JP4866938B2 - 誘導加熱装置、誘導加熱方法、及びプログラム - Google Patents
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また、非特許文献2には、電流がゼロクロスした時に出力を短絡することにより、スイッチング素子がオープン状態になることを回避して、インダクタンス負荷を安定に駆動させるZVS動作を実現したフルブリッジ回路が開示されている。
本発明の誘導加熱装置の構成を図1及び図2を用いて説明する。
図1において、誘導加熱装置100は、降圧チョッパ10と、複数の逆変換装置30,31,…,35と、複数の誘導加熱コイル20,21,…,25と、制御回路15とを備えて構成され、各々の誘導加熱コイル20,21,…,25が、高周波磁束を発生することにより、共通の発熱体(例えば、カーボングラファイト)(図2)に渦電流を流し、この発熱体を発熱させるものである。
さらに、逆変換装置30,31,…,35は、スイッチングロスを低減するために、誘導加熱コイル20,21,…,25の等価インダクタンスと、直列接続されたコンデンサCのキャパシタンスとの共振周波数よりも、駆動周波数を高くして共振電流位相遅れモードで駆動するようになっている。
図2は、ウェハの熱処理に用いるRTA(Rapid Thermal Annealing)装置の構成図である。RTA装置は、複数の誘導加熱コイル20,21,…,25が凹部に埋設された耐熱板と、この耐熱板の表面に設けられた共通の発熱体と、逆変換装置(図1)、及び降圧チョッパ10からなるZCIHインバータとを備え、複数の誘導加熱コイル20,21,…,25により、発熱体を複数ゾーン(例えば、6ゾーン)に分割加熱するように構成されている。このRTA装置は、誘導加熱コイル20,21,…,25の各々が高周波磁束を発生し、この高周波磁束が、例えばカーボングラファイトで形成された発熱体に渦電流を流し、この渦電流がカーボングラファイトの抵抗成分に流れることによって、発熱体が発熱するように構成されている。言い換えれば、誘導加熱コイル20,21,…,25の各々が高周波の電磁エネルギーを発生し、この電磁エネルギーにより発熱体が発熱し、この発熱体の輻射熱により被加熱物であるガラス基板やウェハが加熱する。なお、半導体の熱処理においては、この加熱は減圧雰囲気中で行われる。
なお、ゾーン1の誘導加熱コイル20に流れる電流をI1とし、絶縁トランスTr0の出力電圧をV1とし、ゾーン2の誘導加熱コイル21に流れる電流をI2とし、絶縁トランスTr1の出力電圧をV2としている。
ここで、電圧幅の所定値は、例えば、低圧直流電圧Vdcが直流高電圧Vmaxの1/2となるパルス幅に設定される。なお、降圧チョッパ10の最大出力電圧では、95%DUTYになるように制御し、瞬間的な短絡状態を回避している。
制御回路15がゲートに矩形波電圧を印加することにより、IGBTQ1,Q2が交互にオン・オフ制御される。まず、IGBTQ1がオフし、IGBTQ2がオンすると、チョークコイルCHを介してコンデンサ47の充電が開始される。そして、次に、IGBTQ1がオンし、IGBTQ2がオフすると、チョークコイルCHに流れている電流が転流ダイオードD1を介して放電する。この充放電が所定のDUTY比で繰り返されることにより、コンデンサ47の両端の電圧が、直流高電圧VmaxとDUTY比とで決められる低圧直流電圧Vdcに収束する。
Peff=V1・I1・cosθ1
で表現される。したがって、歪波電圧である矩形波電圧でLCRの直列共振回路を駆動したときの有効電力Peffは、基本波の有効電力で表される。
図5は、矩形波電圧波形とその基本波電圧波形とコイル電流波形を示しており、縦軸は電圧・電流であり、横軸は位相(ωt)である。トランスTr二次側の矩形波電圧波形50は、実線で示される正負対称の奇関数波形であり、その基本波が、破線の基本波電圧波形51として示されている。矩形波電圧波形50は、最大振幅が±Vdcであり、基本波電圧波形51のゼロクロス点に対して制御角δの位相角が設定されている。すなわち、矩形波電圧波形50の立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングの双方と、基本波電圧波形51のゼロクロスタイミングとが制御角δの位相差を有している。このとき、基本波電圧波形51の振幅は、4Vdc/π・cosδである。
このとき、矩形波電圧のパルス幅を短くすると、コイル電流のゼロクロスタイミングが矩形波電圧の立ち上がりタイミングよりも進む共振電流位相進みモードになることがある。このようなときは、直流電圧Vdcを低下させて制御角δを減少させることができる。
図6(a)において、符号vは、DUTY100%の矩形波電圧波形を示し、符号iは、誘導加熱コイルに流れる正弦波電流を示す。矩形波電圧波形vの立ち上がりタイミングに対して、電流波形iのゼロクロスタイミングは遅れている。図6(b)において、逆変換装置30は、IGBTQ3(TRap),Q4(TRan),Q5(TRbp),Q6(TRbn)と、転流ダイオードD3(DIap),D4(DIan),D5(DIbp),D6(DIbn)とを備えている。
また、トランジスタTRap,TRan,TRbp,TRbnのアームであるコレクタとエミッタとの間に転流ダイオードDIap,DIan,DIbp,DIbnがそれぞれ接続されている。
時刻ta2で、トランジスタTRap,TRbnがOFF状態に遷移し、トランジスタTRan,TRbpがON状態に遷移する。これにより、コイル電流ia1と同一方向のコイル電流i(ia2)がダイオードDIan,DIbpを介して流れる。このとき、トランジスタTRap,TRbnの両端の電圧は変化しないので、零ボルトスイッチングとなる。
図7(a)において、コイル電流iのゼロクロスタイミングが矩形波電圧の立ち上がりタイミングよりも進んでいる共振電流位相進みモードになっている。矩形波電圧vは、時刻tb1と時刻tb2との間が正の値であり、時刻tb4と時刻tb5との間が負の値である。
すなわち、対角方向のトランジスタTRap,TRbn、又は他の対角方向のトランジスタTRbp,TRanを導通させることにより、コイル電流iを流し、他の期間は、下アームのトランジスタTRan,TRbnの何れかをON状態にし、他のトランジスタをOFF状態にすることにより、誘導加熱コイル20,21,…,25をフローティング状態にすることなく、非通電状態にしている。
時刻tc1から時刻tc2までは、ダイオードDIbn,DIapを介して、負の正弦波状のコイル電流ic1が流れ、時刻tc2で電流がゼロクロスする。時刻tc2から時刻tc3までの間は、トランジスタTRap,TRbnを介して、正の正弦波状のコイル電流ic2が流れる。時刻tc3から時刻tc5までは、ダイオードDIan、及びトランジスタTRbnを介して正のコイル電流ic3が流れる。時刻tc5から時刻tc6までは、図10(b)において、ダイオードDIan,DIbpを介して正のコイル電流ic4が流れる。そして、コイル電流が時刻tc6でゼロクロスする。時刻tc6から時刻tc7までは、トランジスタTRbp,TRanを介して、負のコイル電流ic5が流れる。時刻tc7から時刻tc1までは、ダイオードDIbn、及びトランジスタTRanを介してコイル電流ic6が流れる。
したがって、何れのスイッチングにおいても、ダイオードがオン状態からオフ状態になることはなくリカバリ電流は発生しない。
本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような種々の変形が可能である。
(1)前記実施形態は、逆変換装置のスイッチング素子としてIGBTを使用したが、FETやバイポーラトランジスタ等のトランジスタを使用することもできる。
(2)前記実施形態は、逆変換装置に直流電力を供給するために、直流電圧から電圧を降下させる降圧チョッパ10を使用したが、商用電源から順変換装置を用いて直流電圧を発生させることもできる。また、商用電源には単相電源のみならず三相電源も使用することができる。
(3)前記実施形態は、すべての誘導加熱コイル20,21,…,25に対応する逆変換装置30,31,…,35には、共通の低圧直流電圧Vdcの電力を供給したが、最大加熱量が必要な誘導加熱コイルと、この誘導加熱コイルに対応する逆変換装置を追加して、追加した逆変換装置に直流電圧Vmaxの電力を供給し、逆変換装置30,31,32,…,35に低圧直流電圧Vdcの電力を供給することもできる。
15 制御回路
20,21,22,23,24,25 誘導加熱コイル
30,31,32,33,34,35 逆変換装置
40,41,42,43,44,45 コンデンサ
46 電解コンデンサ
47 コンデンサ
50 矩形波電圧波形
51 基本波電圧波形
52 コイル電流波形
91 パルス幅制御部
92 異常停止部
93 位相差判定部
94 直流電圧制御部
100 誘導加熱装置
M,M1,M2,M3,M4,M5 相互誘導インダクタンス
Tr1,Tr2,Tr3、Tr4,Tr5 絶縁トランス
Q1,Q2,Q3,Q4,Q5,Q6 IGBT(スイッチング素子)
D1,D2,D3,D4,D5,D6 転流ダイオード
CH チョークコイル
Vmax 直流高電圧
Vdc 低圧直流電圧
Claims (3)
- 近接して配置された複数の誘導加熱コイルと、この誘導加熱コイルの各々に直列接続されたコンデンサと、直流電圧から変換させられた矩形波電圧を各々の前記誘導加熱コイル及び前記コンデンサの直列回路に印加する複数の逆変換装置と、商用電源を整流、制御して前記複数の逆変換装置に共通の前記直流電圧を印加する順変換回路と直流電源から前記複数の逆変換装置に共通の前記直流電圧を印加するチョッパ回路との何れか一方からなる直流電圧発生回路と、前記矩形波電圧を電圧幅制御するとともに前記複数の誘導加熱コイルに流れるコイル電流の位相を揃えるように前記複数の逆変換装置を制御する制御回路とを備える誘導加熱装置であって、
前記制御回路は、
いずれかの逆変換装置の前記コイル電流が負から正にゼロクロスするゼロクロス位置が前記矩形波電圧の立ち上がり位置よりも前になったときに、すべての逆変換装置の前記ゼロクロス位置が前記立ち上がり位置よりも遅れるまで、
前記チョッパ回路の出力電圧を下げると共に、各コイル電流の値が、各指令電流値になるように前記矩形波電圧の周波数を固定しつつ、前記チョッパ回路の出力電圧低下前に比べ前記矩形波電圧の幅を広くする
ことを特徴にする誘導加熱装置。 - 近接して配置された複数の誘導加熱コイルと、この誘導加熱コイルの各々に直列接続されたコンデンサと、直流電圧から変換させられた矩形波電圧を各々の前記誘導加熱コイル及び前記コンデンサとの直列回路に印加する複数の逆変換装置と、商用電源を整流、制御して前記複数の逆変換装置に共通の前記直流電圧を印加する順変換回路と直流電源から前記複数の逆変換装置に共通の前記直流電圧を印加するチョッパ回路との何れか一方からなる直流電圧発生回路と、前記矩形波電圧を電圧幅制御する制御回路とを備える誘導加熱装置で実行される誘導加熱方法であって、
前記制御回路は、
いずれかの逆変換装置の前記コイル電流が負から正にゼロクロスするゼロクロス位置が前記矩形波電圧の立ち上がり位置よりも前になったときに、すべての逆変換装置の前記ゼロクロス位置が前記立ち上がり位置よりも遅れるまで、
前記チョッパ回路の出力電圧を下げると共に、各コイル電流の値が、各指令電流値になるように前記矩形波電圧の周波数を固定しつつ、前記チョッパ回路の出力電圧低下前に比べ前記矩形波電圧の幅を広くするように制御することを特徴とする誘導加熱方法。 - 請求項2に記載の誘導加熱方法を前記制御回路のコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
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