JP2005353509A - 有機発光デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 有機膜を構成する化合物を含む溶液を回転ステージ1上に付与して均一な膜厚の溶液膜2を形成し、所望の凸版パターン4を表面に有する版胴3を回転ステージ1上を回転させながら通過させ、凸版パターン4に溶液膜2を付着させ、次いで、凸版パターン4に付着させた溶液膜2を基板6上に形成した下部電極5上に転写する。
【選択図】 図1
Description
基板上に設けられた下部電極上に有機膜を形成する有機膜形成工程と、
前記有機膜上に上部電極を設ける工程とを有する有機発光デバイスの製造方法において、
前記有機膜形成工程は、
前記有機膜を構成する化合物を含む溶液からなる膜をパターンとして有した版胴を、前記下部電極上に当接させることで、該版胴より上記膜を前記下部電極上に転写する転写工程を有し、
前記有機膜を構成する化合物を含む溶液からなる膜は、該溶液を回転するステージ上で薄
膜化することを特徴とする有機発光デバイスの製造方法を提供する。
本実施形態に係る有機発光デバイスの製造方法は、版胴が表面に凸版パターンを有しており、該パターン上に溶液膜を付着させ、下部電極上に転写することを特徴とする。
本実施の形態に係る有機発光デバイスの製造方法は、版胴とは別に、反転パターン(凸部)が設けられているパターン基板を用意し、版胴に付着させた溶液膜から、該反転パターンに対応した溶液膜を除去した後、版胴に残された所望のパターンの溶液膜を下部電極に転写することを特徴とする。それ以外は第1の実施の形態と同じである。
本実施の形態に係る有機発光デバイスの製造方法は、発光色毎の有機膜を下部電極上に配置することを特徴とする。それ以外は第2の実施の形態と同じである。
本実施の形態に係る有機発光デバイスの製造方法は、単純マトリクス駆動の有機発光デバイスの製造方法であることを特徴とする。それ以外は第1〜第3の実施の形態と同じである。
本実施の形態に係る有機発光デバイスの製造方法は、薄膜トランジスタ(TFT)を配置した基板上に有機発光デバイスを製造することを特徴とする。それ以外は第1〜第4の実施の形態と同じである。TFTは各発光点の発光・非発光を制御するスイッチング素子として用いるものである。
本実施例ではパッシブマトリクス型有機発光デバイスを作製した。
R用発光層溶液
NMP:PVK(化合物16):DCM1(化合物27)=100:4:0.1
G用発光層溶液
NMP:PVK:Ir(4mppy)3(化合物21)=100:4:0.4
B用発光層溶液
NMP:PVK=100:5
図8に示したTFT駆動回路が設置されたTFT基板を用いた以外は、実施例1と同様にして有機発光デバイスを作製した。画素に対応する電極は、実施例1と同様、200mmピッチで、電極間は20mmである。実施例1と同様に、発光層塗り分け工程から電子輸送層Bphenを真空蒸着で50nm積層するところまで行い、さらに、該電子輸送層Bphenの上に、電子注入層として、Bphenと炭酸セシウム(Cs2CO3)を10対1の質量比で共蒸着した。その電子注入層の上に、ITO電極を100nmの厚さでスパッタ法によって製膜してITO電極を陰極として全面に共通電極として用いた。
図2、図4に示す工程によりR,G,B発光層を塗り分けた以外は、実施例1と同様にして有機発光デバイスを作製した。尚、パターン用基板11上の反転パターン12は、デュポン社製サイレルによって形成した。
本実施例では発光層形成前に、ITO基板のITO電極上に下記に示す化合物41のPEDOT/PSSを20nmの厚さで配置する以外は、実施例1と同様にして有機発光デバイスを作製した。上記PEDOT/PSSは水溶液とし販売されているバイエル社製のものを用いることができ、本発明の製造方法によって下部電極上全面に溶液膜を形成することができる。本例では、溶液膜形成後、120℃の真空チャンバー内で乾燥した。その後実施例1と同様にして、発光層を配置した。
実施例1のガラス基板をポリエチレンサルファイド基板に変更する以外は実施例1と同様にして有機発光デバイスを作製したところ、RGBを任意に発光させることができ、所望のカラー画像を得ることができた。また本例のデバイスは、基板を多少折り曲げても良好な発光を示した。
2,2a〜2c 溶液膜
3 版胴
4 凸版パターン
5,42 下部電極
6,41,81 基板
7,7a〜7c,44a〜44c 有機膜
11 パターン用基板
12 反転パターン
43 電極分離層
45 上部電極
46 電子輸送層
81 ガラス基板
82 ソース領域
83 ドレイン領域
84 ゲート電極
85 ドレイン電極
86 発光層
87 電子輸送層
88 陰極
89 電極分離層
90 陽極
91 走査信号ドライバ
92 情報信号ドライバ
93 電圧供給源
101,102 TFT
103 容量
104 EL素子
105 カソード
106 情報信号線
107 ゲート選択線
108 電流供給線
111 陰極
112 電子輸送層
113 発光層
114 ホール輸送層
115 陽極
116 ガラス基板
Claims (8)
- 基板上に設けられた下部電極上に有機膜を形成する有機膜形成工程と、
前記有機膜上に上部電極を設ける工程とを有する有機発光デバイスの製造方法において、
前記有機膜形成工程は、
前記有機膜を構成する化合物を含む溶液からなる膜をパターンとして有した版胴を、前記下部電極上に当接させることで、該版胴より上記膜を前記下部電極上に転写する転写工程を有し、
前記有機膜を構成する化合物を含む溶液からなる膜は、該溶液を回転するステージ上で薄
膜化することを特徴とする有機発光デバイスの製造方法。 - 前記版胴の表面に凸版パターンを設け、該凸版パターンに、前記ステージ上の有機膜を構成する化合物を含む溶液からなる膜を付着させる請求項1に記載の有機発光デバイスの製造方法。
- 前記版胴に前記ステージ上の有機膜を構成する化合物を含む溶液からなる膜を付着させ、次いで、別途用意した、反転パターンを有する基板の該反転パターンに上記有機膜を構成する化合物を含む溶液からなる膜を付着させて版胴上から除去し、所定のパターンの膜のみを版胴上に残す請求項1に記載の有機発光デバイスの製造方法。
- 前記有機膜形成工程を繰り返すことにより、発光色の異なる有機膜を同一基板上に形成する請求項1乃至3のいずれかに記載の有機発光デバイスの製造方法。
- 前記有機膜の膜厚が5〜500nmである請求項1乃至4のいずれかに記載の有機発光デバイスの製造方法。
- 前記ステージ上に形成された、有機膜を構成する化合物を含む溶液からなる膜の膜厚が、1〜500μmである請求項1乃至5のいずれかに記載の有機発光デバイスの製造方法。
- 前記有機膜を構成する化合物を含む溶液が、100℃以上の沸点を持つ溶媒を少なくとも1種用いてなる請求項1乃至6のいずれかに記載の有機発光デバイスの製造方法。
- 請求項1乃至7のいずれかに記載の有機発光デバイスの製造方法により製造されたことを特徴とする有機発光デバイス。
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