上昇に伴い、例えばローカル電圧が温度変化と線形に変動してしまい、撮像装置の有効画素領域内で暗電流によるシェーディングが生じる場合がある。また、撮像中に急激な温度変化が起こると、ローカル電圧が撮像動作の有効期間中に変動し、同様な不具合が発生する場合がある。

そこで本発明は、大幅な環境変化や急激な環境変化に対して画像の有効領域に影響を及ぼすことなく、適切に対応できる固体撮像装置及び撮像装置を提供することを目的とする。

上述の目的を達成するため、本発明の固体撮像装置及び当該固体撮像装置を用いる撮像装置は、
光電変換に応じた信号を出力する複数の画素が配置されており、
所定の物理量の変化を検知する検知部と、
通常の動作電圧とは異なるローカル電圧を生成し、前記複数の画素にその転送ゲート電圧として与えるローカル電圧生成部と、
前記検知部の検知結果に基づいて前記ローカル電圧を制御する電圧制御部と
を有し、
前記検知部は、検知する物理量の変化の複数の検知範囲を設定し、検知した物理量が前記複数の検知範囲のいずれに含まれるかを示す指示信号を出力し、
前記電圧制御部は、前記検知部の指示信号に基づいて画像の有効領域に影響しないタイミングで前記ローカル電圧の制御信号を切り換える
ことを特徴とする。

本発明の固体撮像装置及び撮像装置によれば、検知部で検知する物理量の検知範囲を設定し、検知した物理量が検知範囲に含まれるか否かを示す指示信号を出力し、電圧制御部側で、この指示信号に基づいて画像の有効領域に影響しないタイミングでローカル電圧の制御信号を切り換えるようにしたことから、物理量が検知範囲内で変化している状態では、ローカル電圧をほぼ一定に保持し、物理量が検知範囲を超えた場合に、有効領域に影響しないタイミングでローカル電圧の制御信号を切り換え、環境（物理量）変化に対応させるようにした。
したがって、急激な環境変化が生じた場合でも、その影響で画質が劣化するのを防止でき、かつ、適正な電圧制御を行うことが可能となる。

図１は本発明の実施の形態による撮像装置で電圧供給回路に用いるチャージポンプ回路の構成例を示す回路図である。
このチャージポンプ回路は、発振回路１０１、アンプ１０２、スイッチＳＷ１〜ＳＷ４、分圧抵抗（出力電圧設定部１０８）Ｒ１、Ｒ２、ポンプ用コンデンサ（ポンプ容量）Ｃ_Ｐ、出力用コンデンサＣ_ＯＵＴ、インバータ１０３、位相補償回路１０４、制御回路１０５、基準電圧源１０６、温度検出回路１０７等で構成されている。すなわち、本例の構成は、図１１に示した従来の構成に加えて温度検出回路１０７を設けたものである。

このチャージポンプ回路において、制御回路１０５は、発振回路１０１からの周波数信号に基づいてパルス信号を生成し、そのパルス信号をスイッチＳＷ１、ＳＷ３に供給するとともに、インバータ１０３を介して反転パルス信号をスイッチＳＷ２、ＳＷ４に供給する。このスイッチング動作によって、ポンプ用コンデンサＣ_Ｐは、スイッチＳＷ１、ＳＷ３を介して電源電圧で充電され、その充電電圧はスイッチＳＷ２を介して出力用コンデンサＣ_ＯＵＴに供給される。出力用コンデンサＣ_ＯＵＴでは、ポンプ用コンデンサＣ_Ｐの出力を平滑化し、電圧出力VOUTとして出力する。

また、出力用コンデンサＣ_ＯＵＴによる電圧出力VOUTは、抵抗Ｒ１、Ｒ２によって分割され、アンプ１０２の反転入力端子に入力される。このアンプ１０２の反転入力端子に入力される電圧のレベルは、抵抗Ｒ１、Ｒ２の分割比と基準電圧源１０６の基準電圧レベルＶrefoutによって決定される。また、アンプ１０２の非反転端子には、参照電圧レベルＶref0が入力される。アンプ１０２では、分割電圧と参照電圧の誤差信号を制御回路１０５に供給し、制御回路１０５では、この誤差信号に対応する出力電圧制御信号を生成してスイッチＳＷ４に供給し、電圧出力VOUTを制御する。
なお、位相補償回路１０４は帰還ループの位相の安定化を図るものである。

本例のチャージポンプ回路では、以上のような構成において、温度検出回路１０７より出力電圧設定部１０８の抵抗分割比を変更することで、温度変化が生じた際に出力電圧を変更する構成になっている。
図２は本例における温度検出回路１０７と出力電圧設定部１０８の具体例を示す回路図である。
温度検出回路１０７は、検出する温度範囲を３段階に設定したものであり、固定電位Vrefによる分割電圧Ｖ１、Ｖ２を得るための分圧抵抗Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃと、温度に依存する電圧値Vtempを生成するための定電流回路１１１及びダイオード１１２と、温度に依存する電圧値Vtempと固定の電圧値Ｖ１、Ｖ２とを比較するアンプ１１３、１１４と、各アンプ１１３、１１４の比較値の組み合わせ信号を生成するアンド回路１１５、１１６、１１７と、各組み合わせ信号を同期信号ＸＶＳに基づいてラッチするＤ型フリップフロップ回路１１８、１１９、１２０とを有する。なお、ここで用いている同期信号ＸＶＳは、画像フレームの先頭でアクティブとなる垂直同期信号であり、インバータ１２１を介してＤ型フリップフロップ回路１１８、１１９、１２０のクロック入力に供給される。
また、出力電圧設定部１０８は、分割抵抗Ｒ１、Ｒ２の間に設けられた分割抵抗Ｒ、２Ｒ、４Ｒと、ラッチ信号を用いて各分割抵抗Ｒ、２Ｒ、４Ｒを選択的に短絡するスイッチ回路１２２、１２３、１２４とを有する。なお、分割抵抗Ｒ、２Ｒ、４Ｒとは、基準となる単位抵抗値Ｒに対して、１倍の抵抗値Ｒ、２倍の抵抗値２Ｒ、４倍の抵抗値４Ｒを示している。

このような構成において、温度検出回路１０７では図４に示すようなダイオードの温度特性を利用し、環境温度とともに変化する電圧値Ｖtempを固定電位Ｖrefによる分割電圧Ｖ１、Ｖ２と比較する。すなわち、図４において、横軸に示す環境温度が上昇することにより、縦軸に示すダイオードの電圧値Ｖtempが線形に低下する。
ここで、固定電位Ｖrefはバンドギャップレファレンス（ＢＧＲ）などから生成する温度依存の少ない電圧源とする。なお、図示の例では、温度範囲として３段階に出力電圧を変化させる場合の例を示すが、これに限定されないものとする。
また、温度範囲はダイオードの順方向Ｖtempの閾値をＶ１、Ｖ２とすることで設定する。そのときの出力電圧は、Ｖtemp＞Ｖ１、Ｖ２＜Ｖtemp＜Ｖ１、Ｖtemp＜Ｖ２のとき、それぞれＸＶＳ信号に同期して設定（１）、（２）、（３）をHighとして選択出力する。

この出力は、温度範囲を示す指示信号として出力電圧設定部１０８に出力され、出力電圧設定部１０８では、この指示信号に基づいて抵抗分割比を切り換えて、チャージポンプ出力電圧VOUTを以下の式１、式２に従って変化することができる（なお、式２は（１）の条件のときの式である）。
VOUT＝（Ｒ１＋Ｒ２'）／Ｒ１＊Ｖref0−Ｒ２'／Ｒ１＊Ｖrefout ……式１
Ｒ２'＝Ｒ２＋Ｒ＋２Ｒ ……式２
なお、チャージポンプ出力電圧VOUTを変更する方法としては、抵抗分割比を変更する以外にも、例えばアンプの参照電圧を変更することで可能であるが、本発明では、これらの方法を全て含む概念として、ローカル電圧の制御信号を切り換えるという表現を用いている。

図５はこのような出力電圧設定部１０８の設定と出力の関係を示している。図示のように、上述した設定（１）（２）（３）の遷移に対応して、出力電圧がVOUT1、VOUT2、VOUT3と変化する。
また、このような出力電圧の変化は、ＸＶＳに同期して起こるため、図７に示すように、ブランキング期間内に変化するよう設計することで、有効期間に電圧変動することなくシェーディングを引き起こすことはなくなる。
すなわち、図７において、垂直同期信号ＸＶＳがフレームの先頭で出力されると、これに同期して水平同期信号ＸＨＳにより１フレームの撮像動作が行われるが、有効画素領域の撮像動作が開始される前に、ブランキング期間、オプティカルブラック（ＯＢ）期間が存在する。そこで、有効領域の撮像に影響しないブランキング期間に出力電圧の切り換えを行い、画像に影響しない動作を確保する。
なお、図示の例のように、ブランキング期間の後に黒レベル基準を決めるライン（ＯＢ期間）が含まれる場合は、黒レベル基準に影響がでないように、それ以前に出力電圧の切り換えを行う必要がある。しかし、例えばＮＴＳＣ方式の全画素読み出し（１フレームは１／６０ｓｅｃ）、画素数を６Ｍ（ＸＨＳが２０００行）、ダミー行として２０行程度とすると、ＸＶＳからのブランキング期間は約１５０μｓｅｃ程度の時間があり、数１００ｍＶ程度のVOUT2からVOUT1への出力制御としては問題なく行える。

図３は温度検出回路１０７の他の例を示す回路図である。
この温度検出回路は、閾値近傍で頻繁な切り替え動作が行われるのを防止し、安定性を保つために、ヒステリシスを持たせた構成（いわゆるヒステリシスコンパレータ）を示している。すなわち、この回路は、固定電位の分圧回路が上述した例と異なるものであり、分割抵抗として、新たに抵抗Ｒｄ、Ｒｅが付加され、さらに各抵抗Ｒｄ、Ｒｅを短絡するスイッチ１２５、１２６を設け、これらをアンプ１１３、１１４の出力に応じて開閉するようにしてヒステリシス特性を持たせることにより、閾値近傍でのノイズ等の影響を受け難いヒステリシスコンパレータの構成となっている。なお、その他の温度検出回路の構成は図２に示す構成と同様であるので、同一符号を付して説明は省略する。

次に、動作を説明する。まず、低温時、つまりＶtemp＞閾値Ｖ１のとき、Ｖ１、Ｖ２は抵抗Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃによって決まる閾値である。いったん温度が上昇し、Ｖ２＜Ｖtemp＜Ｖ１になると、抵抗Ｒｄが接続されることで、Ｖ１、Ｖ２はそれぞれＶ１'、Ｖ２'に上昇する。つまり、ＶtempがＶ１を下回った瞬間に、Ｖ１はＶ１'となり、反転する温度レベルが変化する。
次に更に温度が上昇し、Ｖtemp＜Ｖ２'になったとき、抵抗Ｒｅが接続され、Ｖ２'はＶ２''に変化し、反転する温度レベルを変化させることができる。
Ｖ１'＝Ｖref＊（Ｒｂ＋Ｒｃ＋Ｒｄ)／（Ｒａ＋Ｒｂ＋Ｒｃ＋Ｒｄ)
Ｖ２'＝Ｖref＊(Ｒｃ＋Ｒｄ)／(Ｒａ＋Ｒｂ＋Ｒｃ＋Ｒｄ)
Ｖ２''＝Ｖref＊（Ｒｃ＋Ｒｄ＋Ｒｅ）／（Ｒａ＋Ｒｂ＋Ｒｃ＋Ｒｄ＋Ｒｅ）
つまり、温度が閾値を超えたときに分割抵抗比を変えることで、図６に示すようなヒステリシスを作り出すことが可能である。すなわち、図６において、０°Ｃ、２５°Ｃ、６０°Ｃの各閾値温度近傍での出力電圧の切り替わり動作が、それぞれ矢印に示すようになり、いったん変化した出力電圧がすぐには反転しないようになる。これにより、閾値付近での動作時の出力電圧の不安定さを改善することができる。

また、以上では、電圧設定部の抵抗分割比を変更することによって出力電圧を変更する構成例を説明したが、例えばアンプの参照電圧を変更するようにしてもよい。具体的には、参照電圧Ｖref0をバンドギャップなどの固定電位より抵抗分割して生成し、その抵抗比を変化されることによって実現できる。
図８はこの場合のチャージポンプ回路の構成例を示す回路図であり、図９は電圧変更機能を設けた参照電圧回路の構成を示す回路図である。
図８に示す構成は温度検出回路１０７の出力信号を参照電圧の発生源に入力した構成を示しており、その他は図１に示す構成と同様であるので、共通の構成要素には同一符号を付して説明は省略する。
図９に示す参照電圧回路では、参照電圧を出力する分割抵抗Ｒ３、Ｒ４と、この分割抵抗に印加する電源電圧を制御するトランジスタ１３１と、このトランジスタ１３１のゲートにＢＧＲ電圧回路１３２による電圧を印加するアンプ１３３とを有し、一方の分割抵抗Ｒ４を可変抵抗として温度検出回路の出力信号によって制御することにより、参照電圧を変更する。
なお、ＢＧＲ電圧回路１３２は、シリコンのバンドギャップリファレンス（ＢＧＲ）電圧を生成して出力する回路であり、温度の変化に影響されない電圧の出力源として用いている。ただし、他の基準電圧の生成源を用いても良い。

また図１０は温度検出回路の他の例を示す回路図である。なお、図２に示す構成と同様であるので、共通の構成要素には同一符号を付して説明は省略する。
本例では、定電流回路１１１とダイオード１１２とを図２に示す例と反対にし、電源側にダイオード１１２を設け、接地側に定電流回路１１１を設けることにより、電源基準でダイオードＶtempと抵抗分割電圧Ｖ１、Ｖ２を比較する構成としたものである。このような構成により、固定電位Ｖrefのばらつきの影響がなくなる構成とすることが可能である。

なお、上述の例では、３段階の出力電圧変化についての例を示したが、当然同様な構成によって２段階以上の出力電圧を温度変化に対して設定することが可能である。
また、以上の例では、ダイオードを用いたが、例えば特許３３２２５５３号公報に記載されるように、バイポーラトランジスタを用いた温度検出回路で構成することも可能である。
また、以上はローカル電圧を生成する回路にチャージポンプ型回路を用いて説明したが、コイルを用いたチョッパ型のＤＣ／ＤＣコンバータでも同様な構成を用いて実現することは可能である。
また、環境変化を検出する手段として、温度以外の物理量（例えば受光光量等）を検知するような手段を設け、その検知結果を用いて必要な箇所のローカル電圧を制御するような構成としても良いし、温度や光量等の複数の物理量によって異なる部位に供給する信号電圧を個別に制御するような構成も勿論可能である。
また、環境変化に応じてローカル電圧を変化させる単位信号として、転送ゲートパルス信号に適用した例を説明したが、他の信号に適用することも可能である。また、同期信号についても、上述した垂直同期信号ＸＶＳに限らず、制御する単位信号に合わせて適宜変更が可能である。
また、以上の例では、本発明をＣＭＯＳイメージセンサについて適用した場合を説明したが、本発明は必ずしもＣＭＯＳイメージセンサに限定されず、ＣＣＤイメージセンサ等を用いた撮像装置にも適用できるものである。
さらに、以上の例では、ローカル電圧電源を固体撮像装置の同一チップ上に搭載することを前提とて説明したが、外部供給の電源でも同様な構成は可能である。その際に、温度検出回路はチップの内部に設けても、外部に設けても良い。
すなわち、本発明はイメージセンサ（固体撮像装置）単体で構成される装置にも適用可能であるし、イメージセンサとその他のモジュール（例えば操作部や通信、表示等の機能部）と組み合わせた撮像装置（例えばデジタルカメラ装置や携帯電話装置等）にも適用可能である。

本発明の実施の形態による撮像装置で電圧供給回路に用いるチャージポンプ回路の構成例を示す回路図である。 図１に示すチャージポンプ回路の温度検出回路と出力電圧設定部の具体例を示す回路図である。 図１に示すチャージポンプ回路の温度検出回路の他の具体例を示す回路図である。 図１に示すチャージポンプ回路で用いるダイオードの温度特性と電圧設定範囲の関係を示す説明図である。 図１に示すチャージポンプ回路の出力特性と温度特性の関係を示す説明図である。 図３に示す温度検出回路を用いたチャージポンプ回路の出力特性と温度特性の関係を示す説明図である。 図１に示すチャージポンプ回路における出力電圧変更タイミングを示す説明図である。 本発明の実施の形態による撮像装置で電圧供給回路に用いるチャージポンプ回路の他の構成例を示す回路図である。 図８に示すチャージポンプ回路の電圧変更機能を設けた参照電圧回路の構成を示す回路図である。 図１に示すチャージポンプ回路の温度検出回路のさらに他の具体例を示す回路図である。 従来の撮像装置で電圧供給回路に用いるチャージポンプ回路の構成例を示す回路図である。 従来の撮像装置における回路素子の温度依存性を示す説明図である。

符号の説明

１０１……発振回路、１０２……アンプ、１０３……インバータ、１０４……位相補償回路、１０５……制御回路、１０６……基準電圧源、１０７……温度検出回路、１０８……出力電圧設定部、ＳＷ１〜ＳＷ４……スイッチ、Ｒ１、Ｒ２……分圧抵抗、Ｃ_Ｐ……ポンプ用コンデンサ、Ｃ_ＯＵＴ……出力用コンデンサ。

Claims (20)

1. 光電変換に応じた信号を出力する複数の画素が配置されており、
   所定の物理量の変化を検知する検知部と、
   通常の動作電圧とは異なるローカル電圧を生成し、前記複数の画素にその転送ゲート電圧として与えるローカル電圧生成部と、
   前記検知部の検知結果に基づいて前記ローカル電圧を制御する電圧制御部と
   を有し、
   前記検知部は、検知する物理量の変化の複数の検知範囲を設定し、検知した物理量が前記複数の検知範囲のいずれに含まれるかを示す指示信号を出力し、
   前記電圧制御部は、前記検知部の指示信号に基づいて画像の有効領域に影響しないタイミングで前記ローカル電圧の制御信号を切り換える
   固体撮像装置。
2. 前記検知部は物理量を複数の基準値と比較するコンパレータを有する
   請求項１記載の固体撮像装置。
3. 前記コンパレータはヒステリシスコンパレータである
   請求項２記載の固体撮像装置。
4. 前記電圧制御部は撮像動作に用いる同期信号に基づいて前記ローカル電圧の制御信号を切り換える
   請求項１記載の固体撮像装置。
5. 前記電圧制御部は前記ローカル電圧の制御信号をブランキング期間に切り換える
   請求項４記載の固体撮像装置。
6. 前記検知部はダイオードを用いた温度検出回路を有し、前記温度検出回路の検出信号に基づいて前記指示信号を生成する
   請求項１記載の固体撮像装置。
7. 前記電圧制御部は前記検知部からの指示信号に基づいて前記ローカル電圧の制御信号を切り換える出力電圧設定部を有する
   請求項１記載の固体撮像装置。
8. 前記出力電圧設定部は分割抵抗の分割比を変更することにより、前記ローカル電圧の制御信号を切り換える
   請求項７記載の固体撮像装置。
9. 前記電圧制御部は前記ローカル電圧の出力電圧と参照電圧との差信号を前記ローカル電圧の制御信号として出力するアンプを有する
   請求項１記載の固体撮像装置。
10. 前記電圧制御部は前記参照電圧を変更することにより、前記ローカル電圧の制御信号を切り換える
    請求項９記載の固体撮像装置。
11. 光電変換に応じた信号を出力する複数の画素が配置されており、
    所定の物理量の変化を検知する検知部と、
    通常の動作電圧とは異なるローカル電圧を生成し、前記複数の画素にその転送ゲート電圧として与えるローカル電圧生成部と、
    前記検知部の検知結果に基づいて前記ローカル電圧を制御する電圧制御部と
    を有し、
    前記検知部は、検知する環境変化の複数の検知範囲を設定し、検知した環境変化が前記複数の検知範囲のいずれに含まれるかを示す指示信号を出力し、
    前記電圧制御部は、前記検知部の指示信号に基づいて画像の有効領域に影響しないタイミングで前記ローカル電圧の制御信号を切り換える
    固体撮像装置を用いる撮像装置。
12. 前記検知部は物理量を複数の基準値と比較するコンパレータを有する
    請求項１１記載の撮像装置。
13. 前記コンパレータはヒステリシスコンパレータである
    請求項１２記載の撮像装置。
14. 前記電圧制御部は撮像動作に用いる同期信号に基づいて前記ローカル電圧の制御信号を切り換える
    請求項１１記載の撮像装置。
15. 前記電圧制御部は前記ローカル電圧の制御信号をブランキング期間に切り換える
    請求項１４記載の撮像装置。
16. 前記検知部はダイオードを用いた温度検出回路を有し、前記温度検出回路の検出信号に基づいて前記指示信号を生成する
    請求項１１記載の撮像装置。
17. 前記電圧制御部は前記検知部からの指示信号に基づいて前記ローカル電圧の制御信号を切り換える出力電圧設定部を有する
    請求項１１記載の撮像装置。
18. 前記出力電圧設定部は分割抵抗の分割比を変更することにより、前記ローカル電圧の制御信号を切り換える
    請求項１７記載の撮像装置。
19. 前記電圧制御部は前記ローカル電圧の出力電圧と参照電圧との差信号を前記ローカル電圧の制御信号として出力するアンプを有する
    請求項１１記載の撮像装置。
20. 前記電圧制御部は前記参照電圧を変更することにより、前記ローカル電圧の制御信号を切り換える
    請求項１９記載の撮像装置。

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