JP4856210B2 - ステージシステムキャリブレーション方法、ステージシステム、およびそのようなステージシステムを備えるリソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
c)センサヘッドのセンサヘッド出力信号から垂直位置データマップを求めること、d)垂直位置データマップから水平位置データマップを計算すること、ならびにe)計算された水平位置データマップに基づいてエンコーダ位置測定システムをキャリブレーションすることを含む、キャリブレーション方法が提供される。
第1に、水平方向のステージ挙動が、一部には、ステージのショートストロークモータに寄生的に影響を及ぼし得る、ステージのロングストロークモータなどのモータ内でのコギングの影響によって、方向依存となることがある。この影響は、水平方向にのみ存在し得る。さらに、例えばステージに取り付けられたケーブルまたはダクトによる、ステージにかかる外乱力が、実質的には水平方向となり得る。第2に、ベクトルeaおよびebの方向のため、位置測定自体におけるZ感度の方がY方向よりも大きくなり得るので、雑音に対するY方向の感度が、Z方向よりも大きくなり得る。
1.プレートの縁部の領域内でのAの開始値を、YおよびZデータを使用して計算すること(この手順は、以下の計算用の開始値を作り出すために望ましい)。
これらのA開始値およびZ測定データから、(斜線に沿ってさらに距離d遠い)A値の次階層を、
Claims (17)
- ステージのエンコーダ位置測定システムをキャリブレーションするためのキャリブレーション方法において、前記エンコーダ位置測定システムが、エンコーダ格子、ならびに前記エンコーダ格子と協働する、水平および垂直方向の位置感度を示すセンサヘッド出力信号をそれぞれがもたらす少なくとも2つのセンサヘッドを備える、キャリブレーション方法であって、
前記センサヘッドが前記エンコーダ格子に対して、またはその逆に移動されるように、前記ステージを移動させること、
前記移動させることの間に、前記エンコーダ格子および前記センサヘッドを使用して、前記ステージの位置を測定すること、
前記センサヘッドのセンサヘッド出力信号から垂直位置データマップを求めること、
前記垂直位置データマップから水平位置データマップを計算すること、ならびに
前記計算された水平位置データマップに基づいて前記エンコーダ位置測定システムをキャリブレーションすること、を含み、
別の水平位置データマップが、前記ステージを前記移動させることの間に得られた前記センサヘッド出力信号から求められ、前記別の水平位置データマップが、前記計算された水平位置データマップと組み合わされ、前記エンコーダ位置測定システムを前記キャリブレーションすることが、前記組み合わされた水平位置データマップを利用して実施される、
キャリブレーション方法。 - 前記水平位置データマップを計算することが、
a)開始点におけるセンサヘッド測定値を、前記垂直位置データマップ内の対応する垂直位置データ点、および初期水平位置データ点から計算すること、
b)前記計算されたセンサヘッド測定値および/または先に計算されたセンサヘッド測定値、ならびに前記垂直位置データマップ内の対応する垂直位置データから、複数の後続のセンサヘッド測定値を計算すること、ならびに
c)前記計算されたセンサヘッド測定値から、前記計算された水平位置データマップを求めること、を含む、
請求項1に記載のキャリブレーション方法。 - a)〜b)を前記垂直位置データマップ内の計算とは反対方向について反復すること、および両方向について得られた前記計算された水平位置データマップを平均化することを含む、
請求項2に記載のキャリブレーション方法。 - 前記計算された水平位置データマップに対して、前記垂直位置データマップ内の計算の方向と実質的に直角をなす方向にローパス(低域通過)フィルタをかけることを含む、
請求項2に記載のキャリブレーション方法。 - 前記水平位置データマップを計算することが、前記垂直位置データマップをフィルタによってフィルタリングして、前記水平位置データマップを形成することを含み、前記フィルタが、前記エンコーダ格子上の同じ点で測定を行う際の前記2つのセンサヘッド間の空間距離を表すための空間遅延演算子を含む、
請求項1に記載のキャリブレーション方法。 - 前記エンコーダ格子の縁部のところの前記水平位置データマップと合致させるようなフィルタ初期条件を利用することをさらに含む、
請求項5に記載のキャリブレーション方法。 - 前記得られた水平位置データマップに対して、前記垂直位置データマップに対してかけられたフィルタリングの方向と実質的に直角をなす方向にローパス(低域通過)フィルタをかけることをさらに含む、
請求項5に記載のキャリブレーション方法。 - 前記垂直位置マップを求める際に、前記垂直位置データマップが、前記センサヘッドによってもたらされる垂直位置情報から求められる、
請求項1に記載のキャリブレーション方法。 - 可動ステージと、
前記ステージの位置の測定を行うように構成された測定システムであって、エンコーダ格子、ならびに前記エンコーダ格子と協働する、水平および垂直方向の位置感度を示すセンサヘッド出力信号をそれぞれがもたらす少なくとも2つのセンサヘッドを備える測定システムと、
前記測定システムをキャリブレーションするように構成されたコントローラであって、 前記センサヘッドのセンサヘッド出力信号から垂直位置データマップを求め、前記垂直位置データマップから水平位置データマップを計算し、前記計算された水平位置データマップに基づいて前記測定システムをキャリブレーションするように構成されたコントローラと、を備え、
別の水平位置データマップが、前記ステージを前記移動させることの間に得られた前記センサヘッド出力信号から求められ、前記別の水平位置データマップが、前記計算された水平位置データマップと組み合わされ、前記エンコーダ位置測定システムを前記キャリブレーションすることが、前記組み合わされた水平位置データマップを利用して実施される、
ステージシステム。 - 前記コントローラがさらに、前記センサヘッドが前記エンコーダ格子に対して、またはその逆に移動されるように、前記ステージを移動させ、かつ前記移動の間に、前記測定システムを、前記エンコーダ格子および前記センサヘッドを使用して前記ステージの位置を測定するように制御するように構成される、
請求項9に記載のステージシステム。 - 放射ビームの断面内にパターンを付与してパターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持する構造になっている、パターニングデバイスサポートと、
基板を保持する構造になっている基板サポートと、
前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分上に投影するように構成された投影システムと、
前記サポートのうち一方を移動させるように構成されたステージシステムであって、
可動ステージ、
前記ステージの位置の測定を行うように構成された測定システムであって、エンコーダ格子、ならびに前記エンコーダ格子と協働する、水平および垂直方向の位置感度を示すセンサヘッド出力信号をそれぞれがもたらす少なくとも2つのセンサヘッドを備える測定システム、ならびに
前記測定システムをキャリブレーションするためのコントローラであって、
前記2つのセンサヘッドのセンサヘッド出力信号から垂直位置データマップを求め、
前記垂直位置データマップから水平位置データマップを計算し、
前記計算された水平位置データマップに基づいて前記測定システムをキャリブレーションする、ように構成されたコントローラを備えるステージシステムと、を備え、
別の水平位置データマップが、前記ステージを前記移動させることの間に得られた前記センサヘッド出力信号から求められ、前記別の水平位置データマップが、前記計算された水平位置データマップと組み合わされ、前記エンコーダ位置測定システムを前記キャリブレーションすることが、前記組み合わされた水平位置データマップを利用して実施される、
リソグラフィ装置。 - 前記コントローラがさらに、前記センサヘッドが前記エンコーダ格子に対して、またはその逆に移動されるように、前記ステージを移動させ、かつ前記移動の間に、前記測定システムを、前記エンコーダ格子および前記センサヘッドを使用して前記ステージの位置を測定するように制御するように構成される、
請求項11に記載のリソグラフィ装置。 - 機械実行可能命令を有するコンピュータ製品であって、
前記命令が、ステージのエンコーダ位置測定システムをキャリブレーションする方法を実施するように、機械によって実行可能であり、
前記エンコーダ位置測定システムが、エンコーダ格子、ならびに前記エンコーダ格子と協働する、水平および垂直方向の位置感度を示すセンサヘッド出力信号をそれぞれがもたらす少なくとも2つのセンサヘッドを備え、
前記方法が、
前記センサヘッドが前記エンコーダ格子に対して、またはその逆に移動されるように、前記ステージを移動させること、
前記移動させることの間に、前記エンコーダ格子および前記センサヘッドを使用して、前記ステージの位置を測定すること、
前記センサヘッドのセンサヘッド出力信号から垂直位置データマップを求めること、
前記垂直位置データマップから水平位置データマップを計算すること、ならびに
前記計算された水平位置データマップに基づいて前記エンコーダ位置測定システムをキャリブレーションすること、を含み、
別の水平位置データマップが、前記ステージを前記移動させることの間に得られた前記センサヘッド出力信号から求められ、前記別の水平位置データマップが、前記計算された水平位置データマップと組み合わされ、前記エンコーダ位置測定システムを前記キャリブレーションすることが、前記組み合わされた水平位置データマップを利用して実施される、
製品。 - 前記水平データマップを計算することが、
a)開始点におけるセンサヘッド測定値を、前記垂直位置データマップ内の対応する垂直位置データ点、および初期水平位置データ点から計算すること、
b)前記計算されたセンサヘッド測定値および/または先に計算されたセンサヘッド測定値、ならびに前記垂直位置データマップ内の対応する垂直位置データから、複数の後続のセンサヘッド測定値を計算すること、ならびに
c)前記計算されたセンサヘッド測定値から、前記計算された水平位置データマップを求めること、を含む、
請求項13に記載の製品。 - a)〜b)を前記垂直位置データマップ内の計算とは反対方向について反復すること、および両方向について得られた前記計算された水平位置データマップを平均化することを含む、
請求項14に記載の製品。 - 前記計算された水平位置データマップに対して、前記垂直位置データマップ内の計算の方向と実質的に直角をなす方向にローパス(低域通過)フィルタをかけることを含む、
請求項14に記載の製品。 - 前記水平位置データマップを計算することが、前記垂直位置データマップをフィルタによってフィルタリングして、前記水平位置データマップを形成することを含み、前記フィルタが、前記エンコーダ格子上の同じ点で測定を行う際の前記2つのセンサヘッド間の空間距離を表すための空間遅延演算子を含む、
請求項14に記載の製品。
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