JP2008224487A - 磁気式圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】信頼性の高い圧力測定を行うことができる磁気式圧力センサを提供すること。
【解決手段】本発明の磁気式圧力センサは、シリコン基板11と、シリコン基板11との間でキャビティ領域17を形成するようにシリコン基板11上に接合されており、ダイヤフラム領域Xを有するSOI基板13と、ダイヤフラム領域Xにおけるキャビティ領域17の外側の主面上に設けられたハード磁性層16と、前記主面のダイヤフラム領域X以外の領域上に設けられたGMR素子14と、を具備し、ダイヤフラム領域Xは、SOI基板13に対して薄肉部13fにより揺動可能に支持されていることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の磁気式圧力センサは、シリコン基板11と、シリコン基板11との間でキャビティ領域17を形成するようにシリコン基板11上に接合されており、ダイヤフラム領域Xを有するSOI基板13と、ダイヤフラム領域Xにおけるキャビティ領域17の外側の主面上に設けられたハード磁性層16と、前記主面のダイヤフラム領域X以外の領域上に設けられたGMR素子14と、を具備し、ダイヤフラム領域Xは、SOI基板13に対して薄肉部13fにより揺動可能に支持されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、磁力を用いて圧力を検知する磁気式圧力センサに関する。
圧力センサとして、静電容量型圧力センサの固定電極の代わりに磁気抵抗効果素子を用い、ダイヤフラム側にハード磁性層を用いて磁石を形成した磁気式圧力センサが開発されている(特許文献1)。この磁気式圧力センサにおいては、2つの基板で形成されたキャビティ内に磁気抵抗効果素子及びハード磁性層が配設されており、ダイヤフラムに圧力が加わるとダイヤフラムが変形し、これによりダイヤフラムに設けられたハード磁性層を用いて形成した磁石と磁気抵抗効果素子との間隔が変わる。この間隔の変化により磁気抵抗効果素子に印加される磁界が変化し、この磁界の変化に基づく磁気抵抗効果素子の磁気抵抗の変化を利用して圧力の変化を検出する。
米国特許第6,507,187号
しかしながら、上述した磁気式圧力センサにおいては、キャビティ内に配設されている磁気抵抗効果素子の出力を取り出す際に、通常2つの基板の接合部分に引き出し電極を設ける。この場合、2つの基板の接合部分に引き出し電極が存在するために、キャビティ内の気密性が低下してしまい、圧力測定の信頼性が低下するという問題がある。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、信頼性の高い圧力測定を行うことができる磁気式圧力センサを提供することを目的とする。
本発明の磁気式圧力センサは、支持基板と、前記支持基板との間でキャビティ領域を形成するように前記支持基板上に接合されており、ダイヤフラム領域を有するSOI基板と、前記ダイヤフラム領域における前記キャビティ領域の外側の主面上に設けられたハード磁性層と、前記主面のダイヤフラム領域以外の領域上に設けられた磁気抵抗効果素子と、を具備し、前記ダイヤフラム領域は、前記SOI基板に対して薄肉部により揺動可能に支持されていることを特徴とする。
この構成によれば、キャビティ領域の外側のシリコン基板の同じ主面上に磁気抵抗効果素子及びハード磁性層が設けられており、接合領域を介さずに磁気抵抗効果素子の出力を引き出すことができるので、キャビティ内の気密性を確保して、信頼性の高い圧力測定を行うことができる。
本発明の磁気式圧力センサにおいては、前記薄肉部は、前記SOI基板のうちの1層のシリコン層で構成されていることが好ましい。
本発明の磁気式圧力センサにおいては、前記ダイヤフラム領域は、絶縁層を挟持する一対のシリコン層で構成されており、前記絶縁層が前記ダイヤフラム領域よりも狭いことが好ましい。この場合において、前記絶縁層は、平面視において前記ダイヤフラム領域の少なくとも中央領域と重なっていることが好ましい。
本発明の磁気式圧力センサにおいては、前記ハード磁性層は、前記ダイヤフラム領域において前記磁気抵抗効果素子に近接した位置に設けられていることが好ましい。
本発明の磁気式圧力センサによれば、支持基板と、前記支持基板との間でキャビティ領域を形成するように前記支持基板上に接合されており、ダイヤフラム領域を有するSOI基板と、前記ダイヤフラム領域における前記キャビティ領域の外側の主面上に設けられたハード磁性層と、前記主面のダイヤフラム領域以外の領域上に設けられた磁気抵抗効果素子と、を具備し、前記ダイヤフラム領域は、前記SOI基板に対して薄肉部により揺動可能に支持されているので、キャビティ内の気密性を確保して、信頼性の高い圧力測定を行うことができる。
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る磁気式圧力センサを示す図であり、(a)は断面図であり、(b)は平面図である。
図1は、本発明の実施の形態に係る磁気式圧力センサを示す図であり、(a)は断面図であり、(b)は平面図である。
図1に示す磁気式圧力センサは、支持基板であるシリコン基板11を有する。支持基板としては、シリコン基板以外にガラス基板、アルミナ基板、LTCC基板(低温焼成セラミック基板)、HTCC基板(高温焼成セラミック基板などを挙げることができる。シリコン基板11の一方の主面には、接合層12を介してSOI(Silicon On Insulator)基板13が接合されている。シリコン基板11及びSOI基板13は、両者の間でキャビティ領域17を形成するように接合層12を介して接合されている。このように、シリコン基板11とSOI基板13とが接合層12を介して接合されることによりキャビティ領域17が形成される。
SOI基板13は、第1シリコン層13a、第1絶縁層13b、第2シリコン層13c、第2絶縁層13d及び第3シリコン層13eがその順で積層されることにより構成されている。なお、SOI基板13の積層構造についてはシリコン層と絶縁層との組み合わせであれば特に制限はない。このようにSOI基板13を用いることにより、絶縁層をシリコン層のエッチングのストッパとして用いることができ、シリコン層を絶縁層除去のストッパとして用いることができる。このため、肉厚の薄いダイヤフラム領域の加工を精度良く行うことができ、信頼性の高い磁気式圧力センサを作製することができる。
このSOI基板13には、矩形状のダイヤフラム領域Xが設けられている。このダイヤフラム領域Xは、第2絶縁層13dを挟持する一対のシリコン層13c,13eで構成されている。なお、本実施の形態においては、SOI基板13の接合面側にキャビティ領域用の凹部を設けた場合について説明しているが、本発明においては、シリコン基板11の接合面側にキャビティ領域用の凹部を設けても良い。
シリコン基板11とSOI基板13との間の接合領域には、接合層12が介在されている。この接合層12を構成する材料としては、例えば、金−スズ共晶物などを挙げることができる。この金−スズ共晶物は、金とスズとの間の共晶反応により形成される。具体的には、スズ層と金層とを接触させた状態で、真空下において加熱、加圧することにより、金とスズとの間の共晶反応を起こして金−スズ共晶物が形成される。このときの加熱温度は約300℃以下であり、磁気抵抗効果素子であるGMR素子14の耐熱温度以下であるので、GMR素子14の特性を損なうことがない。このため、精度良く磁気式圧力センサを動作させることが可能となる。
SOI基板13は矩形状のダイヤフラム領域Xを有し、図1(b)に示すように、その四辺のそれぞれの辺に対応するように、第3シリコン層13eのダイヤフラム領域X以外の領域にGMR素子14が設けられている。また、そのうちの2つのGMR素子14に近接した位置のダイヤフラム領域Xにハード磁性層16が設けられている。このようにGMR素子14とハード磁性層16とを近接させて配置することにより、磁界変化の検出感度を高くすることができる。なお、GMR素子14に近接させるハード磁性層16の数は2つに限定されず、それ以外の数でも良い。また、GMR素子14を設ける位置は、できるだけハード磁性層16からの磁界を受けられるように、ダイヤフラム領域X以外の領域であって、できるだけハード磁性層16に近接した位置であることが好ましい。図1に示す構成においては、ダイヤフラム領域Xとそれ以外の領域の境界部分にGMR素子14の端部が位置するようにGMR素子14が設けられ、ダイヤフラム領域Xの端部にハード磁性層16の端部が位置するようにハード磁性層16が設けられている。なお、ハード磁性層16を構成する材料としては、CoPt合金、CoCrPt合金などを挙げることができる。
ダイヤフラム領域Xは、SOI基板13に対して薄肉部13fにより揺動可能に支持されている。この薄肉部13fは、SOI基板13の第2シリコン層13cで構成されており、GMR素子14とハード磁性層16との間にスリット18を形成することにより設けることができる。これにより、ダイヤフラムDの変位を大きくすることができ、磁界変化の検出感度をさらに高くすることができる。
GMR素子14は、図2に示すように、ダイヤフラムD上に下から順に、IrMnやPtMnなどで形成された反強磁性層141、NiFeやCoFeなどの強磁性材料で形成された固定磁性層142、Cuなどで形成された非磁性材料層143及びNiFeやCoFeなどの強磁性材料で形成されたフリー磁性層144の積層構造を有する。図2に示す形態においては、反強磁性層141の下に結晶配向を整えるためにNiFeCrあるいはCrで形成されたシード層145が設けられているが、シード層145は必須ではない。
また、フリー磁性層144の上には、Taなどで形成された保護層146が形成されている。GMR素子14では、反強磁性層141と固定磁性層142とが接して形成されているため、磁場中で熱処理を施すことにより反強磁性層141と固定磁性層142との間の界面に交換結合磁界(Hex)が生じ、固定磁性層142の磁化方向142aは一方向に固定される。図2では、磁化方向142aは図示X1方向に固定される。
一方、フリー磁性層144の磁化方向144aは、例えば、図2に示す形態では、固定磁性層142の磁化方向142aと反平行に揃えられている。すなわち、磁化方向144aは図示X2方向に向けられる。フリー磁性層144は、固定磁性層142のように磁化固定されておらず外部磁場により磁化方向は変動する。
ハード磁性層19から発せられる外部磁場のうち、磁気抵抗効果素子を構成する各層の膜面と平行な方向に向く水平磁場Hが図2に示すように図示X1方向に作用すると、フリー磁性層144の磁化方向144aが変動し、固定磁性層142の磁化方向142aとフリー磁性層144の磁化方向144aの関係で電気抵抗が変化する。これはスピンバルブ型の巨大磁気抵抗(Giant MagnetoResistance)効果と呼ばれ、巨大磁気抵抗効果を発現させるには、上記のような反強磁性層141、固定磁性層142、非磁性材料層143及びフリー磁性層144の4層基本構造が必要となる。また、磁気抵抗効果素子として、GMR素子14でなく、トンネル磁気抵抗効果を有するトンネル磁気抵抗(Tunnel MagnetoResistance : TMR)素子を用いても良い。TMR素子の場合には、非磁性材料層143がトンネル障壁の材料である酸化アルミニウムや酸化マグネシウムなどの非磁性絶縁材料に置き換えられる。
また、SOI基板13の第3シリコン層13eのダイヤフラム領域X以外の領域上には、GMR素子14と電気的に接続するように、配線パターン15が形成されている。この配線パターン15の電極パッド15aは、GMR素子14の出力の引き出し電極として用いられる。
また、図1(b)に示すように、上述のGMR素子14は2つ並べて形成されており、GMR素子14の固定磁性層142の磁化方向は、2つのGMR素子と同じ方向になっている。また、図1(b)に示すように、GMR素子14は、固定抵抗20を介して配線パターンで接続されており、いわゆるブリッジ回路を構成している。この場合、例えば、電極パッド15bの一方をGNDとし、電極パッド15b−15b間に電源電圧を印加し、電極パッド15a−15a間の出力電圧を磁気式圧力センサの出力とすることができる。
このような構成を有する磁気式圧力センサにおいては、ハード磁性層16によりGMR素子14に磁界が印加されている。ダイヤフラムDに圧力が加わると、ダイヤフラムDが圧力に応じて可動する。これにより、ダイヤフラムDが変位して、ハード磁性層16とGMR素子14との間隔が変わる。このとき、GMR素子14に印加される磁界が変化する。したがって、この磁界の変化に基づくGMR素子14の磁気抵抗の変化をパラメータとして、その変化を圧力変化とすることができる。
この磁気式圧力センサにおいては、シリコン基板11とSOI基板13との間の接合を確保しつつ、GMR素子14の出力を引き出しているので、キャビティ領域17内の気密性を確保することができ、これにより圧力測定の信頼性を高めることができる。
次に、上記構成を有する磁気式圧力センサを製造する工程について図4を用いて説明する。まず、図4(a)に示すような、第1シリコン層13a、第1絶縁層13b、第2シリコン層13c、第2絶縁層13d及び第3シリコン層13eをその順で積層してなるSOI基板13を準備する。次いで、図4(b)に示すように、第3シリコン層13e上にフォトリソグラフィ及びエッチングによりハード磁性層16を形成する。次いで、図4(c)に示すように、第3シリコン層13e上のハード磁性層16の外側にフォトリソグラフィ及びエッチングによりGMR素子14を形成する。さらに、図4(d)に示すように、第3シリコン層13e上のGMR素子14の外側にフォトリソグラフィ及びエッチングにより配線パターン15を形成する。このとき、配線パターン15は、GMR素子14と電気的に接続するように形成する。
次いで、図4(e)に示すように、SOI基板13の第1シリコン層13a(パターン形成側と反対側の面)をエッチングしてキャビティ領域用の凹部を形成する。さらに、図4(f)に示すように、第1シリコン層13aをマスクとして第1絶縁層13bをエッチングする。次いで、図4(g)に示すように、凹部がシリコン基板11側に向くようにして、すなわちキャビティ領域17が形成されるようにして、SOI基板13をシリコン基板11上に接合層12を介して接合する。その後、GMR素子14とハード磁性層16との間にスリット18を形成することにより、図1に示す磁気式圧力センサを作製することができる。
このように、本発明に係る磁気式圧力センサは、キャビティ領域17の外側のSOI基板13の同じ主面上にGMR素子14及びハード磁性層16が設けられており、接合領域を介さずにGMR素子14の出力を引き出すことができるので、キャビティ内の気密性を確保して、信頼性の高い圧力測定を行うことができる。
図3は、本発明の実施の形態に係る磁気式圧力センサの他の例を示す図であり、(a)は断面図であり、(b)は平面図である。図3において、図1と同じ部分には図1と同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。
図3に示す磁気式圧力センサは、ダイヤフラム領域Xに複数の貫通穴19が形成されており、ダイヤフラム領域Xは、第2絶縁層13dを挟持する一対のシリコン層13c,13eで構成されている。そして、この第2絶縁層13dがダイヤフラム領域Xよりも狭くなっており、この狭い領域の第2絶縁層13dがコンタクト部13gを構成している。特に、コンタクト部13gを構成する第2絶縁層13dは、平面視においてダイヤフラム領域Xの少なくとも中央領域と重なっていること、すなわち、ハード磁性層16の下部に第2絶縁層13dが存在しない(空隙が存在する)ことが好ましい。このような構成によれば、ダイヤフラム領域Xが容易に揺動することができるので、ダイヤフラムDの変位量を大きくとることが可能となる。
ここで、コンタクト部13gのサイズによるダイヤフラムの変位量についてのシミュレーションを行った。シミュレーションは、素子外形を1000μmとし、ダイヤフラム領域の外形を700μm角とし、印加圧力を110kPaとして行った。このような条件下において、コンタクト部13gのサイズを50μm、100μm、250μm、600μmに変えてそれぞれダイヤフラムの変位量を求めた。その結果を図5に示す。
図5から分かるように、コンタクト部13gのサイズが小さくなればなるほど変位量が大きくなる。この結果より、コンタクト部13gのサイズが100μm〜300μmであることが好ましい。
このような構成の磁気式圧力センサは、図4(a)〜(g)に示す工程を行った後に、図4(h)に示すように、SOI基板13の第3シリコン層13eのダイヤフラム領域Xに複数の貫通穴19をエッチングにより形成する。その後、図4(i)に示すように、貫通穴19から絶縁層用のエッチング液を流し込んで第2絶縁層13dをエッチングしてコンタクト部13gを形成する。このようにして図3に示す磁気式圧力センサを作製することができる。あるいは、あらかじめSOI基板13にエッチングを施して貫通穴19コンタクト部13gを形成し、その後図4(a)〜(g)に示す工程と同様の工程を行ってGMR素子などを形成しても良い。
このような構成においても、キャビティ領域17の外側のSOI基板13の同じ主面上にGMR素子14及びハード磁性層16が設けられており、接合領域を介さずにGMR素子14の出力を引き出すことができるので、キャビティ内の気密性を確保して、信頼性の高い圧力測定を行うことができる。
本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、上記実施の形態においては、シリコン基板とSOI基板との間の接合を、接合層を介して行った場合について説明しているが、本発明においては、シリコン基板とSOI基板との間の接合を、接合層を用いずに行っても良い。また、上記実施の形態で説明した数値や材質については特に制限はない。また、上記実施の形態で説明したプロセスについてはこれに限定されず、工程間の適宜順序を変えて実施しても良い。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。
11 シリコン基板
12 接合層
13 SOI基板
13a,13c,13e シリコン層
13b,13d 絶縁層
13f 薄肉部
13g コンタクト部
14 GMR素子
15 配線パターン
15a,15b 電極パッド
16 ハード磁性層で形成した磁石
17 キャビティ領域
18 スリット
19 貫通穴
20 固定抵抗
D ダイヤフラム
12 接合層
13 SOI基板
13a,13c,13e シリコン層
13b,13d 絶縁層
13f 薄肉部
13g コンタクト部
14 GMR素子
15 配線パターン
15a,15b 電極パッド
16 ハード磁性層で形成した磁石
17 キャビティ領域
18 スリット
19 貫通穴
20 固定抵抗
D ダイヤフラム
Claims (5)
- 支持基板と、前記支持基板との間でキャビティ領域を形成するように前記支持基板上に接合されており、ダイヤフラム領域を有するSOI基板と、前記ダイヤフラム領域における前記キャビティ領域の外側の主面上に設けられたハード磁性層と、前記主面のダイヤフラム領域以外の領域上に設けられた磁気抵抗効果素子と、を具備し、前記ダイヤフラム領域は、前記SOI基板に対して薄肉部により揺動可能に支持されていることを特徴とする磁気式圧力センサ。
- 前記薄肉部は、前記SOI基板のうちの1層のシリコン層で構成されていることを特徴とする請求項1記載の磁気式圧力センサ。
- 前記ダイヤフラム領域は、絶縁層を挟持する一対のシリコン層で構成されており、前記絶縁層が前記ダイヤフラム領域よりも狭いことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の磁気式圧力センサ。
- 前記絶縁層は、平面視において前記ダイヤフラム領域の少なくとも中央領域と重なっていることを特徴とする請求項3記載の磁気式圧力センサ。
- 前記ハード磁性層は、前記ダイヤフラム領域において前記磁気抵抗効果素子に近接した位置に設けられていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の磁気式圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007064701A JP2008224487A (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | 磁気式圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007064701A JP2008224487A (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | 磁気式圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008224487A true JP2008224487A (ja) | 2008-09-25 |
Family
ID=39843289
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007064701A Withdrawn JP2008224487A (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | 磁気式圧力センサ |
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---|---|
JP (1) | JP2008224487A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102332423A (zh) * | 2011-05-25 | 2012-01-25 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种减少埋层空洞型soi晶片化学机械研磨破裂的工艺 |
-
2007
- 2007-03-14 JP JP2007064701A patent/JP2008224487A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102332423A (zh) * | 2011-05-25 | 2012-01-25 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种减少埋层空洞型soi晶片化学机械研磨破裂的工艺 |
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Legal Events
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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