JP4859906B2

JP4859906B2 - 導波路構造体

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Description

この発明は、マイクロ波やミリ波の伝送に好適な導波管の構造（導波路構造体）に関するものである。

図１０は、従来の導波管（導波路構造体）の一例を示す断面図である。
図１０に示した従来の導波管は、例えば、略直方体形状をした２つの導電性の部材１０、２０を積層し、導電性の部材１０、２０の表面にそれぞれ形成した溝１０ａ、２０ａを互いに対向させることにより、断面が略矩形状をした中空の導波管３０を形成している。
なお、導波管３０は直線状に形成されており、その管軸の方向は、図１０を示す紙面に直交する方向である。
また、２つの導電性の部材１０と部材２０が対向している面は、中空状の導波管３０の分割面となっている。
このような分割面で分割され、断面が矩形状をした中空の導波管３０は、ダイカストによる製作が可能であり、製造コストを比較的安価に抑えることができる。

導波管３０を分割する方法としては、導波管断面の短辺に平行な分割面により導波管を分割する方法と、導波管断面の長辺に平行な分割面により導波管を分割する方法がある。
分割構造により導波管を形成する場合には、図１０に示すように、導波管断面の短辺に平行な分割面により導波管を分割する方が、伝送性能の低下を抑えることができる。

しかし、図１０に示すような矩形状をした導波管断面の短辺に平行な分割面により導波管の長辺を分割する場合においては、溝深さが溝幅に対して深くなり、成形品での製造が困難になる傾向にある。
ダイカストなどでは、一般的に溝深さが溝幅に対して深くなるほど、溝を形成する壁の先端にまで溶融金属が流れ難くなり、成形精度が悪化するという問題があった。
また、溝深さが溝幅に対して深くなるほど、ダイカストに用いる金型の寿命が短くなり、結果的に製造コストが高くなってしまう問題があった。

なお、特開２００４−４８４８６号公報（特許文献１）には、「Ｈ面あるいはＥ面で分割された２つの桶状の半割部材が接合した構造を有する導波管であって、その長手方向に直交する方向の断面が６角形であることを特徴とする導波管」が示されている。
この特許文献１に示された導波管の構造は、「中空状導波管を２つの部材（即ち、２つの桶状の半割部材）の分割構造で形成している点」が、図１０に示した従来の導波管の構造に類似している。
特開２００４−４８４８６号公報

前述した従来の導波管の問題点に対する対策として、成形性に優れる樹脂部材等に金属メッキを施して、導波管を形成する方法が考えられる。
ところが、構造的な要因や放熱性の確保等の理由により、導波管３０を形成する導電性の部材１０および部材２０の両方に樹脂が使えず、部材の一方を金属として、金属部材と樹脂部材を組合せて、導波管を形成せざるを得ない場合がある。
この場合、部材間の線膨張差に起因して生じる接触摩擦により、金属製の部材１０と金属メッキを施した樹脂製の部材２０を接触して積層した際の接合面において、金属メッキの剥離が発生する。

金属メッキの剥離が発生すると、金属メッキの剥離粉が導波管内で遊動ゴミとなって、伝送性能を低下させたり、あるいは、摩擦による剥離部が起点となって剥離エリアが拡大し、最終的には導波管の壁面剥離を生じさせるなど、導波管としての機能を著しく低下させる問題が発生する。
また、積層部材間（即ち、積層した金属製の部材１０と樹脂製の部材２０）の線膨張差により、「積層部材間の相対位置がずれる」といった問題も発生する。
積層部材間（即ち、金属製の部材１０と樹脂製の部材２０の間）の相対位置がずれると、当然のことながら、導波管の伝送性能（伝播性能）に影響が出る。

ここで、従来の導波管において、金属メッキの剥離が発生する理由について詳しく説明しておく。
図１０に示すように、従来の導波管は、部材１０および部材２０の表面にそれぞれ形成した直線状の溝１０ａおよび溝２０ａが互いに対向するように、部材１０と部材２０とを接触させて積層することによって、中空の導波管３０を構成したものである。
図１０に示す導波管構成において、異なる材質の部材１０と部材２０を接触させて積層し、中空の導波管３０を構成した場合、各々の部材の線膨張差により、各部材が接触する個所で接触摩擦が発生する。

図１０のような従来の導波管構成では、金属製の部材１０と、表面に金属メッキを施した樹脂製の部材２０とが直接接触するため、実使用環境における温度変動に伴って、部材間の線膨張差に起因する接触摩擦が接触部分に発生し、樹脂製の部材２０の表面に施した金属メッキが剥離し、剥離粉が発生するという問題がある。
図１０において、部材１０は、例えば、ＳＵＳ(ステンレス)やＡＬ(アルミニウム)などの金属部材で形成され、部材２０は、ＡＢＳ(アクリロニトリルブタジエンスチレン)やＰＥＩ（ポリエーテルイミド）などの樹脂部材の表面にニッケル等の金属メッキを施したもので形成される。

前述したように、材質の異なる部材１０と部材２０を積層した導波管３０においては、部材１０と部材２０の線膨張係数の違いから、環境温度が変動した場合、互いの膨張収縮量が異なる。
例えば、部材１０を線膨張係数１．７ｘ１０^−５のＳＵＳ、部材２０を線膨張係数８．５ｘ１０^−５のＡＢＳとした場合、温度が５０℃変化すると、基線長５０mm当たり膨張収縮量が０．１７ｍｍ異なることとなり、その変形量の差に起因して摩擦が発生する。
この接触摩擦によって、従来の導波管では金属メッキの剥離が発生する。
また、図１０に示すように、導波管長辺の中央で分割すると（即ち、溝１０ａと溝２０ａの深さを同一にすると）、いずれの溝も、溝幅に対して溝深さが深くなり、ダイカストによる金属製部材の成形が困難になる場合がある。
従って、製品歩留まりが悪くなり、金型の寿命も低下する。
この問題に対しては、金属製部材の表面に形成する溝の深さを樹脂製の部材に形成する溝よりも浅くするこが望まれる。

この発明は、上述したような問題点を解決するためになされたものであり、２つの導電性部材を積層し、各導電性部材の表面にそれぞれ形成した溝を対向させることにより断面が略矩形状をした中空状の導波管を形成する導波路構造体において、２つの導電性部材の接合部で接触摩擦による金属メッキの剥離が発生するの防止でき、剥離粉による品質劣化（伝送性能の劣化）を抑制できる導波路構造体を提供することを目的とする。
また、ダイカストにより金属製部材の表面に溝を歩留まり良く形成でき、金型の寿命の低下を抑制できる導波路構造体を提供することを目的とする。
さらに、２つの導電性部材の線膨張差により導電性部材間の位置ずれも防止できる導波
路構造体を提供することを目的とする。

本発明に係る導波路構造体は直線状の第１の溝が表面に形成された金属製の第１の部材と、直線状の第２の溝が表面に形成され、且つ、金属メッキが施されている樹脂製の第２の部材とを備え、上記第１の溝と上記第２の溝とが対向するように上記第１の部材と上記第２の部材を配置することにより導波管となる導波路を構成する導波路構造体であって、上記第１の溝が形成された上記第１の部材の表面と上記第２の溝が形成された上記第２の部材の表面が所定の隙間を有して保持されており、上記第１の溝の深さは、上記第２の溝の深さより浅いことを特徴とする。

本発明によれば、放熱性のよい金属製の第１の部材と成形性に優れた樹脂部材に金属メッキを施した第２の部材を組合せることによって、第１の部材と第２の部材の両方を樹脂部材とした場合に比べて、放熱性が改善される。
さらに、対向する第１の部材と第２の部材の表面を所定の隙間を有して保持するように固定しているので、第１の部材と第２の部材の接触摩擦による金属メッキの剥離を防止できる。
また、第１の溝の深さは、第２の溝の深さより浅くしているので、ダイカストによって金属製の第１の部材の表面に第１の溝を形成する際の歩留まりは高くなる共に、金型の寿命低下も抑制され、低価格な導波管を製造することができる。

以下、図面に基づいて、本発明の一実施の形態例について説明する。
なお、各図間において、同一符号は、同一あるいは相当のものであることを表す。
実施の形態１．
図１は、実施の形態１による導波路構造体（導波管）を説明するための図であり、図１（ａ）は管軸と直交する面での断面図、図１（ｂ）は導波路構造体の立体的な構造を示す斜視図である。
本実施の形態では、図１０に示した従来の導波管と同様に、導電性を有する金属製の部材１０の表面には直線状の溝１０ａ（以下、第１の溝とも称す）が形成されており、金属メッキが施されて導電性を有する樹脂製の部材２０の表面には直線状の溝２０ａ（以下、第２の溝とも称す）が形成されている。

そして、金属製の部材１０および樹脂製の部材２０の表面にそれぞれ形成した直線状の溝１０ａと溝２０ａを対向させることにより、管軸に直交する面に平行な断面が略矩形状をした中空の導波管３０を形成している。
また、５０は、金属製の部材１０と樹脂製の部材２０が対向している面であって、中空の導波管３０の分割面となっている。
なお、導波管３０の管軸の方向は、図１（ａ）を示す紙面と直交する方向である。
このような、分割面５０で分割され、断面が矩形形状をした中空の導波管３０は、ダイカストによる製作が可能であり、製造コストを比較的安価に抑えることができる。

本実施の形態による導波路構造体（導波管）は、「金属製の部材１０と樹脂製の部材２０間の線膨張差に起因する接触摩擦が接触部分に発生し、樹脂製の部材２０の表面に施した金属メッキが剥離し、発生した金属メッキの剥離粉によって導波管の伝播性能（伝送性能）が劣化する」という問題を解決するために、図１（ａ）に示すように、導波管分割部分に意図的に隙間４０を設けている。
図２は、本発明による導波路構造体を説明するための斜視図であり、図２（ａ）は金属製の部材１０の表面に形成された複数の溝１０ａを、図２（ｂ）は樹脂製の部材２０の表面に形成された複数の溝２０ａを示している。
本実施の形態による導波路構造体は、これらの複数の（図２では４つの）溝１０ａと溝２０ａを対向して配置することにより構成される複数の中空の導波管３０が隣接して配置されている。

図１は、これら複数の導波管のうちの１つの導波管の断面および導波路構造体の立体的な構造を示す図であり、以下、図１を用いて本実施の形態による導波路構造体（即ち、導波管）を詳細に説明する。
図１において、部材１０、部材２０は、それぞれ積層によって導波路を形成する導電性部材である。
なお、部材１０は金属製の導電性部材（以下、第１の部材とも称す）、部材２０は表面に金属メッキが施された樹脂製の導電性部材（以下、第２の部材とも称す）である。

本実施の形態では、第１の部材１０および第２の部材２０の表面に形成した直線状の溝１０ａ、溝２０ａを対向させるように、第１の部材１０と第２の部材２０を積層することによって、中空の導波管３０を構成する。
４０は、第１の部材１０と第２の部材２０を積層する際に、意図的に空けられた隙間であり、５０は、隙間４０によって分割された導波管３０の分割面である。
図１において、溝２０ａを設けた第２の部材２０は、成形性の良い樹脂等で形成され、表面には金属メッキが施されている。
また、金属製の第１の部材１０の表面には溝１０ａが形成されている。

図１に示す断面が略矩形状の導波管３０は、矩形状断面の短辺に平行な分割面５０で分割されているものである。
導波管３０は、溝１０ａおよび溝２０ａの幅方向に平行な偏波面を有する電波が、第１の部材１０および第２の部材２０と直交する方向に伝播するように形成されている。
また、この導波管３０を伝播する電波の管内波長は、導波管断面の長辺（長さを“ａ”で示す）である溝１０ａと溝２０ａの深さ寸法と、意図的に空けられた隙間４０の隙間量の総和で決まる。
なお、図１（ａ）において、“ｂ”は、溝１０ａおよび溝２０ａの幅である。

次に、溝１０ａと溝２０ａの間に隙間４０がある場合においても、所望の導波管性能が得られる原理を説明する。
図３は、導波管の側壁(広壁面)の電流ベクトル分布を示す図であり、図３（ａ）は導波管の断面、図３（ｂ）は導波管の側壁(広壁面)を示している。
図３において、１００は、導波管の側壁(広壁面)における電流ベクトルを示す。
図３に示すように、導波管断面の長辺の中点位置を流れる電流ベクトルは、いずれも管軸方向に対して平行に分布しており、管軸方向に直交する電流ベクトルは分布しない。
従って、導波管断面の長辺寸法“ａ”に対して、中点の位置を通るように導波管を分割すれば、分割によって側壁を流れる電流の流れを分断することはない。
また、管軸方向に対して平行な電流ベクトルは、導波管の長辺方向にある程度の幅を持って分布しているため、分割による隙間量をある程度許容できることがわかる。

次に、意図的に設けられた隙間４０の影響を定量的に解析した結果を説明する。
図４は、「分割面」の位置と、意図的に空けられた隙間幅による「導波管の通過損失」を解析した結果である。
ここでは、導波管３０の一端の断面からもう一端の断面までの通過損失を解析した。
解析対象は、図１に示すような、意図的に空けられた隙間４０を含む導波管３０の断面形状が管軸方向に６mm延びた形状とする。
即ち、図１（ｂ）において、断面Ａと断面Ｂの間の距離“ｌ”が６ｍｍである場合を、解析対象とする。
解析条件としては、伝播周波数を７６．５ＧＨｚ、導波管３０の短辺長さ“b”を１．
２７mm、導波管３０長辺長さ“ａ”を３．５mmで一定とし、意図的に設けられた隙間４０の位置と幅を変化させた。

図４において、横軸は、導波管長辺長さ“ａ”に対する分割面５０の位置（即ち、導波管３０の下側の短辺から分割面５０までの距離“ｃ”）を比率［％］で表したものである。即ち、図４の横軸である分割面の位置［％］は、“ｃ／ａ”である。（“ａ”および“ｃ”については、図１（ｂ）を参照）
また、図４の縦軸は、導波管３０の通過損失[ｄＢ]である。
なお、図４は、隙間４０を、０．１ｍｍ、０．２ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４ｍｍおよび０．５ｍｍとした場合を示している。

解析に際しては、図４に示すように、分割面５０の位置を３５〜６５％の間で変化させ、隙間４０を０．１ｍｍから０．５ｍｍまで変化させた。（但し、分割面５０は隙間４０の中央を通るものとする。）
図４より、分割面５０の位置を導波管長辺の５０％付近とすれば、隙間４０を０．５ｍｍとしても、通過損失が小さいことが分かる。なお、隙間による通過損失が小さい分割面を理想分割面と呼ぶ。
しかし、理想分割面の位置が導波管長辺の５０％となるのは、対向する溝１０ａおよび溝２０ａの断面形状が対称形状を有している場合のみである。
導波管の断面形状が溝深さ方向に対して対称形状になっていない場合は、理想分割面が導波管長辺の５０％の位置（即ち、導波管長辺の中央の位置）からずれるため、導波管の分割面をオフセットさせる必要がある。
また、溝１０ａ、溝２０ａを形成する導電体の導電率が異なる場合は、溝の形状が対称であっても理想分割面がオフセットする。

本実施の形態においては、図１に示すように、対向する溝１０ａ、溝２０ａを意図的に非対称形状とし、導電率も異ならせて、理想分割面を導波管長辺の位置の５０％からオフセットさせた。
本実施の形態のように、溝形状を分割面に対して非対称として、理想分割面をオフセットさせることで、ダイカスト金型の寿命を考慮した形である「溝幅に対して溝深さが浅い溝１０ａ」が形成できる。（例えば、溝深さに対して溝幅がほぼ１対1の溝１０ａ）
導波管を構成するもう一方の溝２０ａは、樹脂成形や切削などを考慮した形状であり、溝深さを溝幅に対して大きくしたものである。

以上説明したように、本実施の形態による導波路構造体は、直線状の第１の溝１０ａが表面に形成された金属製の第１の部材１０と、直線状の第２の溝２０ａが表面に形成され、且つ、金属メッキが施されている樹脂製の第２の部材２０とを備え、第１の溝１０ａと第２溝２０ａとが対向するように第１の部材１０と第２の部材２０を配置することにより導波管となる導波路を構成する導波路構造体であって、第１の溝１０ａが形成された第１の部材１０の表面と第２の溝２０ａが形成された第２の部材２０の表面が所定の隙間４０を有して保持されている。
従って、本実施の形態によれば、放熱性のよい金属製の第１の部材と成形性に優れた樹脂部材に金属メッキを施した第２の部材を組合せることにより、第１の部材と第２の部材の両方を樹脂部材とした場合に比べて、放熱性が改善される。
さらに、対向する第１の部材と第２の部材の表面を所定の隙間を有して保持するように固定しているので、第１の部材と第２の部材の接触摩擦による金属メッキの剥離を防止できる。

また、本実施の形態による導波路構造体における第１の溝１０ａの深さは、第２の溝２０ａの深さより浅くしている。
従って、ダイカストによって金属製の第１の部材の表面に第１の溝１０ａを形成する際の歩留まりは高くなり、金型の寿命低下も抑制されので、低価格な導波管を製造すること
ができる。

実施の形態２．
図５〜図７は、実施の形態２による導波路構造体の特徴的な構造を説明するための図であり、第１の部材１０の表面に形成される第１の溝１０ａと第２の部材２０の表面に形成される第２の溝２０ａを、所定の隙間量保持して固定する方法を示したものである。
例えば、図５または図６に示すように、導波管３０を構成する第１の溝１０ａおよび第２の溝２０ａから十分離れた位置に、第１の部材１０と第２の部材２０が互いに接触する突起部を設ける。

突起部の形態としては、図５に示すように、第１の部材１０および第２の部材２０の双方からそれぞれ突起した突起６１、突起６２を設ける方法であってもよく、また、図６に示すように、第１の部材１０、第２の部材２０のどちらか一方の部材にだけ突起を設ける方法のいずれでも構わない。なお、図６は、第１の部材１０のみに突起６１を設ける場合を示している。
図５において、１０１は、突起６１と突起６２が接触する接触面である。
また、図６において、１０１は、第１の部材１０のみに設けた突起６１と第２の部材２０が接触する接触面である。
図５および図６で示す突起部の高さは、製作する導波管の分割位置が理想分割面から離れるほど、小さく設定する必要がある。
隙間４０の大きさ（隙間の量）は、突起部の高さにより決定される。

第１の溝１０ａと第２の溝２０ａを所定の隙間量だけ保持して固定する他の方法としては、例えば図７に示すように、第１の部材１０と第２の部材２０の間にスペーサ１０２（黒く塗り潰した部分で表示）を挟んで、第１の溝１０ａと第２の溝２０ａを所定の隙間量で保持しても良い。
なお、図７において、１０１は、スペーサ１０２が第１の部材１０あるいは第２の部材２０と接触する接触面である。
隙間４０の大きさ（隙間の量）は、スペーサ１０２の厚みにより決定される。
図５〜図７に示したいずれの方法においても、第２の部材２０は、突起部を介して第１の部材１０と接触する部分あるいはスペーサ１０２と接触する部分には金属メッキを施さないようにしている。
こうすることで、第１の部材１０との接触摩擦で、第２の部材２０のメッキが剥離することを防止する。

以上説明したように、本実施の形態による導波路構造体においては、隙間４０は、第１の部材１０あるいは第２の部材２０の少なくとも一方の部材に設けた突起部で形成されている。
従って、第１の部材の表面と第２の部材の表面を所定の隙間量（即ち、突起部の高さにより決まる隙間量）だけ保持して固定できるので、第１の部材と第２の部材の接触摩擦による第２の表面に施した金属メッキの剥離を防止できる。
また、本実施の形態による導波路構造体においては、第２の部材２０は、上記突起部と接触する部分には金属メッキをしない。
従って、突起部と第２の部材の表面に施した金属メッキとの摩擦をなくせ、金属メッキの剥離を防止できる。
また、本実施の形態による導波路構造体においては、隙間４０は、第１の部材１０と第２の部材２０の間に挟んだスペーサ１０２によって形成されるとともに、第２の部材２０のスペーサ１０２と接触する部分には金属メッキをしない。
従って、スペーサと第２の部材の接触摩擦による金属メッキの剥離を防止できる。

実施の形態３．
図８は、実施の形態３による導波路構造体の構造を説明するための断面図である。
本実施の形態による導波路構造体は、図８に示すように、使用周波数における自由空間中の伝播波長の１／４の厚さの管壁で構成した導波管を管軸方向で平行に複数本配置したものである。
前述した実施の形態1においては、隙間４０からの電磁波の漏れが殆ど発生しない導波
管の理想分割面がある場合について説明した。
しかし、分割面が導波管の管軸に直交するような導波管では、理想分割面は存在しない。
理想分割面が存在しない場合の対策を、以下に説明する。
本実施の形態では、隣接する導波管（例えば、導波管３０と導波管３１）の間の管壁の厚さ“ｔ”を自由空間中の伝播波長の約１/４となるように、各導波管を配置した。

図８に示すように導波管を管軸方向で平行に隣接し、その管壁の厚さ“ｔ”を自由空間中の伝播波長の約１／４となるようにすることによって、導波管３０の側端部Ｓが短絡点となり、導波管３０から見た隣接導波管３１の側端部Kが開放点（インピーダンス最大）
となる。
従って、管壁部の隙間４０を通って隣接する導波管に漏れる電磁波を最小限に抑えることができる。
図８に示したように、隣接する導波管の間の管壁の厚さ“ｔ”を自由空間中の伝播波長の約１／４として、複数の導波管を平行に配置すれば、隣接する導波管からの電磁波の漏れによる性能低下を最小限に抑えられ、良好な個々の導波管特性が得られるばかりでなく、他の導波管とのアイソレーション特性の良い導波管構造体が得られる。

実施の形態４．
図９は、実施の形態４による導波路構造体を説明するための図であり、図９（ａ）は上面図、図９（ｂ）は断面図である。
図９に示すように、本実施の形態による導波管は、材質が異なる複数の部材のうち、一つの部材（例えば、樹脂製の第２の部材２０）の中心を通り互いに直交する軸２００上の３箇所に、位置決めピン７０を設け、もう一方の部材（例えば、金属製の第１の部材１０）に位置決めピン７０に対応する長穴８０を設けたものである。
これによって、部材１０の表面に形成された溝１０ａと部材２０の表面に形成された溝２０ａが、それぞれの溝の長手方向（管軸方向）および長手方向と直交する方向において、正確に対向するように位置決めを行うことができる。

実施の形態1でも説明したように、線膨張係数の異なる部材を積層した場合、温度変動
により、各部材の膨張収縮量が異なる。
図９は、これら膨張収縮量の異なる部材を積層する構造体において、温度変化による位置ずれの発生を抑制する位置決め構造を示したものである。
図９に示した部材中心点“C”は、最も電磁界が集中し、性能への影響度も高い個所で
ある。
従って、位置決め構造は、C点を基点として固定するものとした。
図９では、樹脂部材（第２の部材）２０に位置決めピン７０を設け、金属部材（第１の部材）１０に位置決めピン７０が嵌号する長穴８０を設けたが、逆であっても構わない。
位置決めピン７０は、樹脂部材２０と一体成形してもよく、位置決めピン７０のみを別部材で構成しても良い。
また、実施の形態２で示した突起部に位置決めピン７０の機能をはたす構造を付加しても構わない。
また、実施の形態２で示したスペーサ１０２に位置決め構造を付加しても良い。

本発明は、接触摩擦による金属メッキの剥離を防止できるとともに、ダイカストにより歩留まりよく生産できる分割構造の導波路構造体の実現に有用である。

実施の形態１による導波路構造体（導波管）を説明するための図である。実施の形態１による導波路構造体を説明するための斜視図である。導波管の側壁(広壁面)の電流ベクトル分布を示す図である。導波管の通過損失を解析した結果を示す図である。実施の形態２による導波路構造体の一例を説明するための図である。実施の形態２による導波路構造体の一例を説明するための図である。実施の形態２による導波路構造体の一例を説明するための図である。実施の形態３による導波路構造体の構造を説明するための図である。実施の形態４による導波路構造体の構造を説明するための図である。従来の導波管（導波路構造体）を示す図である。

符号の説明

１０第１の部材１０ａ第１の溝
２０第２の部材２０ａ第２の溝
３０、３１導波管４０隙間
５０分割面６１、６２突起部
７０位置決めピン８０位置決めピン用の長穴
１００電流ベクトル１０１接触面
１０２スペーサ２００部材平面の中心軸（直交する軸）

Claims

直線状の第１の溝が表面に形成された金属製の第１の部材と、直線状の第２の溝が表面に形成され、且つ、金属メッキが施されている樹脂製の第２の部材とを備え、上記第１の溝と上記第２の溝とが対向するように上記第１の部材と上記第２の部材を配置することにより導波管となる導波路を構成する導波路構造体であって、
上記第１の溝が形成された上記第１の部材の表面と上記第２の溝が形成された上記第２の部材の表面が所定の隙間を有して保持されており、上記第１の溝の深さは、上記第２の溝の深さより浅いことを特徴とする導波路構造体。
上記隙間は、上記第１の部材あるいは上記第２の部材の少なくとも一方の部材に設けた突起部で形成されることを特徴とする請求項１に記載の導波路構造体。
上記隙間は、上記第１の部材と上記第２の部材の間に挟んだスペーサによって形成されるともに、上記第２の部材の上記スペーサと接触する部分には金属メッキをしないことを特徴とする請求項１に記載の導波路構造体。
上記導波路は、自由空間中の伝播波長の１／４の厚さの管壁を有して平行に複数本配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の導波路構造体。