JP4856496B2 - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4856496B2 JP4856496B2 JP2006227473A JP2006227473A JP4856496B2 JP 4856496 B2 JP4856496 B2 JP 4856496B2 JP 2006227473 A JP2006227473 A JP 2006227473A JP 2006227473 A JP2006227473 A JP 2006227473A JP 4856496 B2 JP4856496 B2 JP 4856496B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sensor
- gas sensor
- film
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
ガスセンサ素子910は、貫通孔を有するSi基板と、この貫通孔の一端側の開口を塞ぐようにSi基板上に形成された薄膜状の支持膜とを有するダイアフラムの表面に、感ガス膜911を形成した構成をなしている。このガスセンサ素子910は、センサ支持体920のキャビティ(凹部)921内に載置されている。ガスセンサ素子910を搭載したセンサ支持体920は、板状をなす配線基板930の所定位置に固定されている。また、この配線基板930には、入出力端子としてのピン940,940,…が複数立設されている。そして、これらは、外形が直方体形状をなすケース950内に収容されている。
しかしながら、このガスセンサ800では、上記ガスセンサ900に比して、フィルタ膜860からガスセンサ素子810の感ガス膜811までの距離がどうしても長くなる。上記ガスセンサ900のように、フィルタ膜960と感ガス膜911とが対向して平行に配置されていないからである。このため、フィルタ膜860を通過したガス(環境気体)が感ガス膜811まで拡散するのに時間が掛かるので、ガスセンサ800の応答性が低くなりがちである。
その上、本発明のガスセンサは、センサ取付部の開口部からフィルタ膜に至る気体誘導路を構成する気体誘導部を備えるので、外部の取付穴から導入された環境気体を、センサ取付部の開口部からフィルタ膜まで速やかに導くことができる。従って、ガスセンサの応答性を更に向上させることができる。
「センサ支持体」は、上記のようにガスセンサ素子を支持するものであればよく、ガスセンサ素子の形状等を考慮して、その形態や大きさ、材質等を適宜変更できる。例えば、外形が直方体形状をなし、ガスセンサ素子を収容するキャビティ(凹部)が形成されたものや(金属)管パッケージなどが挙げられる。更に、そのガスセンサ素子を収容したキャビティ等を、通気孔を有する保護カバーなどで覆ってもよい。
「フィルタ膜」は、ケースに設けられたガス導入口を閉塞するものであればよく、その通気性や撥水性、防塵性等を考慮して、その構造や材質、大きさ(厚み)等を適宜変更できる。
「センサ取付部」は、上記の要件を満たすものであればよく、外部の取付穴の形状等を考慮して、その形態や大きさ等を適宜変更できる。例えば、センサ取付部をクリップ式により取付穴に取り付ける形態とすることができる。
「気体誘導部」は、上記の要件を満たすものであればよく、気体誘導路の形態等を考慮して、その形態や材質等を適宜変更できる。また、気体誘導部は、ケースと一体的に成形されたものでも、ケースと別体に成形されたものでもよい。
そして、ガスがフィルタ膜160を通過してから、保護カバー125の通気孔125cを通じて感ガス膜111に達するまでの通気最短距離TKは、1.8mmとされている。一方、感ガス膜111の厚み方向(図3中、上下方向)に平面視したときの、感ガス膜111の外周縁111sからセンサ支持体120の外周縁120sまでの周縁最短距離SKは、2.0mmとされている。従って、通気最短距離TKは、周縁最短距離SKよりも小さくされている。
このようなセンサ取付部180を取付部TTの取付穴TTCに対して回り止めすると、図2に示すように、センサ取付部180の上側突起部183及び下側突起部184と円盤状延出部185及び上方延出部186との間に、取付部TTのうち取付穴TTCの周縁部分が狭持される。また、センサ取付部180の係合部187が、取付部TTの所定位置に設けられた凹部TTHに係合する。これにより、ガスセンサ100が取付部TTに固定される。
例えば、上記実施形態では、センサ支持体120に1つのガスセンサ素子110を収容した形態を示したが、センサ支持体に複数のガスセンサ素子を収容するようにしてもよい。なお、この場合には、各ガスセンサ素子を対象としたときに、上記通気最短距離TKが上記周縁最短距離SKよりもそれぞれ小さくなる形態でガスセンサを構成する必要がある。
また、上記実施形態では、ガスセンサ素子110として、NOxの濃度変化に応じて抵抗値が変化する感ガス膜111を有するものを例示したが、感ガス膜はこれに限定されず、HC,CO等の還元性ガスの濃度変化に応じて抵抗値が変化する感ガス膜を設けるようにしてもよい。
110 ガスセンサ素子
111 感ガス膜
111s 周縁
120 センサ支持体
120s 周縁
130 配線基板
140 ピン
150 ケース
151 ガス導入口
160 フィルタ膜
170 コネクタ部
180 センサ取付部
181 開口部
190 気体誘導部
191 トンネル部
191n 内壁面
193 屈曲部
AX 軸線
TK 通気最短距離
SK 周縁最短距離
YR 気体誘導路
Claims (3)
- 環境気体中の特定ガスの濃度を検知する感ガス膜を有するガスセンサ素子と、
配線基板と、
前記ガスセンサ素子と前記配線基板との間に介在して、前記ガスセンサ素子を支持するセンサ支持体と、
前記ガスセンサ素子、前記配線基板及び前記センサ支持体を収容するケースであって、
前記環境気体をケース外部からケース内部に導入するガス導入口を有するケースと、
前記ガス導入口を閉塞するフィルタ膜と、
を備えるガスセンサであって、
外部の取付穴に取り付けられるセンサ取付部であって、前記取付穴から前記環境気体を導入するための開口部を有するセンサ取付部を備え、
前記フィルタ膜は、その厚み方向が前記センサ取付部の前記開口部の軸線に沿う軸線方向と直交する姿勢に配置されてなり、
前記ガスセンサ素子の前記感ガス膜が、前記フィルタ膜に対向して平行に配置されてなり、かつ、前記環境気体が前記フィルタ膜を通過してから前記感ガス膜に達するまでの通気最短距離が、前記感ガス膜の厚み方向に平面視したときの、前記感ガス膜の外周縁から前記センサ支持体の外周縁までの周縁最短距離よりも小さくされてなり、
前記センサ取付部の前記開口部から前記フィルタ膜に至る気体誘導路を構成する気体誘導部を備える
ガスセンサ。 - 請求項1に記載のガスセンサであって、
前記配線基板は、入出力端子としてのピンが立設されてなり、
前記ケースから突出する共に、前記ピンを内側に配置し、外部との接続に利用されるコネクタ部を備え、
前記コネクタ部と気体誘導部とが、前記配線基板に対して同じ側に設けられてなる
ガスセンサ。 - 請求項1または請求項2に記載のガスセンサであって、
前記気体誘導部は、その内壁面のうち少なくとも一部に、前記フィルタ膜に近づく方向に滑らかに曲げられてなる屈曲部を有する
ガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006227473A JP4856496B2 (ja) | 2006-08-24 | 2006-08-24 | ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006227473A JP4856496B2 (ja) | 2006-08-24 | 2006-08-24 | ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008051627A JP2008051627A (ja) | 2008-03-06 |
JP4856496B2 true JP4856496B2 (ja) | 2012-01-18 |
Family
ID=39235824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006227473A Expired - Fee Related JP4856496B2 (ja) | 2006-08-24 | 2006-08-24 | ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4856496B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010122099A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Fis Inc | 防水型ガスセンサ |
JP2010122100A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Fis Inc | 防水型ガスセンサ |
CN109789366B (zh) * | 2016-10-05 | 2022-07-08 | 霍尼韦尔国际公司 | 防尘和防溅过滤器 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58131549A (ja) * | 1982-02-01 | 1983-08-05 | Chichibu Cement Co Ltd | 湿度センサ |
JPH063308A (ja) * | 1992-06-23 | 1994-01-11 | Ricoh Co Ltd | ガスセンサ |
DE29519940U1 (de) * | 1995-12-15 | 1996-02-01 | paragon sensoric GmbH & Co. KG, 33129 Delbrück | Schadstoffsonde |
JP2002318216A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP4167008B2 (ja) * | 2002-05-24 | 2008-10-15 | 日本特殊陶業株式会社 | ガス検出装置 |
JP4101867B2 (ja) * | 2004-08-19 | 2008-06-18 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサユニット |
-
2006
- 2006-08-24 JP JP2006227473A patent/JP4856496B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008051627A (ja) | 2008-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7770433B2 (en) | Humidity detector for detecting fogging on a window | |
JP5378166B2 (ja) | 温湿度検出装置 | |
US20140076026A1 (en) | Relative humidity sensor | |
JP2003522334A (ja) | センサー装置 | |
JP2008541087A (ja) | センサーモジュールパッケージ | |
US11143614B2 (en) | Gas sensor | |
JP4856496B2 (ja) | ガスセンサ | |
US9518883B2 (en) | Fluid pressure sensor | |
US9441584B2 (en) | Airflow measuring device | |
JP2008241501A (ja) | ガスセンサ | |
JP3979911B2 (ja) | 結露防止機能を備えたガスセンサ | |
KR102609714B1 (ko) | 센서 | |
JP2017058227A (ja) | 流量測定装置 | |
US11670150B2 (en) | Heat sensor and smoke and heat fire detector | |
EP3105575B1 (en) | Top cap assembly for use with a capillary controlled gas sensors with structure to resist signal losses due to condensation | |
JP4876538B2 (ja) | 空気調和機のセンサ固定装置 | |
JP5414978B2 (ja) | 窓の曇りを検出するための湿度検出器 | |
WO2018193743A1 (ja) | 湿度測定装置 | |
JP7503780B2 (ja) | 感知器 | |
JP4133505B2 (ja) | ガスセンサユニット | |
JP2010122099A (ja) | 防水型ガスセンサ | |
JP4653622B2 (ja) | センサユニット | |
JP2008026322A5 (ja) | ||
JP3221032U (ja) | ポータブルデバイスに用いるガスセンサ | |
JP2008292344A (ja) | ガスセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090617 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110707 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110817 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111004 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111028 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141104 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141104 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |