JP4866957B2 - 磁気式圧力センサ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係る磁気式圧力センサの断面図である。
図1に示す磁気式圧力センサ1は、ベース基板であるガラス基板11を有する。ベース基板としては、ガラス基板以外にシリコン基板、アルミナ基板、LTCC基板(低温焼成セラミック基板)、HTCC基板(高温焼成セラミック基板などを挙げることができる。ガラス基板11の一方の主面には、凹部が形成されている。凹部の深さは、後述する、接合領域に絶縁層に埋め込まれる配線の埋め込み量(ガラス基板11の主面からの深さ)大きくなりすぎないように適宜設定する。
上述したような方法により、図1に示すような、一対のシールド層12,22を有する磁気式圧力センサ(実施例1)を準備した。このとき、一対のシールド層12,22をパーマロイで構成し、透磁率3000、飽和磁束密度1.62T、1辺1000μmの正方形でシールド厚t(1μm,3μm,5μm,10μm)、シールド間隔d(30μm,50μm,100μm、300μm)とした。これらの磁気式圧力センサに磁場強度10Oe(×103/4π A/m)の磁場を水平方向に印加してGMR素子の感度方向の磁場強度をシミュレーションした。そのシミュレーション結果を図5に示す。図5から分かるように、シールド厚tを増加させるとGMR素子の感磁界を低減でき、シールド間隔を狭めるとGMR素子の感磁界を低減できる。
Claims (3)
- 主面を有する第1基板と、前記主面に設けられた凹部内に形成された第1シールド層と、前記第1シールド層上に絶縁層を介して形成された磁気抵抗効果素子と、前記絶縁層上に接合部材により接合されており、一方の主面上に前記磁気抵抗効果素子と対向するようにハード磁性層を有するダイヤフラムを持つ第2基板と、を具備し、前記磁気抵抗効果素子及び前記ハード磁性層は、前記絶縁層と前記第2基板との間で形成されるキャビティ内に配置され、前記磁気抵抗効果素子は、前記第2基板の接合領域における前記接合部材と接触しないように前記絶縁層内に埋め込まれた埋め込み領域を有する配線により前記キャビティ外の電極と電気的に接続されていることを特徴とする磁気式圧力センサ。
- 前記第2基板は、他方の主面上に第2シールド層を有することを特徴とする請求項1記載の磁気式圧力センサ。
- 請求項1記載の磁気式圧力センサと、前記磁気式圧力センサを内包するパッケージ部材と、を具備し、前記パッケージ部材の側面にシールド層を有することを特徴とするセンサパッケージ。
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