JP4857751B2 - 硬質被覆層が高速切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する穴なし表面被覆サーメット製切削スローアウエイチップの表面研磨方法 - Google Patents
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(a−1)下部層として、炭化チタン(以下、TiCで示す)層、窒化チタン(以下、同じくTiNで示す)層、炭窒化チタン(以下、TiCNで示す)層、炭酸化チタン(以下、TiCOで示す)層、および炭窒酸化チタン(以下、TiCNOで示す)層のうちの1層または2層以上からなり、かつ3〜20μmの全体平均層厚を有するTi化合物層、
(a−2)上部層として、1〜15μmの平均層厚を有し、かつ化学蒸着した状態で酸化アルミニウム(以下、Al 2 O 3 で示す)と酸化ジルコニウム(以下、ZrO 2 で示す)の2相混合酸化物組織を有する2相混合酸化物層(以下、Al2O3−ZrO2層で示す)、
以上(a−1)および(a−2)で構成された硬質被覆層を蒸着形成してなる被覆切削チップが知られており、また、上記被覆切削チップが、図5に概略斜視図で示されるとおり、工具本体、例えばシャンク部の先端部にシートを介して載置され、チップ上面にクランプ駒の先端部を当接させ、前記クランプ駒後部に設けたクランプねじの締め込みにより交換自在に挟み締め固定した状態で、例えば各種の鋼や鋳鉄などの連続切削や断続切削に用いられることは良く知られている。
(イ)反応ガス組成(体積%)
AlCl3: 1〜10 %、
ZrCl4: 0.01〜10 %、
CO2 : 1〜30 %、
HCl: 1〜30 %、
H2S: 0.01〜1 %、
H2:残り、
(ロ)反応雰囲気温度 : 900〜1050 ℃、
(ハ)反応雰囲気圧力 : 4〜70 kPa(30〜525 torr)。
さらに、被覆切削チップの硬質被覆層を構成する上部層の表面を、切削性能を向上させる目的でウエットブラスト処理して、平滑化することも知られている。
(a)上記の従来被覆切削チップにおける硬質被覆層の上部層を構成するAl2O3−ZrO2層の表面に、ウエットブラストにて、噴射研磨材として、水との合量に占める割合で15〜60質量%のAl2O3微粒を配合した研磨液を噴射して、研磨すると、前記Al2O3−ZrO2層は、準拠規格JIS・B0601−1994に基いた測定(以下の表面粗さは全てかかる準拠規格に基いた測定値を示す)で、Ra:0.3〜0.6μmの表面粗さを示すようになるが、この結果の前記Al2O3−ZrO2層の表面を、ウエットブラストにてRa:0.3〜0.6μmの表面粗さに平滑化した被覆切削チップを用いても、切削速度が350m/min.を越えた高速切削加工では切刃部におけるチッピング発生を満足に抑制することはできないこと。
(b−1)まず、下側層として、反応ガス組成を、体積%で、
TiCl4:0.2〜10%、
CO2 :0.1〜10%、
Ar :5〜60%、
H2 :残り、
とし、かつ、
反応雰囲気温度:800〜1100℃、
反応雰囲気圧力:4〜70kPa(30〜525torr)、
とした条件で、0.1〜3μmの平均層厚を有し、かつ、オージェ分光分析装置で測定して、Tiに対する酸素の割合が原子比で1.25〜1.90、即ち、
組成式:TiOW 、
で表わした場合、
W:原子比で1.25〜1.90、
を満足する酸化チタン層を形成し、
(b−2)ついで、上記酸化チタン層(下側層)の上に、上側層として、通常の条件、即ち、反応ガス組成を、体積%で、
TiCl4:0.2〜10%、
N2 :4〜60%、
H2 :残り、
とし、かつ、
反応雰囲気温度:800〜1100℃、
反応雰囲気圧力:4〜90kPa(30〜675torr)、
とした条件で、0.05〜2μmの平均層厚を有するTiN層を形成すると、
(b−3)上記TiN層(上側層)形成時に、上記下側層を構成する酸化チタン層の酸素が拡散してきて前記上側層(TiN層)が、窒酸化チタン層で構成されるようになるが、この場合上記上側層(前記窒酸化チタン層)形成後の上記下側層である酸化チタン層は、厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置で測定して、酸素の割合がTiに対する原子比で1.2〜1.7、即ち、
組成式:TiOX 、
で表わした場合、
X:原子比で1.2〜1.7、
を満足する酸化チタン層となり、
(b−4)また、上記窒酸化チタン層で構成された上側層は、同じく厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置で測定して、拡散酸素の割合が窒素(N)に対する原子比で0.01〜0.4、即ち、
組成式:TiN1−Y(O)Y、
で表わした場合(ただし、(O)は上側層の蒸着形成時における上記下側層である酸化チタン層からの拡散酸素を示す)、
Y:原子比で0.01〜0.4、
を満足する窒酸化チタン層となること。
上記(a)におけると同じくウエットブラストにて、噴射研磨材として、水との合量に占める割合で15〜60質量%のAl2O3微粒を配合した研磨液を噴射すると、前記窒酸化チタン層および酸化チタン層は、前記Al2O3微粒によって粉砕微粒化し、窒酸化チタン微粒および酸化チタン微粒となって前記Al2O3微粒の共存下で研磨材として作用し、硬質被覆層の上部層を構成するAl2O3−ZrO2層の表面を研磨することになり、この結果研磨後の前記Al2O3−ZrO2層の表面は、Ra:0.2μm以下の表面粗さにまで平滑化されるようになり、この上部層であるAl2O3−ZrO2層の表面がRa:0.2μm以下の表面粗さに平滑化した被覆切削チップを用いて、高速切削加工を行った場合、350m/min.を越える切削速度でも切刃部におけるチッピング発生が防止され、前記硬質被覆層は長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するようになること。
以上(a)〜(d)に示される研究結果を得たのである。
(a−1)下部層として、TiC層、TiN層、TiCN層、TiCO層、およびTiCNO層のうちの1層または2層以上からなり、かつ3〜20μmの全体平均層厚を有するTi化合物層、
(a−2)上部層として、1〜15μmの平均層厚を有し、化学蒸着した状態でAl2O3とZrO2の2相混合酸化物組織を有し、かつ、前記ZrO2は、Zrの含有割合に換算して、層中に含有するAlとZrの合量に占める割合(原子比)で0.01〜0.20であるAl2O3−ZrO2層、
以上(a−1)および(a−2)で構成された硬質被覆層を化学蒸着形成してなり、かつ、工具本体にクランプ駒による挟み締めにより交換自在に取り付けられる被覆切削チップの表面研磨方法にして、
(1)上記硬質被覆層の上部層であるAl2O3−ZrO2層の全面に、
(b−1)下側層として、0.1〜3μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:TiOX 、
で表わした場合、厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置で測定して、
X:原子比で1.2〜1.7、
を満足する酸化チタン層、
(b−2)上側層として、0.05〜2μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:TiN1−Y(O)Y、
で表わした場合(ただし、(O)は上側層の蒸着形成時における上記下側層である酸化チタン層からの拡散酸素を示す)、同じく厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置で測定して、同じく原子比で、
Y:原子比で0.01〜0.4、
を満足する窒酸化チタン層、
以上(b−1)および(b−2)で構成された研磨材層を化学蒸着形成し、
(2)ついで、ウエットブラストにて、噴射研磨材として、水との合量に占める割合で15〜60質量%のAl2O3微粒を配合した研磨液を噴射し、
上記の研磨材層が噴射研磨材であるAl 2 O 3 微粒の噴射により粉砕微粒化してなる粉砕化酸化チタン微粒(下側層)および粉砕化窒酸化チタン微粒(上側層)と、噴射研磨材としてのAl2O3微粒の共存下で、上記クランプ駒当接部周辺部の研磨材層を残して、上記硬質被覆層の上部層を構成するAl2O3−ZrO2層の表面を研磨して、前記Al 2 O 3 −ZrO 2 層の切刃稜線部を含むすくい面および逃げ面の表面粗さを準拠規格JIS・B0601−1994に基いた測定で、Ra:0.2μm以下としてなる、硬質被覆層が高速切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する被覆切削チップの表面研磨方法に特徴を有するものである。
(a)硬質被覆層
(a−1)下部層のTi化合物層
Ti化合物層は、Al 2 O 3 −ZrO 2 層の下部層として存在し、自身の具備するすぐれた高温強度によって硬質被覆層の高温強度向上に寄与するほか、チップ基体とAl 2 O 3 −ZrO 2 層のいずれにも強固に密着し、よって硬質被覆層のチップ基体に対する密着性を向上させる作用を有するが、その全体平均層厚が3μm未満では、前記作用を十分に発揮させることができず、一方その全体平均層厚が20μmを越えると、特に高熱発生を伴なう高速切削では熱塑性変形を起し易くなり、これが偏摩耗の原因となることから、その全体平均層厚を3〜20μmと定めた。
Al2O3−ZrO2層からなる上部層は、そのAl成分によって、すぐれた高温硬さと耐熱性を、また、そのZr成分によって、すぐれた高温強度を備え、被覆切削チップの切削性能(耐チッピング性、耐摩耗性)向上に寄与するが、Al2O3−ZrO2層におけるZrO 2 の含有割合は、Zrの含有割合に換算して、層中に含有するAlとZrの合量に占める割合(=Zr/(Al+Zr))で、0.01〜0.20但し、原子比)の範囲内のものとする。Al2O3−ZrO2層におけるZrO 2 の含有割合を示すこの値が0.01未満であると、上部層の高温強度の向上の効果が少なく、一方、この値が0.20を超えると、上部層におけるAl 2 O 3 量の相対的な減少により高温硬さ、耐熱性の低下が生じ、その結果として耐摩耗性劣化の傾向がみられるので、Al2O3−ZrO2層におけるZrO2の含有割合(原子比で換算したZr/(Al+Zr)の値)を、上記のとおり、0.01〜0.20の範囲内の値とする。
また、その平均層厚が1μm未満では、所望のすぐれた切削性能を長期に亘って発揮させることができず、一方その平均層厚が15μmを越えて厚くなりすぎると、チッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を1〜15μmと定めた。
上側層を構成する窒酸化チタン層は、上記の通り、まず、酸素の割合をNに対する原子比で1.25〜1.90(W値)とした酸化チタン層を形成し、ついで、前記酸化チタン層の上に通常の条件でTiN層を蒸着することにより形成されるものであり、したがって前記TiN層形成時における前記酸化チタン層からの酸素の拡散が不可欠となるが、前記酸化チタン層のW値が1.25未満であると、前記TiN層への酸素の拡散反応が急激に低下し、上側層における拡散酸素の割合(Y値)を原子比で0.01以上にすることができず、一方同W値が1.90を越えると、前記上側層における拡散酸素の割合(Y値)が原子比で0.40を越えて多くなってしまうことから、W値を1.25〜1.90と定めたものであり、この場合上側層形成後の下側層(酸化チタン層)における酸素の割合(X値)は原子比で1.2〜1.7の範囲内の値をとるようになる、言い換えれば上側層形成後の下側層のX値が1.2〜1.7を満足する場合に、前記上側層のY値は0.01〜0.40を満足するものとなる。
また、この場合、下側層のX値および上側層のY値をそれぞれ1.2〜1.7および0.01〜0.40と定めたのは、前記X値およびY値が前記の値をとった場合に、これら研磨材層のウエットブラスト時における粉砕微粒化が好適な状態で行なわれ、すぐれた研磨機能を十分に発揮することが多くの試験結果から得られ、これらの試験結果に基いて定めたものである。したがって、前記X値およびY値がそれぞれ1.2〜1.7および0.01〜0.40の範囲から外れると、前記研磨材層のウエットブラスト時における粉砕微粒化が満足に行なわれず、すぐれた研磨機能を期待することができない。
さらに、上側層および下側層の平均層厚を、それぞれ0.05〜2μmおよび0.1〜3μmとしたのは、その平均層厚が0.05μm未満および0.1μm未満では、ウエットブラスト時における下側層の粉砕化酸化チタン微粒、上側層の粉砕化窒酸化チタン微粒の割合が少な過ぎて、研磨機能を十分に発揮することができず、一方、その平均層厚がそれぞれ2μmおよび3μmを越えても、研磨機能が急激に低下するようになり、いずれの場合もAl2O3−ZrO2層の表面をRa:0.2μm以下の表面粗さに研磨することができなくなるという理由にもとづくものである。
また、平均層厚に関して、上記上側層と下側層の合計平均層厚を0.1μm以上としたのは、0.1μm未満ではクランプ駒当接面部分の研磨材層による挟み締め力緩衝効果および防震効果を十分に発揮することができないという理由によるものである。
研磨液のAl2O3微粒には、ウエットブラスト時に研磨材層を構成する下側層の粉砕化酸化チタン微粒および上側層の粉砕化窒酸化チタン微粒と共存した状態で、Al2O3−ZrO2層の表面を研磨する作用があるが、その割合が水との合量に占める割合で15質量%未満でも、また60質量%を越えても研磨機能が急激に低下するようになることから、その割合を15〜60質量%と定めた。
まず、表3(表3中のl−TiCNは特開平6−8010号公報に記載される縦長成長結晶組織をもつTiCN層の形成条件を示すものであり、これ以外は通常の粒状結晶組織の形成条件を示すものである)、および表4に示される条件にて、表7に示される目標層厚のTi化合物層およびAl2O3−ZrO2層を硬質被覆層の下部層および上部層として蒸着形成し(図4参照)、
ついで、研磨材層の下側層形成用酸化チタン層[TiOW(1)〜(6)のいずれか]を表5に示される条件で形成した後、上側層形成用窒化チタン層(TiN層)を同じく表3に示される条件で、表7に示される目標層厚で蒸着形成して、表7に示される組成、すなわち厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置で測定して、それぞれ表7に示されるX値およびY値の下側層および上側層からなる研磨材層を形成し(図2参照)、
引き続いて、上記の下側層および上側層からなる研磨材層形成の被覆切削チップに、表6に示されるブラスト条件で、かつ表7に示される組み合わせでウエットブラストを施して、クランプ駒当接部周辺部に研磨材層を存在させた状態で、前記Al2O3−ZrO2層からなる上部層の切刃稜線部を含むすくい面および逃げ面を、同じく表7に示される表面粗さに研磨することにより本発明被覆切削チップ1〜13をそれぞれ製造した(図1参照)。
この結果得られた従来被覆切削チップ1〜13の硬質被覆層を構成するAl2O3−ZrO2層のウエットブラスト後の表面粗さを表8に示した。
被削材:JIS・FC300の丸棒、
切削速度: 450 m/min、
切り込み: 2.0 mm、
送り: 0.3 mm/rev、
切削時間: 17 分、
の条件(切削条件Aという)での普通鋳鉄の乾式連続高速切削試験(通常の切削速度は250m/min)、
被削材:JIS・S45Cの長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度: 400 m/min、
切り込み: 1.5 mm、
送り: 0.35 mm/rev、
切削時間: 12 分、
の条件(切削条件Bという)での炭素鋼の乾式断続高速切削試験(通常の切削速度は200m/min)、さらに、
被削材:JIS・SCM440の丸棒、
切削速度: 380 m/min、
切り込み: 1.5 mm、
送り: 0.4 mm/rev、
切削時間: 10 分、
の条件(切削条件Cという)での合金鋼の乾式連続高速切削試験(通常の切削速度は200m/min)を行い、いずれの切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表9に示した。
Claims (1)
- 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成されチップ基体の切刃稜線部を含むすくい面および逃げ面の全面に、
(a−1)下部層として、炭化チタン層、窒化チタン層、炭窒化チタン層、炭酸化チタン層、および炭窒酸化チタン層のうちの1層または2層以上からなり、かつ3〜20μmの全体平均層厚を有するTi化合物層、
(a−2)上部層として、1〜15μmの平均層厚を有し、化学蒸着した状態で酸化アルミニウムと酸化ジルコニウムの2相混合酸化物組織を有し、かつ、前記酸化ジルコニウムは、Zrの含有割合に換算して、層中に含有するAlとZrの合量に占める割合(原子比)で0.01〜0.20である、酸化アルミニウムと酸化ジルコニウムの2相混合酸化物層、
以上(a−1)および(a−2)で構成された硬質被覆層を化学蒸着形成してなり、かつ、工具本体にクランプ駒による挟み締めにより交換自在に取り付けられる穴なし表面被覆サーメット製切削スローアウエイチップの表面研磨方法にして、
(1)上記硬質被覆層の上部層である酸化アルミニウムと酸化ジルコニウムの2相混合酸化物層の全面に、
(b−1)下側層として、0.1〜3μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:TiOX 、
で表わした場合、厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置で測定して、原子比で、
X:1.2〜1.7、
を満足する酸化チタン層、
(b−2)上側層として、0.05〜2μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:TiN1−Y(O)Y、
で表わした場合(ただし、(O)は上側層の蒸着形成時における上記下側層である酸化チタン層からの拡散酸素を示す)、同じく厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置で測定して、同じく原子比で、
Y:0.01〜0.4、
を満足する窒酸化チタン層、
以上(b−1)および(b−2)で構成された研磨材層を化学蒸着形成し、
(2)ついで、ウエットブラストにて、噴射研磨材として、水との合量に占める割合で15〜60質量%の酸化アルミニウム微粒を配合した研磨液を噴射し、
上記の研磨材層が噴射研磨材である酸化アルミニウム微粒の噴射により粉砕微粒化してなる粉砕化酸化チタン微粒(下側層)および粉砕化窒酸化チタン微粒(上側層)と、噴射研磨材としての酸化アルミニウム微粒の共存下で、上記クランプ駒当接部周辺部の上記研磨材層を残して、上記硬質被覆層の上部層を構成する酸化アルミニウムと酸化ジルコニウムの2相混合酸化物層の表面を研磨して、前記酸化アルミニウムと酸化ジルコニウムの2相混合酸化物層の切刃稜線部を含むすくい面および逃げ面の表面粗さを準拠規格JIS・B0601−1994に基いた測定で、Ra:0.2μm以下としたことを特徴とする、硬質被覆層が高速切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する穴なし表面被覆サーメット製切削スローアウエイチップの表面研磨方法。
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