JP4878106B2 - 有機発光デバイス及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、表示装置に用いられる有機発光デバイスの製造方法及びその製造方法により得られる有機発光デバイスに関する。

有機発光デバイスより具体的には有機エレクトロルミネッセンス素子（有機ＥＬ素子）の製造方法として特許文献１及び２を挙げる。

特許文献１では版胴にインキ（発光層形成用塗工液）を塗布し、転写体にそのインキを転写して、圧胴を用いて転写体のインキを基材に転写するものである。そして版胴にインキを塗布する際に余分なインキを除くためにドクターブレードを用いている。また、特許文献２ではドクターブレードを用い、版胴にインキを塗布する際にインキを引き伸ばし薄化するためにドクターブレードを用いている。

また、上記印刷法以外にも、従来から広く行われている真空蒸着法による有機ＥＬ素子の製造方法がある。

特開２００３−５９６５６号公報 特開２００１−１５５８５８号公報

上記したドクターブレードを用いた技術では、不要なインキを版胴から除く際にドクターブレードがインキに直接触れるためにドクターブレードに付着している余分な物質がインキに含まれてしまう。また、ドクターブレードを用いて、インキを引き伸ばし薄化する際、インキを十分に薄くすることが難しく、そのインキを乾燥させて有機薄膜を形成すると、有機ＥＬ素子に適した高効率発光が得られる有機薄膜の膜厚（５〜２００ｎｍ）にすることが難しい。また、大面積で有機ＥＬ素子を作製する時、素子内での有機膜の膜厚のばらつきが大きく生産安定性に問題がある。

真空蒸着法においては蒸着源から有機物が昇華する際に指向性があり、大面積で均一な膜厚にするのは難しく、生産性に問題があった。

本発明はこのような課題に注目し、有機発光デバイスを構成する有機膜に不要な物質が加わることなく、また、高効率で生産性良く有機発光デバイスを提供することにある。

本発明は、基板上に設けられた複数の下部電極上に所定パターンの有機膜を形成する有機膜の形成工程と、前記有機膜上に上部電極を設ける工程とを有する有機発光デバイスの製造方法において、
前記複数の下部電極の離間領域と、前記離間領域の両隣の下部電極のそれぞれの上面端部と、を覆う連続膜である電極分離層が配置されており、
前記有機膜の所定パターンが、複数の前記電極分離層の離間領域と、前記離間領域の両隣の電極分離層のそれぞれの上面端部と、を覆う連続膜のパターンであり、
前記有機膜の形成工程は、前記有機膜を構成する化合物を含む溶液を回転ステージ上に付与して遠心力を利用して薄膜化し、該溶液の薄膜を、前記所定パターンに対応するパターンで版胴に付着させ、更に該版胴に付着した前記溶液の薄膜を前記下部電極上に転写する工程と、
転写された前記溶液の薄膜を乾燥することで前記下部電極上の中心部における前記有機膜の上端が前記電極分離層の上端よりも低くなる乾燥工程とを有することを特徴とする有機発光デバイスの製造方法を提供する。

また本発明は、上記本発明の有機発光デバイスの製造方法により製造されたことを特徴とする有機発光デバイスである。

本発明の効果の第一は、ドクターブレードを使用しないため、有機膜に不要な物質を混入することなく有機発光デバイスを製造することができることにある。

また本発明の効果の第二は、回転ステージにより大面積に均一な有機膜を形成することができ、且つ、高効率な有機発光デバイスに適した有機膜の膜厚（５〜５００ｎｍ）の有機膜を形成することができることにある。本発明によれば発光色の異なる有機発光デバイスアレイを高品質に製造することができる。

本発明は、有機膜を構成する化合物を含む溶液（以下、「化合物溶液」と記す）を回転ステージ上に付与することにより、遠心力を利用して該溶液を薄膜化させ、版胴によりこの溶液の膜（以下、「溶液膜」と記す）を下部電極上に転写することを特徴とする。即ち、回転ステージを用いることで、ブレードに触れることなく極薄い溶液膜を形成することができる。当該方法によれば、１μｍ〜５００μｍの膜厚範囲の溶液膜を得ることができ、最終的に膜厚が５ｎｍ〜５００ｎｍ、より好ましくは５ｎｍ〜２００ｎｍの有機膜を形成することができる。

版胴に付着した溶液膜は所定のパターンを有した状態で下部電極上に転写されるが、回転ステージ上で一様に薄膜化した溶液膜を上記パターンに形成する手段としては、予め版胴に当該パターンの凸版パターンを形成しておき、該パターン上にステージから溶液膜を付着させる方法と、一旦版胴に一様な溶液膜を付着させた後、該パターンを凹版パターンとして有するパターン基板に、版胴に付着させた溶液膜を当接させて、該パターン以外の部分を該パターン基板に付着させて除去する方法とが挙げられる。以下に具体的に説明する。

（第１の実施の形態）
本実施形態に係る有機発光デバイスの製造方法は、版胴が表面に凸版パターンを有しており、該パターン上に溶液膜を付着させ、下部電極上に転写することを特徴とする。

図１は本実施形態の製造方法の工程を模式的に示す図である。図中、１は回転ステージ、２は溶液膜、３は版胴、４は凸版パターン、５は下部電極、６は基板を示す。

回転する回転ステージ１上に化合物溶液を付与することにより、回転ステージ１上に所望の膜厚の溶液膜２を形成する〔図１（ａ）〕。回転ステージ１の回転数は５００〜５０００回転／分程度であり、回転ステージ１の回転速度、化合物溶液の粘度等を調整することにより、溶液膜２の膜厚を制御することができる。

次に、表面に凸版パターン４を有する版胴３の該凸版パターン４が溶液膜２に接触するように版胴３を回転させて回転ステージ１上を通過させ〔図１（ｂ）〕、凸版パターン４に溶液膜２を付着させる〔図１（ｃ）〕。

溶液膜２を付着させた版胴３を回転させて、基板６上を通過させ、該基板６上に形成した下部電極５に、版胴３上の凸版パターン４に付着させた溶液膜２を転写する〔図１（ｄ）〕。溶液膜２には溶媒が含まれるため、適宜乾燥工程を施して乾燥させ、所望のパターン形状の有機膜７を得る。

上記工程を繰り返すことにより、複数種の有機膜を下部電極５上に設け、その後上部電極（不図示）を形成して有機発光デバイスを得る。

本発明において用いられる化合物溶液は、有機膜を構成する化合物を有機溶媒に溶解させた溶液であり、該有機溶媒は、下部電極５に溶液膜２を転写する前に凸版パターン４上で蒸発してしまうことを防ぐため、１００℃以上の沸点を有する溶媒を少なくとも一種含む溶媒を用いることが好ましい。

具体的には、例えば、トルエン、ｏ−ジクロロベンゼン、ｍ−ジクロロベンゼン、ｐ−ジクロロベンゼン、エチレングリコール、プロピレングリコール、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルフィド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、エチルアセテート、β−ブチロラクトン、２−ピロリドン、ブチルセルソルブ、シクロヘキサノン、１−プロパノール、トリメチルベンゼン、ｏ−キシレン、ｍ−キシレン、ｐ−キシレン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノンなどである。

この中で特に１５０℃以上の沸点を有する溶媒がさらに好ましく、例えば、ｏ−ジクロロベンゼン、ｍ−ジクロロベンゼン、ｐ−ジクロロベンゼン、エチレングリコール、プロピレングリコール、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルフィド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、エチルアセテート、２−ピロリドン、ブチルセルソルブ、シクロヘキサノン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノンが挙げられる。

版胴３の表面の凸版パターン４は、溶液膜２が付き易く離れやすいことが好ましく、また圧接する場合に変形しにくいことが好ましい。具体的にはデュポン社製のサイレルや旭化成社製のＡＰＲを用いて構成することができる。

本発明において適用される有機膜を構成する化合物の一例を下記に挙げる。

上記化合物１１〜１６は、代表的な高分子有機ＬＥＤ材料であり、１１〜１５のような共役系高分子やペンダント型の非共役系高分子１６が含まれる。これらの高分子は発光性を有し、単独で発光層に用いることができる。また、２１〜２８のような発光ドーパントを一定量混入させて、発光ドーパントを発光させる発光層のホスト材料にも用いることができる。

化合物２１〜２８は、代表的な発光ドーパントであり、２１〜２５がイリジウムを中心金属にもつ燐光材料であり、２６〜２８が蛍光発光材料である。化合物１１〜１６や化合物３１〜３４のホストとなる材料に０．１〜３０質量％程度の濃度で混入し、発光ドーパントとして用いる。

化合物３１〜３４は低分子有機ＬＥＤ材料であり、これらの材料は昇華温度が低く、蒸着することも可能であるが、スピンコートや印刷などで基板に塗布して有機ＬＥＤ素子を作製することも可能である。化合物３１〜３４に化合物２１〜２８の発光ドーパント材料を混入することで、発光層を形成することが可能である。

本発明の製造方法で製造される、本発明の有機発光デバイスとして、有機ＬＥＤ素子の構成例の断面模式図を図１０に示した。図１０（ａ）は、ガラス基板１１６上に形成された陽極１１５（下部電極）と陰極１１１に挟まれた３層の有機層（１１２：電子輸送層、１１３：発光層、１１４：ホール輸送層）からなる素子である。この陰極１１１と陽極１１５に直流電圧を印加することで発光層１１３内に励起子を形成し、その励起エネルギーが失活する際に発光する。図１０（ｂ）と図１０（ｃ）は、さらに素子構成を単純化し、有機層が２層と単層に対応したものである。この図中の１１３の発光層の構成材料として、先に挙げた化合物１１〜１６，２１〜２８，３１〜３４を用い、図１の工程で発光層１１３を形成することができる。

本実施形態に係る有機発光デバイスの製造方法では、回転ステージを用いることでブレードを用いることなく、薄膜化した溶液膜を形成することができるため、有機発光デバイスの性能を悪化させる不純物などの混入のない有機発光デバイスを作製できる。また、高効率発光が可能な有機ＥＬ素子の有機膜の厚さに適切な５〜５００ｎｍの膜厚の有機膜を安定に形成することができるので、生産性の高い高性能有機発光デバイスを提供することができる。また、本発明の製造方法では、スピン薄化工程で、溶液の膜厚を均一にするため、大面積で有機膜の膜厚を均一にすることが可能であり、所望の膜厚の設定値に対して、面内の膜厚ばらつきを±２０％以下、最適には±１０％以下に抑えることができる。

尚、本実施形態では１つの下部電極５上にパターン化された複数の溶液膜２が配置される工程を説明したが、本発明は、下部電極５は１つである必要は無い。例えば後述するように１つの下部電極５に１つの溶液膜２が配置される工程を有していても良い。

また、本実施形態では溶液膜２は下部電極５に直接設けられたが、本発明は下部電極５上に別の層を予め設け、その別の層の上に溶液膜２を設ける工程であっても良い。その場合、別の層を構成する材料は溶液膜２に含まれる溶媒に対して溶解或いは膨潤しない材料が好ましい。より具体的にはＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ［ｐｏｌｙ（ｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉｏｘｙｔｈｉｏｐｈｅｎｅ）／ｐｏｌｙ（ｓｔｙｒｅｎｅｓｕｌｆｏｎｉｃ ａｃｉｄ）］を挙げることができる。

本実施形態では小さな面積を有する溶液膜２を以って膜がパターン化されているとして説明したが、本発明は、下部電極５を実質全面覆ってしまうような大きな溶液膜２を下部電極５上に設ける工程も含める。そのような大きな形状をパターンとして理解することができるからである。

さらに、本実施形態では下部電極５上に配置された各有機膜７による発光色については述べていないが、本発明は異なる発光色で発光する有機膜７をそれぞれ所定位置に転写することでフルカラーのディスプレイパネルを提供することもできる。もちろん単色発光する有機発光デバイスも提供できる。尚そのような場合でも、各有機発光デバイスにカラーフィルターを設ければフルカラーディスプレイパネルを提供することができる。

本実施形態において上部電極（不図示）は各有機膜７ごとに個別に設けても良いし、各有機膜７共通に設けられるものでもよい。いずれにしてもそれぞれの有機膜７が離間して配置されている構成である場合、本実施形態の有機発光デバイスの製造方法は有機発光デバイスアレイの製造方法として適用できると言うことができる。

本実施形態では基板６は特に限定しないが撓まないものでも撓むものでも良い。或いは光透過性のものでも光不透過性のものでも良い。例えば電極群が形成されたフレキシブルなプラスチック基板を基板６として用いることもできる。

（第２の実施の形態）
本実施の形態に係る有機発光デバイスの製造方法は、版胴とは別に、反転パターン（凸部）が設けられているパターン基板を用意し、版胴に付着させた溶液膜から、該反転パターンに対応した溶液膜を除去した後、版胴に残された所望のパターンの溶液膜を下部電極に転写することを特徴とする。それ以外は第１の実施の形態と同じである。

本実施の形態による有機発光デバイスの製造方法は、平面基板に反転パターンを形成して用いることができるため、版胴表面に凸版パターンを形成する第１の実施の形態よりも、パターンの形成が容易である。また微細な凸部を転写時に押しつけることが無いので凸部の変形による転写ずれを防ぐことができるのでより好ましい形態である。

図２は、本実施形態の製造方法の工程を模式的に示す図である。図中、１１はパターン用基板、１２は反転パターンであり、図１と同じ部材には同じ符号を付して説明を省略する。

先ず、図１の工程と同様にして、回転する回転ステージ１上に化合物溶液を付与して所望の膜厚の溶液膜２を形成する〔図２（ａ）〕。

次に、版胴３を回転させながら回転ステージ１上を通過させ〔図２（ｂ）〕、版胴３の表面に一様な溶液膜２を付着させる。

最終的な有機膜７のパターンの反転パターン１２を有するパターン用基板１１上を、溶液膜２を付着させた版胴３を回転させながら通過させ〔図２（ｃ）〕、反転パターン１２に溶液膜２を付着させる。その結果、版胴３表面には、所望のパターンの溶液膜２が残される〔図２（ｄ）〕。

版胴３に残された溶液膜２を基板６上に形成された下部電極５に転写する〔図２（ｅ）〕。

適宜乾燥工程を施して、有機膜７を形成する〔図２（ｆ）〕。

（第３の実施の形態）
本実施の形態に係る有機発光デバイスの製造方法は、発光色毎の有機膜を下部電極上に配置することを特徴とする。それ以外は第２の実施の形態と同じである。

図３は本実施の形態の製造方法の工程を模式的に示す図である。図中、２ａ〜２ｃは発光色毎の溶液膜、７ａ〜７ｃは発光色毎の有機膜であり、図１と同じ部材には同じ符号を付した。

先ずはじめに、第１の発光色を発光する有機膜７ａを構成する化合物を含む溶液膜２ａを版胴３〔図３（ａ）〕により下部電極５上に転写する。

次いで、第２の発光色を発光する有機膜７ｂを構成する化合物を含む溶液膜２ｂを版胴３〔図３（ｂ）〕により、下部電極５上の溶液膜２ａの隣に間隙をおいて転写する。

さらに、第３の発光色を発光する有機膜７ｃを構成する化合物を含む溶液膜２ｃを版胴３〔図３（ｃ）〕により下部電極５上の溶液膜２ａと２ｂの間に間隙をおいて転写する。その結果それぞれの発光色に係る溶液膜２ａ〜２ｃが互いに重ならずに配置される。

適宜乾燥工程を施して、発光色毎の有機膜７ａ〜７ｃを形成する。具体的には、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色の有機膜を形成することにより、フルカラーディスプレイを製造することができる。

（第４の実施の形態）
本実施の形態に係る有機発光デバイスの製造方法は、単純マトリクス駆動の有機発光デバイスの製造方法であることを特徴とする。それ以外は第１〜第３の実施の形態と同じである。

図４〜図６は本実施の形態の製造方法を説明するための模式図である。図中、４１は基板、４２は下部電極、４３は電極分離層、４４ａ〜４４ｃは有機膜、４５は上部電極、４６は電子輸送層である。

先ず、基板４１上にストライプ状の下部電極４２を互いに離間して配置し〔図４（ａ）〕、隣接する下部電極４２間に電極分離層４３を形成する〔図４（ｂ）〕。

電極分離層４３は下部電極４２の離間領域と両隣の下部電極４２のそれぞれの一部上面に配置されているが、この構成にすることで、有機膜４４ａ〜４４ｃを下部電極４２上に印刷する時、下部電極４２との位置合わせずれが生じた時でも上部電極４５と下部電極４２間でのショートの発生を防止する効果がある。

電極分離層４３が配置された状態で、次に、各ストライプ状の下部電極４２毎に異なる発光色を発光する有機膜４４ａ〜４４ｃを配置する〔図５（ｃ）〕。有機膜４４ａ〜４４ｃの配置は第１〜第３の実施の形態で説明した方法で行う。本実施形態では４４ａが赤，４４ｂが緑，４４ｃが青を発光する有機膜とした。図中のＡ−Ａ’断面図を図６（ａ）に示す。

次いで、電子輸送層４６を全面に設け〔図５（ｄ）〕、最後にストライプ状の上部電極４５を電子輸送層４６上において下部電極４２と交差するように配置する〔図５（ｄ）〕。図５中のＢ−Ｂ’断面図を図６（ｂ）に示す。

尚、不図示であるが、上部電極４５と下部電極４２とが交差した部分が発光するように電圧印加手段を実装する。

電極分離層４３の厚みは下部電極４２よりも厚い（より具体的には２倍以上）ことが好ましく、そのような構成にすることで上部電極４５と下部電極４２とが短絡することを防ぐことができる。

また本実施形態では電極分離層４３の上端が下部電極４２中心に配置されている有機膜４４ａ〜４４ｃの上端よりも高い構成でも良い。その構成を図７に示す。図７では有機膜４４ａ〜４４ｃの面内方向における端部が電極分離層４３の上端を一部覆っているが、下部電極４２上の面内方向における中心部における有機膜４４ａ〜４４ｃの上端は電極分離層４３の上端よりも低い。

本実施形態では電子輸送層４６を設けた構成を示したが、該電子輸送層４６は必要に応じて設ければ良く、必要性がなければ特に設けなくても良い。また、図４〜図６に示した以外の層を設けても良い。

（第５の実施の形態）
本実施の形態に係る有機発光デバイスの製造方法は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を配置した基板上に有機発光デバイスを製造することを特徴とする。それ以外は第１〜第４の実施の形態と同じである。ＴＦＴは各発光点の発光・非発光を制御するスイッチング素子として用いるものである。

図８（ａ）は本実施形態の製造方法により作製される有機発光デバイスを模式的に説明するための図であり、１画素（単位デバイス）分を示す断面模式図である。図８（ｂ）に当該有機発光デバイスの平面模式図を、図９に１画素あたりの等価回路を示す。図８，図９中、８１はガラス基板、８２はソース領域、８３はドレイン領域、８４はゲート電極、８５はドレイン電極、８６は有機膜である発光層、８７は電子輸送層、８８は上部電極である陰極、８９は電極分離層、９０は下部電極である陽極、９１は走査信号ドライバ、９２は情報信号ドライバ、９３は電圧供給源、１０１，１０２はＴＦＴ、１０３は容量、１０４はＥＬ素子、１０５はカソード、１０６は情報信号線、１０７はゲート選択線、１０８は電流供給線である。

本発明の有機発光デバイスの製造方法は、図８（ａ）の発光層８６の作製に用いられる。尚、電子輸送層８７は必要に応じて設ければよい。電子輸送層８７は、例えば、フッ化カリウムや酸化リチウム、カルシウムなどをＩＴＯ電極の下に薄層で形成したり、先に示した化合物３５のＢｐｈｅｎにＣｓ₂ＣＯ₃を一定量混入して用いることができる。電極分離層８９は、陽極９０のエッジを覆うように隣接する陽極９０間に設置してある。

電極分離層８９の厚みは陽極９０よりも厚い（より具体的には２倍以上）ことが好ましく、そのような構成にすることで陰極８８と陽極９０とが短絡することを防ぐことができる。尚、陰極８８が光取り出し側の電極であり、即ち透明電極である。より具体的にはＩＴＯ電極が用いられる。

（実施例１）
本実施例ではパッシブマトリクス型有機発光デバイスを作製した。

最初にＲＧＢに対応する発光層を形成するために、有機ＬＥＤ材料を含む溶液を調整した。溶液の溶媒には、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）を用いた。ＲＧＢに対応する発光層に先に例示した化合物１６に示したＰＶＫと発光色を決める発光ドーパントを混入した。ＲＧＢに対応するそれぞれの溶媒は、以下の質量比で混合した。ＰＶＫは青発光材料なので、青発光層には、発光ドーパントなしでそのまま用いた。
Ｒ用発光層溶液
ＮＭＰ：ＰＶＫ（化合物１６）：ＤＣＭ１（化合物２７）＝１００：４：０．１
Ｇ用発光層溶液
ＮＭＰ：ＰＶＫ：Ｉｒ（４ｍｐｐｙ）₃（化合物２１）＝１００：４：０．４
Ｂ用発光層溶液
ＮＭＰ：ＰＶＫ＝１００：５

別に、図４（ｂ）に示すような、１００ラインのストライプ状のＩＴＯ電極が設けられたガラス基板を用意した。各電極間のピッチは２００ｍｍ、電極間隙は２０ｍｍ、電極の膜厚は１００ｎｍである。電極分離層はポリイミドで作製し、図４（ｂ）のように配置した。電極分離層の膜厚は２００ｎｍであり、図６（ａ）に示すようにＩＴＯ電極のエッジを覆うように配置した。電極分離層の線幅は３０ｍｍである。

次に凸版パターンを有する版胴を準備し、図１に示した工程を繰り返して、ＲＧＢ発光層を塗り分けた。具体的には、ガラス製の回転ステージ上に、Ｒ用発光層溶液を滴下し、１０００回転／分で回転させてＲ用発光層溶液膜を形成した。別に前記ＩＴＯ電極のパターンと同じパターン（２００ｍｍピッチで間隔２０ｍｍ）を凸版として持つ版胴を用意した。この版胴上の凸版パターンはデュポン社製サイレルを用いて作製した。上記回転ステージ上のＲ用発光層溶液膜にこの版胴を回転させながら当接し、この溶液膜を版胴に付着させた。次に、前記のストライプ状のＩＴＯ電極を有する基板に、入念に位置合わせをした後、先の版胴を当接し、該基板上に前記Ｒ用発光層溶液膜を転写した。

これと同じ操作を上記、Ｇ用発光層溶液とＢ用発光層溶液についても繰り返し、図６（ａ）に示すような下部電極に対応して有機ＬＥＤ層を塗り分けた。この発光層の塗り分け操作終了後、ＮＭＰの溶媒を蒸発させるために、２１０℃、１０^-2Ｐａで１時間放置した。乾燥後の発光層の膜厚は、７０ｎｍであった。

乾燥後の基板を真空蒸着機にセットし、１０^-4Ｐａの真空チャンバー内で化合物３５のＢＰｈｅｎを５０ｎｍの厚さで各膜を跨いで全面に蒸着し、その上に、電子注入材料としてフッ化カリウム（ＫＦ）を１ｎｍの厚さで蒸着し、その後、アルミニウム電極を１２０ｎｍの厚さで蒸着した。これで、有機層が２層積層した有機ＬＥＤ素子が基板上に作製された。

各電極に独立に電圧を印加できるように、電極毎に配線し、陰極（アルミ電極）に対して陽極であるＩＴＯ電極にプラス電圧を印加することで、ＲＧＢを任意に発光させることができ、所望のカラー画像を得ることができた。

（実施例２）
図８に示したＴＦＴ駆動回路が設置されたＴＦＴ基板を用いた以外は、実施例１と同様にして有機発光デバイスを作製した。画素に対応する電極は、実施例１と同様、２００ｍｍピッチで、電極間は２０ｍｍである。実施例１と同様に、発光層塗り分け工程から電子輸送層Ｂｐｈｅｎを真空蒸着で５０ｎｍ積層するところまで行い、さらに、該電子輸送層Ｂｐｈｅｎの上に、電子注入層として、Ｂｐｈｅｎと炭酸セシウム（Ｃｓ₂ＣＯ₃）を１０対１の質量比で共蒸着した。その電子注入層の上に、ＩＴＯ電極を１００ｎｍの厚さでスパッタ法によって製膜してＩＴＯ電極を陰極として全面に共通電極として用いた。

図８（ｂ）に示すように、走査線・情報線ドライバ９１，９２と電圧供給源９３を実装し、走査線ドライバ９１からゲート電圧を印加し、それに同期して所望のソース電圧を印加することにより、各色の有機ＬＥＤ素子に所望の電圧を印加し、カラー画像を形成することができた。

（実施例３）
図２、図４に示す工程によりＲ，Ｇ，Ｂ発光層を塗り分けた以外は、実施例１と同様にして有機発光デバイスを作製した。尚、パターン用基板１１上の反転パターン１２は、デュポン社製サイレルによって形成した。

各電極に独立に電圧を印加できるように、電極毎に配線し、陰極（アルミ電極）に対して陽極であるＩＴＯ電極にプラス電圧を印加し、所望の電圧を発光層に印加することで、ＲＧＢを任意に発光させることができ、所望のカラー画像を得ることができた。

（実施例４）
本実施例では発光層形成前に、ＩＴＯ基板のＩＴＯ電極上に下記に示す化合物４１のＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを２０ｎｍの厚さで配置する以外は、実施例１と同様にして有機発光デバイスを作製した。上記ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳは水溶液とし販売されているバイエル社製のものを用いることができ、本発明の製造方法によって下部電極上全面に溶液膜を形成することができる。本例では、溶液膜形成後、１２０℃の真空チャンバー内で乾燥した。その後実施例１と同様にして、発光層を配置した。

実施例１と同様、各電極に独立に電圧を印加できるように、電極毎に配線し、陰極（アルミ電極）に対して陽極であるＩＴＯ電極にプラス電圧を印加し、発光層に所望の電圧を印加することで、ＲＧＢを任意に発光させることができ、所望のカラー画像を得ることができた。

（実施例５）
実施例１のガラス基板をポリエチレンサルファイド基板に変更する以外は実施例１と同様にして有機発光デバイスを作製したところ、ＲＧＢを任意に発光させることができ、所望のカラー画像を得ることができた。また本例のデバイスは、基板を多少折り曲げても良好な発光を示した。

本発明の第１の実施形態の工程図である。 本発明の第２の実施形態の工程図である。 本発明の第３の実施形態の工程図である。 本発明の第４の実施形態の工程図である。 本発明の第４の実施形態の工程図である。 本発明の第４の実施形態の工程図である。 図６の部分断面図である。 本発明の第５の実施形態の有機発光デバイスを示す模式図である。 本発明の第５の実施形態の有機発光デバイスの１画素の等価回路である。 本発明の有機発光デバイスの構成例の断面模式図である。

符号の説明

１ 回転ステージ
２，２ａ〜２ｃ 溶液膜
３ 版胴
４ 凸版パターン
５，４２ 下部電極
６，４１，８１ 基板
７，７ａ〜７ｃ，４４ａ〜４４ｃ 有機膜
１１ パターン用基板
１２ 反転パターン
４３ 電極分離層
４５ 上部電極
４６ 電子輸送層
８１ ガラス基板
８２ ソース領域
８３ ドレイン領域
８４ ゲート電極
８５ ドレイン電極
８６ 発光層
８７ 電子輸送層
８８ 陰極
８９ 電極分離層
９０ 陽極
９１ 走査信号ドライバ
９２ 情報信号ドライバ
９３ 電圧供給源
１０１，１０２ ＴＦＴ
１０３ 容量
１０４ ＥＬ素子
１０５ カソード
１０６ 情報信号線
１０７ ゲート選択線
１０８ 電流供給線
１１１ 陰極
１１２ 電子輸送層
１１３ 発光層
１１４ ホール輸送層
１１５ 陽極
１１６ ガラス基板

Claims (9)

1. 基板上に設けられた複数の下部電極上に所定パターンの有機膜を形成する有機膜の形成工程と、前記有機膜上に上部電極を設ける工程とを有する有機発光デバイスの製造方法において、
   前記複数の下部電極の離間領域と、前記離間領域の両隣の下部電極のそれぞれの上面端部と、を覆う連続膜である電極分離層が配置されており、
   前記有機膜の所定パターンが、複数の前記電極分離層の離間領域と、前記離間領域の両隣の電極分離層のそれぞれの上面端部と、を覆う連続膜のパターンであり、
   前記有機膜の形成工程は、前記有機膜を構成する化合物を含む溶液を回転ステージ上に付与して遠心力を利用して薄膜化し、該溶液の薄膜を、前記所定パターンに対応するパターンで版胴に付着させ、更に該版胴に付着した前記溶液の薄膜を前記下部電極上に転写する工程と、
   転写された前記溶液の薄膜を乾燥することで前記下部電極上の中心部における前記有機膜の上端が前記電極分離層の上端よりも低くなる乾燥工程とを有することを特徴とする有機発光デバイスの製造方法。
2. 前記所定パターンに対応するパターンでの前記溶液の薄膜の版胴への付着を、前記版胴に前記所定のパターンに対応して形成した凸版パターンを前記溶液の薄膜と接触させることで行うことを特徴とする請求項１に記載の有機発光デバイスの製造方法。
3. 前記所定パターンに対応するパターンでの前記溶液の薄膜の版胴への付着を、前記溶液の薄膜を版胴に一様に付着させ、該版胴に付着した前記溶液の薄膜を前記所定パターンの反転パターンと接触させて、前記所定のパターンに対応する部分以外の部分を前記反転パターンに付着させて除去することで行うことを特徴とする請求項１に記載の有機発光デバイスの製造方法。
4. 前記有機膜の形成工程を繰り返すことにより、発光色の異なる有機膜を同一基板上に形成することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の有機発光デバイスの製造方法。
5. 前記発光色の異なる有機膜は、いずれもＮ−メチル−２−ピロリドンを溶媒として有する前記溶液の薄膜から得られることを特徴とする請求項４に記載の有機発光デバイスの製造方法。
6. 前記有機膜の膜厚が５〜５００ｎｍであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の有機発光デバイスの製造方法。
7. 前記ステージ上に形成された前記溶液の薄膜の膜厚が、１〜５００μｍであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の有機発光デバイスの製造方法。
8. 前記有機膜を構成する化合物を含む溶液が、１００℃以上の沸点を持つ溶媒を少なくとも一種含んでいることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の有機発光デバイスの製造方法。
9. 請求項１乃至８のいずれか一項に記載の有機発光デバイスの製造方法により製造されたことを特徴とする有機発光デバイス。

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